JPH02127809A - 弾性表面波トランスデューサ - Google Patents
弾性表面波トランスデューサInfo
- Publication number
- JPH02127809A JPH02127809A JP28194488A JP28194488A JPH02127809A JP H02127809 A JPH02127809 A JP H02127809A JP 28194488 A JP28194488 A JP 28194488A JP 28194488 A JP28194488 A JP 28194488A JP H02127809 A JPH02127809 A JP H02127809A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- finger
- width
- weighting
- acoustic wave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 5
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 2
- 101000766332 Homo sapiens Tribbles homolog 1 Proteins 0.000 description 1
- 102100026387 Tribbles homolog 1 Human genes 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は弾性表面波(以下SAWという)トランスデユ
ーサに関し、特にSAWトランスデユーサの重みづけ方
法に関する。
ーサに関し、特にSAWトランスデユーサの重みづけ方
法に関する。
従来、この種のSAWトランスデユーサの重みづけ方法
としては、場所によって電極指の交差幅を変化させるア
ボダイズド法や、交差幅一定で交差幅の有無によって重
みづけをする間引き法がある。
としては、場所によって電極指の交差幅を変化させるア
ボダイズド法や、交差幅一定で交差幅の有無によって重
みづけをする間引き法がある。
第5図、第6図は従来の圧電基板上のSAWトランスデ
ユーサのパターンの平面図を示す。これは、等しい指幅
G、の電極指33.34を有する第1.第2電極エレメ
ント31.32のパターンおよび指幅G6のダブル電極
指43.442有する第1、第2電極エレメント41.
42のパターンを示している。
ユーサのパターンの平面図を示す。これは、等しい指幅
G、の電極指33.34を有する第1.第2電極エレメ
ント31.32のパターンおよび指幅G6のダブル電極
指43.442有する第1、第2電極エレメント41.
42のパターンを示している。
上述した従−来の重みつけ法において、アボダイズ法は
細かい重みづけか可能であるが、回折効果による劣化が
顕著であり、重みづけのタップ数が多い場合、設計どう
り特性が出ないという欠点がある。また、間引き法は交
差幅が一定であるため回折効果に強いが、交差幅の有無
による符号で重みづけるため、重みづけエラーが大きく
なりやすく、細かな重みづけには不向きであるという欠
点がある。
細かい重みづけか可能であるが、回折効果による劣化が
顕著であり、重みづけのタップ数が多い場合、設計どう
り特性が出ないという欠点がある。また、間引き法は交
差幅が一定であるため回折効果に強いが、交差幅の有無
による符号で重みづけるため、重みづけエラーが大きく
なりやすく、細かな重みづけには不向きであるという欠
点がある。
本発明の目的は、これらの欠点を除き、自由度のある重
みづけができると共に、回折効果による劣化を除き、ま
た重みづけエラーを少くしたSAWトランスデユーサを
提供することにある。
みづけができると共に、回折効果による劣化を除き、ま
た重みづけエラーを少くしたSAWトランスデユーサを
提供することにある。
本発明の構成は、圧電基板上に第1および第2の電極エ
レメントを対向させたインターディジタル型弾性表面波
トランスデユーサにおいて、前記第1の電極エレメント
の電極指の幅寸法G1とこの第1の電極エレメントの電
極指と隣り合い対となる前記第2の電極エレメントの電
極指の幅寸法G2とが異なると共に、前記各電極指の電
極ピッチがこのトランスデユーサ内で一定であることを
特徴とする。
レメントを対向させたインターディジタル型弾性表面波
トランスデユーサにおいて、前記第1の電極エレメント
の電極指の幅寸法G1とこの第1の電極エレメントの電
極指と隣り合い対となる前記第2の電極エレメントの電
極指の幅寸法G2とが異なると共に、前記各電極指の電
極ピッチがこのトランスデユーサ内で一定であることを
特徴とする。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の一実施例のパターン図である。本実施
例において、第1.第2の電極エレメント11.12は
、それぞれ異った指幅G1G2の電極指13.14を有
すること特徴とする。この場合、シングル電極の構造で
あり、電極指13の指幅G1と電極指14の指幅G2と
の和は弾性表面波の波長λの半分の値としている。
例において、第1.第2の電極エレメント11.12は
、それぞれ異った指幅G1G2の電極指13.14を有
すること特徴とする。この場合、シングル電極の構造で
あり、電極指13の指幅G1と電極指14の指幅G2と
の和は弾性表面波の波長λの半分の値としている。
本実施例のパターンのある部分とない部分の割合は、従
来の構造と同じく1:1であるが、本実施例では対とな
る電極指13.14の大さGIG2が互いに異なるため
、第2図に示すように、SAWの励振効率が1;1に比
べ低下する。すなわち、第2図のように、励振効率の線
幅比の依存性を用いて重みづけが可能となる。
来の構造と同じく1:1であるが、本実施例では対とな
る電極指13.14の大さGIG2が互いに異なるため
、第2図に示すように、SAWの励振効率が1;1に比
