JPH02135141U - - Google Patents
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JP4469689U JPH0746437Y2 (ja) | 1989-04-17 | 1989-04-17 | 静電チャック |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP4469689U JPH0746437Y2 (ja) | 1989-04-17 | 1989-04-17 | 静電チャック |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH02135141U true JPH02135141U (de) | 1990-11-09 |
JPH0746437Y2 JPH0746437Y2 (ja) | 1995-10-25 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP4469689U Expired - Lifetime JPH0746437Y2 (ja) | 1989-04-17 | 1989-04-17 | 静電チャック |
Country Status (1)
Country | Link |
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- 1989-04-17 JP JP4469689U patent/JPH0746437Y2/ja not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPH0746437Y2 (ja) | 1995-10-25 |
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