JPH02134885A - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
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- JPH02134885A JPH02134885A JP28936488A JP28936488A JPH02134885A JP H02134885 A JPH02134885 A JP H02134885A JP 28936488 A JP28936488 A JP 28936488A JP 28936488 A JP28936488 A JP 28936488A JP H02134885 A JPH02134885 A JP H02134885A
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- Japan
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- gas
- laser
- refrigerant
- heat exchanger
- laser oscillator
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 6
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
乙の発明は、レーザ発振器のレーザガスを冷却する装置
に関する。
に関する。
レーザガスを放電によって励起し誘導放出によってレー
ザ光を出力する従来のレーザ発振器は、レーザガスを冷
却するための冷却装置を備えている。このような従来の
冷却装置には例えば特開昭６０−２５４６８４号公報の
技術が存在する。すなわち第３図に示すように、２つの
放電電極１の間で放電がおこなわれ、この２つの放電電
極１の間にはレーザガス２がブロア３によって循環され
ている。前記放電によって励起されたレーザガス２は誘
導放出の現象によってレーザ光を出力する。 出力されたレーザ光４は、レーザ光を反射する一対の反
射手段５によって反復通過させられて増幅される。増幅
されたレーザ光は図中矢印６の方向に出力される。 前記レーザガス２はブロア３によって図中矢印７の方向
に流れるが、放電電極１０間において放電によって励起
される際に温度が上昇する。レーザガス２は温度が上昇
するとレーザ光４に対する吸収率が増大し、レーザ光４
の出力は低下する。 従って、レーザ光４の出力を低下させないように、レー
ザガス２は循環しながら熱交換器８によって冷却される
。 第４図に前記熱交換器８の冷却系統を示す。すなわち、
レーザ発振器本体９内の熱交換器８はポンプ１０によっ
て循環されている冷水１１が出入りしている。この冷水
１１は別の熱交換器１２の部分において、フロンガス系
冷媒１３により熱交換され冷却される。前記冷媒１３ば
圧ｍ機１４を通って循環しており、この圧縮機１４によ
って圧縮された前記冷媒１３が気化する際の吸熱反応を
利用して前記冷水１１の冷却がおこなわれるものである
。また、乙の圧縮によって生じた熱はもう１つの熱交換
＠１５において他の冷却水１６により奪われ外部へ放出
される。
ザ光を出力する従来のレーザ発振器は、レーザガスを冷
却するための冷却装置を備えている。このような従来の
冷却装置には例えば特開昭６０−２５４６８４号公報の
技術が存在する。すなわち第３図に示すように、２つの
放電電極１の間で放電がおこなわれ、この２つの放電電
極１の間にはレーザガス２がブロア３によって循環され
ている。前記放電によって励起されたレーザガス２は誘
導放出の現象によってレーザ光を出力する。 出力されたレーザ光４は、レーザ光を反射する一対の反
射手段５によって反復通過させられて増幅される。増幅
されたレーザ光は図中矢印６の方向に出力される。 前記レーザガス２はブロア３によって図中矢印７の方向
に流れるが、放電電極１０間において放電によって励起
される際に温度が上昇する。レーザガス２は温度が上昇
するとレーザ光４に対する吸収率が増大し、レーザ光４
の出力は低下する。 従って、レーザ光４の出力を低下させないように、レー
ザガス２は循環しながら熱交換器８によって冷却される
。 第４図に前記熱交換器８の冷却系統を示す。すなわち、
レーザ発振器本体９内の熱交換器８はポンプ１０によっ
て循環されている冷水１１が出入りしている。この冷水
１１は別の熱交換器１２の部分において、フロンガス系
冷媒１３により熱交換され冷却される。前記冷媒１３ば
圧ｍ機１４を通って循環しており、この圧縮機１４によ
って圧縮された前記冷媒１３が気化する際の吸熱反応を
利用して前記冷水１１の冷却がおこなわれるものである
。また、乙の圧縮によって生じた熱はもう１つの熱交換
＠１５において他の冷却水１６により奪われ外部へ放出
される。
以上説明した従来のレーザ発振器においては、レーザガ
スの冷却が冷水１１及び冷媒１３を介しておこなわれて
おり、少なくとも循環路が２つ必要であり装置が複雑と
なっていた。 また２つの循環路が直列状態となっており冷却効率が悪
いものとなっていた。 この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、装置の構造を簡略化し、冷却効率を向上でき
るレーザ発振器を得ることを目的とする。
スの冷却が冷水１１及び冷媒１３を介しておこなわれて
おり、少なくとも循環路が２つ必要であり装置が複雑と
なっていた。 また２つの循環路が直列状態となっており冷却効率が悪
