JPH02141703A - カラーフィルターの製造方法 - Google Patents
カラーフィルターの製造方法Info
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- JPH02141703A JPH02141703A JP63294677A JP29467788A JPH02141703A JP H02141703 A JPH02141703 A JP H02141703A JP 63294677 A JP63294677 A JP 63294677A JP 29467788 A JP29467788 A JP 29467788A JP H02141703 A JPH02141703 A JP H02141703A
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Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は液晶カラー表示パネルのカラーフィルターの
製造方法に関する。
製造方法に関する。
従来液晶用カラーフィルターの製造においては、ガラス
等の透明なフィルター基板上に複数個の色分離層を所定
間隔を持たせて配列形成後、個々のカラーフィルターに
分割することが一般的に行われている。そして、個々の
カラーフィルターに分割する際には、色分離層を形成し
たガラスなどで作られたフィルター基板を加工台の上に
固着材で固定した状態で、上部からガラス切りあるいは
プレイグー、ダイシング等の切断機などによって任意の
寸法に切断加工するものであった。しかしこの従来の製
造方法によれば、プレイグー、ダイシング等の切断方法
はあまり大きなサイズの被切断体を切断することはでき
ないし、切断スピードも遅い、という欠点を有していた
。一方スクライブ切断方法は、大サイズの被切断体を切
断することが可能であり、しかも切断スピードはブレイ
ク−ダイシングに比べ遥かに速いという長所を有するが
、反面切断の際の切屑の発生が多く切断面にカケを生じ
させるため、精密な加工が求められるカラーフィルター
の製造には適さなかった。
等の透明なフィルター基板上に複数個の色分離層を所定
間隔を持たせて配列形成後、個々のカラーフィルターに
分割することが一般的に行われている。そして、個々の
カラーフィルターに分割する際には、色分離層を形成し
たガラスなどで作られたフィルター基板を加工台の上に
固着材で固定した状態で、上部からガラス切りあるいは
プレイグー、ダイシング等の切断機などによって任意の
寸法に切断加工するものであった。しかしこの従来の製
造方法によれば、プレイグー、ダイシング等の切断方法
はあまり大きなサイズの被切断体を切断することはでき
ないし、切断スピードも遅い、という欠点を有していた
。一方スクライブ切断方法は、大サイズの被切断体を切
断することが可能であり、しかも切断スピードはブレイ
ク−ダイシングに比べ遥かに速いという長所を有するが
、反面切断の際の切屑の発生が多く切断面にカケを生じ
させるため、精密な加工が求められるカラーフィルター
の製造には適さなかった。
この発明の目的は、透明基板上に所定数の色分離層を所
定間隔を持たせて配列形成後、該基板を上記間隔部で分
割するカラーフィルターの製造方法において、上記従来
の欠点を解決し、大サイズの被切断体の切断が可能であ
るスクライブ切断方法を用いて迅速に、色分離フィルタ
ーを傷つけることなく、又基板に切断によるクラック等
のキズの発生が少な(、加工歩留まりの高いカラーフィ
ルターの製造方法を提供することである。
定間隔を持たせて配列形成後、該基板を上記間隔部で分
割するカラーフィルターの製造方法において、上記従来
の欠点を解決し、大サイズの被切断体の切断が可能であ
るスクライブ切断方法を用いて迅速に、色分離フィルタ
ーを傷つけることなく、又基板に切断によるクラック等
のキズの発生が少な(、加工歩留まりの高いカラーフィ
ルターの製造方法を提供することである。
この発明は、透明基板上に所定数の色分離層を所定間隔
を持たせて配列形成後、該基板を前記間隔部で分゛割す
るカラーフィルターの製造方法において、該基板の上面
