JPH02101530U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02101530U JPH02101530U JP974689U JP974689U JPH02101530U JP H02101530 U JPH02101530 U JP H02101530U JP 974689 U JP974689 U JP 974689U JP 974689 U JP974689 U JP 974689U JP H02101530 U JPH02101530 U JP H02101530U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction chamber
- reaction
- forming member
- reaction tube
- attached
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 4
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例であるＭＯＣＶＤ装
置の要部を示す縦断面図である。 １０……反応管、１８……基台（本体部分）、
２４……円筒部材（被付着部材）、３０……基板
、３２……基板支持台、４０……可動ブロツク（
本体部分）、４６……円板部材（被付着部材）、
５２……反応室。
置の要部を示す縦断面図である。 １０……反応管、１８……基台（本体部分）、
２４……円筒部材（被付着部材）、３０……基板
、３２……基板支持台、４０……可動ブロツク（
本体部分）、４６……円板部材（被付着部材）、
５２……反応室。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 一端部に形成された開口から基板支持台が挿入
される中空の反応管と、該反応管の開口部に配設
されて該反応管と共に反応室を形成する反応室形
成部材とを有し、該反応室内に原料ガスが供給さ
れることにより前記基板支持台に支持された基板
に有機金属化学気相成長法によつて半導体をエピ
タキシヤル成長させるＭＯＣＶＤ装置において、 前記反応室形成部材のうち、前記反応室に露出
して該反応室内で発生した反応生成物が付着させ
られる部分を被付着部材として別体に構成し、該
被付着部材を前記反応室形成部材の本体部分に着
脱可能に取り付けるようにしたことを特徴とする
ＭＯＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP974689U JPH02101530U (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP974689U JPH02101530U (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02101530U true JPH02101530U (ja) | 1990-08-13 |
Family
ID=31216762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP974689U Pending JPH02101530U (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02101530U (ja) |
-
1989
- 1989-01-30 JP JP974689U patent/JPH02101530U/ja active Pending