JPH01129254U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01129254U JPH01129254U JP2541188U JP2541188U JPH01129254U JP H01129254 U JPH01129254 U JP H01129254U JP 2541188 U JP2541188 U JP 2541188U JP 2541188 U JP2541188 U JP 2541188U JP H01129254 U JPH01129254 U JP H01129254U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- high frequency
- electrode
- moving
- side electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例による成膜装置の断
面構成図、第２図は本考案の他の実施例による成
膜装置の対向電極を示す図、第３図は従来の基板
固定タイプの成膜装置に基板バイアス法を適用し
た場合の一例を示す図、第４図は従来の基板移動
タイプの成膜装置に基板バイアス法を適用した場
合の一例を示す図である。 １……真空容器、２……ターゲツト、３……基
板、４……ターゲツト電極、５，５′……基板ホ
ルダ（基板側電極）、６，６′……高周波導入電
極。
面構成図、第２図は本考案の他の実施例による成
膜装置の対向電極を示す図、第３図は従来の基板
固定タイプの成膜装置に基板バイアス法を適用し
た場合の一例を示す図、第４図は従来の基板移動
タイプの成膜装置に基板バイアス法を適用した場
合の一例を示す図である。 １……真空容器、２……ターゲツト、３……基
板、４……ターゲツト電極、５，５′……基板ホ
ルダ（基板側電極）、６，６′……高周波導入電
極。
Claims (1)
- 薄膜が堆積する基板を移動させて成膜を行う成
膜装置において、前記移動する基板側に設けられ
た基板側電極と、この移動する基板側電極と常に
所定の間隔を有して対向するよう設けられ、高周
波電圧が印加される高周波導入電極とを有し、前
記基板側電極及び高周波導入電極で形成される容
量を介して前記基板に高周波電力を供給するよう
にしたことを特徴とする成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2541188U JPH01129254U (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2541188U JPH01129254U (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01129254U true JPH01129254U (ja) | 1989-09-04 |
Family
ID=31246124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2541188U Pending JPH01129254U (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01129254U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5947028A (ja) * | 1982-09-13 | 1984-03-16 | Nissan Motor Co Ltd | 逆絞りプレス型 |
| JPS5947029A (ja) * | 1982-09-10 | 1984-03-16 | Anritsu Corp | 折り曲げ加工に用いる展開図表示装置 |
| JPS609102A (ja) * | 1983-06-28 | 1985-01-18 | 松下電器産業株式会社 | 電圧依存性非直線抵抗体磁器組成物 |
-
1988
- 1988-02-26 JP JP2541188U patent/JPH01129254U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5947029A (ja) * | 1982-09-10 | 1984-03-16 | Anritsu Corp | 折り曲げ加工に用いる展開図表示装置 |
| JPS5947028A (ja) * | 1982-09-13 | 1984-03-16 | Nissan Motor Co Ltd | 逆絞りプレス型 |
| JPS609102A (ja) * | 1983-06-28 | 1985-01-18 | 松下電器産業株式会社 | 電圧依存性非直線抵抗体磁器組成物 |