JP2002237630A - ガスレーザ装置用共振器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 損失が少なく、かつ長寿命なガスレーザ装置
用共振器を提供する。 【解決手段】 レーザチャンバ(2)内部に封入した腐食
性のレーザガスを増幅部(23)で励起してレーザ光(11)を
発振させるガスレーザ装置(1)に用られる、ガスレーザ
装置用共振器において、凹面形状でノーコート状態の内
側面(8B)と、レーザ光(11)を全反射する全反射コーティ
ング(21)を施した凸面形状の外側面(8A)とを備えたリア
ミラー(8)を、レーザガスに内側面(8B)を接触させてレ
ーザチャンバ(2)の一端部に取着したことを特徴とする
ガスレーザ装置用共振器。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、フッ素レーザ装置
等の腐食性ガスをレーザ媒質として用いるガスレーザ装
置の共振器構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１０に、従来技術に係るガスレーザ装
置１０１の構成図を示す。図１０において、フッ素や塩
素などの腐食性を有するガスをレーザガスとして用いる
ガスレーザ装置１０１は、レーザガスを封入するレーザ
チャンバ１０２を備えている。レーザチャンバ１０２内
部の所定位置には放電電極１２４，１２５が設けられ、
主放電１２８によってレーザガスを励起し、レーザ光１
１１を発振させる。放電電極１２４，１２５間に挟まれ
た空間を、増幅部１２３と言う。レーザチャンバ１０２
の両側壁には、レーザ光１１１が通過する通過孔１３
１，１３１が設けられ、通過孔１３１，１３１の外側に
は、図示しないミラーホルダによってフロントミラー１
０６及びリアミラー１０８が取着されている。レーザチ
ャンバ１０２の両側壁とミラー１０６，１０８との間
は、ベローズ１３４，１３４によって封止され、レーザ
ガスをレーザチャンバ１０２内部に封入した状態で、ミ
ラー１０６，１０８のレーザ光軸に対する角度を調整自
在となっている。

【０００３】リアミラー１０８の内側面１０８Ｂには、
レーザ光１１１を全反射する全反射コーティング１２１
が施されている。また、フロントミラー１０６の内側面
１０６Ｂには、レーザ光１１１を所定の反射率で反射す
る部分反射コーティング１２２が施されている。これに
より、レーザチャンバ１０２の内部で発振したレーザ光
１１１は、リアミラー１０８の内側面１０８Ｂとフロン
トミラー１０６の内側面１０６Ｂとで反射され、両者の
間を往復する。レーザ光１１１は、その間に放電電極１
２４，１２５間で増幅され、その一部がフロントミラー
１０６の部分反射コーティング１２２を透過して出射す
る。このとき、図１０に示すように、リアミラー１０８
の内側面１０８Ｂ及びフロントミラー１０６の内側面１
０６Ｂは所定の曲率を有した凹面となっている。これに
より、レーザ光１１１を内側に向けて反射し、レーザ光
１１１が増幅部１２３外に出ないように閉じ込めてい
る。フロントミラー１０６の内側面１０６Ｂは、フラッ
トの場合もある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来技術には、次に述べるような問題がある。即ち、フッ
素等の腐食性ガスをレーザガスとして用いる場合には、
ミラー１０６，１０８の内側面１０６Ｂ，１０８Ｂが腐
食性ガスに触れる。そのため、ミラー１０６，１０８の
内側面１０６Ｂ，１０８Ｂに施されたコーティング１２
１，１２２が腐食性ガスによって劣化してレーザ光１１
１を吸収し、ミラー１０６，１０８が汚損されてその寿
命が短くなるという問題がある。このような劣化は、紫
外線光によってさらに促進され、レーザ光１１１が紫外
線波長である場合に特に顕著である。

