JPH0214417A - 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
薄膜磁気ヘッド及びその製造方法Info
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- JPH0214417A JPH0214417A JP16251888A JP16251888A JPH0214417A JP H0214417 A JPH0214417 A JP H0214417A JP 16251888 A JP16251888 A JP 16251888A JP 16251888 A JP16251888 A JP 16251888A JP H0214417 A JPH0214417 A JP H0214417A
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、薄膜磁気ヘッド及びその製造方法に係り、特
に、絶縁層又は導体の安定化形成と、直流抵抗の低抵抗
化に好適な導体コイルlr号コイル)を有する薄膜磁気
ヘッドとその製造方法に関する。
に、絶縁層又は導体の安定化形成と、直流抵抗の低抵抗
化に好適な導体コイルlr号コイル)を有する薄膜磁気
ヘッドとその製造方法に関する。
従来、薄膜磁気ヘッドの構造、特に導体コイル(1!号
コイル)の断面形状を表わしている例としては、特開昭
55−84019号公報に記載されたものがある。この
従来技術では、コイル形状は略四角形であり、その側面
部はコイル形成面に対しほぼ90°となっており、断面
形状をテーバ面とすることについては全・(考慮されて
いない。又、コイル抵抗について着目しているものの、
その低抵抗化については全く配慮されていない。
コイル)の断面形状を表わしている例としては、特開昭
55−84019号公報に記載されたものがある。この
従来技術では、コイル形状は略四角形であり、その側面
部はコイル形成面に対しほぼ90°となっており、断面
形状をテーバ面とすることについては全・(考慮されて
いない。又、コイル抵抗について着目しているものの、
その低抵抗化については全く配慮されていない。
又、他の従来例としては、特開昭60−211609号
公報に記載されるようなコイル埋込み型の薄膜磁気ヘッ
ドがある。
公報に記載されるようなコイル埋込み型の薄膜磁気ヘッ
ドがある。
上記特開昭55−84019号公報に記載の従来技術で
は、信号コイルの低抵抗化の点について起源がされてお
らず、コイルの低抵抗化を図る点で間°題があった。
は、信号コイルの低抵抗化の点について起源がされてお
らず、コイルの低抵抗化を図る点で間°題があった。
薄膜ヘッドは巻線形ヘッドに比べ信号コイルに薄膜を用
いるためコイル断面積が低下し、その結果どうしても直
流抵抗が増加してしまう。磁気ヘッドの直流抵抗は、熱
雑音やインピーダンスマツチングの点から理想的には零
が望ましい。従って薄膜ヘッドをバルク巻線型のヘッド
と比べた場合、直流抵抗の増加が欠点となり、低抵抗化
は必須の課題となっている。
いるためコイル断面積が低下し、その結果どうしても直
流抵抗が増加してしまう。磁気ヘッドの直流抵抗は、熱
雑音やインピーダンスマツチングの点から理想的には零
が望ましい。従って薄膜ヘッドをバルク巻線型のヘッド
と比べた場合、直流抵抗の増加が欠点となり、低抵抗化
は必須の課題となっている。
一般に薄膜ヘッドの低抵抗化を図る手段さしては材料の
比抵抗が決まっている場合、その断面積を大きくするた
めにコイル幅を大きくする。導体Xを大きくする。1l
l1面のテーパー角を90°に近づける等の手段が考え
られる。
比抵抗が決まっている場合、その断面積を大きくするた
めにコイル幅を大きくする。導体Xを大きくする。1l
l1面のテーパー角を90°に近づける等の手段が考え
られる。
しかしコイル幅を大きくすれば、磁気ヘッドの磁束伝達
経路、即ち磁路が長くなり、効率の低下を招く。また導
体膜厚を厚くしたり、テーパ角を大きくすれば、導体周
辺の絶縁材形成方法か難しくなり、絶縁不良や信頼性の
低下につながる恐わがある。またテーパー角がゆるい状
態で膜厚を厚くしても面積の増加は小さく、低抵抗化の
効果は小さい0また、コイルスペースが有効に使用でき
ない。
経路、即ち磁路が長くなり、効率の低下を招く。また導
体膜厚を厚くしたり、テーパ角を大きくすれば、導体周
辺の絶縁材形成方法か難しくなり、絶縁不良や信頼性の
低下につながる恐わがある。またテーパー角がゆるい状
