JP2771595B2 - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
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- JP2771595B2 JP2771595B2 JP1126771A JP12677189A JP2771595B2 JP 2771595 B2 JP2771595 B2 JP 2771595B2 JP 1126771 A JP1126771 A JP 1126771A JP 12677189 A JP12677189 A JP 12677189A JP 2771595 B2 JP2771595 B2 JP 2771595B2
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- JP
- Japan
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- laser
- tube
- cooling
- laser gas
- laser tube
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/041—Arrangements for thermal management for gas lasers
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- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、レーザ発振器に係り、更に詳細には、レ
ーザ管に流れているレーザガスの吸湿を高める吸湿装置
を備えたレーザ発振器に関する。
ーザ管に流れているレーザガスの吸湿を高める吸湿装置
を備えたレーザ発振器に関する。
（従来の技術） 従来、レーザ発振器のレーザ管内にはレーザガスが流
れている。しかも、レーザ管内に存在しているH2Oは異
常放電やレーザ出力の低下の原因となり得る可能性があ
る。そのため、レーザ管には吸湿剤であるモレキュラシ
ーブが受け皿に載せられて置かれたり、あるいは布袋に
入れられて置かれている。
れている。しかも、レーザ管内に存在しているH2Oは異
常放電やレーザ出力の低下の原因となり得る可能性があ
る。そのため、レーザ管には吸湿剤であるモレキュラシ
ーブが受け皿に載せられて置かれたり、あるいは布袋に
入れられて置かれている。
（発明が解決しようとする課題） ところで、吸湿効果を向上させるためには、モレキュ
ラシーブの比表面積は大きくする必要があり、このため
にはモレキュラシーブの粒径は小さい方が望ましい。し
かしながら、レーザ管内のレーザガスは循環されている
ため、モレキュラシーブの粒径が小さすぎると、レーザ
管内に散乱してしまうという問題がある。
ラシーブの比表面積は大きくする必要があり、このため
にはモレキュラシーブの粒径は小さい方が望ましい。し
かしながら、レーザ管内のレーザガスは循環されている
ため、モレキュラシーブの粒径が小さすぎると、レーザ
管内に散乱してしまうという問題がある。
また、モレキュラシーブは低温ほど吸湿能力が向上す
るけれども、レーザガスは放電のための高温になる可能
性があり吸湿効果を低下させるという点で問題がある。
るけれども、レーザガスは放電のための高温になる可能
性があり吸湿効果を低下させるという点で問題がある。
この発明の目的は、上記問題点を改善するため、吸湿
剤を散乱させることなく、レーザガスの吸湿効果の向上
を図ったレーザ発振器を提供することにある。
剤を散乱させることなく、レーザガスの吸湿効果の向上
を図ったレーザ発振器を提供することにある。
［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 前述のごとき従来の問題に鑑みて、本発明は、レーザ
管と、上記レーザ管内のレーザガスを循環するレーザガ
ス循環装置に設けられた熱交換器と、前記レーザ管自体
を冷却すべくレーザ管の外周に設けられた冷却管と、前
記レーザ管内のレーザガスの１部を循環せしめるレーザ
ガス循環路と、前記レーザガス循環通路内に配置された
吸湿剤と、前記レーザガス循環通路を冷却する冷却装置
と、を備えた構成である。
管と、上記レーザ管内のレーザガスを循環するレーザガ
ス循環装置に設けられた熱交換器と、前記レーザ管自体
を冷却すべくレーザ管の外周に設けられた冷却管と、前
記レーザ管内のレーザガスの１部を循環せしめるレーザ
ガス循環路と、前記レーザガス循環通路内に配置された
吸湿剤と、前記レーザガス循環通路を冷却する冷却装置
と、を備えた構成である。
（実施例） 以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明
する。
する。
第１図を参照するに、レーザ発振器１は、励起光の共
振増幅を行うレーザ管３と、ヘリウム（He），窒素ガス
（N2），炭酸ガス（CO2）を適宜の比率で混合したレー
ザガスをレーザ管３内へ供給，循環するレーザガス循環
装置５などより構成されている。
振増幅を行うレーザ管３と、ヘリウム（He），窒素ガス
（N2），炭酸ガス（CO2）を適宜の比率で混合したレー
ザガスをレーザ管３内へ供給，循環するレーザガス循環
装置５などより構成されている。
前記レーザ管３には放電を行うための陽極７と陰極９
とが適宜に配置されており、かつ端部には全反射ミラー
11と出力ミラー13とが装着されている。上記陽極７と陰
極９との間において放電を生じせしめるために、陽極７
と陰極９は高圧電源回路15に接続されている。
とが適宜に配置されており、かつ端部には全反射ミラー
11と出力ミラー13とが装着されている。上記陽極７と陰
極９との間において放電を生じせしめるために、陽極７
と陰極９は高圧電源回路15に接続されている。
前記レーザガス循環装置５はレーザ管３からのレーザ
ガスを冷却する熱交換器17と、レーザガスをレーザ管３