【０００５】また、コーティング１２１，１２２の劣化
を防ぐ技術として、図１１に示すように、レーザ光１１
１を透過するウィンドウ１０７，１０９をミラー１０
６，１０８の代わりに配設し、ウィンドウ１０７，１０
９の両外側にミラー１０６，１０８を配置する外部共振
器型のガスレーザ装置１０１が知られている。しかしな
がら、外部共振器型のガスレーザ装置１０１において
は、ウィンドウ１０７，１０９の外側にミラー１０６，
１０８を配置することにより、ミラー１０６，１０８の
間隔ｄが長くなる。その結果、フレネル数ｎFが小さく
なって回折損失が増大してしまい、利得（ゲイン）の小
さなエキシマレーザ装置やフッ素レーザ装置において
は、外部共振器型では充分な出力を得られないという問
題がある。尚、フレネル数ｎFは（ａ・ａ）／（ｄ・
λ）で表され、ａはレーザ光１１１のビーム径、λはレ
ーザ光１１１の波長である。

【０００６】さらに、図１１に示すように、ウィンドウ
１０７，１０９の内側面１０７Ｂ，１０９Ｂにはコーテ
ィング１２１，１２２が施されていない。そのため、レ
ーザ光１１１の一部１１１Ａが内側面１０７Ｂ，１０９
Ｂで反射し、増幅部１２３外へ漏れてしまうという問題
がある。この漏れたレーザ光１１１Ａは損失となり、レ
ーザ光１１１の発振効率を低下させて出力を低下させ
る。

【０００７】本発明は、上記の問題に着目してなされた
ものであり、損失が少なく、かつ長寿命なガスレーザ装
置用共振器を提供することを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段、作用及び効果】上記の目
的を達成するために、本発明は、レーザチャンバ内部に
封入した腐食性のレーザガスを増幅部で励起してレーザ
光を発振させるガスレーザ装置に用られる、ガスレーザ
装置用共振器において、レーザチャンバの少なくとも一
端部に、凹面形状でノーコート状態の内側面を備えた光
学部品を、レーザガスに内側面を接触させて取着してい
る。かかる構成によれば、コーティングが腐食性ガスに
触れることがないので、コーティングが腐食性ガスによ
って汚損されることが少ない。従って、レーザ光の発振
効率が向上し、出力が増大するとともに、光学部品の寿
命が延びる。また、光学部品の内側面を凹面としている
ので、光学部品内側面で反射したレーザ光の成分が、増
幅部に確実に戻る。これにより、損失が小さくなるた
め、レーザ光の発振効率が向上し、出力が増大する。

【０００９】また、本発明は、凹面形状でノーコート状
態の内側面を備えた光学部品がレーザ光を全反射するリ
アミラーであり、リアミラーの外側面を凸面形状として
いる。かかる構成によれば、リアミラーの内側面を凹面
とし、外側面を凸面形状としているので、内側面で反射
されたレーザ光も外側面で反射されたレーザ光も、いず
れも増幅部に戻るようになる。これにより、損失が小さ
くなるため、レーザ光の発振効率が向上し、出力が増大
する。

【００１０】また、本発明は、凹面形状でノーコート状
態の内側面を備えた光学部品が、レーザ光を部分反射す
るフロントミラー、及びレーザ光を全反射するリアミラ
ーであり、レーザチャンバの一端部に外側面を凸面形状
としたフロントミラーを他端部に外側面を凸面形状とし
たリアミラーを、それぞれ取着している。かかる構成に
よれば、リアミラーとフロントミラーとをレーザガスに
接触させているので、ウィンドウをミラー間に用いる場
合に比べて共振器長が短くなり、回折損失が低減してレ
ーザ光の出力が増加する。

【００１１】また、本発明は、前記光学部品の外側面の
曲率と内側面との曲率とを略一致させている。これによ
り、光学部品の外側面と内側面では反射したレーザ光と
が、略同一の光路を通って増幅部に戻る。これにより、
レーザ光の光路が安定し、レーザのビームプロファイル
の強度分布が常に一定となる。

【００１２】また、本発明は、前記光学部品の外側面
に、レーザ光を所定の比率で反射又は透過するコーティ
ングを施している。これにより、レーザ光の透過率又は
反射率を、常に所望する値に定めることができ、ガスレ
ーザ装置の設計が容易になる。さらには、リアミラーの
場合には外側面に全反射コーティングを施すが、これに
よってレーザ光がリアミラーを透過して失われることが
なく、出力の低下が防止できる。