態で膜厚を厚くしても面積の増加は小さく、低抵抗化の
効果は小さい0また、コイルスペースが有効に使用でき
ない。
更に、上記特開昭55−84019号公報の従来技術で
は、信号コイルの断面形状の検討は何もされておらず、
コイル周辺部の絶縁層の安定化形成に問題があった。
は、信号コイルの断面形状の検討は何もされておらず、
コイル周辺部の絶縁層の安定化形成に問題があった。
上記従来技術に示すような構造の薄膜ヘッドでは、コイ
ル形成後に絶縁層を形成するが、このときコイル厚さと
そ(lJilllJ面部のテーパー角度によっては絶縁
層にフレパス等の不連続面が生じ、絶縁不良や、耐圧不
良を生じることがある0もち論単純にテーパー角をゆる
くとればこの問題点は防げるのであるが、テーパー角を
ゆるくすることによりコイル抵抗が増加するという欠点
があった。
ル形成後に絶縁層を形成するが、このときコイル厚さと
そ(lJilllJ面部のテーパー角度によっては絶縁
層にフレパス等の不連続面が生じ、絶縁不良や、耐圧不
良を生じることがある0もち論単純にテーパー角をゆる
くとればこの問題点は防げるのであるが、テーパー角を
ゆるくすることによりコイル抵抗が増加するという欠点
があった。
一方、上記特開昭60−211609号公報に記載され
るようなコイル埋込み型の薄膜磁気ヘッドでは、前述の
ような絶縁層の不良はないものの、やはり、テーパ角を
太き(することにより、今度は導体部に不連続部や、膜
質の劣化を生じることになり、抵抗値が大きくなるとい
う問題が発生する。
るようなコイル埋込み型の薄膜磁気ヘッドでは、前述の
ような絶縁層の不良はないものの、やはり、テーパ角を
太き(することにより、今度は導体部に不連続部や、膜
質の劣化を生じることになり、抵抗値が大きくなるとい
う問題が発生する。
従って、本発明の目的は、上記従来技術の問題点を克服
し、絶縁材の不良による歩留りの低下を防ぎ、導体不良
によるコイル抵抗の増加を防止するコイル形状を有する
薄膜磁気ヘッドを提供することにある。
し、絶縁材の不良による歩留りの低下を防ぎ、導体不良
によるコイル抵抗の増加を防止するコイル形状を有する
薄膜磁気ヘッドを提供することにある。
本発明の他の目的は、コイル幅を一定とした状態でコイ
ル抵抗を低下し、又、絶縁材に影響を及ぼさないコイル
形状で効果的にコイルの低抵抗化を図ることができるコ
イル形状を有する薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供する
こ七にある。
ル抵抗を低下し、又、絶縁材に影響を及ぼさないコイル
形状で効果的にコイルの低抵抗化を図ることができるコ
イル形状を有する薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供する
こ七にある。
上記従来技術の問題点は、いずれも、コイル又は絶縁部
のテーパ角について考慮されていないため、段差上に形
成する材料による段層被覆時に、即ちステップカバー時
に不連続部や膜質の低下を招く点にある。
のテーパ角について考慮されていないため、段差上に形
成する材料による段層被覆時に、即ちステップカバー時
に不連続部や膜質の低下を招く点にある。
従って、上記目的を達成するため、本発明の薄膜磁気ヘ
ッドヘッドは、導体コイルの断面形状を、ゆるいテーパ
一部及び急峻なテーパ一部の谷側面をもつ五角形以上の
多角形構造に形成される。
ッドヘッドは、導体コイルの断面形状を、ゆるいテーパ
一部及び急峻なテーパ一部の谷側面をもつ五角形以上の
多角形構造に形成される。
また、導体コイルの断面形状を、水平中心軸に対して上
下が対称形状で、n+++=が上下に対称なテーパーを
有する多角形状に構成される。
下が対称形状で、n+++=が上下に対称なテーパーを
有する多角形状に構成される。
上記の対称形導体コイルを有する薄膜磁気ヘッドの製造
方法きして、下部磁気コアの形成工程と、その上に第1
の絶縁層を形成する工程さ、この絶縁層に解を形成する
工程と、この篩に、テーパーを付けた下半分の導体コイ
ルを埋込む工程と、その上lこ対称的な形状の上半分の
導体をエツチング等によりバターニングして形成する工
程と、その上lこ第2σJ絶縁層を形成する工程と、ギ
ャップスペーサを形成する工程と、上部磁気コアを形成
する工程とから成っている。
方法きして、下部磁気コアの形成工程と、その上に第1
の絶縁層を形成する工程さ、この絶縁層に解を形成する
工程と、この篩に、テーパーを付けた下半分の導体コイ
ルを埋込む工程と、その上lこ対称的な形状の上半分の