及び下面に樹脂層を形成し、更に下面樹脂層下面に延伸
可能な樹脂フィルムを貼着し、前記透明基板上に設けた
切断線上に前記上面樹脂層表面から、スクライブ切断方
法により少なくとも前記透明基板の途中まで達する切溝
を入れ、該切溝に沿って前記透明基板をブレイクして個
々のカラーフィルターに分割した後、前記透明基板の側
面を研磨し、次いで該透明基板の上面及び下面の角部を
研磨して面取りを行い、さらに該透明基板の各コーナー
部を研磨して面取りを行った後、前記上下面樹脂層を除
去することを特徴とするカラーフィルターの製造方法に
関するものである。前記透明基板としては厚さ1.1+
++n+のガラスなどが一般的に用いられる。
を持たせて配列形成後、該基板を前記間隔部で分゛割す
るカラーフィルターの製造方法において、該基板の上面
及び下面に樹脂層を形成し、更に下面樹脂層下面に延伸
可能な樹脂フィルムを貼着し、前記透明基板上に設けた
切断線上に前記上面樹脂層表面から、スクライブ切断方
法により少なくとも前記透明基板の途中まで達する切溝
を入れ、該切溝に沿って前記透明基板をブレイクして個
々のカラーフィルターに分割した後、前記透明基板の側
面を研磨し、次いで該透明基板の上面及び下面の角部を
研磨して面取りを行い、さらに該透明基板の各コーナー
部を研磨して面取りを行った後、前記上下面樹脂層を除
去することを特徴とするカラーフィルターの製造方法に
関するものである。前記透明基板としては厚さ1.1+
++n+のガラスなどが一般的に用いられる。
切断線は、透明基板上にCr、A1等の蒸着膜により所
定パターンに形成することができ、線状のもの、マーク
状のものなど任意に用いられる。
定パターンに形成することができ、線状のもの、マーク
状のものなど任意に用いられる。
色分離層の形状としては正方形ないし長方形のものが一
般的であり、これら−色分離層は前記透明基板上の上記
切断線に囲まれた表面領域内に、所定数、互いに2〜5
+mhの間隔を持たせて形成される。上面及び下面樹脂
層は、塩化ビニール、酢酸ビニル共重合体系樹脂、ポリ
スチレン系樹脂、アクリル系樹脂、塩化ビニル系樹脂等
からなる樹脂を、スピナー、ロールコータ−等により厚
さ5〜30μmに塗布して形成される。
般的であり、これら−色分離層は前記透明基板上の上記
切断線に囲まれた表面領域内に、所定数、互いに2〜5
+mhの間隔を持たせて形成される。上面及び下面樹脂
層は、塩化ビニール、酢酸ビニル共重合体系樹脂、ポリ
スチレン系樹脂、アクリル系樹脂、塩化ビニル系樹脂等
からなる樹脂を、スピナー、ロールコータ−等により厚
さ5〜30μmに塗布して形成される。
下面樹脂層下面に貼着される延伸可能な樹脂フィルムと
しては、日東電工社製S P V−224,362E等
がある。
しては、日東電工社製S P V−224,362E等
がある。
前記透明基板上に設けた切断線上に前記上面樹脂層表面
からスクライブ切断方法により、該透明基板の厚みの少
なくとも50μmまでの切溝を入れる。
からスクライブ切断方法により、該透明基板の厚みの少
なくとも50μmまでの切溝を入れる。
透明基板の側面は巾100〜200tImにわたり研磨
される。又透明基板の上面の角部の面取り巾は、50〜
200μm、同じく下面の角部の面取り巾は、100〜
300μm、同じく各コーナー部の面取り巾は、100
〜300μmである。
される。又透明基板の上面の角部の面取り巾は、50〜
200μm、同じく下面の角部の面取り巾は、100〜
300μm、同じく各コーナー部の面取り巾は、100
〜300μmである。
最後に上下樹脂層をトリクロロエタン、トリクロロエチ
レン、ジクロロエチレン等の溶剤によりt容解。
レン、ジクロロエチレン等の溶剤によりt容解。
色分離フィルターには無機材料によるグイクロックフィ
ルターと有機フィルターとがあるが、−般にはコスト、
精度等の点から有機フィルターが広く用いられている。
ルターと有機フィルターとがあるが、−般にはコスト、
精度等の点から有機フィルターが広く用いられている。
しかし、有機フィルターはキズがつきやすいので特に本
発明の製造方法に用いられる切断方法が有効である。
発明の製造方法に用いられる切断方法が有効である。
