JP2001168680A - 弾性表面波素子 - Google Patents
弾性表面波素子Info
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- JP2001168680A JP2001168680A JP34570999A JP34570999A JP2001168680A JP 2001168680 A JP2001168680 A JP 2001168680A JP 34570999 A JP34570999 A JP 34570999A JP 34570999 A JP34570999 A JP 34570999A JP 2001168680 A JP2001168680 A JP 2001168680A
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- Japan
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- acoustic wave
- surface acoustic
- interdigital
- interdigital electrodes
- electrode
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 挿入損失の小さい弾性表面波フィルタを得る
ことを目的とする。 【解決手段】 横モード結合共振器型の弾性表面波フィ
ルタにおいて、入力側櫛型インターデジタル電極３の本
数（Ｍ）と出力側櫛型インターデジタル電極４の本数
（Ｎ）との比（Ｍ／ＮまたはＮ／Ｍ）が１／１１〜３／
８になるように構成する。
ことを目的とする。 【解決手段】 横モード結合共振器型の弾性表面波フィ
ルタにおいて、入力側櫛型インターデジタル電極３の本
数（Ｍ）と出力側櫛型インターデジタル電極４の本数
（Ｎ）との比（Ｍ／ＮまたはＮ／Ｍ）が１／１１〜３／
８になるように構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、弾性表面波（Surf
ace Acoustic Wave：ＳＡＷ）を利用してなる弾性表面
波素子の構造に関するものである。
ace Acoustic Wave：ＳＡＷ）を利用してなる弾性表面
波素子の構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、移動体通信機器本体の小型化に伴
い、これら機器に搭載される弾性表面波フィルタ等の弾
性表面波素子についても小型化の開発が急速に進められ
ている。従来より、弾性表面波素子の１つである弾性表
面波フィルタにおいては、櫛型インターデジタル電極の
パターンや膜厚を変えることにより、所望の特性（中心
周波数や通過帯域、挿入損失等）が得られるように設計
している。
い、これら機器に搭載される弾性表面波フィルタ等の弾
性表面波素子についても小型化の開発が急速に進められ
ている。従来より、弾性表面波素子の１つである弾性表
面波フィルタにおいては、櫛型インターデジタル電極の
パターンや膜厚を変えることにより、所望の特性（中心
周波数や通過帯域、挿入損失等）が得られるように設計
している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】然し乍ら、従来におい
て、弾性表面波素子の１つである横モード結合共振器型
の弾性表面波フィルタでは、一般に反射器の本数を増加
させることによって低挿入損失化を行なってきたが、こ
のような手法では、前記したような弾性表面波フィルタ
の小型化という要求に応じることができなかった。
て、弾性表面波素子の１つである横モード結合共振器型
の弾性表面波フィルタでは、一般に反射器の本数を増加
させることによって低挿入損失化を行なってきたが、こ
のような手法では、前記したような弾性表面波フィルタ
の小型化という要求に応じることができなかった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め本発明では、横モード結合共振器型の弾性表面波素子
において、入力側の櫛型インターデジタル電極の本数と
出力側の櫛型インターデジタル電極の本数とが互いに異
なるように構成したことを特徴とする弾性表面波素子。
め本発明では、横モード結合共振器型の弾性表面波素子
において、入力側の櫛型インターデジタル電極の本数と
出力側の櫛型インターデジタル電極の本数とが互いに異
なるように構成したことを特徴とする弾性表面波素子。
【０００５】また本発明では、前記入力側の櫛型インタ
ーデジタル電極の本数（Ｍ）と前記出力側の櫛型インタ
ーデジタル電極の本数（Ｎ）との比（Ｍ／ＮまたはＭ／
Ｎ）が１／１１〜３／８になるように構成したことを特
徴とする弾性表面波素子。
ーデジタル電極の本数（Ｍ）と前記出力側の櫛型インタ
