JPS63169781A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
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- JPS63169781A JPS63169781A JP220887A JP220887A JPS63169781A JP S63169781 A JPS63169781 A JP S63169781A JP 220887 A JP220887 A JP 220887A JP 220887 A JP220887 A JP 220887A JP S63169781 A JPS63169781 A JP S63169781A
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- discharge tube
- laser device
- electrode
- gas laser
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Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、ガスレーザ装置に係り、特に交流放電式の
軸流形ガスレーザ装置に関するものである。
軸流形ガスレーザ装置に関するものである。
第５図はこの穐の代表的な装置である軸流型ＯＵｚレー
ザ装置を模式的に示した正面断面図であり、（１）はパ
イレーＩクスガラスや酸化チタン等の誘電体よりなる放
電管、Ｑυ１＠はこの放電管（１）の外局に密着させて
設け１こ一対の給Ｗｔ極、（３）はこの給電電極（財）
、＠に聞流高圧を印加するための電［株］、（４）は放
電空間、０υは冷却水の入口、鏝は冷却水の出口である
。
ザ装置を模式的に示した正面断面図であり、（１）はパ
イレーＩクスガラスや酸化チタン等の誘電体よりなる放
電管、Ｑυ１＠はこの放電管（１）の外局に密着させて
設け１こ一対の給Ｗｔ極、（３）はこの給電電極（財）
、＠に聞流高圧を印加するための電［株］、（４）は放
電空間、０υは冷却水の入口、鏝は冷却水の出口である
。
まＴこ、第６図は上記の細流型ガスレーザ装置における
ガスの循環路を示す図であり、放電管（１）内の放電空
間（４）７ａ−ブロアαＧによって送給されろレーザガ
スは熱交換器α１Ｊを経て冷却され、再び放電空間（４
）に送給される。（５）は部分反射鏡、（６）は全反射
鏡、（７）は部分反射鏡から出力するレーザ光である。
ガスの循環路を示す図であり、放電管（１）内の放電空
間（４）７ａ−ブロアαＧによって送給されろレーザガ
スは熱交換器α１Ｊを経て冷却され、再び放電空間（４
）に送給される。（５）は部分反射鏡、（６）は全反射
鏡、（７）は部分反射鏡から出力するレーザ光である。
次に動作について説明する。上記のように構成されたガ
スレーザ装置において、一対の給電電極日。
スレーザ装置において、一対の給電電極日。
＠にｔ源（３）から交流電圧が印加されると、放電空間
（４）に無声放電が生じろ。この放電は誘電体よりなる
放電管（１）を通じて起こるので誘電体のキセパシテイ
ブ・バ％ スト＋にＡＰＡＵＩＴＩＶＥ ＢＡＬＬＡＳ
Ｔ」効果によってグロー状の放！となり、Ｃ０２レーサ
装置ノ場合、例えばＣＣｊ ｔ −Ｎ Ｚ−ｆｌｅ＝８
： ６０ ：８２の割合で混合され１こレーザガスが
放電窓間（４）に数十’ｌ’ｏｒｒの圧力で充填されて
おり、無声放電によって（３０１分子が励起さ第１、部
分反射鏡（５）と全反射鏡（６）で構成される光共振器
内でレーザ５＃賊が起こり、レーザ光の一部は矢印（７
）で示されるように部分反射鏡（５）より外部に取り出
される。レーザ発振は以上のよらに行われるが、レーザ
の発振効率（レーザ出力／放ｖｔ廖力λは放電空間（４
）のガス温度が高くなると低下するので、給′Ｎｔｔ極
ＱＤ。
（４）に無声放電が生じろ。この放電は誘電体よりなる
放電管（１）を通じて起こるので誘電体のキセパシテイ
ブ・バ％ スト＋にＡＰＡＵＩＴＩＶＥ ＢＡＬＬＡＳ
Ｔ」効果によってグロー状の放！となり、Ｃ０２レーサ
装置ノ場合、例えばＣＣｊ ｔ −Ｎ Ｚ−ｆｌｅ＝８
： ６０ ：８２の割合で混合され１こレーザガスが
放電窓間（４）に数十’ｌ’ｏｒｒの圧力で充填されて
おり、無声放電によって（３０１分子が励起さ第１、部
