JPH02253673A - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
- Publication number
- JPH02253673A JPH02253673A JP7402789A JP7402789A JPH02253673A JP H02253673 A JPH02253673 A JP H02253673A JP 7402789 A JP7402789 A JP 7402789A JP 7402789 A JP7402789 A JP 7402789A JP H02253673 A JPH02253673 A JP H02253673A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser oscillator
- casing
- covers
- dust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 6
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 13
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 2
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 description 2
- 229910052602 gypsum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010440 gypsum Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明はレーザ発振器に係り、更に詳細には、共振器
部分をカバーした筐体の構造を改良したレーザ発１辰器
に関する。
部分をカバーした筐体の構造を改良したレーザ発１辰器
に関する。
（従来の技術）
従来、例えば炭酸ガスレーザなどのレーザ発振器におけ
る共振器部分は筐体でカバーされている。そして、この
筐体内はファンと熱交換器により強ホリ対流されて、内
部の温度を上昇しないようにしている。
る共振器部分は筐体でカバーされている。そして、この
筐体内はファンと熱交換器により強ホリ対流されて、内
部の温度を上昇しないようにしている。
く発明が解決しようとする課題）
ところで、レーザ発振器全体のシステムをｔ・−止した
状態では、前記筺体の内部が外気温度の影響を直ぐに受
り、レーザ発振を行なったときに立上り時にレーリー出
ツノおよびレーザセードの変化があり、安定するまでに
時間がかかってしまうという問題があった。
状態では、前記筺体の内部が外気温度の影響を直ぐに受
り、レーザ発振を行なったときに立上り時にレーリー出
ツノおよびレーザセードの変化があり、安定するまでに
時間がかかってしまうという問題があった。
方、前記筺体内は高７１２圧を保持するため、集塵作用
があり外気のほこりを吸い込んでしまい、ミラーなどの
レーリ゛の光学系Ａ′）レーザ管などにほこりが付着し
、性能の低下を引起すという問題があった。
があり外気のほこりを吸い込んでしまい、ミラーなどの
レーリ゛の光学系Ａ′）レーザ管などにほこりが付着し
、性能の低下を引起すという問題があった。
この発明の目的は、上記問題点を改善するため、共振器
部分をカバーした筐体内の温度が外気温度の影響を少な
くし、かつ防塵効果を向上ｕしめた筐体の構造を改良し
たレーザ光ｉｉ器を１２供することにある。
部分をカバーした筐体内の温度が外気温度の影響を少な
くし、かつ防塵効果を向上ｕしめた筐体の構造を改良し
たレーザ光ｉｉ器を１２供することにある。
［発明のｔＭ成］
（課ｍを解決するための手段）
上記目的を達成するために、この発明は、共振器部分を
カバーした筐体を備えてなるレーザ発振器であって、前
記筐体を外カバーと内カバーとからなる２重構造とし、
外カバーと内カバーの間に断熱部を形成せしめてレーザ
発振器を構成した。
カバーした筐体を備えてなるレーザ発振器であって、前
記筐体を外カバーと内カバーとからなる２重構造とし、
外カバーと内カバーの間に断熱部を形成せしめてレーザ
発振器を構成した。
（作用）
この発明のレーザ発振器を採用することにより、共振器
部分をカバーした筐体が、外カバーと内カバーとからな
る２重構造となっており、しかも、外カバーと内カバー
との間には断熱部が形成されているから、レーザ発振器
全体のシステムを停止した場合でも、筐体内の温度は外
気の温度に影響を受けることが少なく、レーザ発成を行
なったときの立上り時にレーザ出力およびレーザモード
の変化がなく、短時間で安定化される。
部分をカバーした筐体が、外カバーと内カバーとからな
る２重構造となっており、しかも、外カバーと内カバー