導体をエツチング等によりバターニングして形成する工
程と、その上lこ第2σJ絶縁層を形成する工程と、ギ
ャップスペーサを形成する工程と、上部磁気コアを形成
する工程とから成っている。
上記構成に基づく作用を説明する。
導体コイルの断面形状を、側面にゆるいテーパ一部と急
峻なテーパ一部を有する五角形以上の多角形状としたこ
とiこより、絶縁層及び導体コイルに不連続部が発生し
たり膜質が劣化したりすることが防止される。
峻なテーパ一部を有する五角形以上の多角形状としたこ
とiこより、絶縁層及び導体コイルに不連続部が発生し
たり膜質が劣化したりすることが防止される。
即ち、コイルの周囲8凹む絶縁層は、コイル導体厚と、
その断面形状の示すテーパー角とに依存して、膜質が変
化している。これは、絶縁層形成時lこ、導体との段差
部8覆うステップカバー効果がテーパー角と段差の高さ
により異なり、一般に高さが高くなる程、又テーパー角
が90°に近い程、段差周囲の襖の膜質は劣化し、段差
部にフレハス等の不連続面が生じやすくなるためである
。絶縁層ではこの不良部分から絶縁の不良や剥離等の問
題が生ずる。ある段差部がある場合、これを良好iこカ
バーするためlこは、段差の高さを小さくするか、テー
パー角度をゆるくすることにより達成4される。従って
コイル断面形状を一部急峻にしても、急峻部の高さが小
さければ不連続部や膜質の劣化は生じない。
その断面形状の示すテーパー角とに依存して、膜質が変
化している。これは、絶縁層形成時lこ、導体との段差
部8覆うステップカバー効果がテーパー角と段差の高さ
により異なり、一般に高さが高くなる程、又テーパー角
が90°に近い程、段差周囲の襖の膜質は劣化し、段差
部にフレハス等の不連続面が生じやすくなるためである
。絶縁層ではこの不良部分から絶縁の不良や剥離等の問
題が生ずる。ある段差部がある場合、これを良好iこカ
バーするためlこは、段差の高さを小さくするか、テー
パー角度をゆるくすることにより達成4される。従って
コイル断面形状を一部急峻にしても、急峻部の高さが小
さければ不連続部や膜質の劣化は生じない。
本発明lこよれば、上記のように、急峻なテーパ一部と
ゆるやかなテーパ一部をもつ多段形状にしテーパー角度
の効果が働いて、絶縁層の膜質の劣化やフレバスlこよ
る不連続部の発生はなくなる。
ゆるやかなテーパ一部をもつ多段形状にしテーパー角度
の効果が働いて、絶縁層の膜質の劣化やフレバスlこよ
る不連続部の発生はなくなる。
し力)も、急峻なテーパ一部分を形成していることによ
り、全体をゆるい部分だけで形成した場合に比べて抵抗
値を十分に低くすることができる。
り、全体をゆるい部分だけで形成した場合に比べて抵抗
値を十分に低くすることができる。
また、本発明のように、導体コイルの断面形状を水平軸
に対し対称形とし、従って、側面のテーパーも対称形と
したことによって、テーパー角の効果が働いて絶縁層の
膜質の劣化や不連続部の発生を防止すると共に、対称構
造−こより導体コイルが肉厚となってその抵抗値8を下
することができる0 〔実施例〕 第1図に本発明の第1夾施例を示す。薄膜磁気ヘッドは
非磁性基板1上に形成された下部磁気コア2とギャップ
スペーサ材4を介して形成された上部磁気コア3を含み
、これら上、下磁気コア2゜5により磁気回路を形成し
、上、下部コア間には信号コイル5とその周囲の絶縁I
WJ 6が形成される0磁気コアはパーマロイ、センダ
、スト、非晶質合金等の軟磁性材で形成される。信号コ
イルはアルミ(AI)、銅(Cu)等の比抵抗の小さい
金属で形成され、絶縁層6は5ift Q)ような無機
材料、または、樹脂等の有機材料が使用される。
に対し対称形とし、従って、側面のテーパーも対称形と
したことによって、テーパー角の効果が働いて絶縁層の
膜質の劣化や不連続部の発生を防止すると共に、対称構
造−こより導体コイルが肉厚となってその抵抗値8を下
することができる0 〔実施例〕 第1図に本発明の第1夾施例を示す。薄膜磁気ヘッドは
非磁性基板1上に形成された下部磁気コア2とギャップ
スペーサ材4を介して形成された上部磁気コア3を含み
、これら上、下磁気コア2゜5により磁気回路を形成し
、上、下部コア間には信号コイル5とその周囲の絶縁I
WJ 6が形成される0磁気コアはパーマロイ、センダ
、スト、非晶質合金等の軟磁性材で形成される。信号コ
イルはアルミ(AI)、銅(Cu)等の比抵抗の小さい
金属で形成され、絶縁層6は5ift Q)ような無機
材料、または、樹脂等の有機材料が使用される。
