JPS62132167U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62132167U JPS62132167U JP1848086U JP1848086U JPS62132167U JP S62132167 U JPS62132167 U JP S62132167U JP 1848086 U JP1848086 U JP 1848086U JP 1848086 U JP1848086 U JP 1848086U JP S62132167 U JPS62132167 U JP S62132167U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulator
- hole
- vacuum film
- central
- engaging part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims 1
- 238000007666 vacuum forming Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Insulators (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本案の第１の実施例の要部断面図であ
り、第２図は同平面図である。第３図は本案の第
２の実施例を示す要部断面図である。第４図は公
知の真空成膜用碍子を用いた真空成膜装置の一例
であり、第５図は第４図における碍子及び碍子取
付部の拡大断面図である。 １…中心貫通孔、２…係合部、３…絶縁部、４
…溝、５…真空成膜不可領域、６…溝、７…真空
成膜不可領域、１６…高周波導入端子、２０…真
空成膜用碍子、２１…絶縁部、２２…係合部（内
周面）、２３…フランジ部、２４，２４′…ボル
ト。
り、第２図は同平面図である。第３図は本案の第
２の実施例を示す要部断面図である。第４図は公
知の真空成膜用碍子を用いた真空成膜装置の一例
であり、第５図は第４図における碍子及び碍子取
付部の拡大断面図である。 １…中心貫通孔、２…係合部、３…絶縁部、４
…溝、５…真空成膜不可領域、６…溝、７…真空
成膜不可領域、１６…高周波導入端子、２０…真
空成膜用碍子、２１…絶縁部、２２…係合部（内
周面）、２３…フランジ部、２４，２４′…ボル
ト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 導電体を保持あるいは案内する係合部と該
係合部の周囲を取り囲む電気絶縁性の絶縁部とで
構成された真空成膜用碍子であり、 上記絶縁部の表面には、上記係合部を囲む環状
で底部が入口部に対して拡大している溝を有し、
該底部の少なくとも一部内面に環状の真空成膜不
可領域を形成したことを特徴とする真空成膜用碍
子。 (2) 絶縁部は中心貫通孔を有する筒状で、該中
心貫通孔および該中心貫通孔を形成する内周面で
係合部を構成する実用新案登録請求の範囲第１項
記載の真空成膜用碍子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1848086U JPS62132167U (ja) | 1986-02-12 | 1986-02-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1848086U JPS62132167U (ja) | 1986-02-12 | 1986-02-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62132167U true JPS62132167U (ja) | 1987-08-20 |
Family
ID=30812189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1848086U Pending JPS62132167U (ja) | 1986-02-12 | 1986-02-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62132167U (ja) |
-
1986
- 1986-02-12 JP JP1848086U patent/JPS62132167U/ja active Pending