JPS6370649U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6370649U JPS6370649U JP16537986U JP16537986U JPS6370649U JP S6370649 U JPS6370649 U JP S6370649U JP 16537986 U JP16537986 U JP 16537986U JP 16537986 U JP16537986 U JP 16537986U JP S6370649 U JPS6370649 U JP S6370649U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- raw material
- ion source
- material gas
- supply pipes
- gas supply
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案に係るイオン源用原料供給装置
の一実施例の構成図、第２図は主に固体蒸発器の
内部構造を示す断面図である。 ４０……固体蒸発器、４３……原料、５０……
原料ガス供給管、６０……加熱器、７０……イオ
ン源。
の一実施例の構成図、第２図は主に固体蒸発器の
内部構造を示す断面図である。 ４０……固体蒸発器、４３……原料、５０……
原料ガス供給管、６０……加熱器、７０……イオ
ン源。
Claims (1)
- ガス化した原料をイオン源へ供給するイオン源
用原料供給装置において、前記イオン源に接続さ
れた一又は複数の原料ガス供給管と、前記原料ガ
ス供給管の他端に接続され、かつ内部に充填した
前記原料を気化させて原料ガスを生成する固体蒸
発器と、前記固体蒸発器から前記イオン源までの
原料供給途中で、前記原料ガスを加熱する加熱器
とを具備してなることを特徴とするイオン源用原
料供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16537986U JPS6370649U (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16537986U JPS6370649U (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6370649U true JPS6370649U (ja) | 1988-05-12 |
Family
ID=31095368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16537986U Pending JPS6370649U (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6370649U (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01246747A (ja) * | 1988-03-29 | 1989-10-02 | Ulvac Corp | イオン源 |
| JP2006196465A (ja) * | 1999-12-13 | 2006-07-27 | Semequip Inc | イオン注入イオン源、システム、および方法 |
| JP2009544120A (ja) * | 2006-07-14 | 2009-12-10 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | マルチソース型のプラズマ集束イオン・ビーム・システム |
| JP2019139990A (ja) * | 2018-02-13 | 2019-08-22 | 株式会社アルバック | イオン源及びイオン注入装置 |
| JP2023500912A (ja) * | 2019-11-07 | 2023-01-11 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 固体ドーパント材料の安定性及び性能を高めるための挿入可能なターゲットホルダ |
-
1986
- 1986-10-27 JP JP16537986U patent/JPS6370649U/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01246747A (ja) * | 1988-03-29 | 1989-10-02 | Ulvac Corp | イオン源 |
| JP2006196465A (ja) * | 1999-12-13 | 2006-07-27 | Semequip Inc | イオン注入イオン源、システム、および方法 |
| JP2011066022A (ja) * | 1999-12-13 | 2011-03-31 | Semequip Inc | イオン注入イオン源、システム、および方法 |
| JP2009544120A (ja) * | 2006-07-14 | 2009-12-10 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | マルチソース型のプラズマ集束イオン・ビーム・システム |
| JP2019139990A (ja) * | 2018-02-13 | 2019-08-22 | 株式会社アルバック | イオン源及びイオン注入装置 |
| JP2023500912A (ja) * | 2019-11-07 | 2023-01-11 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 固体ドーパント材料の安定性及び性能を高めるための挿入可能なターゲットホルダ |