信号コイルの形状は第2図に示す五角形であり、テーパ
ー角はそれぞれOI θ1(0+>θ、)である。
ー角はそれぞれOI θ1(0+>θ、)である。
またコイル厚tfこ対し、θ、の斜面部の厚さはtlで
02部はt、である。
02部はt、である。
θ1は抵抗値を小さくするためできるだけ大きく、また
θ、はフレバスを除くため小さいことが望ましい。本実
施例では、 θ、=70二 02=30゜ である。
θ、はフレバスを除くため小さいことが望ましい。本実
施例では、 θ、=70二 02=30゜ である。
検討の結果
60°≦U、≦90゜
20°≦θ!≦45゜
とすることで最も効果があることが判明した。
同様に、t、は抵抗値力1らは大きいことが望ましく、
フレバス等の対策上は小さいことが望ましい0本実施例
では、tl: t、= 5 : 2であり、検討結果よ
り 」J≦ t、≦ 2 を鵞 の範囲で最も良い結果が得られた。
フレバス等の対策上は小さいことが望ましい0本実施例
では、tl: t、= 5 : 2であり、検討結果よ
り 」J≦ t、≦ 2 を鵞 の範囲で最も良い結果が得られた。
第3図1こ、他のコイル断面形状の実施例を示す。
第3図(a)では上記条件と同様の条件、即ち、60°
≦01乏、90゜ 20°Sθ、≦45゜ h≦t+ > 2 b で最も良い結果が得られた。
≦01乏、90゜ 20°Sθ、≦45゜ h≦t+ > 2 b で最も良い結果が得られた。
第3幽(b)では、
20°≦01≦45゜
60° ≦ θ、シ 900・
一!J≦t、s 2 tl
で最も良い結果が得られた。
本実施例によれば、絶縁層6のコイル周辺部にフレパス
の発生や、膜質の劣化等の、磁気ヘッド性能を低下させ
るような現象を押えることができた。
の発生や、膜質の劣化等の、磁気ヘッド性能を低下させ
るような現象を押えることができた。
第4図に他の実施例を示す0薄膜磁気ヘツドはQ性基板
1上lこ形成された下部磁気コア2とギャップスペーサ
材41信号コイル51絶縁層6を介し形成された上部磁
気コア3から成る。
1上lこ形成された下部磁気コア2とギャップスペーサ
材41信号コイル51絶縁層6を介し形成された上部磁
気コア3から成る。
信号コイル5は、あらかじめ絶縁層6に形成されたコイ
ル断面形状と同形状の害に埋め込み形成されている0θ
、θ!、及び1.11はそれぞれ60°≦θ、≦90゜ 20°≦θ、≦45゜ t、/2≦tI≦2を宜 で最も良い結果となった。
ル断面形状と同形状の害に埋め込み形成されている0θ
、θ!、及び1.11はそれぞれ60°≦θ、≦90゜ 20°≦θ、≦45゜ t、/2≦tI≦2を宜 で最も良い結果となった。
°本実施例では θ1=70° θ、=50゜1+−
11である。
11である。
第5図に他のコイル断面形状の実施例を示す0第5図(
a)では 60°≦θ、≦90゜2G’≦02≦45
゜ t2/2 ≦ を璽≦ 2 を黛 で、 第5図(b)では 20°≦θ、≦45゜60°≦θ
、≦90゜ 山≦t!≦2t。
a)では 60°≦θ、≦90゜2G’≦02≦45
゜ t2/2 ≦ を璽≦ 2 を黛 で、 第5図(b)では 20°≦θ、≦45゜60°≦θ
、≦90゜ 山≦t!≦2t。
でそれぞれ最も効果が得られる0
本実施例によれば、溝内にコイルを形成する場合、導体
材料が安定して形成でき、抵抗値の増加を防ぐことがで
きる。
材料が安定して形成でき、抵抗値の増加を防ぐことがで
きる。
以上の第1図〜第5図の実施例は、いずれもコイル形状
を、ゆるいテーパ一部と急峻なテーパー部とから成る多
角形構造とした場合である。
を、ゆるいテーパ一部と急峻なテーパー部とから成る多
角形構造とした場合である。
次に、第6図〜第8図により、コイル形状を水平中心線
に対して上下対称形とし、かつ、側面に上下対称のテー
パ一部を有する形状とした場合の実施例を説明する。
に対して上下対称形とし、かつ、側面に上下対称のテー
パ一部を有する形状とした場合の実施例を説明する。
第6図は本実施例の断面図である。薄膜磁気ヘッドは、
非磁性基板1上lこ形成された鍔上の下部磁気コア2七
、ギャップスペーサ材4を挾んで形成される上部磁気コ
ア3及び信号コイル5.絶縁層6から成る0 本実施例では信号コイル5は単層構造であり、接層層の
Crと導体部の銅(Cu)から成るCr −Cu −C
rの3層で形成される。上下部コア5はパーマロイ、セ
ンダスト、非晶質合金等の軟磁性膜を用いる。絶縁層6
には5iOtを用いたが、樹脂、PIQ等の有機材料を
用いることもできる。