分反射鏡（５）と全反射鏡（６）で構成される光共振器
内でレーザ５＃賊が起こり、レーザ光の一部は矢印（７
）で示されるように部分反射鏡（５）より外部に取り出
される。レーザ発振は以上のよらに行われるが、レーザ
の発振効率（レーザ出力／放ｖｔ廖力λは放電空間（４
）のガス温度が高くなると低下するので、給′Ｎｔｔ極
ＱＤ。
＠内に冷却水を流して、放雷管（１）を間接的に冷却す
ることによってガス温度の上昇を抑えている。
ることによってガス温度の上昇を抑えている。
従来のガスレーザ装置は以上のように構成されており、
放電管の給電部長手方向端部と給ＩＦ！極の接合部に隙
間が形成されておらす、各電極の線膨張係数差（放窄管
：約５Ｘ１０−”、給電電極：約２０ Ｘ １０ ”−
”）により高温で給ｔＳＶ極が長手方向に伸びて放電管
を圧縮し・、放電管が破壊するという問題点かあっ１こ
。
放電管の給電部長手方向端部と給ＩＦ！極の接合部に隙
間が形成されておらす、各電極の線膨張係数差（放窄管
：約５Ｘ１０−”、給電電極：約２０ Ｘ １０ ”−
”）により高温で給ｔＳＶ極が長手方向に伸びて放電管
を圧縮し・、放電管が破壊するという問題点かあっ１こ
。
この発明は上記のような問題点を解消する１こめになさ
れたもので、実装稼動時に高温になっγことき給電電極
が伸ひても放電管を破壊し・ない信頼性の高いかつ耐久
性の長いガスレーザ装置ケ得ることを目的とする。
れたもので、実装稼動時に高温になっγことき給電電極
が伸ひても放電管を破壊し・ない信頼性の高いかつ耐久
性の長いガスレーザ装置ケ得ることを目的とする。
〔問題点を解決する１こめの手段〕
この発明に係るガスレーザ装置は、放電管と給Ｖｗ極の
長手方向接合部に空隙を設けたものである。
長手方向接合部に空隙を設けたものである。
この発明における放電管・給電′ＩＩＩ極間の長手方向
接合部空隙がある１こめ高温時に給電電極が伸びて熱歪
が空隙で吸収されろ形になり、放電管を直接圧縮するこ
とを防止でき、高温時の信頼性を高める。
接合部空隙がある１こめ高温時に給電電極が伸びて熱歪
が空隙で吸収されろ形になり、放電管を直接圧縮するこ
とを防止でき、高温時の信頼性を高める。
第１□（＆）はこの発明の一実施例によるガスレーザ装
置の構成を示す正面図である。（１）は放電管、り１）
、＠はこの放ＩＦ管（１）の外局に密着させて設けた一
対の給ＩＦ電極、（３）はＣ（７’）給＊１極Ｃ２１１
，（２６Ｇ（交流高圧を印加−ｒるｒこめのす趣、（４
）は放を空間、（９１）は冷却水の入口、Ｖ４は冷却水
の出口、（５）は部分反射鏡、（６）は全反射鏡、（７
）はレーザ光である。
置の構成を示す正面図である。（１）は放電管、り１）
、＠はこの放ＩＦ管（１）の外局に密着させて設けた一
対の給ＩＦ電極、（３）はＣ（７’）給＊１極Ｃ２１１
，（２６Ｇ（交流高圧を印加−ｒるｒこめのす趣、（４
）は放を空間、（９１）は冷却水の入口、Ｖ４は冷却水
の出口、（５）は部分反射鏡、（６）は全反射鏡、（７
）はレーザ光である。
ｍ１図（ｂ）は放電管（１）と給電電極（至）の長手方
向接合部拡大間で ■は放電！（１）と給電′ｑ櫓２ｖ
との間にあろ空隙である。
向接合部拡大間で ■は放電！（１）と給電′ｑ櫓２ｖ
との間にあろ空隙である。
上記のようζζ構成されγここの発明にまろガスレーザ
装置において、第１図（ｂ）で示すように放電管（１）
の接合部Ｒ２を、給電電極Ｑυの接合部凡１より大きく
して、窒陳■を設けろことにより、高温時に給電電極ｅ
２］１が長手方向（５）に線膨張係数の大きい故に（給
穿寧極：約２０Ｘ１０−’、放填管：約５×１Ｏ−５伸
びＴことき、伸びＴこ鳳が空隙■内に吸収されることに
なり、給＊＊極（２）が直接放電管（１）を圧縮するこ
とが乍くなろ。その１こめ放電管（１）の高温時のｆ１
壊が避けられる。
装置において、第１図（ｂ）で示すように放電管（１）
の接合部Ｒ２を、給電電極Ｑυの接合部凡１より大きく
して、窒陳■を設けろことにより、高温時に給電電極ｅ
２］１が長手方向（５）に線膨張係数の大きい故に（給
穿寧極：約２０Ｘ１０−’、放填管：約５×１Ｏ−５伸
びＴことき、伸びＴこ鳳が空隙■内に吸収されることに
なり、給＊＊極（２）が直接放電管（１）を圧縮するこ
とが乍くなろ。その１こめ放電管（１）の高温時のｆ１
壊が避けられる。
尚、上記実施例では、放電管（１）と給電１１１０１！