ーデジタル電極の本数（Ｎ）との比（Ｍ／ＮまたはＭ／
Ｎ）が１／１１〜３／８になるように構成したことを特
徴とする弾性表面波素子。
【０００６】さらに本発明では、前記入力側の櫛型イン
ターデジタル電極及び前記出力側の櫛型インターデジタ
ル電極が、オイラー角表示で（0°,126°,0°）のLiTaO
3基板上に形成されていることを特徴とする。
ターデジタル電極及び前記出力側の櫛型インターデジタ
ル電極が、オイラー角表示で（0°,126°,0°）のLiTaO
3基板上に形成されていることを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態について詳述する。
施の形態について詳述する。
【０００８】先ず、図１は横モード結合共振器型の弾性
表面波フィルタのパターン構成を示す図である。同図に
おいて、１は入力電極、２は出力電極、３は櫛形の電極
指で構成される入力側櫛型インターデジタル電極、４は
櫛形の電極指で構成される出力側櫛型インターデジタル
電極、５及び６は前記入力側櫛型インターデジタル電極
３及び出力側櫛型インターデジタル電極４の両側に配置
された反射器、７は一端が接地された共通電極である。
表面波フィルタのパターン構成を示す図である。同図に
おいて、１は入力電極、２は出力電極、３は櫛形の電極
指で構成される入力側櫛型インターデジタル電極、４は
櫛形の電極指で構成される出力側櫛型インターデジタル
電極、５及び６は前記入力側櫛型インターデジタル電極
３及び出力側櫛型インターデジタル電極４の両側に配置
された反射器、７は一端が接地された共通電極である。
【０００９】本発明では、入力側櫛型インターデジタル
電極の本数Ｍと出力側櫛型インターデジタル電極の本数
Ｎとを異ならせた点に特徴があり、さらには、入力側櫛
型インターデジタル電極の本数Ｍと出力側櫛型インター
デジタル電極の本数Ｎとの比（Ｍ／ＮまたはＮ／Ｍ）を
１／１１〜３／８になるように構成したことに特徴があ
る。
電極の本数Ｍと出力側櫛型インターデジタル電極の本数
Ｎとを異ならせた点に特徴があり、さらには、入力側櫛
型インターデジタル電極の本数Ｍと出力側櫛型インター
デジタル電極の本数Ｎとの比（Ｍ／ＮまたはＮ／Ｍ）を
１／１１〜３／８になるように構成したことに特徴があ
る。
【００１０】上記の如く構成された図１に示す横モード
結合共振器型の弾性表面波フィルタについて、基板の材
質をオイラー角表示で（0°,126°,0°）のLiTaO3基
板、そして前記各反射器５及び６の本数：100本、膜
厚：0.2μｍ、ピッチ（λ／２）：10μｍ、電極幅：5μ
ｍ、また、前記入力側櫛型インターデジタル電極３及び
出力側櫛型インターデジタル電極４の膜厚：0.2μｍ，
ピッチ（λ／２）：10μｍ、電極幅：5μｍ、開口長
（Ｗｏ）：184μｍとし、そして、前記入力側櫛型イン
ターデジタル電極３，出力型インターデジタル電極４，
各反射器５及び６の材質をアルミ電極とし、さらに入力
側櫛型インターデジタル電極３の本数Ｍ及び出力側櫛型
インターデジタル電極４の本数Ｎを下記表１に示すよう
に種々変化させてシミュレーションを行った。
結合共振器型の弾性表面波フィルタについて、基板の材
質をオイラー角表示で（0°,126°,0°）のLiTaO3基
板、そして前記各反射器５及び６の本数：100本、膜
厚：0.2μｍ、ピッチ（λ／２）：10μｍ、電極幅：5μ
ｍ、また、前記入力側櫛型インターデジタル電極３及び
出力側櫛型インターデジタル電極４の膜厚：0.2μｍ，
ピッチ（λ／２）：10μｍ、電極幅：5μｍ、開口長
（Ｗｏ）：184μｍとし、そして、前記入力側櫛型イン
ターデジタル電極３，出力型インターデジタル電極４，
各反射器５及び６の材質をアルミ電極とし、さらに入力
側櫛型インターデジタル電極３の本数Ｍ及び出力側櫛型
インターデジタル電極４の本数Ｎを下記表１に示すよう
に種々変化させてシミュレーションを行った。
【００１１】
【表１】
【００１２】尚、入力側櫛型インターデジタル電極３の
デューティ比は５０％（前記図１において、a1とa2の距
離が等しいということ）、出力側櫛型インターデジタル
電極４のデューティ比についても５０％（前記図１にお
いて、b1とb2の距離が等しいということ）としている。
デューティ比は５０％（前記図１において、a1とa2の距
離が等しいということ）、出力側櫛型インターデジタル
電極４のデューティ比についても５０％（前記図１にお
いて、b1とb2の距離が等しいということ）としている。
【００１３】そして、図２乃至図６は、入力側櫛型イン
ターデジタル電極３の本数Ｍ及び出力側櫛型インターデ
ジタル電極４の本数Ｎを前記表１のＮｏ．１乃至Ｎｏ．
５の如く、種々変化させた場合における挿入損失の様子
を示すグラフである。
ターデジタル電極３の本数Ｍ及び出力側櫛型インターデ
ジタル電極４の本数Ｎを前記表１のＮｏ．１乃至Ｎｏ．