非磁性基板1上lこ形成された鍔上の下部磁気コア2七
、ギャップスペーサ材4を挾んで形成される上部磁気コ
ア3及び信号コイル5.絶縁層6から成る0 本実施例では信号コイル5は単層構造であり、接層層の
Crと導体部の銅(Cu)から成るCr −Cu −C
rの3層で形成される。上下部コア5はパーマロイ、セ
ンダスト、非晶質合金等の軟磁性膜を用いる。絶縁層6
には5iOtを用いたが、樹脂、PIQ等の有機材料を
用いることもできる。
第7図にコイル断面形状を示す。第7図(a)は、本発
明による実施例、(b)、(e)は、従来例で形状の違
いはコイル形成工程の違いによる。第719(b)また
は(C)の従来コイルと同じコイル幅Wで同じコイル厚
tで同じテーパー角θであれば、本発明によるコイルは
、従来例1こ比べ断面積が太き(なる。
明による実施例、(b)、(e)は、従来例で形状の違
いはコイル形成工程の違いによる。第719(b)また
は(C)の従来コイルと同じコイル幅Wで同じコイル厚
tで同じテーパー角θであれば、本発明によるコイルは
、従来例1こ比べ断面積が太き(なる。
本実施例では、従来例に比べ抵抗は25チ低減できる。
更に絶縁層、導体部のフレパス対策等でテーパ一部をゆ
る(する必要が生じた場合、本発明による効果は更に大
きくなる。
る(する必要が生じた場合、本発明による効果は更に大
きくなる。
製造方法の一実施例8第6図〜第7図の実施例の薄膜磁
気ヘッドの図により説明する。
気ヘッドの図により説明する。
第8図(a)は、非磁性基板1上に下部磁気コアを形成
する軟磁性膜2及び絶縁層6を形成する工程である・下
部コア用磁性膜はCo系非晶質合金をスパッタリングで
形成した。他にパーマロイ、センダスト等を用いること
も可能であり、形成方法も衝f法、めっき法等がある。
する軟磁性膜2及び絶縁層6を形成する工程である・下
部コア用磁性膜はCo系非晶質合金をスパッタリングで
形成した。他にパーマロイ、センダスト等を用いること
も可能であり、形成方法も衝f法、めっき法等がある。
絶縁JI6は、Sio2をスパッタリングで形成した。
(b)は、該絶縁層にコイル埋込用溝6aを形成する工
程である。溝形成にはRIE、イオンエツチング等を用
いる。
程である。溝形成にはRIE、イオンエツチング等を用
いる。
(c)は、該$6afこ信号コイルの一部5a8埋め込
む工程である。埋め込みは、アルミ、鋼等の金属を蒸着
、スパッタ等により全面に形成し、ラップ等を用い不要
部分8敗り除くことによって行なわれる。
む工程である。埋め込みは、アルミ、鋼等の金属を蒸着
、スパッタ等により全面に形成し、ラップ等を用い不要
部分8敗り除くことによって行なわれる。
(d)は埋め込んだ導体5a上に更に導体5bを形成し
バターニングを行なってコイル5を作成する工程である
。パターニングには、イオンエツチング法を用いた。
バターニングを行なってコイル5を作成する工程である
。パターニングには、イオンエツチング法を用いた。
(e)は、形成した信号コイル5上ζこ絶縁膜を形成す
る工程である。絶縁層には(a)と同じ<sio!のス
パッタリング膜を用いた。絶縁膜形成後、エッチバック
法で平坦化を行なうが、ラップあるいは、バイアススパ
ッタリングによる平坦化を用いることも可能である。
る工程である。絶縁層には(a)と同じ<sio!のス
パッタリング膜を用いた。絶縁膜形成後、エッチバック
法で平坦化を行なうが、ラップあるいは、バイアススパ
ッタリングによる平坦化を用いることも可能である。
(f)は、絶縁層6に、上下コア接続用スルホール6b
8形成する工程である。スルホール形成には、イオンエ
ツチング法を用いたが、反応性イオンエツチング(RI
E)法や、湿式エッチでも可能である。
8形成する工程である。スルホール形成には、イオンエ
ツチング法を用いたが、反応性イオンエツチング(RI
E)法や、湿式エッチでも可能である。
次に、ギャップスペーサ材を形成し、上部磁気コアを形
成する。
成する。
第8図の実施例による製造方法によれば低抵抗の信号コ
イル8#造することができる。
イル8#造することができる。
以上詳しく説明したように、本発明の薄膜磁気ヘッドは
、導体コイルの断面形状を、緩急のテーパー角度の異な
る複数の側面をもつ五角形以上の多角形、もしくは、水
平中心軸に対して上下に対称形で側面に上下対称のテー
パーをもつ多角形に構成したので、フレバスの発生や膜
質の劣化のために絶縁不良が生じるおそれはなく、また
、コイルの電気抵抗値が増大するおそれもなく、この種