ｌｌｉζ凡加工を施しで空隙■を作つ１こものを示し、
たが、第２因〜第４図のように空ｙｌ■を作るとき、加
工を施してもよい。
ｌｌｉζ凡加工を施しで空隙■を作つ１こものを示し、
たが、第２因〜第４図のように空ｙｌ■を作るとき、加
工を施してもよい。
第２図は給電電極Ｃηに孔加工、放電管にストレート加
工を施し１こもの、第３囚は給ｗ１１Ｉｌｒ極５２１１
に面取り加工、放電管にｈ加工を施し１こもの、第４図
は給ｔ＊極Ｑυに面取り加工、放電管にストレート加工
を施し・１こものである。
工を施し１こもの、第３囚は給ｗ１１Ｉｌｒ極５２１１
に面取り加工、放電管にｈ加工を施し１こもの、第４図
は給ｔ＊極Ｑυに面取り加工、放電管にストレート加工
を施し・１こものである。
以上のように、この発明３ζよれば放電管お給電電極の
長手方向接合部に空隙を設けろように構成し・１こので
、高温時の放電管の破壊が防止でき、実装稼動の耐久性
向上や信頼性の向上が得られる効果がある。
長手方向接合部に空隙を設けろように構成し・１こので
、高温時の放電管の破壊が防止でき、実装稼動の耐久性
向上や信頼性の向上が得られる効果がある。
第１図（ａ）はこの発明の一実施例によるガスレーザ装
置の構成を示す正面図、第１肉（ｈ）は第１図（ａ）の
部分拡大内、第２図へ第４図はこの発明の他の実施例を
示′ｆ部分拡大図、第５図は従来のガスレ−ザ装置の構
成の一例を示す正面図、第６図は通常のガスレーザ装置
におけるレーザガスの循環の状態を示す模式図である。 図において（１）は放電管、シＤ、器は給電電極、０η
は冷却水入口、（イ）は冷却水出口である。 尚、因中同−符号は同一、又は相当部分を示す。
置の構成を示す正面図、第１肉（ｈ）は第１図（ａ）の
部分拡大内、第２図へ第４図はこの発明の他の実施例を
示′ｆ部分拡大図、第５図は従来のガスレ−ザ装置の構
成の一例を示す正面図、第６図は通常のガスレーザ装置
におけるレーザガスの循環の状態を示す模式図である。 図において（１）は放電管、シＤ、器は給電電極、０η
は冷却水入口、（イ）は冷却水出口である。 尚、因中同−符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (3)
- （１）誘電体よりなる放電管の外局に密着して設けた一
対の給電電極に交流電圧を印加し、上記放電管中のレー
ザガスの中でレーザ先を発振させるガスレーザ装置にお
いて、上記放電管の給電部長手方向端部と給電電極の接
合部に空隙を設けたことを特徴とするガスレーサ装置。 - （２）放電管の給電部長手方向端部と給電電極の接合部
をともに曲面状に加工したことを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載のガスレーザ装置。 - （３）放電管の給電部長手方向端部をストレート加工し
たものと給電電極の接合部を曲面状に加工したことを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP220887A JPS63169781A (ja) | 1987-01-08 | 1987-01-08 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP220887A JPS63169781A (ja) | 1987-01-08 | 1987-01-08 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63169781A true JPS63169781A (ja) | 1988-07-13 |
Family
ID=11522929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP220887A Pending JPS63169781A (ja) | 1987-01-08 | 1987-01-08 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63169781A (ja) |
-
1987
- 1987-01-08 JP JP220887A patent/JPS63169781A/ja active Pending
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