５の如く、種々変化させた場合における挿入損失の様子
を示すグラフである。
【００１４】先ず、入力側櫛型インターデジタル電極３
の本数Ｍ及び出力側櫛型インターデジタル電極４の本数
Ｎとの比（Ｍ／Ｎ）を２／３とした場合、図２に示すよ
うに、中心周波数f0（グラフにおけるピーク部分）にお
ける挿入損失が1.9dBであり、挿入損失の大きいフィル
タ特性となっている。
の本数Ｍ及び出力側櫛型インターデジタル電極４の本数
Ｎとの比（Ｍ／Ｎ）を２／３とした場合、図２に示すよ
うに、中心周波数f0（グラフにおけるピーク部分）にお
ける挿入損失が1.9dBであり、挿入損失の大きいフィル
タ特性となっている。
【００１５】尚、比較のため、従来の横モード結合共振
器型の弾性表面波フィルタと同様に、入力側櫛型インタ
ーデジタル電極３の本数Ｍ及び出力側櫛型インターデジ
タル電極４の本数Ｎとの比（Ｍ／Ｎ）を１とした場合に
ついても同図にデータを記した。以下、図３乃至図５に
おいても同様である。
器型の弾性表面波フィルタと同様に、入力側櫛型インタ
ーデジタル電極３の本数Ｍ及び出力側櫛型インターデジ
タル電極４の本数Ｎとの比（Ｍ／Ｎ）を１とした場合に
ついても同図にデータを記した。以下、図３乃至図５に
おいても同様である。
【００１６】図２乃至図５に示すように、入力側櫛型イ
ンターデジタル電極３の本数Ｍ及び出力側櫛型インター
デジタル電極４の本数Ｎとの比（Ｍ／Ｎ）を１とした場
合、中心周波数f0における挿入損失が1.8dBであった。
そこで、本実施例では、これよりも小さい挿入損失1.7d
Bを評価の基準とし、中心周波数f0における挿入損失が
1.7dB以内の条件を満足したものを合格と判断した。
ンターデジタル電極３の本数Ｍ及び出力側櫛型インター
デジタル電極４の本数Ｎとの比（Ｍ／Ｎ）を１とした場
合、中心周波数f0における挿入損失が1.8dBであった。
そこで、本実施例では、これよりも小さい挿入損失1.7d
Bを評価の基準とし、中心周波数f0における挿入損失が
1.7dB以内の条件を満足したものを合格と判断した。
【００１７】次に、入力側櫛型インターデジタル電極３
の本数Ｍ及び出力側櫛型インターデジタル電極４の本数
Ｎとの比（Ｍ／Ｎ）を３／８とした場合、図３に示すよ
うに、中心周波数f0における挿入損失が1.26dBであり、
挿入損失の小さいフィルタ特性となっている。
の本数Ｍ及び出力側櫛型インターデジタル電極４の本数
Ｎとの比（Ｍ／Ｎ）を３／８とした場合、図３に示すよ
うに、中心周波数f0における挿入損失が1.26dBであり、
挿入損失の小さいフィルタ特性となっている。
【００１８】また、同様に入力側櫛型インターデジタル
電極３の本数Ｍ及び出力側櫛型インターデジタル電極４
の本数Ｎとの比（Ｍ／Ｎ）を１／５とした場合、図４に
示すように、中心周波数f0における挿入損失が0.75dBで
あり、挿入損失の小さいフィルタ特性となっている。
電極３の本数Ｍ及び出力側櫛型インターデジタル電極４
の本数Ｎとの比（Ｍ／Ｎ）を１／５とした場合、図４に
示すように、中心周波数f0における挿入損失が0.75dBで
あり、挿入損失の小さいフィルタ特性となっている。
【００１９】さらに、同様に入力側櫛型インターデジタ
ル電極３の本数Ｍ及び出力側櫛型インターデジタル電極
４の本数Ｎとの比（Ｍ／Ｎ）を１／１１とした場合につ
いても、図５に示すように、中心周波数f0における挿入
損失が0.6dBであり、挿入損失の小さいフィルタ特性と
なっている。
ル電極３の本数Ｍ及び出力側櫛型インターデジタル電極
４の本数Ｎとの比（Ｍ／Ｎ）を１／１１とした場合につ
いても、図５に示すように、中心周波数f0における挿入
損失が0.6dBであり、挿入損失の小さいフィルタ特性と
なっている。
【００２０】尚、前記図２乃至図５において、中心周波
数f0の位置が各グラフで若干異なっているが、これは櫛
型インターデジタル電極の本数を変えたために生じたも
のである。
数f0の位置が各グラフで若干異なっているが、これは櫛
型インターデジタル電極の本数を変えたために生じたも
のである。
【００２１】以上の結果をまとめると、下記表２のよう
になる。
になる。
【００２２】
【表２】
【００２３】これより、入力側櫛型インターデジタル電
極３の本数Ｍ及び出力側櫛型インターデジタル電極４の
本数Ｎとの比（Ｍ／Ｎ）が１／１１〜３／８になるよう
に構成した場合に、中心周波数f0における挿入損失の小
さい優れたフィルタ特性を有する弾性表面波フィルタと
なることが判った。
極３の本数Ｍ及び出力側櫛型インターデジタル電極４の
本数Ｎとの比（Ｍ／Ｎ）が１／１１〜３／８になるよう
に構成した場合に、中心周波数f0における挿入損失の小
さい優れたフィルタ特性を有する弾性表面波フィルタと
なることが判った。
【００２４】尚、上記の例では、入力側櫛型インターデ
ジタル電極３の本数Ｍ及び出力側櫛型インターデジタル
