JPH02149907A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 の 本発明は高密度磁気記録に適用するメタルインギャップ
型磁気ヘッド（以下ＭＩＧヘッドと略記する）の製造方
法に係り、特に研磨加工の技術に関する。

直皮Δ皮１ 従来のＭＩＧヘッドの磁気ヘッドコアブロックの製造方
法を第３図により説明する。

第３図（ａ）に示すように金属酸化物磁性体（フェライ
ト）ブロック１１．１２を用意する。第３図（ｂ）に示
すように金属酸化物磁性体ブロック１１．１２に各々ト
ラック溝１３１巻線溝１４を切削加工して形成する。

その後第３図（Ｃ）に示すように、少な（とも一方の接
合面１５に強磁性体金属薄膜（センダスト）１６を１〜
３０μｍの厚さにスパッタリングで形成する。更に、ギ
ャップスペーサとなる非磁性体重１１Ｘ　（５１０２）
　１７をスパツタリングで所定厚さ形成する。

次に第３図（ｄ）に示すように、両方のフェライトブロ
ックを突合せ加熱し、ガラス１８を流し込んで接合一体
化する。

その後第３図（ｅ）に示すように頂端部１９を砥石によ
り荒仕上げ９更に砥粒により研磨して所定のギヤ、ブデ
ブスｄに加Ｔ１−た後、鎖線ｅ、　Ｉ！。

・・・でスライス１．てＭＩＧ型磁無磁気ヘッドアチッ
プを得る。

以上、片刃のブロックのみに強磁性金属薄膜を形成１．
た磁気ヘッドの製法について説明１．たが、他方のブロ
ックにも強磁性体金属薄膜を形成したものもある。

濾ソ男力り胴９大−ｔ、↓−）−と−ず−る−ＡＵ趙上
記の如〈従来の方法ではフェライトとセンダスト薄膜の
接合部が露出している頂端部を直接砥石等で荒仕上げ１
７ていたため、元来熱膨張特性が異なるため熱応力によ
る歪が残留しているフェライトやセンダストの接合部が
荒仕上げ時の機械的衝撃で剥離１．またり、剥離１７な
いまでも更に機械的加工歪が加算されたりしてそのため
に磁気特性が劣化し出力が低下したり、接合部が擬似ギ
ヤツブとして働き、ノイズを発生ずるという問題点があ
った。

、の 本発明（求十記荒什十げ時の衝７゛が、フェライト一セ
ンダスＩ・の接合部に直接加わらないように、研磨面板
に強磁性金属薄膜形成磁性体ブロックを荒仕上げ代置だ
け低く結石１．て、荒仕上げ時は金属酸化物磁性体のみ
を研削し、鏡面研磨加−Ｌ時は強磁性金属薄膜形成磁性
体ブロックと金属酸化物磁性体ブロックを同時に加工す
るようにしたので、フェライト−センダスト接合部が剥
離したり、歪による磁気特性の劣化等が起こらないよう
にしたものである。

天ｌ］組＝ 本発明の実施例について以Ｆ図面を参照して説明する。

第１図は本発明の第ｊの実施例である一力のコアのみに
強硫性金属’ｆ；４膜を形成１．たＭＩＧ型磁気ヘツ１
！二ファブロックの研磨加工前の斜視図、第２図は第２
実施例である両方のコアに強磁性金属薄膜を形成したＭ
ＩＧ型磁気ヘッドコアブロックの研磨面板貼着状態を示
す斜視図である。

一方のコアブロック１は前記従来例と同しく、トランク
溝３９巻線溝４を形成した後、接合面に強磁性金属薄膜
（センダスト）５を１〜・３０μｍの厚さにスパッタリ
ングで形成し、更にギヤ、ブスペー→ノ・となる非磁性
体重ＦＸ　（Ｓｉ０２）　Ｅ３をスバ。

タリングして、所定厚さに形成する。

次に他のコアブロック２は、前記コアブロック１より荒
仕上げ代置たけ高いものを用意し、底面をコアブロック
１に合わ１！、′て巻線溝３．トラ、り溝４を加、１−
する。

その後、底面を基準面心してコアプロ、り１゜２を突合
せ加熱し、ガラスを流し込んで接合一体化する。

このようにして得られた磁気へッドコアブロノクは、第
１図に示すように強磁性体金属薄膜を被着してないコア
ブロック２のみが突出部８を持っているため、底面を研
磨面板に貼若し、頂端部を荒仕上げ用砥石で研磨すると
、図に斜線で示した突出部８のみが研磨される。次に砥
粒を便って鏡面研磨すればコアブロック１，２が共に研
磨され、鏡面仕上げが完了する。鏡面仕Ｆげ後、磁気ヘ
アトコアチップを得る工程は従来通りなので説明を省略
する。

以上片刃のコアに強磁性金属薄膜を形成したＭＩＧ型へ
ノドについて説明したが、両方のコアに強磁性金属薄膜
を形成したＭＩＧ型ヘッドで（：４′第２図に示す様に
磁気ヘッドコアブロックの少な（とも一方の側面にダミ
ーとなる荒仕りげ代置だけ高い強磁性体ブロック９を畢
べて結石するこ々で第１実施例の場合と同様に欠４Ｓの
ない磁気ヘッドコアブロックを得ることができる。

光朗ｐ勤−宋− 本発明は以上説明１．たように、頂建部荒仕十げ代置た
け強磁性金回薄膜形成ブロックを低くしたので強磁性金
属薄膜と金属酸化物磁性体接合部が砥石による荒仕−■
−げ加工がされないため、接合部の（ｌｌｆｆｉや歪に
よる磁気特性の劣化のない優れたＭＩＧ型へ、ドを提供
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例である片方のコアに強磁
性金属薄膜を形成したＭＩＧ型磁気へ。 トコアブロックの研磨加工前の斜視図、第２図は第２の
実施例である両方のコアに強磁性金属薄膜を形成したＭ
ＩＧ型磁気へラドコアブロックの研磨面板貼着状態を示
す概念図、第３図は従来例での磁気へラドコアブロック
の製造工程の説明図である。 １．２・・・・・・金属酸化物磁性体（フェライト）、
３・・・・・・トラック溝、 ４・・・・・・巻線溝、 ５・・・・・・強磁性金属薄Ｍ（センダスト）、６・・
・・・・非磁性体薄膜（Ｓｉ２０）、７・・・・・・ガ
ラス、 ８・・・・・・突出部、 ９・・・・・・ダミー強磁性体ブロック、０・・・・・
・磁気ヘッドコアブロック。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 金属酸化物磁性体の少なくとも一側面に強磁性金属薄膜
   を形成した磁性体ブロックを切削、研磨加工して磁気ヘ
   ッドコアブロックを製造するものにおいて、研磨面板に
   強磁性金属薄膜形成磁性体ブロックを荒仕上げ代だけ低
   く貼着して、荒仕上げは金属酸化物磁性体のみを研削し
   、鏡面研磨加工時は前記強磁性金属薄膜形成磁性体ブロ
   ックと金属酸化物磁性体ブロックを同時に加工すること
   を特徴とした磁気ヘッドの製造方法。