【００１３】また、本発明は、前記ガスレーザ装置が、
マイクロ波によって励起されるマイクロ波励起ガスレー
ザ装置である。マイクロ波励起ガスレーザ装置は、利得
が非常に小さく、発振するレーザ光の出力が小さい。本
発明による共振器を用いることにより、損失を小さくし
て、出力を増大させることが可能である。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図を参照しながら、本発明
に係る実施形態を詳細に説明する。まず、第１実施形態
を説明する。図１に、第１実施形態に係るエキシマレー
ザ装置１の共振器の構成図を示す。図１において、エキ
シマレーザ装置１は、フッ素を含むレーザガスを封入し
たレーザチャンバ２を備えている。レーザチャンバ２の
両側壁には、レーザ光１１が通過する通過孔３１，３１
が設けられている。通過孔３１，３１の外側には、フロ
ントミラー６及びリアミラー８を固定するミラーホルダ
２０，２０が、固定ネジ１９によって固定されている。
ミラー６，８とミラーホルダ２０，２０との間は、Ｏリ
ング３３，３３によって封止されている。

【００１５】図１に示すように、フロントミラー６及び
リアミラー８は、ともに凸面形状の外側面６Ａ，８Ａと
凹面形状の内側面６Ｂ，８Ｂとから構成されている。そ
して、いずれも内側面６Ｂ，８Ｂがレーザチャンバ２側
に向くように、ミラーホルダ２０，２０に固定されてい
る。レーザチャンバ２の両側壁とミラーホルダ２０との
間は、ベローズ３４，３４によって封止され、レーザガ
スをレーザチャンバ２内部に封入した状態で、ミラー
６，８のレーザ光軸に対する角度を調整自在となってい
る。

【００１６】フロントミラー６及びリアミラー８は、フ
ッ素に耐性を有するフッ化カルシウム（ＣａＦ2）等の
材質で形成されており、内側面６Ｂ，８Ｂにはコーティ
ングが施されていない。このように、光学部品にコーテ
ィングを施さずに、材質をむき出しにした状態を、ノー
コートという。一方、リアミラー８の外側面８Ａには、
その内側面８Ｂ側から進行してきたレーザ光１１を全反
射する全反射コーティング２１が施されている。また、
フロントミラー６の外側面６Ａには、その内側面６Ｂ側
から進行してきたレーザ光１１を部分反射し、一部を透
過する部分反射コーティング２２が施されている。この
とき、フロントミラー６の、外側面６Ａの曲率半径と内
側面６Ｂの曲率半径とは、略同一となるように構成され
ている。或いは、フロントミラー６の外側面６Ａの曲率
中心と内側面６Ｂの曲率中心とが略一致するように、外
側面６Ａの曲率半径をわずかに大きくしてもよい。上記
のような外側面６Ａの曲率半径と内側面６Ｂの曲率半径
との関係は、リアミラー８についても同様であり、曲率
半径を略一致させるか、曲率中心を略一致させるように
するのがよい。

【００１７】ミラー６，８間には、一組の放電電極２
４，２５が、対向して配置されている。放電電極２４，
２５に挟まれた空間を、増幅部２３と呼ぶ。増幅部２３
には、図示しないブロアによって図１中紙面と垂直方向
に、例えば奥から手前に向かってレーザガスが送り込ま
れる。図示しない高圧電源から放電電極２４，２５間に
高電圧を印加することによって、放電電極２４，２５間
に主放電２８が生じ、レーザガスが励起されてレーザ光
１１が図１中左右方向に発生する。発生したレーザ光１
１は、ミラー６，８間で反射されるうちに主放電２８に
よって増幅され、その一部がフロントミラー６を透過し
てエキシマレーザ装置１の前方（図１中右方）に出射す
る。

【００１８】図２に、リアミラー８の近傍の詳細図を示
す。図２に示すように、リアミラー８で全反射されるレ
ーザ光１１の大部分（約９６％）の成分１１Ａは、内側
面８Ｂを透過して外側面８Ａに形成された全反射コーテ
ィング２１によって、レーザチャンバ２内部へ反射さ
れ、増幅部２３で再増幅される。一方、レーザ光１１の
残りの成分１１Ｂは、外側面８Ａと略同一の曲率半径を
有する内側面８Ｂで、上記外側面８Ａで反射された大部
分のレーザ光１１Ａと同様の角度で反射される。そし
て、外側面８Ａで反射されたレーザ光１１と同様の光路
を辿ってレーザチャンバ２内部へ戻り、増幅部２３で再
増幅される。