液晶表示パネル用カラーフィルターは、対角数インチか
ら十数インチまでのサイズであり、他方カラーフィルタ
ー製造用に用いられるガラスなどの透明基板は300c
mロ〜400cmロ程度の大きさで、−枚の透明基板に
多数個のカラーフィルターを配置して形成し、個々のフ
ィルターに分割切断されるものである。
ら十数インチまでのサイズであり、他方カラーフィルタ
ー製造用に用いられるガラスなどの透明基板は300c
mロ〜400cmロ程度の大きさで、−枚の透明基板に
多数個のカラーフィルターを配置して形成し、個々のフ
ィルターに分割切断されるものである。
なお本発明に用いられるスクライブ切断用装置とは、「
■板状の被切断体を真空吸着により固定するチャック台
。■位置合わせ装置とモニターからなるアラインメント
スコープ。■ガラスカッター。」の各部からなり、アラ
インメントスコープで被切断体の切断線にカッターを合
わせた後、カッターを移動させて切り溝を付け、次いで
チャック台を回転させることにより切り溝の方向を変更
できるように構成されている。このスクライブ切断方法
は大サイズの被切断体を切断することが可能であり、し
かも切断スピードが速いという長所を有している。
■板状の被切断体を真空吸着により固定するチャック台
。■位置合わせ装置とモニターからなるアラインメント
スコープ。■ガラスカッター。」の各部からなり、アラ
インメントスコープで被切断体の切断線にカッターを合
わせた後、カッターを移動させて切り溝を付け、次いで
チャック台を回転させることにより切り溝の方向を変更
できるように構成されている。このスクライブ切断方法
は大サイズの被切断体を切断することが可能であり、し
かも切断スピードが速いという長所を有している。
以下にこの発明のカラーフィルターの製造方法に関する
実施例について詳述する。
実施例について詳述する。
第1図、第2図に示すように透明なガラス基板1(コー
ニング7059.350馴口、1.1mm厚)にクロム
の蒸着膜により所定パターンの切断用線3を形成し、該
切断線に囲まれた表面領域内に、重クロム酸塩により感
光性としたゼラチンを回転塗布法により塗布し、所定の
マスクを介して露光し現像した後、ゼラチンを赤色酸性
染料により染色する。この上に中間層として熱硬化性ア
クリル樹脂を回転塗布法で0.1μm塗布形成する。第
1色と同様のプロセスで第2色目の緑、第3色目の青も
形成し、三層よりなる長方形状の色分離層2を互いに5
mraの巾の間隔を持たせて配列形成する。
ニング7059.350馴口、1.1mm厚)にクロム
の蒸着膜により所定パターンの切断用線3を形成し、該
切断線に囲まれた表面領域内に、重クロム酸塩により感
光性としたゼラチンを回転塗布法により塗布し、所定の
マスクを介して露光し現像した後、ゼラチンを赤色酸性
染料により染色する。この上に中間層として熱硬化性ア
クリル樹脂を回転塗布法で0.1μm塗布形成する。第
1色と同様のプロセスで第2色目の緑、第3色目の青も
形成し、三層よりなる長方形状の色分離層2を互いに5
mraの巾の間隔を持たせて配列形成する。
次にガラス基板1の上の着色層からなる色分離層2側の
全面に、塩化酢酸ビニル共重合体系樹脂からなる厚さ2
0μmの上面樹脂層を、気泡、異物等が混入しないよう
にしてスピンコード法により塗布形成する。塗布後該樹
脂の乾燥のためには必要に応じてオーブン等を用いても
よい。さらにガラス基板の下面に、上面樹脂層の形成と
同様にして厚さ10μmの下面樹脂層4′を形成する。
全面に、塩化酢酸ビニル共重合体系樹脂からなる厚さ2
0μmの上面樹脂層を、気泡、異物等が混入しないよう
にしてスピンコード法により塗布形成する。塗布後該樹
脂の乾燥のためには必要に応じてオーブン等を用いても
よい。さらにガラス基板の下面に、上面樹脂層の形成と
同様にして厚さ10μmの下面樹脂層4′を形成する。
下面樹脂層の形成には上面樹脂層と同様の樹脂を用いる
ことができる。さらに下面樹脂層4′の下面に厚さ0.
1胴の塩化ビニルフィルム(S P V−224,日東
電工型)5を貼り合わせてカラーフィルター原板10を
得る。
ことができる。さらに下面樹脂層4′の下面に厚さ0.