へ供給するブロワ19とを備えており、レーザ管３とはガ
ス帰還路21およびガス送給路23を介して接続されてい
る。
ガスを冷却する熱交換器17と、レーザガスをレーザ管３
へ供給するブロワ19とを備えており、レーザ管３とはガ
ス帰還路21およびガス送給路23を介して接続されてい
る。
上記構成により、ブロワ19を駆動してレーザガスを循
環せしめ、かつ高圧電源回路15により陽極７と陰極９と
の間に高電圧を印加して、陽極７と陰極９との間におい
て放電を行うことにより出力ミラー13側からレーザビー
ムLBが出力されることになる。
環せしめ、かつ高圧電源回路15により陽極７と陰極９と
の間に高電圧を印加して、陽極７と陰極９との間におい
て放電を行うことにより出力ミラー13側からレーザビー
ムLBが出力されることになる。
前記レーザ管３を冷却せしめるために、レーザ管３の
外周には冷却管25が設けられている。この冷却管25の一
端側には冷却水を供給する冷却水供給路27が接続されて
いると共に、冷却管25の他端側には冷却水を排出する冷
却水排出路29が接続されている。したがって、冷却水供
給路27から供給された冷却水は冷却管25に送られ、レー
ザ管３を冷却し、冷却水排出路29から排出されることに
なる。
外周には冷却管25が設けられている。この冷却管25の一
端側には冷却水を供給する冷却水供給路27が接続されて
いると共に、冷却管25の他端側には冷却水を排出する冷
却水排出路29が接続されている。したがって、冷却水供
給路27から供給された冷却水は冷却管25に送られ、レー
ザ管３を冷却し、冷却水排出路29から排出されることに
なる。
前記冷却管25の外部には、例えば冷却装置としてのＵ
字形状をした内側用冷却パイプ31,外側用冷却パイプ33
がそれぞれ接続されている。そして、内側用冷却パイプ
31と外側用冷却パイプ33との間には、前記レーザ管３内
のレーザガスが分岐して循環せしめるレーザガス循環通
路35が形成されており、このレーザガス循環通路35の両
端は前記レーザ管３に接続されている。
字形状をした内側用冷却パイプ31,外側用冷却パイプ33
がそれぞれ接続されている。そして、内側用冷却パイプ
31と外側用冷却パイプ33との間には、前記レーザ管３内
のレーザガスが分岐して循環せしめるレーザガス循環通
路35が形成されており、このレーザガス循環通路35の両
端は前記レーザ管３に接続されている。
レーザガス循環通路35の一端側の途中には循環ポンプ
37が設けられていて、レーザ管３内のレーザガスをレー
ザガス循環通路35へ供給し、レーザガス循環通路35を通
って、レーザ管３へ送給するようにレーザガスが循環さ
れる。また、レーザガス循環通路35の途中には、吸湿剤
であるパウダーＰを封入したフイルタ39が設けられてい
る。
37が設けられていて、レーザ管３内のレーザガスをレー
ザガス循環通路35へ供給し、レーザガス循環通路35を通
って、レーザ管３へ送給するようにレーザガスが循環さ
れる。また、レーザガス循環通路35の途中には、吸湿剤
であるパウダーＰを封入したフイルタ39が設けられてい
る。
上記構成により、冷却管25内の冷却水は第１図に矢印
で示したごとく内側用冷却用パイプ31,外側冷却用パイ
プ33を通って冷却管25内に戻されるから、レーザガス循
環通路35が冷却される。而して、循環ポンプ37の作動に
より、レーザ管３内のレーザガスが例えば第１図におい
て矢印で示したごとくレーザガス循環通路35内に送られ
て、フイルタ39に封入された吸湿剤であるパウダーＰで
吸湿されることになる。
で示したごとく内側用冷却用パイプ31,外側冷却用パイ
プ33を通って冷却管25内に戻されるから、レーザガス循
環通路35が冷却される。而して、循環ポンプ37の作動に
より、レーザ管３内のレーザガスが例えば第１図におい
て矢印で示したごとくレーザガス循環通路35内に送られ
て、フイルタ39に封入された吸湿剤であるパウダーＰで
吸湿されることになる。
このように、レーザ管３の外部に設けた冷却装置に、
レーザ管３内のレーザガスをレーザガス循環通路35に循
環せしめ、このレーザガス循環通路35内でフイルタ39に
封入された吸湿剤であるパウダーＰで吸湿されるから、
吸湿剤であるパウダーＰは散乱することなく、かつ粒径
を小さくすることができる。而して、レーザガスを低温
にして効率よく冷却することができる。
レーザ管３内のレーザガスをレーザガス循環通路35に循
環せしめ、このレーザガス循環通路35内でフイルタ39に
封入された吸湿剤であるパウダーＰで吸湿されるから、
吸湿剤であるパウダーＰは散乱することなく、かつ粒径
を小さくすることができる。而して、レーザガスを低温
にして効率よく冷却することができる。
なお、この発明は、前述した実施例に限定されること
なく、適宜の変更を行うことにより、その他の態様で実
施し得るものである。本実施例ではレーザ発振器１とし
て軸流型レーザ発振器について説明したが、それ以外の
例えば３軸直交型レーザ発振器などでも対応可能であ
る。
なく、適宜の変更を行うことにより、その他の態様で実
施し得るものである。本実施例ではレーザ発振器１とし
て軸流型レーザ発振器について説明したが、それ以外の
例えば３軸直交型レーザ発振器などでも対応可能であ
る。
［発明の効果］ 以上のごとき実施例の説明より理解されるように、要
するに本発明は、レーザ管（３）と、上記レーザ管
（３）内のレーザガスを循環するレーザガス循環装置
（５）に設けられた熱交換器（17）と、前記レーザ管
（３）自体を冷却すべくレーザ管（３）の外周に設けら
れた冷却管（25）と、前記レーザ管（３）内のレーザガ
スの１部を循環せしめるレーザガス循環路（35）と、上
記レーザガス循環通路（35）内に配置された吸湿剤と、
前記レーザガス循環通路（35）を冷却する冷却装置と、
を備えた構成である。
するに本発明は、レーザ管（３）と、上記レーザ管
（３）内のレーザガスを循環するレーザガス循環装置
（５）に設けられた熱交換器（17）と、前記レーザ管