【００１９】図３に、フロントミラー６近傍の詳細図を
示す。図３に示すように、フロントミラー６に入射した
レーザ光１１の大部分（約９６％）の成分１１Ｃは、内
側面６Ｂを透過する。そして、透過したレーザ光１１Ｃ
のうち、一部は外側面６Ａに施された部分反射コーティ
ング２２によって、レーザチャンバ２内部へ反射されて
増幅部２３で再増幅される。他は、部分反射コーティン
グ２２を透過して、フロントミラー６から出射する。一
方、レーザ光１１の残りの成分１１Ｄは、外側面６Ａと
略同一の曲率半径を有する内側面６Ｂで、上記外側面６
Ａで反射された大部分のレーザ光１１Ｃと同様の角度で
反射される。そして、外側面６Ａで反射されたレーザ光
１１と同様の光路を辿ってレーザチャンバ２内部へ戻
り、やはり増幅部２３で再増幅される。

【００２０】以上説明したように第１実施形態によれ
ば、リアミラー８及びフロントミラー６のフッ素に触れ
る内側面６Ｂ，６Ｂをノーコートとし、外側面８Ａ，８
Ａにコーティング２１，２２を施すようにしている。こ
れにより、コーティング２１，２２がフッ素等の腐食性
ガスに触れることがないので、コーティング２１，２２
が汚損してリアミラー８及びフロントミラー６の透過率
が低下したり、破損したりすることがない。従って、レ
ーザ光１１の発振効率が向上し、出力が増大するととも
に、光学部品の寿命が延びる。

【００２１】また、ミラー６，８の内側面６Ｂ，８Ｂを
凹面としている。即ち、図４に示すように、内側面８Ｂ
がフラットであれば、ミラー６，８間で往復を繰り返す
うちに、内側面８Ｂで反射したレーザ光１１の一部１１
Ｂが外側へと反射し、増幅部２３から外れて損失とな
る。第１実施形態では、ミラー６，８の内側面６Ｂ，８
Ｂを凹面としたことにより、内側面６Ｂ，８Ｂで反射し
たレーザ光１１の成分を、増幅部２３に確実に戻してい
る。従って、同じフレネル数ｎFであっても、共振器に
おける損失が小さくなるため、レーザ光１１の発振効率
が向上し、出力が増大する。しかも、ウィンドウをミラ
ー６，８の間に介在させていないので、ミラー間隔ｄを
短くして、フレネル数ｎFを小さくすることができ、回
折損失が小さくなる。これにより、効率良くレーザ光１
１を発振させることが可能となっている。

【００２２】また、リアミラー８及びフロントミラー６
の内側面６Ｂ，８Ｂの曲率を、それぞれの外側面６Ａ，
８Ａの曲率と略同一としている。これにより、外側面６
Ａ，８Ａで反射したレーザ光１１Ａと内側面６Ｂ，８Ｂ
で反射したレーザ光１１Ｂとが略同一の光路を通るの
で、レーザ光１１の光路が安定し、その強度分布が一定
となる。尚、内側面６Ｂ，８Ｂと外側面６Ａ，８Ａとの
曲率中心が略一致するようにすれば、レーザ光１１Ａ，
１１Ｂがより一致した光路を通るので、尚良い。さらに
は、フロントミラー６の外側面６Ａの曲率中心と、リア
ミラー８の外側面８Ａの曲率中心とを一致させる共焦点
系共振器にすると、さらに損失が少なくなるので、より
好適である。尚、リアミラー８及びフロントミラー６、
或いはそのうちの一方が、１方向にのみ曲率を有するシ
リンドリカル形状をしていてもよい。

【００２３】図５に、第１実施形態に係るエキシマレー
ザ装置１の、他の実施例を示す。図５において、レーザ
チャンバ２とリアミラー８とは、図１と同様の構成を有
している。フロントミラー６は、内側面６Ｂ、外側面６
Ａともにフラットな形状を有しており、その外側面６Ａ
に図１と同様に部分反射コーティング２２を施してい
る。これにより、フロントミラー６から出射するレーザ
光１１は、図１に示したものに比べて発散角が小さくな
り、平行度が向上する。従って、集光性がよく、また断
面形状の変形が容易であり、加工に用いるに好適であ
る。また、リアミラー８を内側面８Ｂ、外側面８Ａとも
にフラット形状とし、フロントミラー６の内側面６Ｂを
凹面、外側面６Ａを凸面としてもよい。

【００２４】次に、第２実施形態を説明する。図６は、
第２実施形態に係るマイクロ波励起型のエキシマレーザ
装置１の構成図を示している。図６において、エキシマ
レーザ装置１は、レーザ媒質であるレーザガスを循環さ
せるガス循環部４と、レーザガスを励起するためのマイ
クロ波３０を発生させるマイクロ波発生部５と、レーザ
光１１を発振させる増幅部２６を内部に有するレーザチ
ャンバ２とを備えている。ガス循環部４は、レーザガス
が循環する風洞２７を備えている。風洞２７には、レー
ザガスを循環させてレーザチャンバ２に送り込むブロア
１４と、レーザガスを冷却するための熱交換器３とが接
続されている。また、風洞２７の一部は、接続をフレキ
シブルにするためにベローズ１０で構成されている。

【００２５】また、マイクロ波発生部５は、マイクロ波
３０を発生させるマイクロ波発生器１２と、マイクロ波
３０をレーザチャンバ２内に伝搬するマイクロ波導波路
１３と、アイソレータ１５と、チューナ１６とを備えて
いる。図示しない電源から供給される電力により、マイ
クロ波発生器１２からマイクロ波３０が発生する。一例
として、マイクロ波３０の周波数は２．４５ＧＨｚとし
ている。マイクロ波発生器１２から発生したマイクロ波
３０は、マイクロ波導波路１３内を伝播し、Ｔ字管１７
において、上方に進むマイクロ波３０と下方に進むマイ
クロ波３０とに分割される。このとき、それぞれのパワ
ーは、元のマイクロ波発生器１２から発生したマイクロ
波３０の１／２ずつとなる。上下のマイクロ波３０，３
０は、それぞれマイクロ波３０が逆戻りするのを防ぐア
イソレータ１５，１５を通過し、チューナ１６，１６を
通ることでインピーダンス整合を取られる。

【００２６】レーザチャンバ２内部の増幅部２３の構造
を、図７に示す。フロントミラー６及びリアミラー８を
それぞれ固定するミラーホルダ２０，２０の構造は、図
１に示したものと同様である。また、第１実施形態と同
様に、ミラー６，８の内側面６Ｂ，８Ｂは凹面形状を有
しており、外側面６Ａ，８Ａは凸面形状を有している。
そして、いずれも内側面６Ｂ，８Ｂを、レーザチャンバ
２に向けて配置されている。フロントミラー６の外側面
６Ａには部分反射コーティング２２が、リアミラー８の
外側面８Ａには全反射コーティング２１が、それぞれ施
されており、それぞれの内側面６Ｂ，８Ｂは、いずれも
ノーコートとなっている。増幅部２６には、ブロア１４
によって推力を与えられたレーザガスが、図７中紙面と
垂直方向に、例えば奥から手前に向かって高速で流れて
いる。チューナ１６，１６を通過した上下のマイクロ波
３０，３０は、レーザチャンバ２内で増幅部２６に垂直
方向上下から線状に照射され、増幅部２６のレーザガス
を連続的に励起する。これにより、レーザガスの流れ方
向及びマイクロ波３０，３０の照射方向と垂直に、レー
ザ光１１が連続発振し、前方（図７中右方）に出射す
る。

【００２７】このように、第２実施形態によれば、マイ
クロ波によってレーザガスを励起し、レーザ光１１を発
振させるエキシマ装置１において、ミラー６，８の内側
面６Ｂ，８Ｂをノーコートとしている。これにより、コ
ーティング２１，２２がフッ素等の腐食性ガスに触れる
ことがないので、コーティングが汚損してリアミラー８
及びフロントミラー６の透過率が低下したり、破損した
りすることがない。従って、レーザ光１１の発振効率が
向上し、出力が増大するとともに、光学部品の寿命が延
びる。また、ミラー６，８の内側面６Ｂ，８Ｂを凹面と
しており、増幅部から外れるレーザ光が少ない。しか
も、ミラー６，８の間にウィンドウ等を介在させていな
いので、ミラー間隔ｄを短くして、フレネル数ｎFを小
さくすることができる。これにより、損失が小さくな
り、マイクロ波励起のように利得が小さなエキシマレー
ザ装置においても、効率良くレーザ光１１を発振させる
ことが可能となっている。