いものとなっていた。 この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、装置の構造を簡略化し、冷却効率を向上でき
るレーザ発振器を得ることを目的とする。
この発明は、レーザガスを放電によって励起し誘導放出
によってレーザ光を出力するレーザ発振器において、対
向する一対の電極と、該電極間にレーザガスを循環させ
るブロワと、レーザガス冷却のための熱交換器と、該熱
交換器において気化し吸熱反応を生じる冷媒を循環させ
る循環路と、循環路の途中に設けられた圧縮機と、循環
路の途中に設けられ前記圧縮によって生じた熱を外部へ
放熱するための放熱手段とを備えたレーザ発振器である
。
によってレーザ光を出力するレーザ発振器において、対
向する一対の電極と、該電極間にレーザガスを循環させ
るブロワと、レーザガス冷却のための熱交換器と、該熱
交換器において気化し吸熱反応を生じる冷媒を循環させ
る循環路と、循環路の途中に設けられた圧縮機と、循環
路の途中に設けられ前記圧縮によって生じた熱を外部へ
放熱するための放熱手段とを備えたレーザ発振器である
。
以上の構成とすることにより、従来に比べ冷水の循環路
を省略することができ、装置を簡略化できる。また、フ
ロンガス系などの冷媒を使ってレーザ発振器の熱交換器
を直接冷却できるので冷却効率を向上することができる
。
を省略することができ、装置を簡略化できる。また、フ
ロンガス系などの冷媒を使ってレーザ発振器の熱交換器
を直接冷却できるので冷却効率を向上することができる
。
以下、この発明の一実施例に係るレーザ発振器のうち冷
却装置のみを第１図に示す。この図は前記従来例の第４
図に対応するものである。またレーザ発振器本体は従来
例を示す第３図と同様であるので重複説明を省略する。 レーザ発振器の本体９に設けられる熱交換器８には、フ
ロンガス系等の冷媒１３を循環させる循環路２１が接続
されている。この冷媒１３は熱交換器８において気化し
吸熱反応を生じるものである。この循環路２１の途中に
は圧縮機１４が設けられ、この圧縮機１４によって冷媒
１３の循環と圧縮が行われる。また、この循環路２１の
途中には上記冷媒を冷却させる放熱手段である他の熱交
換＠１２が設けられており、前記圧縮によって生じた冷
媒１３の熱を放出するようになっている。 この熱交換器１２へは外部からの冷却水１６が出入りし
ている。 以下、本実施例の作用について説明する。冷媒１３は圧
縮機１４により圧縮されて高温ガスとなり、放熱手段で
ある熱交換器１２において放熱し、液体となる。この液
体の冷媒１３はレーザ発振器の本体９内に設けられた熱
交換器８において気化し吸熱反応を起こして前記レーザ
ガス２の冷却を行う。この気化により再び気体となった
冷媒１３は圧ｍ機１４へ送られる。このようにしてレー
ザガスの冷却を、冷媒１３の液体から気体への相変化を
利用して直接に行うので、冷却効率が高くなる。また従
来のようにレーザ発振器内部に冷水を通す必要がなく、
また冷水の循環路も不要となり、装置が簡略化できる。 尚、前記実施例においては、冷媒１３の冷却に外部から
の冷却水１６を用いたが、他の実施例においては第２図
に示すように外気を用いてもよい。 すなわち冷媒１３の循環路２１の途中に放熱手段として
放熱器２２を設け、冷却ファン２３によって風を送り外
気との間で熱交換を行うようにしてもよい。
却装置のみを第１図に示す。この図は前記従来例の第４
図に対応するものである。またレーザ発振器本体は従来
例を示す第３図と同様であるので重複説明を省略する。 レーザ発振器の本体９に設けられる熱交換器８には、フ
ロンガス系等の冷媒１３を循環させる循環路２１が接続
されている。この冷媒１３は熱交換器８において気化し
吸熱反応を生じるものである。この循環路２１の途中に
は圧縮機１４が設けられ、この圧縮機１４によって冷媒
１３の循環と圧縮が行われる。また、この循環路２１の
途中には上記冷媒を冷却させる放熱手段である他の熱交
換＠１２が設けられており、前記圧縮によって生じた冷
媒１３の熱を放出するようになっている。 この熱交換器１２へは外部からの冷却水１６が出入りし
ている。 以下、本実施例の作用について説明する。冷媒１３は圧
縮機１４により圧縮されて高温ガスとなり、放熱手段で
ある熱交換器１２において放熱し、液体となる。この液
体の冷媒１３はレーザ発振器の本体９内に設けられた熱
交換器８において気化し吸熱反応を起こして前記レーザ
ガス２の冷却を行う。この気化により再び気体となった
冷媒１３は圧ｍ機１４へ送られる。このようにしてレー
ザガスの冷却を、冷媒１３の液体から気体への相変化を
利用して直接に行うので、冷却効率が高くなる。また従
来のようにレーザ発振器内部に冷水を通す必要がなく、
また冷水の循環路も不要となり、装置が簡略化できる。 尚、前記実施例においては、冷媒１３の冷却に外部から
の冷却水１６を用いたが、他の実施例においては第２図
に示すように外気を用いてもよい。 すなわち冷媒１３の循環路２１の途中に放熱手段として
放熱器２２を設け、冷却ファン２３によって風を送り外
気との間で熱交換を行うようにしてもよい。
以上説明したようにこの発明のレーザ発振器によれば、
レーザ発振器の熱交換器に直接に、圧縮及び気化作用を
する冷媒を循環させることにより、従来のような冷水の
循環路を省略できろ。この省略によって装置の簡略化が
図れる。また従来のように冷水の循環路と冷媒の循環路
をいわば直列に設けることな（、冷媒の循環路のみを設
けることになるので、冷却効率を向上させることが可能
となる。
レーザ発振器の熱交換器に直接に、圧縮及び気化作用を
する冷媒を循環させることにより、従来のような冷水の