薄膜磁気ヘッドの性能向上9歩留り向上がもたらされる
等、優れた効果を奏する。
、導体コイルの断面形状を、緩急のテーパー角度の異な
る複数の側面をもつ五角形以上の多角形、もしくは、水
平中心軸に対して上下に対称形で側面に上下対称のテー
パーをもつ多角形に構成したので、フレバスの発生や膜
質の劣化のために絶縁不良が生じるおそれはなく、また
、コイルの電気抵抗値が増大するおそれもなく、この種
薄膜磁気ヘッドの性能向上9歩留り向上がもたらされる
等、優れた効果を奏する。
又、本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法番こよフば、上
記のような上下対称形のテーパー側面を有し低抵抗特性
の導体コイルを持つ薄膜磁気ヘッドを容易に作成できる
効果を奏する。
記のような上下対称形のテーパー側面を有し低抵抗特性
の導体コイルを持つ薄膜磁気ヘッドを容易に作成できる
効果を奏する。
@1図は本発明の薄膜磁気ヘッドの一実施例の断面図、
第2図はコイル断面拡大図、第5図は他(/J形状のコ
イルの断面図、第4図は本発明の薄膜磁気ヘッドの他の
実施例の断面図、第5図はコイル拡大断面図、第6図は
本発明の薄膜磁気ヘッドの更に他の実施例の断面図、第
7図はコイル断面拡大図、第8因は本発明による薄膜磁
気ヘッドの製造方法を示す工程図である。 1・・・非磁性基板 2・・・下部磁気コア5・・
・上部磁気コア 4・・・ギャップスペーサ材 5・・・信号コイル(導体コイル) 6・・・絶縁層 ζ− 乏 \← 躬 図 塞 図 (α) (b) 嶌 斗 口 し ヲ 図 (α) (ν) ム 図 ム し久) (ト) (C) 図 ム
第2図はコイル断面拡大図、第5図は他(/J形状のコ
イルの断面図、第4図は本発明の薄膜磁気ヘッドの他の
実施例の断面図、第5図はコイル拡大断面図、第6図は
本発明の薄膜磁気ヘッドの更に他の実施例の断面図、第
7図はコイル断面拡大図、第8因は本発明による薄膜磁
気ヘッドの製造方法を示す工程図である。 1・・・非磁性基板 2・・・下部磁気コア5・・
・上部磁気コア 4・・・ギャップスペーサ材 5・・・信号コイル(導体コイル) 6・・・絶縁層 ζ− 乏 \← 躬 図 塞 図 (α) (b) 嶌 斗 口 し ヲ 図 (α) (ν) ム 図 ム し久) (ト) (C) 図 ム
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、下部磁気コア、単層または複数層の導体コイルと該
導体コイル間及び上・下磁気コアとの間の絶縁をする絶
縁層、並びに、上部磁気コアを順に積層形成してなる薄
膜磁気ヘッドにおいて、前記導体コイルの断面形状を、
テーパー角度の異なる複数の側面を有する五角形以上の
多角形状としたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 2、下部磁気コア、単層または複数層の導体コイルと該
導体コイル間及び上・下磁気コアとの間の絶縁をする絶
縁層、並びに、上部磁気コアを順に積層形成してなる薄
膜磁気ヘッドにおいて、前記導体コイルの断面形状を、
側面にテーパーが付けられ、かつ、水平中心軸に対して
上下が略対称形である多角形状としたことを特徴とする
薄膜磁気ヘッド。 3、前記導体コイルが、絶縁層内に埋め込み形成される
略下半分の導体と、該下半分の導体上に形成される路上
半分の導体とから成ることを特徴とする請求項2記載の
薄膜磁気ヘッド。 4、下部磁気コアを形成する工程と、導体コイル及び絶
縁層を形成する工程と、ギャップスペーサ材形成工程と
、上部磁気コアを形成する工程とから成る薄膜磁気ヘッ
ドの製造方法において、前記導体コイル及び絶縁層を形
成する工程は、前記下部磁気コア上に第1の絶縁層を形
成する工程と、前記第1の絶縁層に溝を形成する工程と
、前記溝に側面にテーパーを付けた下半分の導体を埋め
込み形成する工程と、前記下半分の導体上にこれとは水
平中心線に対して対称的な形状の上半分の導体をパター
ニングにより形成する工程と、その上に第2の絶縁層を
形成する工程とから成ることを特徴とする請求項3記載
の薄膜磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16251888A JPH0214417A (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16251888A JPH0214417A (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0214417A true JPH0214417A (ja) | 1990-01-18 |