との間には断熱部が形成されているから、レーザ発振器
全体のシステムを停止した場合でも、筐体内の温度は外
気の温度に影響を受けることが少なく、レーザ発成を行
なったときの立上り時にレーザ出力およびレーザモード
の変化がなく、短時間で安定化される。
また、外カバーと内カバーとの間に断熱部が形成されて
いるから、外部から筐体の内部へほこりが吸いこまれな
いので、ミラーなどのレーザの光学系やレーザ管などに
ほこりが付着せず、性能の低下がなくなる。
いるから、外部から筐体の内部へほこりが吸いこまれな
いので、ミラーなどのレーザの光学系やレーザ管などに
ほこりが付着せず、性能の低下がなくなる。
（実施例）
以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
る。
第３図を参照するに。レーザ発振器１は、励起光の共振
増幅を行なう共振器をなしたレーザ管３と、ヘリウム（
Ｈｅ ） 、窒素ガス（Ｎ２）、炭酸ガス（ＣＯ２）を
適宜の比率で混合したレーザガスをレーザ管３内へ供給
、循環するレーザガス循環装置５より構成されている。
増幅を行なう共振器をなしたレーザ管３と、ヘリウム（
Ｈｅ ） 、窒素ガス（Ｎ２）、炭酸ガス（ＣＯ２）を
適宜の比率で混合したレーザガスをレーザ管３内へ供給
、循環するレーザガス循環装置５より構成されている。
前記レーザ管３には放電を行なうための陽極７と陰極９
とが適宜に配置されていて、かつ端部には全反射ミラー
１１と出力ミラー１３が装着されている。前記陽極７と
陰極９との間において放電を生じせしめるために、陽極
７と陰極９は高電圧電源回路１５に接続されている。
とが適宜に配置されていて、かつ端部には全反射ミラー
１１と出力ミラー１３が装着されている。前記陽極７と
陰極９との間において放電を生じせしめるために、陽極
７と陰極９は高電圧電源回路１５に接続されている。
前記レーザガス循環装置５は、レーザ管３からのレーザ
ガスを冷却する熱交換器１７とレーザガスをレーザ管３
へ供給するブロワ１９とを備えており、レーザ管３とは
ガス帰還路２１およびガス送給路２３を介して接続され
ている。
ガスを冷却する熱交換器１７とレーザガスをレーザ管３
へ供給するブロワ１９とを備えており、レーザ管３とは
ガス帰還路２１およびガス送給路２３を介して接続され
ている。
上記構成により、ブロワ１９を駆動してレー膏アガスを
循環せしめ、かつ高圧電澱回路１５により陽極７と陰極
９との間に高電圧を印加して、間挿７と陰極９との間に
おいて放電加工を行なうことにより出力ミラー１３側か
らレーザビーム１Ｂが出力されることになる。
循環せしめ、かつ高圧電澱回路１５により陽極７と陰極
９との間に高電圧を印加して、間挿７と陰極９との間に
おいて放電加工を行なうことにより出力ミラー１３側か
らレーザビーム１Ｂが出力されることになる。
前記陽極７と陰極９との間において放電が行なわれるこ
とによって、劣化したレーザガスの一部を排気するため
に、ガス帰還路２１の適宜位置には排気システム２５が
接続されている。一方、ガス送給路２３の適宜位置には
、新たなレーザガスが図示省略のガス混合タンクから供
給されるようになっている。
とによって、劣化したレーザガスの一部を排気するため
に、ガス帰還路２１の適宜位置には排気システム２５が
接続されている。一方、ガス送給路２３の適宜位置には
、新たなレーザガスが図示省略のガス混合タンクから供
給されるようになっている。
陽極７と陰極９との間で放電加工を行なう共振器部分を
備えたレーザ管３は、第１図および第２図に示されてい
るように、筺体２７でカバーされている。この筐体２７
内はブロワ２９と熱交換器３１が設けられており、この
ブロワ２９と熱交換器３１とを作動させることによって
、筐体２７内を冷却せしめて、一定の温度になるように
保持している。しかし、外気温度が低いときなどは、筺
体２７内の温度が外気温度に近い温度となっているため
、筺体２７内の；Ｂ度を一定の温度になるまでに相当の
時間がかかつてしまう。
備えたレーザ管３は、第１図および第２図に示されてい
るように、筺体２７でカバーされている。この筐体２７
内はブロワ２９と熱交換器３１が設けられており、この
ブロワ２９と熱交換器３１とを作動させることによって
、筐体２７内を冷却せしめて、一定の温度になるように
保持している。しかし、外気温度が低いときなどは、筺
体２７内の温度が外気温度に近い温度となっているため
、筺体２７内の；Ｂ度を一定の温度になるまでに相当の
時間がかかつてしまう。
そのために、本実施例においては１．筺体２７の構造を
外カバー３３と内カバー３５とからなる２平構造にする
と共に、外カバー３３と内カバー３５との間を断熱部３
７として形成せしめた。この断熱部３７はエアを充満さ
せてもよいし、ガラス繊維などの断熱材を入れて形成せ
