JPH02146427U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02146427U JPH02146427U JP5660789U JP5660789U JPH02146427U JP H02146427 U JPH02146427 U JP H02146427U JP 5660789 U JP5660789 U JP 5660789U JP 5660789 U JP5660789 U JP 5660789U JP H02146427 U JPH02146427 U JP H02146427U
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- JP
- Japan
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- conductor
- electric field
- field strength
- anode electrode
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- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図及び第２図は本考案の第１の実施例の断
面図及びＡ部拡大図、第３図及び第４図は本考案
の第２の実施例の断面図及びＢ部拡大図、第５図
は従来のドライエツチング装置の断面図である。 １……ウエーハ、２……電界強度、３……カソ
ード電極、４……アノード電極、５……エツチン
グチヤンバー、６……位相調整用コンデンサ、７
……高周波発振器、８……導体（ＳｉＣ）、７…
…導体固定用ナツト、１０……Ｏリング。
面図及びＡ部拡大図、第３図及び第４図は本考案
の第２の実施例の断面図及びＢ部拡大図、第５図
は従来のドライエツチング装置の断面図である。 １……ウエーハ、２……電界強度、３……カソ
ード電極、４……アノード電極、５……エツチン
グチヤンバー、６……位相調整用コンデンサ、７
……高周波発振器、８……導体（ＳｉＣ）、７…
…導体固定用ナツト、１０……Ｏリング。
Claims (1)
- エツチング室内のアノード電極に電界強度を調
節するための導体を取り付けたことを特徴とする
ドライエツチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5660789U JPH02146427U (ja) | 1989-05-16 | 1989-05-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5660789U JPH02146427U (ja) | 1989-05-16 | 1989-05-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02146427U true JPH02146427U (ja) | 1990-12-12 |
Family
ID=31580586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5660789U Pending JPH02146427U (ja) | 1989-05-16 | 1989-05-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02146427U (ja) |
-
1989
- 1989-05-16 JP JP5660789U patent/JPH02146427U/ja active Pending