Family
ID=15756145
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16251888A Pending JPH0214417A (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0214417A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6152118A (en) * | 1998-06-22 | 2000-11-28 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Internal combustion engine |
US6204997B1 (en) | 1998-05-19 | 2001-03-20 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head with a plurality of engaged thin-film coils and method of manufacturing the same |
JP2008016086A (ja) * | 2006-07-03 | 2008-01-24 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体および磁気記録装置 |
CN109243760A (zh) * | 2017-07-10 | 2019-01-18 | 株式会社村田制作所 | 线圈部件 |
JP2019016727A (ja) * | 2017-07-10 | 2019-01-31 | 株式会社村田製作所 | コイル部品 |
-
1988
- 1988-07-01 JP JP16251888A patent/JPH0214417A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6204997B1 (en) | 1998-05-19 | 2001-03-20 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head with a plurality of engaged thin-film coils and method of manufacturing the same |
US6152118A (en) * | 1998-06-22 | 2000-11-28 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Internal combustion engine |
JP2008016086A (ja) * | 2006-07-03 | 2008-01-24 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体および磁気記録装置 |
JP4599328B2 (ja) * | 2006-07-03 | 2010-12-15 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体 |
US7983004B2 (en) | 2006-07-03 | 2011-07-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording medium with magnetic film pattern sidewalls having at least two faces of different slope angles and magnetic recording apparatus having the same |
CN109243760A (zh) * | 2017-07-10 | 2019-01-18 | 株式会社村田制作所 | 线圈部件 |
JP2019016727A (ja) * | 2017-07-10 | 2019-01-31 | 株式会社村田製作所 | コイル部品 |
JP2019016726A (ja) * | 2017-07-10 | 2019-01-31 | 株式会社村田製作所 | コイル部品 |
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