JPH01110268U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01110268U JPH01110268U JP567688U JP567688U JPH01110268U JP H01110268 U JPH01110268 U JP H01110268U JP 567688 U JP567688 U JP 567688U JP 567688 U JP567688 U JP 567688U JP H01110268 U JPH01110268 U JP H01110268U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate holding
- holding jig
- vapor phase
- growth
- phase epitaxial
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 claims 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例の断面図、第２図は従
来装置を示す断面図である。 １……反応管、２……加熱炉、３，４……成長
室、５，６……原料ソース、７，８……原料ガス
導入管、９……基板保持治具、１０……基板、１
１……支持部、１２……結合部、１３……切欠き
（脆弱部）、１４……移動機構、１５……過負荷
検出機構。
来装置を示す断面図である。 １……反応管、２……加熱炉、３，４……成長
室、５，６……原料ソース、７，８……原料ガス
導入管、９……基板保持治具、１０……基板、１
１……支持部、１２……結合部、１３……切欠き
（脆弱部）、１４……移動機構、１５……過負荷
検出機構。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 複数の成長室を有する気相エピタキシアル成
長装置において、成長室の対向位置間を順次移動
する基板保持治具と該基板保持治具を支える支持
部との結合部に、基板保持治具が成長室に衝突し
た際に切損させる脆弱部を設けたことを特徴とす
る気相エピタキシアル成長装置。 ２ 複数の成長室を有する気相エピタキシアル成
長装置において、成長室の対向位置間に基板保持
治具を順次移動させる移動機構に、基板保持治具
が成長室に衝突した際の過負荷を検出して該移動
機構に駆動停止指令を発する過負荷検出機構を装
備したことを特徴とする気相エピタキシアル成長
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP567688U JPH0613264Y2 (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | 気相エピタキシアル成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP567688U JPH0613264Y2 (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | 気相エピタキシアル成長装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01110268U true JPH01110268U (ja) | 1989-07-25 |
| JPH0613264Y2 JPH0613264Y2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=31209260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP567688U Expired - Lifetime JPH0613264Y2 (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | 気相エピタキシアル成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0613264Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-01-20 JP JP567688U patent/JPH0613264Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0613264Y2 (ja) | 1994-04-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH01110268U (ja) | ||
| JPH0187173U (ja) | ||
| JPH02122072U (ja) | ||
| JPS63167725U (ja) | ||
| JPS63140619U (ja) | ||
| JPS61177440U (ja) | ||
| JPH0246868U (ja) | ||
| JPH0351834U (ja) | ||
| JPH0210470U (ja) | ||
| JPH0363570U (ja) | ||
| JPH01140816U (ja) | ||
| JPH01120326U (ja) | ||
| JPS6422025U (ja) | ||
| JPS6319565U (ja) | ||
| JPH0229521U (ja) | ||
| JPH0263533U (ja) | ||
| JPS6170928U (ja) | ||
| JPS55158199A (en) | Manufacture of sheetlike single crystal ferrite | |
| JPS6262432U (ja) | ||
| JPS63154664U (ja) | ||
| JPH0418428U (ja) | ||
| JPS63124731U (ja) | ||
| JPH0482839U (ja) | ||
| JPH0413665U (ja) | ||
| JPH03120030U (ja) |