1胴の塩化ビニルフィルム(S P V−224,日東
電工型)5を貼り合わせてカラーフィルター原板10を
得る。
次に第3図に示すように、カラーフィルター原板10を
樹脂フィルム5面を下にして、スクライブ切断装置のチ
ャック台に真空チャックし、原板10に形成した切断線
3に沿って透明基板に深さ50μmの切溝6を入れる。
樹脂フィルム5面を下にして、スクライブ切断装置のチ
ャック台に真空チャックし、原板10に形成した切断線
3に沿って透明基板に深さ50μmの切溝6を入れる。
次いで該切溝6に沿ってカラーフィルター原板10をブ
レイクし、ブレイクした後に樹脂フィルム5を剥離する
。
レイクし、ブレイクした後に樹脂フィルム5を剥離する
。
スクライブ切断方法により切断したガラス基板1の切断
面には細かいカケ(チッピング)が生じるが、このチッ
ピングを除去するためガラス基板1の側面7を回転砥石
により150μm巾に研磨する。この研磨によりガラス
基板1側面の凹凸を低減することができる。
面には細かいカケ(チッピング)が生じるが、このチッ
ピングを除去するためガラス基板1の側面7を回転砥石
により150μm巾に研磨する。この研磨によりガラス
基板1側面の凹凸を低減することができる。
次に第4図に示すように、ガラス基板1の上面の角部8
を150μm巾に、同じく下面角部を250μm巾に、
それぞれ回転砥石により研磨し、面取りする。
を150μm巾に、同じく下面角部を250μm巾に、
それぞれ回転砥石により研磨し、面取りする。
次いで第5図に示すように、ガラス基板1の各コーナー
部9を回転砥石により300am巾に研磨し面取りする
。
部9を回転砥石により300am巾に研磨し面取りする
。
最後に、前記上面及び下面の樹脂層4,4′をトリクロ
ロエチレンにより除去してカラーフィルター完成品を得
る。
ロエチレンにより除去してカラーフィルター完成品を得
る。
なお上記の方法により切断加工したカラーフィルターを
保管、管理する場合には、上面及び下面の樹脂層4.4
′をつけたままの状態で保管し、カラーフィルターの完
成品が必要となった時点で、前記上面、下面樹脂層4,
4′を除去するようにすれば、保管中も色分離フィルタ
ー2は樹脂層に保護されているので、フィルター面にキ
ズをつける恐れがなく品質管理の面で有利である。
保管、管理する場合には、上面及び下面の樹脂層4.4
′をつけたままの状態で保管し、カラーフィルターの完
成品が必要となった時点で、前記上面、下面樹脂層4,
4′を除去するようにすれば、保管中も色分離フィルタ
ー2は樹脂層に保護されているので、フィルター面にキ
ズをつける恐れがなく品質管理の面で有利である。
本発明の方法においては、被切断体のフィルター基板の
表面を樹脂層で覆い、かつ下面樹脂層の下面に樹脂フィ
ルムを貼着したことにより、色分離層を保護し、かつガ
ラス基板のクラックやカケを防止できるので、スクライ
ブ切断方法を用いても、基板に切断によるキズの発生が
少なく加工歩留まりを高くすることができた。また本発
明の方法においては、フィルター面壱樹脂層で保護して
いるので、加工後のフィルターの保存の面においても取
扱いが容易である。
表面を樹脂層で覆い、かつ下面樹脂層の下面に樹脂フィ
ルムを貼着したことにより、色分離層を保護し、かつガ
ラス基板のクラックやカケを防止できるので、スクライ
ブ切断方法を用いても、基板に切断によるキズの発生が
少なく加工歩留まりを高くすることができた。また本発
明の方法においては、フィルター面壱樹脂層で保護して
いるので、加工後のフィルターの保存の面においても取
扱いが容易である。
以上述べたように、この発明のカラーフィルターの製造
方法によれば、透明基板上に色分離層を形成した後、該
基板の上下面に樹脂層を形成し、さらに該下面樹脂層の
下面に樹脂フィルムを貼着して得たフィルター原板を、
スクライブ切断方法により切断することにより、他の切
断方法を併用することなく、大サイズの基板から多数の
カラーフィルターの効率よく製造でき、又前記基板の上
下面に形成した樹脂層により色分離フィルター面を傷つ
けることがなく、さらに前記下面樹脂層の下面に貼着し
た樹脂フィルムにより、基板を切断装置へ固定する際、
ガラス破片等によりキズがつくのを防止できるから、簡
単なプロセスで、短時間に、安いコストで、しかも歩留
まりの高いカラーフィルターを製造できる、という大き
な効果を得ることができる。