べ低下する。すなわち、第2図のように、励振効率の線
幅比の依存性を用いて重みづけが可能となる。
第3図は本発明の第2の実施例のパターン図で、ダブル
電極の場合である。この場合、第1、第2電極パターン
21.22の電極指23.24は、指幅G3と04の和
が波長λの4分の1の値となっている。
電極の場合である。この場合、第1、第2電極パターン
21.22の電極指23.24は、指幅G3と04の和
が波長λの4分の1の値となっている。
第4図は本発明の第3の実施例のSAWトランスデユー
サのパターン図である。この実施例は、第1.第2の電
極エレメント51.52の中央部の電極指55.56の
指幅G1oを等しくして外側の電極指53.54の指幅
G II+ 012を一方を太く、他方を細くなるよう
異ならせ、線幅比を変化させた場合を示している。
サのパターン図である。この実施例は、第1.第2の電
極エレメント51.52の中央部の電極指55.56の
指幅G1oを等しくして外側の電極指53.54の指幅
G II+ 012を一方を太く、他方を細くなるよう
異ならせ、線幅比を変化させた場合を示している。
これは、間引き型と同様に交差幅を一定に、しかもアポ
ダイズド型と同様にアナログ的に自由度のある重みづけ
が可能となる。この構造は回折劣化に強い構造であり、
優れたフィルタ特性を実現できる。
ダイズド型と同様にアナログ的に自由度のある重みづけ
が可能となる。この構造は回折劣化に強い構造であり、
優れたフィルタ特性を実現できる。
また、アボダイズド電極にこの構造を用いることも可能
である。すなわち、重みづけ係数の小さい部分は従来交
差幅を極めて小さくして回折劣化が生じやすいが、係数
の小さい部分に本構造を用いて、交差幅としては広げる
ことが可能となり、アボダイズド電極の高性能化も可能
となる。
である。すなわち、重みづけ係数の小さい部分は従来交
差幅を極めて小さくして回折劣化が生じやすいが、係数
の小さい部分に本構造を用いて、交差幅としては広げる
ことが可能となり、アボダイズド電極の高性能化も可能
となる。
以上説明したように本発明は、パターンのある部分とな
い部分の割合が1−1であるが、対となる電極指の太さ
が互いに異なるため、SAWの励振効率が1:1に比べ
低下する。従って、励振効率の線幅比の依存性を用いて
重みづけが可能であり、自由度のある重みづけが可能で
あり、かつ回折効果によって特性劣化を防止でき、すな
わち、回折劣化に強い構造であり、優れたフィルタ特性
を実現できる。
い部分の割合が1−1であるが、対となる電極指の太さ
が互いに異なるため、SAWの励振効率が1:1に比べ
低下する。従って、励振効率の線幅比の依存性を用いて
重みづけが可能であり、自由度のある重みづけが可能で
あり、かつ回折効果によって特性劣化を防止でき、すな
わち、回折劣化に強い構造であり、優れたフィルタ特性
を実現できる。
第1図、第3図は本発明の第1および第2の実施例のパ
ターン図、第2図は本実施例の動作を説明する励振効率
の線幅比依存性を示す特性図、第4図は本発明を応用し
たトランスデユーサの一例のパターン図、第5図、第6
図は従来の5AW)ランスデューサの2つの例のパター
ン図である。 11.21,31,41.51・・・第1の電極工レメ
ント、12,22,32.42.52・・・第2の電極
エレメント、13,14.23,24,33.34.4
3,44.53〜56・・・電極指。
ターン図、第2図は本実施例の動作を説明する励振効率
の線幅比依存性を示す特性図、第4図は本発明を応用し
たトランスデユーサの一例のパターン図、第5図、第6
図は従来の5AW)ランスデューサの2つの例のパター
ン図である。 11.21,31,41.51・・・第1の電極工レメ
ント、12,22,32.42.52・・・第2の電極
エレメント、13,14.23,24,33.34.4
3,44.53〜56・・・電極指。
Claims (2)
- (1)圧電基板上に第1および第2の電極エレメントを
対向させたインターディジタル型弾性表面波トランスデ
ューサにおいて、前記第1の電極エレメントの電極指の
幅寸法G_1とこの第1の電極エレメントの電極指と隣
り合い対となる前記第2の電極エレメントの電極指の幅
寸法G_2とが異なると共に、前記各電極指の電極ピッ
チがこのトランスデューサ内で一定であることを特徴と
する弾性表面波トランスデューサ。 - (2)各電極指の幅寸法G_1,G_2の比がトランス
デューサ内で変化したものである請求項(1)記載の弾
性表面波トランスデューサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28194488A JPH02127809A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 弾性表面波トランスデューサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28194488A JPH02127809A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 弾性表面波トランスデューサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02127809A true JPH02127809A (ja) | 1990-05-16 |
Family
ID=17646091
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28194488A Pending JPH02127809A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 弾性表面波トランスデューサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02127809A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190015626A (ko) | 2015-03-27 | 2019-02-13 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 공진자, 탄성파 필터 및 듀플렉서 |
