JPH01108786A - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
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- JPH01108786A JPH01108786A JP26568787A JP26568787A JPH01108786A JP H01108786 A JPH01108786 A JP H01108786A JP 26568787 A JP26568787 A JP 26568787A JP 26568787 A JP26568787 A JP 26568787A JP H01108786 A JPH01108786 A JP H01108786A
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- discharge tube
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Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/041—Arrangements for thermal management for gas lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Lasers (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
ガスレーザ装置、特にこの発明は誘電体電極の冷却に関
するものである。
するものである。
（従来の技術）
従来のこの交流放電励起方式を採用した軸流型ガスレー
ザ装置の概略図を第３図に示す、第４図は第３図のＡ−
Ａ’ ！ＩＯ矢視断面構成図である。
ザ装置の概略図を第３図に示す、第４図は第３図のＡ−
Ａ’ ！ＩＯ矢視断面構成図である。
図において５はガラス、セラミック、酸化チクン等の誘
電体よりなる放電管、８はルーツブロア（送風機）、７
は熱交換器、２・は全反射鏡、１は部分反射鏡、３は放
電管５の外壁にそれぞれ対向して設けられた金属電極対
である。
電体よりなる放電管、８はルーツブロア（送風機）、７
は熱交換器、２・は全反射鏡、１は部分反射鏡、３は放
電管５の外壁にそれぞれ対向して設けられた金属電極対
である。
９は各電極に接続された高周波電源、４は放電管５内で
発生する高周波放電である。１０は送気管、６はガス流
の方向である。
発生する高周波放電である。１０は送気管、６はガス流
の方向である。
動作について説明する。レーザ発振器の放電管５内には
、ＣＯい°■１□、Ｈｅ等の混合ガスから成るレーザ媒
質ガスが約１００Ｔｏｒｒのガス圧で満たされている。
、ＣＯい°■１□、Ｈｅ等の混合ガスから成るレーザ媒
質ガスが約１００Ｔｏｒｒのガス圧で満たされている。
高周波電源９より高周波交流が金属電極対３に印加され
ると、放電管５内で誘電体を介して高周波放電が発生し
、ＣＯ２分子が励起される。上記、高周波放電により励
起されたＣ Ｏを分子は、全反射鏡２と部分反射鏡１よ
り構成された光共振器内でレーザ発振を起こし、レーザ
光の一部が部分反射鏡より外部に取り出される。レーザ
媒質ガスは、熱交ｔｆｉ３７で冷却されると共に、ルー
ツブロア８により高速で放電管４内を循環させる。
ると、放電管５内で誘電体を介して高周波放電が発生し
、ＣＯ２分子が励起される。上記、高周波放電により励
起されたＣ Ｏを分子は、全反射鏡２と部分反射鏡１よ
り構成された光共振器内でレーザ発振を起こし、レーザ
光の一部が部分反射鏡より外部に取り出される。レーザ
媒質ガスは、熱交ｔｆｉ３７で冷却されると共に、ルー
ツブロア８により高速で放電管４内を循環させる。
（発明が解決しようとする問題点）
従来のガスレーザ装置は以上のように構成されているた
め、高周波放電電力注入にともない誘電体部そして金属
部で発生した熱の放出は自然熱放出によるしかない、誘
電体部は最高１３０〜１４０℃、また金属部は９０〜１
００℃ぐらいま、で表面温度が上昇する。
め、高周波放電電力注入にともない誘電体部そして金属
部で発生した熱の放出は自然熱放出によるしかない、誘
電体部は最高１３０〜１４０℃、また金属部は９０〜１
００℃ぐらいま、で表面温度が上昇する。
これらの温度上昇の結果誘電体と金属部間で火花放電が
発生しやすくなり、その結果放電管に注入できる放電注
入電力が限定されてしまい、さらにレーザ発振出力を上
げることができなくなってしまうという問題点があった
。
発生しやすくなり、その結果放電管に注入できる放電注
入電力が限定されてしまい、さらにレーザ発振出力を上
げることができなくなってしまうという問題点があった
。
また、放電により発生する熱のために、放電注入電力を
上げると放電管の熱膨張が大きくなり放電管破損の原因
にもなった。
上げると放電管の熱膨張が大きくなり放電管破損の原因
にもなった。
（問題点を解決するための手段）
この発明に係るガスレーザ装置は誘電体電極の外側（大
気圧側）が送風機などにより空冷される構造をしている
。
気圧側）が送風機などにより空冷される構造をしている
。
（作用）
この発明におけるガスレーザ装置構造を採用すると誘電
体電極を強制冷却し、誘電体、金属電極の温度上昇を抑
制し、より多くの誘電体電極への放電電力注入を可能に
し、レーザ発振出力の向上が可能となる。
体電極を強制冷却し、誘電体、金属電極の温度上昇を抑
制し、より多くの誘電体電極への放電電力注入を可能に
し、レーザ発振出力の向上が可能となる。
また、誘電体電極の熱膨張を抑制し、誘電体電極の破損
防止になる。
防止になる。
（実施例）
以下、この発明の実施例の図をもとに説明する。
第１図はこの発明の〒実施例によるガスレーザ装置の概
略構成図である。第２図は第１図のＢ−８’線矢視断面
構成図である。
略構成図である。第２図は第１図のＢ−８’線矢視断面
構成図である。
