JPS61120344A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明は磁気記録媒体の製造方法に関するものである。

［発明の技術的背景とその問題点コ 近年、磁気記録媒体の磁性層面に垂直な方向の残留磁化
を利用して高密度な記録を行なう垂直磁化記鎌方法が注
目されている。

この垂直磁化記録の為の垂直磁化記録媒体（以下磁気記
録媒体という）の代表的な例として、膜面に垂直な方向
に磁化容易軸を有するＣｏ−Ｃｒ系薄膜をスパッタリン
グにより形成して磁性層とするものが知られている。

この磁性層の形成される基体としてはポリイミド等の耐
熱性フィルムやポリエチレンテレフタレ）　（ＰＥＴ）
フィルムのような高分子フィルムやアルミニウムなどが
使用され、基体の少くとも１方の表面にＣｏ−Ｃｒ系薄
膜をスパッタリングで形成することによって作成される
ものである。

このよりにし、て作成さ、れ之磁気記録媒体は、特にフ
ロッピーディスクへの使用に好適である。

このフロッピーディスクは周知のように円盤状をなし、
ジャケットと呼ばれる国体に収納されてＩいる。そして
７０ツビーデイスクへの記録や再生は１例えば３００回
転／分ま几は６００回転／分で回転させ磁気ヘッドに一
定荷重を与えながら行われる０ ところで、このように垂直磁気記録で高密度記録を行な
うとき、一般に磁性層表面に不適正な凹凸があると、磁
気ヘッドと磁性層表面の距離が各ビットで異なり出力変
動の原因となる問題点がある。この理由により磁性層の
表面は平滑であることが要求されている。

一方、磁気記録媒体は、フェライト等からなる磁気ヘッ
ドと圧接しながら回転するので長時間の動作中に磁気記
録媒体の表面に傷が発生し易く、この部分の記録、再生
出力が低下する。この耐久性改善の九めにＣｏ−Ｃｒ系
その他の磁性層表面に保護層を形成し、さらに、この保
護層表面に液体潤滑剤を塗布する方法などが知られてい
る。

しかし、表面が非常に平滑な磁気記録媒体と磁気ヘッド
との組み合わせでは、両者間の摩擦係数が大きくなり、
この摩擦によって磁気記録媒体。

磁気ヘッドの少なくとも一方が削られて生じると思われ
る微粉末が磁気ヘッドに固着し、その結果磁気記録媒体
及び磁気ヘッドに傷がつき耐久性を低下させることがあ
る。

このように、これまでスパッタリング法その他各種の真
空成属法により形成された磁性層を有する磁気記録一体
では耐久性にも多大の問題点があり、出力変動と耐久性
の２つの問題点を同時に満足させることは極めて困難で
あった。

［発明の目的コ 本発明は上述した諸問題点に鑑みてなされたものでアリ
出力変動と耐久性の両者を満足させることが可能な磁気
記録媒体の製造方法を提供することを目的としている。

［発明の概要コ 即ち、本発明は少なくとも１方の表面に磁性層を形成す
る工程と、この磁性層上に磁気ヘッドと同等以上の硬い
物質を含むスパッタリング速度の異なる複数の物質から
なる保護層を形成する工程と、保護層を構成する複数の
物質のうち、この保護層の表面近傍に存在する少なくと
も１つの物質質をスパッタリング法により除去して保睦
層の表面に均一かつ適当な稠密度で分布した微小突起を
形成する工程と、この微小突起の形成され定保護層に液
体潤滑剤を塗布する工程とを有する磁気記録媒体の製造
方法である。

［発明の実施例］ 次に本発明の磁気記録媒体の製造方法を図により説明す
る。

先ず、第１図に示すように、ポリイミド等の耐熱性フィ
ルムやポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム
のような高分子フィルムま次はアルミニウムなどの基体
α１１）の両方の表面にスパッタリングにより例えば０
．５乃至１．０μｍのＣｏ−Ｃｒ系薄膜からなる磁性層
＜１１１を形成する。

次に、第２図に示すように磁性層（Ｌｌ）上に磁気ヘッ
ドより硬い物質例えばＡｊＢＯＢ、　ＳｉＣ，ＷＣ等の
うちから例えばＷＣを選び、このＷＣとＡＪ−を同時に
スパッタリングして磁性層（１１）に強固に密着させ定
保護層αｌ−形成する。このＷＣとＡＪのスパッタリン
グ速度は個別に制御し、ＷＣ：Ａｊ＝１：２乃至０．２
の割合になるようにし保護層ａりとしての厚さを２００
乃至４００λとする。

次に、この保賎層α２をスパッタリングすることにより
、保護層（Ｉりの表面近傍のＡＪ−は選択的に除去され
、第３図に示すように保護層α２の表面にＷＣからなる
微小突起（１３が形成されるが、この微小突起は上述し
た条件で保護層αりを形成することにより均一かつ適当
な調密度で分布させることができる。

この微小突起（１３の高さは例えば５０乃至１００１で
よい。この微小突起Ｑ３ｄスパッタリング時のＷＣとＡ
Ｊ。

の成分比、スパッタリングの条件を変えることにより高
さ１分布の制御が可能である。

次に液体淘滑剤α４を薄く塗布し磁気記録媒体が完成す
る。

このように製造した磁気記録媒体をジャケットに収納し
、磁気ヘッドに一定の荷重を与えながら３ＱＱＲＰＭの
速度で回転させて磁性層＠の出力摩擦係数及び耐久性を
試験した。その結果、摩擦力は従来の平滑な磁気記録媒
体に比較しｂ乃至曇に減少し、磁性層ｆｆ３に傷が発生
するまでの時間も従来の２乃至３倍向上した。また磁気
ヘッドに傷が発生することがなく、ま几固着物も観察さ
れなかった。更に出力の変動も極めて少なく、良好であ
つ几Ｏ 上述した実施例では少し厚めの保護層を形成し、この保
護層に微小突起を形成したがこれに限定されるものでは
なく、他の物質で保護層を形成した後上述したのと同じ
方法でこの保護層上に微小突起形成用の他の保護層を形
成してもよいことは勿論である。

［発明の効果］ 上述のように本発明の磁気記録媒体の製造方法によれば
、磁性層の表面と磁気ヘッドとの距離はほぼ一定に保持
されるので出力の変動が少ない。

また表面に微小突起があるため摩擦係数が小さく。

かつ微小突起が磁気ヘッドの表面ｔ−ａえず研磨するよ
うに作用し、固形物が固着するのを防止し、もし突発的
に異物が混入して磁気ヘッドに傷が発生しても使用中に
研磨してゆくので磁気ヘッドの損傷と同時に磁性層の損
傷をも低減させ摩擦力の低下と併せて耐久性も向上させ
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は本発明の磁気記録媒体の製造方法の
一実施例を工程順に示す説明用断面図である。 ＩＯ・・・基体　　　　　　ｌ】・・・磁性層１２・・
・保護層　　　　　Ｉ３・・・微小突起１４・・・液体
潤滑剤

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基体の少なくとも１方の表面に磁性層を形成する工程と
   、前記磁性層上に磁気ヘッドと同等以上の硬い物質を含
   むスパッタリング速度の異なる複数の物質からなる保護
   層を形成する工程と、前記保護層を構成する複数の物質
   のうち前記保護層の表面近傍に存在する少なくとも１つ
   の物質をスパッタリング法により除去して前記保護層の
   表面に均一かつ適当な稠密度で分布した微小突起を形成
   する工程と、前記微小突起の形成された保護層に液体潤
   滑剤を塗布する工程とを有する磁気記録媒体の製造方法
   。