方法によれば、透明基板上に色分離層を形成した後、該
基板の上下面に樹脂層を形成し、さらに該下面樹脂層の
下面に樹脂フィルムを貼着して得たフィルター原板を、
スクライブ切断方法により切断することにより、他の切
断方法を併用することなく、大サイズの基板から多数の
カラーフィルターの効率よく製造でき、又前記基板の上
下面に形成した樹脂層により色分離フィルター面を傷つ
けることがなく、さらに前記下面樹脂層の下面に貼着し
た樹脂フィルムにより、基板を切断装置へ固定する際、
ガラス破片等によりキズがつくのを防止できるから、簡
単なプロセスで、短時間に、安いコストで、しかも歩留
まりの高いカラーフィルターを製造できる、という大き
な効果を得ることができる。
第1図はカラーフィルターの切断線、色分離層、を形成
した透明基板の断面図、第2図は切断線、色分離層、上
面及び下面樹脂層、及び樹脂フィルム層が形成されたカ
ラーフィルター原板の断面図、第3図はスクライブ切断
による切溝が施されたカラーフィルター原板の断面図、
第4図は基板の上下面角部及び各コーナー部を面取りし
た後のカラーフィルターの部分断面図、第5図はカラー
フィルターの平面図である。 1・・・ガラス基板、2・・・色分離層、3・・・切断
線、4.4′・・・上面及び下面樹脂層、5・・・樹脂
フィルム、6・・・スクライブ切断による切溝、7・・
・ガラス基板側面、8,8′・・・ガラス基板の上面及
び下面の角部、9・・・ガラス基板のコーナー部、10
・・・カラーフィルター原板
した透明基板の断面図、第2図は切断線、色分離層、上
面及び下面樹脂層、及び樹脂フィルム層が形成されたカ
ラーフィルター原板の断面図、第3図はスクライブ切断
による切溝が施されたカラーフィルター原板の断面図、
第4図は基板の上下面角部及び各コーナー部を面取りし
た後のカラーフィルターの部分断面図、第5図はカラー
フィルターの平面図である。 1・・・ガラス基板、2・・・色分離層、3・・・切断
線、4.4′・・・上面及び下面樹脂層、5・・・樹脂
フィルム、6・・・スクライブ切断による切溝、7・・
・ガラス基板側面、8,8′・・・ガラス基板の上面及
び下面の角部、9・・・ガラス基板のコーナー部、10
・・・カラーフィルター原板
Claims (6)
- (1)透明基板上に所定数の色分離層を所定間隔を持た
せて配列形成後、該基板を前記間隔部で分割するカラー
フィルターの製造方法において、該基板の上面及び下面
に樹脂層を形成し、前記カラーフィルター上に設けた切
断線上に前記上面樹脂層表面から、スクライブ切断方法
により少なくとも前記透明基板の途中まで達する切溝を
入れ、切溝に沿って前記透明基板をブレイクして個々の
カラーフィルターに分割することを特徴とするカラーフ
ィルターの製造方法。 - (2)請求項1記載のカラーフィルターの製造方法にお
いて、前記透明基板をブレイクして個々のカラーフィル
ターに分割した後、前記透明基板の側面を研磨すること
を特徴とするカラーフィルターの製造方法。 - (3)請求項2記載のカラーフィルターの製造方法にお
いて、前記透明基板の側面を研磨した後、該透明基板の
上面及び下面の角部を研磨して面取りを行うことを特徴
とするカラーフィルターの製造方法。 - (4)請求項3記載のカラーフィルターの製造方法にお
いて、前記透明基板の上面及び下面の角部を研磨して面
取りを行った後、前記透明基板の各コーナー部を研磨し
て面取りを行うことを特徴とするカラーフィルターの製
造方法。 - (5)請求項4記載のカラーフィルターの製造方法にお
いて、前記透明基板の各コーナー部を研磨して面取りを
行った後、前記上下樹脂層を除去することを特徴とする
カラーフィルターの製造方法。 - (6)請求項1、2、3、4及び5記載のカラーフィル
ターの製造方法において、前記下面樹脂層下面に延伸可
能な樹脂フィルムを貼着したことを特徴とするカラーフ
ィルターの製造方法。
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JP29467788A JP2786865B2 (ja) | 1988-11-24 | 1988-11-24 | カラーフィルターの製造方法 |
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ID=17810876
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