JPS5843940U - 分子線蒸着装置 - Google Patents
分子線蒸着装置Info
- Publication number
- JPS5843940U JPS5843940U JP13832181U JP13832181U JPS5843940U JP S5843940 U JPS5843940 U JP S5843940U JP 13832181 U JP13832181 U JP 13832181U JP 13832181 U JP13832181 U JP 13832181U JP S5843940 U JPS5843940 U JP S5843940U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- molecular beam
- beam evaporation
- heater
- evaporation equipment
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のクヌーセン型セルを示す断面図、第２図
及び第３図は本考案の一実施例を示す要部拡大断面図及
び平面図である。 １・・・・・・ソース源室、３・・・・・・第１ヒータ
、７・・・・・・第２ヒータ。
及び第３図は本考案の一実施例を示す要部拡大断面図及
び平面図である。 １・・・・・・ソース源室、３・・・・・・第１ヒータ
、７・・・・・・第２ヒータ。
Claims (2)
- （１）一端面に開孔を有する有底円筒形のソース源室、
該ソース源室の側面に巻回された第１ヒータ、上記開孔
周縁に配され上記第１ヒータと電気的に接続された第２
ヒータからなることを特徴とする分子線蒸着装置。 - （２）上記実用新案登録請求の範囲第１項において、上
記第２ヒータはタンタルからなることを特徴とする分子
線蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13832181U JPS5843940U (ja) | 1981-09-17 | 1981-09-17 | 分子線蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13832181U JPS5843940U (ja) | 1981-09-17 | 1981-09-17 | 分子線蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5843940U true JPS5843940U (ja) | 1983-03-24 |
| JPS6233280Y2 JPS6233280Y2 (ja) | 1987-08-25 |
Family
ID=29931549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13832181U Granted JPS5843940U (ja) | 1981-09-17 | 1981-09-17 | 分子線蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5843940U (ja) |
-
1981
- 1981-09-17 JP JP13832181U patent/JPS5843940U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6233280Y2 (ja) | 1987-08-25 |
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