【００２８】次に、第３実施形態について説明する。図
８に、第３実施形態に係るエキシマレーザ装置１の共振
器の構成図を示す。図８において、レーザチャンバ２の
両端部に設けられた通過孔３１，３１には、図示しない
ウィンドウホルダによって、レーザ光１１を高透過率で
透過するウィンドウ７，９がそれぞれ取着されている。
ウィンドウ７，９の内側面７Ｂ，９Ｂは、いずれも凹面
形状を有しており、ノーコートとなっている。また、ウ
ィンドウ７，９の外側面７Ａ，９Ａはフラット形状とな
っており、レーザ光１１を高透過率で透過する無反射コ
ーティング３２，３２が施されている。

【００２９】フロントウィンドウ７の前方（図８中右
方）には、レーザ光１１を所定の反射率で部分反射する
フロントミラー６が、リアウィンドウ９の後方には、レ
ーザ光１１を全反射するリアミラー８が、それぞれ配置
されている。フロントミラー６の内側面６Ｂ及び外側面
６Ａには、レーザ光１１を所定反射率で反射する部分反
射コーティング２２，２２がそれぞれ施されている。ま
た、リアミラー８の内側面８Ｂには、レーザ光１１を全
反射する全反射コーティング２１が施されている。

【００３０】図９に、リアウィンドウ９の近傍の詳細図
を示す。図９に示すように、リアウィンドウ９に入射し
たレーザ光１１の大部分（約９６％）の成分１１Ｅは、
内側面９Ｂを透過し、外側面９Ａに形成された無反射コ
ーティング３２によって、高透過率でリアミラー８に入
射する。そして、リアミラー８の内側面８Ｂで全反射コ
ーティング２１によって反射され、リアウィンドウ９に
再入射する。一方、リアウィンドウ９に入射したレーザ
光１１の残りの成分１１Ｆは、リアウィンドウ９の内側
面９Ｂで反射されて、レーザチャンバ２内部へ戻る。こ
のとき、内側面９Ｂが凹面となっているため、内側面９
Ｂで反射した成分は増幅部２３の内部に閉じ込められ、
再増幅される。即ち、レーザ光１１が増幅部２３から外
れて損失となることが少ないので、効率の良いレーザ発
振が可能である。

【００３１】尚、第３実施形態のウィンドウ７，９は、
第１実施形態におけるリアミラー８やフロントミラー６
のように、外側面７Ａ，９Ａを凸面にして、無反射コー
ティング３２を施してもよい。このようにしても、レー
ザ光１１は無反射コーティング３２によってウィンドウ
７，９を高透過率で透過するので、同様の効果が得られ
る。また、レーザチャンバ２の一端部（例えば前部）
に、第３実施形態に係るウィンドウ７を固定してその前
方にフロントミラー６を配置し、他端部にはウィンドウ
を介することなく、第１実施形態で説明したようなリア
ミラー８を取り付けてもよい。さらには、前後を入れ替
えてもよい。

【００３２】尚、上記エキシマレーザ装置の例として
は、ＫｒＦエキシマレーザ装置やＡｒＦエキシマレーザ
装置等がある。さらに、以上の説明は、エキシマレーザ
装置を例に取って行なったが、レーザガスとして腐食性
のガスを用いるフッ素レーザ装置、ＨＦレーザ装置等の
ガスレーザ装置に対して効果がある。また、上記におい
て腐食性とは、レーザ光１１の反射率を定めるためにミ
ラーの表面に施されるコーティングを腐食するか否かが
問題となる。即ち、一般的な腐食性のみに限らず、コー
ティングを腐食するようなガスを用いてレーザ発振を行
なう場合に、すべて有効である。さらに、フロントミラ
ー６及びリアミラー８をどちらも備えたレーザ装置につ
いて説明したが、これに限られるものではない。例え
ば、リアミラー８の代わりに狭帯域化素子であるグレー
ティングを備えた狭帯域化エキシマレーザ装置において
も、フロントミラー６の内側面６Ｂを凹面とし、ノーコ
ートとすることにより、損失の少ないレーザ装置を得る
ことが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態に係る共振器の構成図。