循環路を省略できろ。この省略によって装置の簡略化が
図れる。また従来のように冷水の循環路と冷媒の循環路
をいわば直列に設けることな（、冷媒の循環路のみを設
けることになるので、冷却効率を向上させることが可能
となる。
第１図はこの発明の一実施例に係るレーザ発振器に設け
られる冷却装置を示す回路図、第２図は他の実施例にお
ける同回路図、第３図は従来のレーザ発振器の全体概略
を示す斜視図、第４図は第３図に用いられる冷却装置の
回路図である。 １・放電電極、２・・・レーザガス、３・・ブロア、５
・反射手段、４・・レーザ光、８ ・熱交換器、１１・
・冷水、１０・・・ポンプ、１２・・・熱交換器、１３
・冷媒、１４・・・圧縮機、１５・熱交換器、１６・・
冷却水、２２・・冷却ファン。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 第３図 佇 ２図 言（自発） 平成 １年 ８月 、事件の表示 特願昭 ６３−２８９３６４号 、発明の名称 レーザ発振器 、補正をする者 代表者 、代 ５、補正の対象 （１）明細書の発明の詳細な説明の欄 ６、補正の内容 （１） 明細書筒２頁２〜４行目に「このような従来
の・・・・・・第３図に示すように」とあるを、［従来
のレーザ発振器の冷却装置について第３図および第４図
に示す。第３図は特開昭６０−２５４６８号公報に示さ
れたレーザ発振器の斜視図であり、図において」と補正
する。 （２） 同第３頁１行目に「第４図に前記熱交換器８
の冷却系統を示す。」とあるを［第４図はこのレーザ発
振器の従来の冷却系統を示す図である。」と補正する。
られる冷却装置を示す回路図、第２図は他の実施例にお
ける同回路図、第３図は従来のレーザ発振器の全体概略
を示す斜視図、第４図は第３図に用いられる冷却装置の
回路図である。 １・放電電極、２・・・レーザガス、３・・ブロア、５
・反射手段、４・・レーザ光、８ ・熱交換器、１１・
・冷水、１０・・・ポンプ、１２・・・熱交換器、１３
・冷媒、１４・・・圧縮機、１５・熱交換器、１６・・
冷却水、２２・・冷却ファン。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 第３図 佇 ２図 言（自発） 平成 １年 ８月 、事件の表示 特願昭 ６３−２８９３６４号 、発明の名称 レーザ発振器 、補正をする者 代表者 、代 ５、補正の対象 （１）明細書の発明の詳細な説明の欄 ６、補正の内容 （１） 明細書筒２頁２〜４行目に「このような従来
の・・・・・・第３図に示すように」とあるを、［従来
のレーザ発振器の冷却装置について第３図および第４図
に示す。第３図は特開昭６０−２５４６８号公報に示さ
れたレーザ発振器の斜視図であり、図において」と補正
する。 （２） 同第３頁１行目に「第４図に前記熱交換器８
の冷却系統を示す。」とあるを［第４図はこのレーザ発
振器の従来の冷却系統を示す図である。」と補正する。
Claims (1)
- レーザガスを放電により励起し誘導放出によってレー
ザ光を出力するレーザ発振器において、対向する一対の
電極と、該電極間にレーザガスを循環させるブロワと、
レーザガスを冷却するための熱交換器と、該熱交換器に
おいて気化し吸熱反応を生じる冷媒を循環させる循環路
と、循環路の途中に設けられた圧縮機と、循環路の途中
に設けられ前記圧縮によって生じた熱を外部へ放熱する
ための放熱手段とを備えたレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28936488A JPH02134885A (ja) | 1988-11-16 | 1988-11-16 | レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28936488A JPH02134885A (ja) | 1988-11-16 | 1988-11-16 | レーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02134885A true JPH02134885A (ja) | 1990-05-23 |
Family
ID=17742249
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28936488A Pending JPH02134885A (ja) | 1988-11-16 | 1988-11-16 | レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02134885A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR3027244A1 (fr) * | 2014-10-15 | 2016-04-22 | Thales Sa | Systeme de decoupe ou de perforation a distance |
-
1988
- 1988-11-16 JP JP28936488A patent/JPH02134885A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR3027244A1 (fr) * | 2014-10-15 | 2016-04-22 | Thales Sa | Systeme de decoupe ou de perforation a distance |
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