しめてもよい。
外カバー３３と内カバー３５とからなる２平構造にする
と共に、外カバー３３と内カバー３５との間を断熱部３
７として形成せしめた。この断熱部３７はエアを充満さ
せてもよいし、ガラス繊維などの断熱材を入れて形成せ
しめてもよい。
例えば、防塵効果を上げるために、第１図および第２図
に示したごとく、断熱部３７に配管３９の一端を接続し
、配管３９の他端にドライエアー供給装置４１を接続す
る。而して、ドライエアー供給装置４１を作動せしめる
ことによって、ドライエアーが配管３９を介して断熱部
３７に供給される。しかも、常に圧力を与えた状態でド
ライＪアを断熱部３７に供給しておくことによってオイ
ルミストや水分の付着がなくなり、断熱と防塵の両者の
効果をより一層発揮させろことかできる。
に示したごとく、断熱部３７に配管３９の一端を接続し
、配管３９の他端にドライエアー供給装置４１を接続す
る。而して、ドライエアー供給装置４１を作動せしめる
ことによって、ドライエアーが配管３９を介して断熱部
３７に供給される。しかも、常に圧力を与えた状態でド
ライＪアを断熱部３７に供給しておくことによってオイ
ルミストや水分の付着がなくなり、断熱と防塵の両者の
効果をより一層発揮させろことかできる。
このように、共振器部分をカバーした筐体２７が、外カ
バー３３と内カバー３５とからなる２重構造となってお
り、しかも外カバー３３と内カバー３５との間には断熱
部３７が形成されているがら、レーザ発振器１全体のシ
ステムを停止した場合でも、筺体２７内の温度は外気の
温度に影響を受けることが少なく、レーザ発振を行なっ
たときの立上り時にレーザ出力およびレーザモードの変
化がなく、短時間で安定化させることができる。
バー３３と内カバー３５とからなる２重構造となってお
り、しかも外カバー３３と内カバー３５との間には断熱
部３７が形成されているがら、レーザ発振器１全体のシ
ステムを停止した場合でも、筺体２７内の温度は外気の
温度に影響を受けることが少なく、レーザ発振を行なっ
たときの立上り時にレーザ出力およびレーザモードの変
化がなく、短時間で安定化させることができる。
また、外カバー３３と内カバー３５との間に断熱部３７
が形成されているから、外部から筐体２７の内部へほこ
りが吸い込まれないので、ミラーなどのレーザの光学系
やレーザ管などのほこりが付着せず、性能の低下がなく
なる。
が形成されているから、外部から筐体２７の内部へほこ
りが吸い込まれないので、ミラーなどのレーザの光学系
やレーザ管などのほこりが付着せず、性能の低下がなく
なる。
なお、この発明は前述した実施例に限定されることなく
、適宜の変更を行なうことにより、その曲の態様で実施
し得るものである。
、適宜の変更を行なうことにより、その曲の態様で実施
し得るものである。
［発明の効果］
以上のごとき実施例の説明より理解されるように、この
発明によれば、レーザ発振器における共振器部分をカバ
ーした筐体が、外カバーと内カバーとからなる２重構造
となっており、しかも、外カバーと内カバーとの間には
断熱部が形成されているから、レーザ発成器仝体のシス
テムを停止Ｆシた場合でも、筐体内の温度は外気の温度
に影響を受けることが少なく、レーザ発振を行なったと
きの立上り時にレーザ出力およびレーザモードの変化が
なく、短時間で安定化さけることができる。
発明によれば、レーザ発振器における共振器部分をカバ
ーした筐体が、外カバーと内カバーとからなる２重構造
となっており、しかも、外カバーと内カバーとの間には
断熱部が形成されているから、レーザ発成器仝体のシス
テムを停止Ｆシた場合でも、筐体内の温度は外気の温度
に影響を受けることが少なく、レーザ発振を行なったと
きの立上り時にレーザ出力およびレーザモードの変化が
なく、短時間で安定化さけることができる。
また、外カバーと内カバーとの間には断熱部が形成され
ているから、外部から筺体の内部へほこりが吸い込まれ
ないので、ミラーなどの光学系やレーザ管などにほこり
が付着せず、性能の低下がなくなる。
ているから、外部から筺体の内部へほこりが吸い込まれ
ないので、ミラーなどの光学系やレーザ管などにほこり
が付着せず、性能の低下がなくなる。
第１図はこの発明の主要部を示し、共振器部分をカバー
した筐体の正面断面図、第２図は第１図にａ３ける右側
面断面図、第３図はこの発明を実施する一実施例のレー
ザ発振器の概略図である。 １・・・レーザ発振器 ３・・・レーザ管２７・・・
筐体 ３３・・・外カバー３５・・・内カバー ３７・・・断熱部
した筐体の正面断面図、第２図は第１図にａ３ける右側
面断面図、第３図はこの発明を実施する一実施例のレー
ザ発振器の概略図である。 １・・・レーザ発振器 ３・・・レーザ管２７・・・
筐体 ３３・・・外カバー３５・・・内カバー ３７・・・断熱部
Claims (1)