【図２】リアミラー近傍の詳細図。

【図３】フロントミラーの近傍の詳細図。

【図４】ミラーの内側面をフラットにした場合の説明
図。

【図５】第１実施形態に係る共振器の、他の実施例を示
す構成図。

【図６】第２実施形態に係るエキシマレーザ装置の構成
図。

【図７】レーザチャンバ内部の増幅部の説明図。

【図８】第３実施形態に係る共振器の構成図。

【図９】リアウィンドウ近傍の詳細図。

【図１０】従来技術に係るガスレーザ装置の構成図。

【図１１】従来技術に係る外部共振器型のレーザ装置の
構成図。

【符号の説明】

１：エキシマレーザ装置、２：レーザチャンバ、３：熱
交換器、４：ガス循環部、５：マイクロ波発生部、６：
フロントミラー、７：フロントウィンドウ、８：リアミ
ラー、９：リアウィンドウ、１０：ベローズ、１１：レ
ーザ光、１２：マイクロ波発生器、１３：マイクロ波導
波路、１４：ブロア、１５：アイソレータ、１６：チュ
ーナ、１７：Ｔ字管、１９：固定ネジ、２０：ミラーホ
ルダ、２１：全反射コーティング、２２：部分反射コー
ティング、２３：増幅部、２４：放電電極、２５：放電
電極、２６：増幅部、２７：風洞、３０：マイクロ波、
３１：通過孔、３２：無反射コーティング、３３：Ｏリ
ング、３４：ベローズ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大見 忠弘 宮城県仙台市青葉区米ヶ袋２−１−17− 301 (72)発明者 篠原 壽邦 宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉05 Ｆターム(参考） 5F071 AA06 DD05 DD06 EE04 FF07 FF08 JJ03

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザチャンバ(2)内部に封入した腐食
   性のレーザガスを増幅部(23)で励起してレーザ光(11)を
   発振させるガスレーザ装置(1)に用られる、ガスレーザ
   装置用共振器において、 レーザチャンバ(2)の少なくとも一端部に、凹面形状で
   ノーコート状態の内側面(6B-9B)を備えた光学部品(6-9)
   を、レーザガスに内側面(6B-9B)を接触させて取着した
   ことを特徴とするガスレーザ装置用共振器。
2. 【請求項２】 請求項１記載のガスレーザ装置用共振器
   において、 前記凹面形状でノーコート状態の内側面を備えた光学部
   品がレーザ光(11)を全反射するリアミラー(8)であり、 リアミラー(8)の外側面(8A)を凸面形状としたことを特
   徴とするガスレーザ装置用共振器。
3. 【請求項３】 請求項１記載のガスレーザ装置用共振器
   において、 前記凹面形状でノーコート状態の内側面を備えた光学部
   品が、レーザ光(11)を部分反射するフロントミラー
   (6)、及びレーザ光(11)を全反射するリアミラー(8)であ
   り、 レーザチャンバ(2)の一端部に外側面(6A)を凸面形状と
   したフロントミラー(6)を他端部に外側面(8A)を凸面形
   状としたリアミラー(8)を、それぞれ取着したことを特
   徴とするガスレーザ装置用共振器。
4. 【請求項４】 請求項２又は３記載のガスレーザ装置用
   共振器において、 前記光学部品(6,8)の外側面(6A,8A)の曲率と内側面(6B,
   8B)との曲率とを略一致させたことを特徴とするガスレ
   ーザ装置用共振器。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかに記載のガスレ
   ーザ装置用共振器において、 前記光学部品の外側面(6A,8A)に、レーザ光(11)を所定
   の比率で反射又は透過するコーティング(21,22)を施し
   たことを特徴とするガスレーザ装置用共振器。
6. 【請求項６】 請求項１〜５のいずれかに記載のガスレ
   ーザ装置用共振器において、 前記ガスレーザ装置(1)が、マイクロ波(30)によって励
   起されるマイクロ波励起ガスレーザ装置であることを特
   徴とするガスレーザ装置用共振器。