JPH02137053U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02137053U JPH02137053U JP1989043098U JP4309889U JPH02137053U JP H02137053 U JPH02137053 U JP H02137053U JP 1989043098 U JP1989043098 U JP 1989043098U JP 4309889 U JP4309889 U JP 4309889U JP H02137053 U JPH02137053 U JP H02137053U
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- JP
- Japan
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- insulating layer
- electrode
- gate insulating
- gate
- gate electrode
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims 1
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Landscapes
- Thin Film Transistor (AREA)
Description
第１図は本考案に係る薄膜トランジスタの一実
施例を示す断面図、第２図はそのＶＧ−ＩＤ特性
を示す図、第３図は薄膜トランジスタを示す断面
図、第４図はそのＶＧ−ＩＤ特性を示す図である
。 １１…絶縁基板、１２…ゲート電極、１３…ゲ
ート絶縁層、１３ａ…シリコン窒化膜、１３ｂ…
アモルフアス・シリコン、１４…半導体層、１５
…オーミツク構成層、１６…ソース電極、１７…
ドレイン電極。
施例を示す断面図、第２図はそのＶＧ−ＩＤ特性
を示す図、第３図は薄膜トランジスタを示す断面
図、第４図はそのＶＧ−ＩＤ特性を示す図である
。 １１…絶縁基板、１２…ゲート電極、１３…ゲ
ート絶縁層、１３ａ…シリコン窒化膜、１３ｂ…
アモルフアス・シリコン、１４…半導体層、１５
…オーミツク構成層、１６…ソース電極、１７…
ドレイン電極。
Claims (1)
- ゲート電極と、このゲート電極を絶縁被覆する
ゲート絶縁層と、このゲート絶縁層を挟んで前記
ゲート電極と対向した半導体層と、この半導体層
と電気的に接続したソース電極およびドレイン電
極とを有する薄膜トランジスタにおいて、前記ゲ
ート絶縁層を絶縁体と半導体とを交互に積層した
複層構造としたことを特徴とする薄膜トランジス
タ。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989043098U JPH02137053U (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | |
| DE89120014T DE68912071T2 (de) | 1988-10-28 | 1989-10-27 | Dünnfilm-Transistor mit einer Speicherfunktion und Verfahren zur Verwendung eines Dünnfilmtransistors als Speicherelement. |
| EP89120014A EP0366146B1 (en) | 1988-10-28 | 1989-10-27 | Thin film transistor having memory function and method for using thin film transistor as memory element |
| CA002001682A CA2001682C (en) | 1988-10-28 | 1989-10-27 | Thin film transistor having memory function and method for using thin film transistor as memory element |
| KR1019890015604A KR930003556B1 (ko) | 1988-10-28 | 1989-10-28 | 메모리 트랜지스터 시스템 |
| US07/668,741 US5196912A (en) | 1988-10-28 | 1991-03-13 | Thin film transistor having memory function and method for using thin film transistor as memory element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989043098U JPH02137053U (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02137053U true JPH02137053U (ja) | 1990-11-15 |
Family
ID=31555224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989043098U Pending JPH02137053U (ja) | 1988-10-28 | 1989-04-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02137053U (ja) |
-
1989
- 1989-04-14 JP JP1989043098U patent/JPH02137053U/ja active Pending