- 共振器部分をカバーした筐体を備えてなるレーザ発振
器であって、前記筐体を外カバーと内カバーとからなる
２重構造とし、外カバーと内カバーとの間に断熱部を形
成せしめてなることを特徴とするレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7402789A JPH02253673A (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7402789A JPH02253673A (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | レーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02253673A true JPH02253673A (ja) | 1990-10-12 |
Family
ID=13535240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7402789A Pending JPH02253673A (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02253673A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6538232B2 (en) * | 2000-08-05 | 2003-03-25 | Trumpf Gmbh & Company | Laser processor with scavenging of optical element |
-
1989
- 1989-03-28 JP JP7402789A patent/JPH02253673A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6538232B2 (en) * | 2000-08-05 | 2003-03-25 | Trumpf Gmbh & Company | Laser processor with scavenging of optical element |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4099143A (en) | Gas recirculating stabilized laser | |
| JPH02253673A (ja) | レーザ発振器 | |
| US4344174A (en) | Gas lasers | |
| JP2741433B2 (ja) | レーザ発振器 | |
| US20160308325A1 (en) | Air-cooled carbon-dioxide laser | |
| JPH06260708A (ja) | レーザ発振装置 | |
| JPH03178176A (ja) | レーザ装置 | |
| JPH1187806A (ja) | 固体レーザ発振装置 | |
| JP2000223757A (ja) | ガスレーザ | |
| JPH0613678A (ja) | 外部ミラー形ガスレーザ発振器 | |
| JPH0744034Y2 (ja) | 高周波励起ガスレーザ装置 | |
| JPH0423377A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPS5886784A (ja) | 封じ切り型ガスレ−ザ | |
| KR200339542Y1 (ko) | 프로젝터 | |
| JPH1187807A (ja) | ガスレーザ発振器 | |
| JPH0453281A (ja) | ガスレーザ発振器 | |
| Bruzzese et al. | Ionic and thermal instabilities in e-beam preionized CO2 EDCL devices in the presence of a laser beam | |
| JPH0480977A (ja) | レーザ発振器 | |
| JP2002237630A (ja) | ガスレーザ装置用共振器 | |
| JPS6342189A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS63228771A (ja) | 高繰返しパルスレ−ザ電極 | |
| JPH02306675A (ja) | レーザ発振器 | |
| JPS61220487A (ja) | レ−ザ発振装置 | |
| JPH01108786A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPS611071A (ja) | ガスレ−ザ発生器 |