電極４の本数Ｎとの比（Ｍ／Ｎ）が１／１１〜３／８に
なるように構成した場合について示したが、これを入れ
替えて、出力側櫛型インターデジタル電極４の本数Ｎと
入力型インターデジタル電極３の本数Ｍとの比（Ｎ／
Ｍ）を１／１１〜３／８になるように構成しても同様の
結果が得られる。
ジタル電極３の本数Ｍ及び出力側櫛型インターデジタル
電極４の本数Ｎとの比（Ｍ／Ｎ）が１／１１〜３／８に
なるように構成した場合について示したが、これを入れ
替えて、出力側櫛型インターデジタル電極４の本数Ｎと
入力型インターデジタル電極３の本数Ｍとの比（Ｎ／
Ｍ）を１／１１〜３／８になるように構成しても同様の
結果が得られる。
【００２５】さらに、前記の例ではピッチ（λ／２）：
10μｍとしたが、ピッチ（λ／２）：2.3μｍとした場
合にも同様の結果（即ち、前記比（Ｍ／Ｎ）または（Ｎ
／Ｍ）が１／１１〜３／８のときに中心周波数f0におけ
る挿入損失の小さいフィルタ特性となる）が得られるこ
とを確認した。
10μｍとしたが、ピッチ（λ／２）：2.3μｍとした場
合にも同様の結果（即ち、前記比（Ｍ／Ｎ）または（Ｎ
／Ｍ）が１／１１〜３／８のときに中心周波数f0におけ
る挿入損失の小さいフィルタ特性となる）が得られるこ
とを確認した。
【００２６】
【発明の効果】以上、詳述した如く本発明に依れば中心
周波数f0における挿入損失の小さい優れたフィルタ特性
を有する弾性表面波素子とすることができる。
周波数f0における挿入損失の小さい優れたフィルタ特性
を有する弾性表面波素子とすることができる。
【図１】横モード結合共振器型の弾性表面波フィルタの
パターン構成を示す図である。
パターン構成を示す図である。
【図２】弾性表面波フィルタの特性を示すグラフであ
る。
る。
【図３】弾性表面波フィルタの特性を示すグラフであ
る。
る。
【図４】弾性表面波フィルタの特性を示すグラフであ
る。
る。
【図５】弾性表面波フィルタの特性を示すグラフであ
る。
る。
１ 入力電極 ２ 出力電極 ３ 入力側櫛型インターデジタル電極 ４ 出力側櫛型インターデジタル電極 ５ 反射器 ６ 反射器 ７ 共通電極
Claims (3)
- 【請求項１】 横モード結合共振器型の弾性表面波素子
において、入力側の櫛型インターデジタル電極の本数と
出力側の櫛型インターデジタル電極の本数とが互いに異
なるように構成したことを特徴とする弾性表面波素子。 - 【請求項２】 前記入力側の櫛型インターデジタル電極
の本数（Ｍ）と前記出力側の櫛型インターデジタル電極
の本数（Ｎ）との比（Ｍ／ＮまたはＮ／Ｍ）が１／１１
〜３／８になるように構成したことを特徴とする弾性表
面波素子。 - 【請求項３】 前記入力側の櫛型インターデジタル電極
及び前記出力側の櫛型インターデジタル電極が、オイラ
ー角表示で（0°,126°,0°）のLiTaO3基板上に形成さ
れていることを特徴とする請求項１乃至請求項２記載の
弾性表面波素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34570999A JP2001168680A (ja) | 1999-12-06 | 1999-12-06 | 弾性表面波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34570999A JP2001168680A (ja) | 1999-12-06 | 1999-12-06 | 弾性表面波素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001168680A true JP2001168680A (ja) | 2001-06-22 |
Family
ID=18378441
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34570999A Pending JP2001168680A (ja) | 1999-12-06 | 1999-12-06 | 弾性表面波素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001168680A (ja) |
-
1999
- 1999-12-06 JP JP34570999A patent/JP2001168680A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040720 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040903 |
|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20040908 |
|
| A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20041105 |