１０５はガラス、セラミック、酸化チタン等の誘電体よ
りなる放電管、１０３は放電管１０５の外壁に対向して
設けられた金属電極対である。１０９は電極対に接続さ
れた高周波電源、１０４は放電管内１０５で発生する高
周波放電である。１０８はルーツプロア、１０７は熱交
換器、１０１は部分反射鏡、１０２は全反射鏡、そして
１０６．１１０は各々ガス流方向 ４送気管である。ｊ
、１１は放電管冷却用送風機、１１２はその風の法外で
ある。
りなる放電管、１０３は放電管１０５の外壁に対向して
設けられた金属電極対である。１０９は電極対に接続さ
れた高周波電源、１０４は放電管内１０５で発生する高
周波放電である。１０８はルーツプロア、１０７は熱交
換器、１０１は部分反射鏡、１０２は全反射鏡、そして
１０６．１１０は各々ガス流方向 ４送気管である。ｊ
、１１は放電管冷却用送風機、１１２はその風の法外で
ある。
第１図でわかるように、本実施例においては放電管１０
５は送風機１１１により強制冷却される。その結果、大
放電電力の注入が可能となり、大出力がレーザ発振器か
ら得られる。
５は送風機１１１により強制冷却される。その結果、大
放電電力の注入が可能となり、大出力がレーザ発振器か
ら得られる。
また、熱膨張による放電管の破損も防止される。
その他、考えられる放電管の送風機による空冷構造を第
５図に示す、送風機は１台に限らず何台使用してもよい
、また、配置場所も放電管の空冷に適するのであればど
こでもよい。
５図に示す、送風機は１台に限らず何台使用してもよい
、また、配置場所も放電管の空冷に適するのであればど
こでもよい。
（発明の効果）
以上のように、この発明によれば、放電注入電力を増加
することが可能となり、レーザ発振出力、の増加が可能
となる。
することが可能となり、レーザ発振出力、の増加が可能
となる。
また、放電管の、放電による熱膨張を抑制し、放電管の
破損防止すなわち放電管の信頼性向上がはかれる。
破損防止すなわち放電管の信頼性向上がはかれる。
第１図は、本発明比かかるガスレーザ装置の概略図、第
２図は第１図におけるＢ−８’線の矢視断面構成図、第
３図は従来装置の概略図、第４図は第３図におけるＡ−
Ａ’線の矢視断面構成図、第５図（ａ）、（ｂ）、（ｃ
）は送風機の配置態様図である。 １ 、１０１・・・部分反射鏡 ２．１０２・・・全反射鏡 ３．１０３．２０３・・・金属電極 ４．１０４・・・放電部 ５．１０５．２０２・・・誘電体放電管６．１０６・・
・ガス流方向 ？、１Ｇ？・・・熱交換器 ８．１０８・・・ルーツプロア ９．１０９・・・高周波電源 １Ｏ１１１０・・・送気管 ｌｊｌ、２０１・・・放電管冷却用送風機１１２．２０
４・・・風の流れ 第１図 第３図 （ａ） （ｃ） 第５図 （ｂ）
２図は第１図におけるＢ−８’線の矢視断面構成図、第
３図は従来装置の概略図、第４図は第３図におけるＡ−
Ａ’線の矢視断面構成図、第５図（ａ）、（ｂ）、（ｃ
）は送風機の配置態様図である。 １ 、１０１・・・部分反射鏡 ２．１０２・・・全反射鏡 ３．１０３．２０３・・・金属電極 ４．１０４・・・放電部 ５．１０５．２０２・・・誘電体放電管６．１０６・・
・ガス流方向 ？、１Ｇ？・・・熱交換器 ８．１０８・・・ルーツプロア ９．１０９・・・高周波電源 １Ｏ１１１０・・・送気管 ｌｊｌ、２０１・・・放電管冷却用送風機１１２．２０
４・・・風の流れ 第１図 第３図 （ａ） （ｃ） 第５図 （ｂ）
Claims (1)
- 同軸流型ガスレーザ装置において誘電体放電管に外側
から風をあてることを特徴とするガスレーザ装置誘電体
放電管は放電管の外壁に対向して設けられた電極対が少
なくとも１対以上あることを特徴とするガスレーザ装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26568787A JPH01108786A (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26568787A JPH01108786A (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | ガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01108786A true JPH01108786A (ja) | 1989-04-26 |
Family
ID=17420607
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26568787A Pending JPH01108786A (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01108786A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11330591A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-11-30 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | 高周波励起型ガスレ―ザ―およびガスレ―ザ―のためのレ―ザ―管 |
-
1987
- 1987-10-21 JP JP26568787A patent/JPH01108786A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11330591A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-11-30 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | 高周波励起型ガスレ―ザ―およびガスレ―ザ―のためのレ―ザ―管 |
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