JPH0213470B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0213470B2 JPH0213470B2 JP675486A JP675486A JPH0213470B2 JP H0213470 B2 JPH0213470 B2 JP H0213470B2 JP 675486 A JP675486 A JP 675486A JP 675486 A JP675486 A JP 675486A JP H0213470 B2 JPH0213470 B2 JP H0213470B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- active layer
- layer
- mesa structure
- indium
- mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Led Devices (AREA)
- Weting (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61006754A JPS62165384A (ja) | 1986-01-16 | 1986-01-16 | 半導体発光装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61006754A JPS62165384A (ja) | 1986-01-16 | 1986-01-16 | 半導体発光装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62165384A JPS62165384A (ja) | 1987-07-21 |
| JPH0213470B2 true JPH0213470B2 (OSRAM) | 1990-04-04 |
Family
ID=11646971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61006754A Granted JPS62165384A (ja) | 1986-01-16 | 1986-01-16 | 半導体発光装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62165384A (OSRAM) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0641584U (ja) * | 1992-11-18 | 1994-06-03 | 方義 渡辺 | 腰掛けのついた風呂桶 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6206247B2 (ja) * | 2014-02-26 | 2017-10-04 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
-
1986
- 1986-01-16 JP JP61006754A patent/JPS62165384A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0641584U (ja) * | 1992-11-18 | 1994-06-03 | 方義 渡辺 | 腰掛けのついた風呂桶 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62165384A (ja) | 1987-07-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2827326B2 (ja) | 半導体レーザの製造方法 | |
| JP2018139264A (ja) | 光半導体素子及びその製造方法 | |
| JP2815769B2 (ja) | 半導体レーザの製造方法 | |
| JPH0213470B2 (OSRAM) | ||
| JP3108183B2 (ja) | 半導体レーザ素子とその製造方法 | |
| JP2542570B2 (ja) | 光集積素子の製造方法 | |
| JPH07111361A (ja) | 埋込型半導体レーザ素子及びその製造方法 | |
| JP2685499B2 (ja) | 半導体レーザ素子 | |
| JP3652454B2 (ja) | 半導体レーザ及びその製造方法 | |
| JPH0682886B2 (ja) | 半導体レーザ装置の製造方法 | |
| JPH0680861B2 (ja) | 半導体発光装置の製造方法 | |
| JPH01209777A (ja) | 半導体レーザ素子の製作方法 | |
| JPH0568873B2 (OSRAM) | ||
| KR950002207B1 (ko) | 반도체 레이저 다이오드 | |
| JPH04229682A (ja) | 半導体レーザの製造方法 | |
| JPS596588A (ja) | 半導体レ−ザ | |
| JPS61150393A (ja) | 半導体レ−ザおよびその製造方法 | |
| JPS6361793B2 (OSRAM) | ||
| JPS63250886A (ja) | 半導体レ−ザ素子の製造方法 | |
| JPH05206581A (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
| JP2528834B2 (ja) | 半導体レ−ザ装置 | |
| JP2999520B2 (ja) | 半導体発光素子の製造方法 | |
| JPH01309393A (ja) | 半導体レーザ装置及びその製造方法 | |
| JPH07162078A (ja) | 半導体レーザ素子及びその製造方法 | |
| JP2678153B2 (ja) | 半導体レーザ素子の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |