JPH0161263B2 - - Google Patents

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JPH0161263B2
JPH0161263B2 JP2961482A JP2961482A JPH0161263B2 JP H0161263 B2 JPH0161263 B2 JP H0161263B2 JP 2961482 A JP2961482 A JP 2961482A JP 2961482 A JP2961482 A JP 2961482A JP H0161263 B2 JPH0161263 B2 JP H0161263B2
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JP
Japan
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mos
signal
circuit
fets
fet
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JP2961482A
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JPS58146131A (ja
Inventor
Eiji Masuda
Kenji Matsuo
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Toshiba Corp
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Priority to JP2961482A priority Critical patent/JPS58146131A/ja
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Publication of JPH0161263B2 publication Critical patent/JPH0161263B2/ja
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/51Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used
    • H03K17/56Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used by the use, as active elements, of semiconductor devices
    • H03K17/687Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used by the use, as active elements, of semiconductor devices the devices being field-effect transistors

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Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明はMOS FETを用いたMOS FETス
イツチ回路の改良に関する。 〔発明の技術的背景とその問題点〕 近年、アナログ信号およびデイジタル信号が混
在しているMOS ICの発達に伴い、複雑でかつ高
度な機能を持つものが出現している。そしてこれ
らにはたとえば、1チツプのA/Dコンバータ、
D/Aコンバータ、スイツチドキヤパシタフイル
タ等がある。これらMOS ICのアナログ回路要素
としては、MOS FETスイツチ回路、キヤパシ
タ、増幅回路、抵抗網等があり、回路機能が複雑
化かつ高度化するのに伴ないこれらのアナログ回
路要素としてもより高度な回路特性を持つものが
要求される。 ところでMOSアナログ回路の基本素子である
MOS FETそのものをスイツチとして用いる場
合、オフ時にゲート信号がドレイン電極あるいは
ソース電極側に漏れるため、負荷として容量性の
ものを用いるとオフセツト電圧が生じる。すなわ
ち、単一のMOS FETを用いたMOS FETスイ
ツチは、容量負荷の場合、ゲート・ドレイン間あ
るいはゲート・ソース間の寄生容量によつて生じ
るチヤージカツプリングによるいわゆるフイード
スルー効果によりゲート信号が出力に漏れ、これ
がオフセツト電圧発生の原因となつている。そし
てこのオフセツト電圧がMOSアナログ回路の精
度の劣化を招いている。このために、従来では、
MOS FETスイツチ回路におけるオフセツト電
圧の発生を防止するための種々の回路が開発され
ており、その一例としてたとえば、昭和55年度電
子通信学会通信部門全国大会で日本電信電話公社
武蔵野通信研究所の松谷康之、菊池博行が発表し
た回路がある。第1図はそのうちの一つのMOS
FETスイツチ回路の構成図である。この回路は
信号入力端1にPチヤネルMOS FET2および
NチヤネルMOS FET3のソース電極を共に接
続し、このPチヤネルMOS FET2およびNチ
ヤネルMOS FET3のドレイン電極を共に信号
出力端4に接続し、さらにPチヤネルMOS
FET2のゲート電極にはインバータ5によつて
作られる制御信号φを供給し、NチヤネルMOS
FET3のゲート電極にはインバータ6によつて
作られる制御信号φを供給する。なお、上記両
MOS FET2,3のチヤネル幅は等しく設定さ
れている(チヤネル長も等しく設定され、素子寸
法が等しく設定されている)。このような回路に
おいて、信号入力端1にはたとえば一定出力電圧
値をもつ電力源7が接続されていると共に信号出
力端4には負荷容量8が接続されている。このよ
うなMOS FETスイツチ回路において、いま、
インバータ5に制御信号を供給すると、Pチヤ
ネルMOS FET2のゲート電極には制御信号φ
が、NチヤネルMOS FET3のゲート電極には
制御信号がそれぞれ供給され、両MOS FET
2,3はオンする。そしてこれらMOS FET2,
3がオフする際、制御信号φ、の電圧変化は逆
方向となり、しかも両MOS FET2,3の素子
寸法は等しく設定されて前記寄生容量の値も等し
いので、両MOS FET2,3では互いに逆極性
で同量のオフセツト電圧が発生する。この結果、
上記逆極性のオフセツト電圧が互いにキヤンセル
されて、信号出力端4における実質的なオフセツ
ト電圧の発生が抑制されるものである。 一方、上記MOS FETスイツチ回路をA/D
コンバータに採用し、このA/Dコンバータ内
に、直例接続された複数の抵抗の各接続点電圧を
アナログ電圧と比較するための電圧として出力す
るD/Aコンバータが設けられ、このD/Aコン
バータからの出力電圧をMOS FETスイツチ回
路の入力信号とするような場合、その入力インピ
ーダンスは極めて高いものとなる。このように
MOS FETスイツチ回路の入力インピーダンス
が高くなるような場合に、高速かつ高精度特性を
達成するために、従来技術では、前記MOS
FET2,3それぞれのオン抵抗を、それぞれの
チヤネル幅を広げることによつて下げるようにし
ている。 ところが、前記両MOS FET2,3のチヤネ
ル幅を広げると、両MOS FET2,3のゲー
ト・ドレイン間あるいはゲート・ソース間の寄生
容量が増大し、これによつてチヤージカツプリン
グによる前記フイードスルー効果も大きくなる。
一方、前記第1図に示すMOS FETスイツチ回
路では、制御信号φ、間の位相ずれの存在や基
板とゲート電極との間の非線型容量の存在によつ
て、オフセツト電圧を完全になくすことはでき
ず、これらの存在によつてMOS FET2,3の
チヤネル幅を広げるとオフセツト電圧も増加する
という欠点がある。 第2図は前記第1図に示すMOS FETスイツ
チ回路のオフセツト電圧特性を示す図である。こ
の特性図は、前記MOS FET2,3のチヤネル
幅Wとチヤネル長Lの比率W/Lをそれぞれ
200/10に設定した上で前記電圧源7の出力電圧
を2.5V一定とし、前記インバータ5に0V〜5Vの
振幅を持つ制御信号を供給し、この信号が
0Vに立下つて前記両MOS FET2,3がオフす
る際の信号出力端4における電圧変化を示したも
のである。そして、第2図において、横軸には制
御信号が0Vに立下つた後からの経過時間t(n
sec)が、縦軸には信号出力端4における電圧
Vput(V)がそれぞれとられている。この第2図
から明らかなように、両MOS FET2,3がオ
フする時のダイナミツク期間経過後、信号出力端
4における電圧Vputには入力電圧2.5Vに対して約
45mV程度のオフセツト電圧Vpsが発生している。
このオフセツト電圧Vpsの値は極めて大きなもの
である。 〔発明の目的〕 この発明は上記のような事情を考慮してなされ
たものであり、その目的とするところは、オン抵
抗が低くかつオフセツト電圧も小さいMOS
FETスイツチ回路を提供することにある。 〔発明の概要〕 この発明に係るMOS FETスイツチ回路は、
信号入力端と信号出力端との間に第1、第2の
MOS FETからなるスイツチ回路を複数個並列
挿入し、信号入力端における信号を信号出力端に
伝達する場合には上記複数個のスイツチ回路をオ
ン状態にし、さらに上記複数個のスイツチ回路を
オフ状態にするときには遅延回路によつて順次遅
延された信号によつて順次オフ状態にするように
したものである。 〔発明の実施例〕 以下図面を参照してこの発明の実施例を説明す
る。第3図はこの発明に係るMOS FETスイツ
チ回路の一実施例の構成図である。第3図におい
て、ソース電極どうしおよびドレイン電極どうし
が共通接続されたNチヤネルMOS FET11,
12,13,14それぞれとPチヤネルMOS
FET15,16,17,18それぞれとは各C
−MOSスイツチ回路(スイツチ回路)21
2,2324を構成している。上記C−MOS
スイツチ回路2124の各ソース電極共通接続
点は信号入力端1に共通に接続され、また各ドレ
イン電極共通接続点は信号出力端4に共通に接続
される。すなわち、上記4個のC−MOSスイツ
チ回路2124は信号入力端1と信号出力端4
との間に並列挿入されている。 インバータ5および6は、従来回路と同様に、
信号から一対の制御信号φ、を作るためのも
のであり、このうち一方のインバータ5から出力
される制御信号φは、信号遅延手段としての作用
を持つ直列接続されたたとえば6kΩの抵抗値を持
つ4個の各抵抗25〜28によつて順次遅延され
るようになつていて、これら抵抗25〜28によ
つて順次遅延された信号φ1、φ2、φ3、φ4が上記
C−MOSスイツチ回路2124内のPチヤネ
ルMOS FET15〜18のゲート電極にそれぞ
れ供給される。同様に、上記他方のインバータ6
から出力される制御信号は、信号遅延手段とし
ての作用を持つ直列接続されたたとえば4kΩの抵
抗値を持つ4個の各抵抗29〜32によつて順次
遅延されるようになつていて、これら抵抗29〜
32によつて順次遅延された信号123
φ4が上記C−MOSスイツチ回路2124内の
NチヤネルMOS FET11〜14のゲート電極
にそれぞれ供給される。また、従来回路と同様
に、信号入力端1にはたとえば一定出力電圧を持
つ電圧源7が接続されていると共に信号出力端4
には負荷容量8が接続されている。 さらに上記各C−MOSスイツチ回路21
4内のNチヤネルMOS FET11〜14それぞ
れのチヤネル幅を、PチヤネルMOS FET15
〜18それぞれのチヤネル幅と等しく設定した上
で、各チヤネルMOS FET11〜14のチヤネ
ル幅の合計値が前記第1図に示す従来回路のNチ
ヤネルMOS FET3のチヤネル幅に等しくなる
ように設定され、同様に各PチヤネルMOS
FET15〜18のチヤネル幅の合計値が前記第
1図に示す従来回路のPチヤネルMOS FET2
のチヤネル幅に等しくなるように設定されてい
る。 上記構成でなる回路において、いまインバータ
5に与えられる制御信号が高レベルであり、各
制御信号φ1〜φ4が低レベルかつ各制御信号1
φ4が高レベルでそれぞれ安定しているとき、C
−MOSスイツチ回路2124内のすべてのN
チヤネルMOS FET11〜14およびPチヤネ
ルMOS FET15〜18はオンしている。この
状態のとき、個々のC−MOSスイツチ回路21
24のオン抵抗はさほど小さくはないが、信号
入力端1と信号出力端4との間には、オンしてい
る4個のC−MOSスイツチ回路2124が並
列挿入されることになるため、各C−MOSスイ
ツチ回路2124内のNチヤネルMOS FET
11〜14のチヤネル幅の合計値およびPチヤネ
ルMOS FET15〜18のチヤネル幅の合計値
をそれほど大きくしなくても、信号入出力端間の
オン抵抗の値を小さくすることができる。 次にインバータ5に与えられている制御信号
が低レベルに反転する場合、このインバータ5の
出力φおよびインバータ6の出力は各抵抗25
〜28および29〜32によつて順次遅延される
ため、信号φ1〜φ4はφに対して順次遅れて高レ
ベルに反転すると共に信号14はインバータ
6の出力に対して順次遅れて低レベルに反転す
る。したがつて、いままでオンしていたC−
MOSスイツチ回路2124は、信号φあるい
はに近い方のものから順にオフしていく。そし
て、まず最初にC−MOSスイツチ回路21がオ
フするものであるが、このC−MOSスイツチ回
21内のNチヤネルMOS FET11およびP
チヤネルMOS FET15がオフする際、そのチ
ヤネル幅は等しくしかも従来回路の両MOS
FET2,3それぞれのチヤネル幅の1/4に設定さ
れているため、前記フイードスルー効果によつて
発生するオフセツト電圧は極めて小さくすること
ができる。また、この際にC−MOSスイツチ回
21の出力側にオフセツト電圧が発生しても、
他の3個のC−MOSスイツチ回路2224
まだオン状態にあるので、信号出力端4の電位は
信号入力端1の電位と等しく設定され、この結
果、C−MOSスイツチ回路21の出力側に発生
したオフセツト電圧はほとんどキヤンセルされ
る。以下、同様にして、C−MOSスイツチ回路
22,23がそれぞれオフする際に発生するオフ
セツト電圧は他のオンしているC−MOSスイツ
チ回路によつて順次キヤンセルされる。したがつ
て、この回路でキヤンセルできないオフセツト電
圧は、信号φあるいはから最も離れているC−
MOSスイツチ回路24がオフする際に発生する
ものであり、このオフセツト電圧は前記した理由
により従来回路で発生する値よりも充分に小さな
ものとすることができる。 第4図は上記実施例回路のオフセツト電圧特性
を示す図である。この特性図は、各Nチヤネル
MOS FET11〜14および各PチヤネルMOS
FET15〜18のチヤネル幅Wとチヤネル長さ
Lの比率をそれぞれ50/10に設定した上であとの
条件は第2図の場合と同様に設定して、信号が
0V(低レベル)に立下つて各MOS FET11〜1
4,15〜18がすべてオフした後の信号出力端
4における電圧変化を示したものである。 そして、第4図において、横軸には制御信号
φ4が5Vに立上つた(4が0Vに立下つた)後か
らの経過時間t(n sec)が、縦軸には信号出力
端4におけるVput(V)がそれぞれとられている。
この第4図から明らかなように、最後にC−
MOSスイツチ回路24がオフする時のダイナミ
ツク期間経過後、信号出力端4における電圧Vput
には入力電圧2.5Vに対して約3mV以下のオフ
セツト電圧Vpsが発生しているのみである。そし
てこの3mVという値は、同じ条件における従来
の約45mVに対して1/15に低減されたものとなつ
ている。すなわち、信号入力端1と信号出力端4
との間に挿入されるスイツチ回路を構成する
MOS FETの素子寸法を従来回路と等しく設定
すれば、発生するオフセツト電圧の値は従来回路
よりも大幅に低減することができる。また、第5
図は前記各抵抗25〜28および29〜32によ
つて遅延されることによつて得られ、各MOS
FET15〜18および11〜14のゲート電極
に与えられる各信号φ1〜φ414の波形例を
示すものであり、横軸には時間t(n sec)が、
縦軸には電圧V(V)がそれぞれとられている。 このように上記実施例によれば、信号入力端1
の信号を信号出力端4に伝達する場合には、両端
間に挿入されている4個のC−MOSスイツチ回
2124をすべてオン状態にしているので、
両端間のオン抵抗値は4個のC−MOSスイツチ
回路2124のオン抵抗の並列値となり、この
値を極めて小さくすることができる。そしてさら
に、このオン抵抗の値は、信号入力端1と信号出
力端4との間に並列挿入されるC−MOSスイツ
チ回路の数を増加することによつて、いくらでも
小さくすることができる。 また、上記実施例回路において、最終的に発生
するオフセツト電圧は一番最後にオフするC−
MOSスイツチ回路24でキヤンセルできないオ
フセツト電圧に相当し、このC−MOSスイツチ
回路24を構成するNチヤネルMOS FET14
およびPチヤネルMOS FET18それぞれの素
子寸法は元々小さく、これらのMOS FET14,
18における前記フイードスルー効果による影響
も小さい。したがつて、この実施例回路で発生す
るオフセツト電圧の値も充分に小さくすることが
できる。そして上記オン抵抗およびオフセツト電
圧は共に、NチヤネルMOS FETおよびPチヤ
ネルMOS FETに関して従来回路と同様のチヤ
ネル幅に設定する場合、信号入力端1と信号出力
端4との間に並列挿入されるC−MOSスイツチ
回路の数を増加する程、小さくすることができ
る。 第6図はこの発明の応用例回路の構成図であ
る。この回路は二つのアナログ信号Va,Vbの大
小を比較するチヨツパ形比較回路であり、一方の
アナログ信号Vaと結合キヤパシタ41の一端と
の間に本願発明に係るMOS FETスイツチ回路
42が挿入され、さらに他方のアナログ信号Vb
と上記結合キヤパシタ41の一端との間に本願発
明に係るもう一つのMOS FETスイツチ回路4
3が挿入される。また、上記結合キヤパシタ41
の他端には反転増幅回路44の入力端が接続さ
れ、この反転増幅回路44の入出力端間にはこの
増幅回路44の動作点を設定するためのMOS
FET45が接続される。 この回路は、最初にMOS FET45をオンさ
せて反転増幅回路44の入出力端間を短絡するこ
とによりその入力側電位をこの反転増幅回路44
の反転しきい値電圧Vpに設定し、次にMOS
FET45をオフしさらに一方のMOS FETスイ
ツチ回路42をオンさせて結合キヤパシタ41の
一端に一方のアナログ信号Vaを加え、次にMOS
FETスイツチ回路42をオフし、今度は他方の
MOS FETスイツチ回路43をオンさせて結合
キヤパシタ41の一端に他方のアナログ信号Vb
を加え、このような操作によつて反転増幅回路4
4の入力側電位をVpからVp+(Va−Vb)に変化
させ、変化後の電位を反転増幅回路44で増幅す
ることによりVaとVbの比較を行なうものである。 このようなチヨツパ形比較回路をA/Dコンバ
ータに採用すると、たとえ入力信号Va,Vbの入
力インピーダンスが高くとも、前記した理由によ
り、高速かつ高精度特性を達成することができ
る。 第7図および第8図はそれぞれこの発明の他の
実施例に係るMOS FETスイツチ回路の構成図
である。前記第3図に示す実施例回路では、信号
φ,を順次遅延し各信号φ1〜φ4および14
を得るための信号遅延手段が抵抗25〜28、2
9〜32である場合について説明したが、第7図
に示す実施例回路では、信号遅延手段として抵抗
51〜58それぞれとコンデンサ61〜68それ
ぞれからなる遅延回路7178を用いるように
したものであり、さらに第8図に示す実施例回路
では、信号遅延手段として直列接続されたそれぞ
れ2個のインバータ81と82、83と84、8
5と86、87と88、89と90、91と9
2、93と94、95と96を用いるようにした
ものである。なお、第3図、第7図および第8図
の各実施例回路において、信号φ1〜φ4と信号1
4の遅延特性は必らずしも一致させる必要は
なく、またφ,を遅延してφ11を得るため
の抵抗25,29あるいは遅延回路7175
たはそれぞれ2個のインバータ81と82および
89と90は必らずしも必要はなく、φ,をそ
のまま与えてもよい。 第9図および第10図はそれぞれこの発明のさ
らに実施例に係るMOS FETスイツチ回路の構
成図である。前記第3図、第7図および第8図に
示す実施例回路では個々のスイツチ回路がチヤネ
ル幅の等しい並列接続された一対のNチヤネル
MOS FETとPチヤネルMOS FETとから構成
されている場合であつたが、第9図に示す実施例
回路では個々のスイツチ回路をNチヤネルMOS
FETとこのNチヤネルMOS FETのドレイン電
極(あるいはソース電極)にそのソース、ドレイ
ン両電極が接続されたチヤネル幅が半分のNチヤ
ネルMOS FETとによつて構成するようにした
ものである。すなわち、第9図において4個のN
チヤネルMOS FET101〜104のソース電
極(あるいはドレイン電極)は共に信号入力端1
に接続され、さらにこれらMOS FET101〜
104のドレイン電極(あるいはソース電極)は
共に信号出力端4に接続される。また、上記
MOS FET101〜104のドレイン電極には、
これらMOS FET101〜104のチヤネル幅
の半分のチヤネル幅に設定されたNチヤネル
MOS FET105〜108それぞれのソース、
ドレイン両電極が接続される。すなわち、上記
MOS FET101〜104それぞれとMOS
FET105〜108それぞれはスイツチ回路
11〜114を構成し、これら4個のスイツチ回
111114は信号入力端1と信号出力端4
との間に並列挿入されている。 インバータ5および6は前記第3図に示す実施
例回路と同様に、信号から一対の制御信号φ,
φを作るためのものであり、このうち一方のイン
バータ5から出力される制御信号φは、前記した
ように単なる抵抗あるいは抵抗とコンデンサまた
は直列接続された2個のインバータ等からなる直
列接続された4個の遅延回路115〜118によ
つて順次遅延されるようになつていて、これら遅
延回路115〜118によつて順次遅延された信
号φ1〜φ4が上記スイツチ回路111〜114内
のNチヤネルMOS FET105〜108のゲー
ト電極にそれぞれ供給される。同様に、上記他方
のインバータ6から出力される制御信号は直列
接続された4個の遅延回路119〜122によつ
て順次遅延されるようになつていて、これら遅延
回路119〜122によつて順次遅延された信号
φ14が上記スイツチ回路111114内の
NチヤネルMOS FET101〜104のゲート
電極にそれぞれ供給される。 このような構成でなる回路では、信号入力端1
と信号出力端4との間に複数のスイツチ回路11
1〜114を並列挿入することによつて信号伝達
時における両端間のオン抵抗値を小さくするとと
もに、MOS FET101〜104のドレイン電
極(あるいはソース電極)にチヤネル幅が半分に
設定されたMOS FET105〜108それぞれ
のソース、ドレイン両電極を接続し、MOS
FET105〜108のゲート電極にMOS FET
101〜104のゲート入力とは逆位相の制御信
号を与えることによつて個々のスイツチ回路11
1〜114で逆位相のオフセツト電圧を発生さ
せ、これによつて各スイツチ回路111114
でのオフセツト電圧の発生を最小に押さえ、しか
も各スイツチ回路111114を順次オフさせ
ることによつて最終的に発生するオフセツト電圧
の値を小さくするようにしたものである。 また、第10図に示す実施例回路は、上記第9
図の実施例回路内のNチヤネルMOS FET10
1〜108をPチヤネルMOS FET201〜2
08それぞれに置き替えて、各2個のPチヤネル
MOS FETでスイツチ回路211214を構
成するようにしたものである。なお、この場合、
インバータ5には信号φが与えられ、さらに遅延
回路115〜118からは順次遅延された信号
4が出力され、遅延回路119〜122から
は順次遅延された信号φ1〜φ4が出力される。 そして第9図および第10図に示す実施例回路
において、前記第3図、第7図および第8図の各
実施例回路の場合と同様に、遅延回路115,1
19は必らずしも必要はなく、φおよびをφ1
および1の代りに与えるようにしてもよい。 〔発明の効果〕 以上説明したようにこの発明によれば、オン抵
抗が低くかつオフセツト電圧も小さいMOS
FETスイツチ回路を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のMOS FETスイツチ回路の構
成図、第2図はそのオフセツト電圧特性図、第3
図はこの発明の一実施例の構成図、第4図はその
オフセツト電圧特性図、第5図は第3図に示す実
施例回路で用いられる信号の波形図、第6図はこ
の発明の応用例の構成図、第7図ないし第10図
はそれぞれこの発明の他の実施例の構成図であ
る。 1……信号入力端、4……信号出力端、5,
6,81〜96……インバータ、7……電圧源、
8……負荷容量、11〜14,101〜108…
…NチヤネルMOS FET、15〜18,201
〜208……PチヤネルMOS FET、21〜2
4……C−MOSスイツチ回路、25〜32,5
1〜58……抵抗、41……結合キヤパシタ、4
2,43……MOS FETスイツチ回路、44…
…反転増幅回路、45……MOS FET、61〜
68……コンデンサ、71〜78,115〜12
2……遅延回路、111〜114,211〜21
4……スイツチ回路。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 互いにチヤネル型の異なる第1、第2の
    MOS FETのドレイン電極どうしおよびソース
    電極どうしを共通接続してなるスイツチ回路を信
    号入力端と信号出力端との間に複数個並列挿入
    し、これら複数個のスイツチ回路の第1のMOS
    FETのゲート電極を各信号遅延手段を介して直
    列に結合しこの結合の一端を一方の制御信号の入
    力端とし、上記複数個のスイツチ回路の第2の
    MOS FETのゲート電極を各信号遅延手段を介
    して直列に結合しこの結合の一端を上記制御信号
    と逆相の他方の制御信号の入力端としたことを特
    徴とするMOS FETスイツチ回路。 2 第1のMOS FETおよびこの第1のMOS
    FETのドレイン電極またはソース電極にソース、
    ドレイン両電極が接続される第1のMOS FET
    と同一チヤネル型の第2のMOS FETとからな
    るスイツチ回路を信号入力端と信号出力端との間
    に複数個並列挿入し、これら複数個のスイツチ回
    路の第1のMOS FETのゲート電極を各信号遅
    延手段を介して直列に結合しこの結合の一端を一
    方の制御信号の入力端とし、上記複数個のスイツ
    チ回路の第2のMOS FETのゲート電極を各信
    号遅延手段を介して直列に結合しこの結合の一端
    を上記制御信号と逆相の他方の制御信号の入力端
    としたことを特徴とするMOS FETスイツチ回
    路。
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