US10763822B2 (en) | 2018-01-12 | 2020-09-01 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave resonator, filter, and multiplexer |
WO2021261464A1 (ja) * | 2020-06-26 | 2021-12-30 | 京セラ株式会社 | 弾性波共振子、弾性波フィルタ、分波器、通信装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5144890A (ja) * | 1974-10-15 | 1976-04-16 | Tokyo Shibaura Electric Co | |
JPS5452958A (en) * | 1977-10-04 | 1979-04-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Elastic surface wave device |
-
1988
- 1988-11-07 JP JP28194488A patent/JPH02127809A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5144890A (ja) * | 1974-10-15 | 1976-04-16 | Tokyo Shibaura Electric Co | |
JPS5452958A (en) * | 1977-10-04 | 1979-04-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Elastic surface wave device |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190015626A (ko) | 2015-03-27 | 2019-02-13 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 공진자, 탄성파 필터 및 듀플렉서 |
US10298205B2 (en) | 2015-03-27 | 2019-05-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave resonator, elastic wave filter, and duplexer |
US10763822B2 (en) | 2018-01-12 | 2020-09-01 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave resonator, filter, and multiplexer |
WO2021261464A1 (ja) * | 2020-06-26 | 2021-12-30 | 京セラ株式会社 | 弾性波共振子、弾性波フィルタ、分波器、通信装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW425758B (en) | Surface acoustic wave device | |
JPH02127809A (ja) | 弾性表面波トランスデューサ | |
JP2006186623A (ja) | 弾性表面波素子、その製造方法、及び弾性表面波デバイス | |
JP4706337B2 (ja) | 弾性表面波素子のidtの設計方法および弾性表面波素子形成用フォトマスク並びに弾性表面波素子の製造方法、弾性表面波素子 | |
JP2738179B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ用重みづけ電極 | |
JP2844968B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ用重み付け電極 | |
JP4379143B2 (ja) | トランスバーサル型弾性表面波フィルタ | |
JP3132898B2 (ja) | 弾性表面波素子の製造方法 | |
JPH06164286A (ja) | 弾性表面波共振子の製造方法 | |
JP4131591B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JPS61220515A (ja) | 弾性表面波装置 | |
JPH03217109A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
JPH0666130U (ja) | 弾性表面波共振子 | |
JPH01226207A (ja) | 弾性表面波素子 | |
JPH07162054A (ja) | 圧電薄膜の形成方法 | |
JPS6181014A (ja) | 表面弾性波デバイス | |
JPH05218787A (ja) | 弾性表面波フィルタ用重み付け電極 | |
JPH0351326B2 (ja) | ||
JPH0595251A (ja) | 弾性表面波フイルタ用重み付け電極 | |
JPH05121991A (ja) | 反射バンク型一方向性sawデバイス | |
JPH02295306A (ja) | 弾性表面波多重モードフィルタ | |
JPS60144013A (ja) | インタ−デイジタル型表面弾性波変換器 | |
JPH088680A (ja) | 弾性表面波一方向性変換器及び電子装置 | |
JPH0548373A (ja) | 弾性表面波回路 | |
JP2001168680A (ja) | 弾性表面波素子 |