（３）自体を冷却すべくレーザ管（３）の外周に設けら
れた冷却管（25）と、前記レーザ管（３）内のレーザガ
スの１部を循環せしめるレーザガス循環路（35）と、上
記レーザガス循環通路（35）内に配置された吸湿剤と、
前記レーザガス循環通路（35）を冷却する冷却装置と、
を備えた構成である。
上記構成より明らかなように、本発明においては、レ
ーザ管３へ供給されるレーザガスの冷却は熱交換器17に
よって行われ、また冷却管25によってレーザ管３自体の
冷却が行われるものである。そして、レーザ管３内のレ
ーザガスの１部を循環するレーザガス循環通路35内に吸
湿剤が配置されると共に冷却装置によって冷却されるも
のである。
ーザ管３へ供給されるレーザガスの冷却は熱交換器17に
よって行われ、また冷却管25によってレーザ管３自体の
冷却が行われるものである。そして、レーザ管３内のレ
ーザガスの１部を循環するレーザガス循環通路35内に吸
湿剤が配置されると共に冷却装置によって冷却されるも
のである。
したがって本発明によれば、レーザガス、レーザ管３
および吸湿剤の冷却が効果的に行われることとなり、レ
ーザガスの除湿を効率よく行うことができると共にレー
ザビームLBの発振効率が向上するものである。
および吸湿剤の冷却が効果的に行われることとなり、レ
ーザガスの除湿を効率よく行うことができると共にレー
ザビームLBの発振効率が向上するものである。
第１図はこの発明を実施する一実施例のレーザ発振器の
概略図である。 １……レーザ発振器、レーザ管 25……冷却管、31……内側用冷却パイプ 33……外側用冷却パイプ 35……レーザガス循環通路、37……循環ポンプ 39……フイルタ Ｐ……パウダー（吸湿剤）
概略図である。 １……レーザ発振器、レーザ管 25……冷却管、31……内側用冷却パイプ 33……外側用冷却パイプ 35……レーザガス循環通路、37……循環ポンプ 39……フイルタ Ｐ……パウダー（吸湿剤）
Claims (1)
- 【請求項１】レーザ管（３）と、上記レーザ管（３）内
のレーザガスを循環するレーザガス循環装置（５）に設
けられた熱交換器（17）と、前記レーザ管（３）自体を
冷却すべくレーザ管（３）の外周に設けられた冷却管
（25）と、前記レーザ管（３）内のレーザガスの１部を
循環せしめるレーザガス循環路（35）と、上記レーザガ
ス循環通路（35）内に配置された吸湿剤と、前記レーザ
ガス循環通路（35）を冷却する冷却装置と、を備えたこ
とを特徴とするレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1126771A JP2771595B2 (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 | レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1126771A JP2771595B2 (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 | レーザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02306675A JPH02306675A (ja) | 1990-12-20 |
| JP2771595B2 true JP2771595B2 (ja) | 1998-07-02 |
Family
ID=14943522
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1126771A Expired - Lifetime JP2771595B2 (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 | レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2771595B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101617524B1 (ko) * | 2014-06-09 | 2016-05-02 | 이한종 | 레이저 가스 환원촉매를 구비하는 반 밀폐형 레이저 발진기 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2002045218A1 (ja) | 2000-11-30 | 2004-04-08 | 三菱電機株式会社 | 固体レーザ装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5698885A (en) * | 1980-01-11 | 1981-08-08 | Hitachi Ltd | Laser oscillator |
| JPS5839397A (ja) * | 1981-08-31 | 1983-03-08 | 松下電工株式会社 | 補償式スポツト型感知器 |
| JPS61290793A (ja) * | 1985-06-19 | 1986-12-20 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ発振器用吸着剤 |
-
1989
- 1989-05-22 JP JP1126771A patent/JP2771595B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101617524B1 (ko) * | 2014-06-09 | 2016-05-02 | 이한종 | 레이저 가스 환원촉매를 구비하는 반 밀폐형 레이저 발진기 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02306675A (ja) | 1990-12-20 |
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