JPH0156275B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0156275B2 JPH0156275B2 JP58124635A JP12463583A JPH0156275B2 JP H0156275 B2 JPH0156275 B2 JP H0156275B2 JP 58124635 A JP58124635 A JP 58124635A JP 12463583 A JP12463583 A JP 12463583A JP H0156275 B2 JPH0156275 B2 JP H0156275B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrostrictive
- gas
- flange
- vibrator
- disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 18
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 17
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 3
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
- F04B45/04—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は電歪振動子を用いた気体ポンプに関
するものである。
するものである。
気体の流れを発生させる駆動源として電歪セラ
ミツク振動子を用いた気体ポンプが文献としては
開示されていないけれども社内の研究部門で提案
され、限定されたスペースにおいて少量の気体循
環を望む場合等に実験的に実験室で使用されてい
る。これは電歪振動子に印加する電圧極性により
電歪方向が異る特性を利用し、極性を交番させる
ことにより反復運動を起させ、気体のポンプ源と
して活用するものである。
ミツク振動子を用いた気体ポンプが文献としては
開示されていないけれども社内の研究部門で提案
され、限定されたスペースにおいて少量の気体循
環を望む場合等に実験的に実験室で使用されてい
る。これは電歪振動子に印加する電圧極性により
電歪方向が異る特性を利用し、極性を交番させる
ことにより反復運動を起させ、気体のポンプ源と
して活用するものである。
前述した社内の実験室でもちいられている電歪
セラミツク振動子による気体ポンプの構造を述べ
ると、第２及び３図に示すように、電歪振動子１
は電歪セラミツク円板１ａ，１ｂが銅薄円板１ｃ
両面にサンドイツチ状に接着されて形成されてい
て、一点にオリフイス孔１ｄを有している。この
ような電歪セラミツク振動子１はその周縁が第１
図に示すように、中央の凹部２ａを有するフラン
ジ２の開口部周縁２ｂに溶接されて、フランジ２
の凹部２ａはポンプ室３を形成している。電歪セ
ラミツク円板１ａ，１ｂにはこれに電圧を印加す
るための電線１ｅが取付けられている。
セラミツク振動子による気体ポンプの構造を述べ
ると、第２及び３図に示すように、電歪振動子１
は電歪セラミツク円板１ａ，１ｂが銅薄円板１ｃ
両面にサンドイツチ状に接着されて形成されてい
て、一点にオリフイス孔１ｄを有している。この
ような電歪セラミツク振動子１はその周縁が第１
図に示すように、中央の凹部２ａを有するフラン
ジ２の開口部周縁２ｂに溶接されて、フランジ２
の凹部２ａはポンプ室３を形成している。電歪セ
ラミツク円板１ａ，１ｂにはこれに電圧を印加す
るための電線１ｅが取付けられている。
第１図の電線１ｅに電圧を印加すると、振動子
１は矢印P1方向に電歪するので、ポンプ室３内
の気体が圧縮され、オリフイス孔１ｄより吐出さ
れるが、交番電圧により次の瞬間電歪セラミツク
には逆極性の電圧が印加され、矢印P2方向に電
歪し、ポンプ室３内の気体は希薄となり、オリフ
イス孔１ｄより急激に気体を吸入する。この連続
高周期反復作動により連続的な気体の吐出がおこ
りポンプ作用が得られる。
１は矢印P1方向に電歪するので、ポンプ室３内
の気体が圧縮され、オリフイス孔１ｄより吐出さ
れるが、交番電圧により次の瞬間電歪セラミツク
には逆極性の電圧が印加され、矢印P2方向に電
歪し、ポンプ室３内の気体は希薄となり、オリフ
イス孔１ｄより急激に気体を吸入する。この連続
高周期反復作動により連続的な気体の吐出がおこ
りポンプ作用が得られる。
しかし、前述の構造においては、フランジ２と
電歪振動子１の電歪セラミツク円板１ｂが周縁に
おいて、フランジ周縁２ｂに直接溶接されている
ので、電歪作用が抑制され、電歪量の低下を余儀
なくされていた。また電歪セラミツク円板１ｂと
フランジ２の溶接作業にばらつきがあり、これも
電歪振動子の性能面、ポンプの性能に悪影響を及
ぼしていた。
電歪振動子１の電歪セラミツク円板１ｂが周縁に
おいて、フランジ周縁２ｂに直接溶接されている
ので、電歪作用が抑制され、電歪量の低下を余儀
なくされていた。また電歪セラミツク円板１ｂと
フランジ２の溶接作業にばらつきがあり、これも
電歪振動子の性能面、ポンプの性能に悪影響を及
ぼしていた。
この発明は以上の欠点を除去するためになされ
たもので、性能のすぐれた気体ポンプを提供する
ことを目的とし、電歪振動子の構造において、電
歪セラミツク円板の直径を銅薄円板の直径より小
さくすることにより、銅薄円板の周縁を露出さ
せ、フランジとの溶接は銅薄円板の周縁部におい
てのみとし、電歪セラミツク円板をフランジに直
接溶接しないことによつて、電歪の円滑化を行う
と共に溶接作業のばらつきをなくし、気体ポンプ
の性能を高めうるものである。
たもので、性能のすぐれた気体ポンプを提供する
ことを目的とし、電歪振動子の構造において、電
歪セラミツク円板の直径を銅薄円板の直径より小
さくすることにより、銅薄円板の周縁を露出さ
せ、フランジとの溶接は銅薄円板の周縁部におい
てのみとし、電歪セラミツク円板をフランジに直
接溶接しないことによつて、電歪の円滑化を行う
と共に溶接作業のばらつきをなくし、気体ポンプ
の性能を高めうるものである。
以下に、図示する実施例に関してこの発明を説
明する。
明する。
第５及び６図に示すように、この発明における
改良した電歪振動子４は銅薄円板４ｃに対し、電
歪セラミツク円板４ａ，４ｂの直径を小にし、銅
薄円板４ｃの両面に電歪セラミツク円板４ａ，４
ｂをサンドイツチ状に同心に接着し、銅薄円板４
ｃの外周縁部４ｆを露出させている。電歪振動子
が一点にオリフイス孔４ｄを持ち電線４ｅを取付
けられていることは第２，３図の従来のものと同
様である。この電歪振動子４は第４図示すよう
に、凹部２ａを有するフランジ２の周縁２ｂに電
歪振動子４の外周縁部４ｆのみによつて溶接され
て、気体ポンプを構成し、フランジ２の凹部２ａ
がポンプ室３を形成する。
改良した電歪振動子４は銅薄円板４ｃに対し、電
歪セラミツク円板４ａ，４ｂの直径を小にし、銅
薄円板４ｃの両面に電歪セラミツク円板４ａ，４
ｂをサンドイツチ状に同心に接着し、銅薄円板４
ｃの外周縁部４ｆを露出させている。電歪振動子
が一点にオリフイス孔４ｄを持ち電線４ｅを取付
けられていることは第２，３図の従来のものと同
様である。この電歪振動子４は第４図示すよう
に、凹部２ａを有するフランジ２の周縁２ｂに電
歪振動子４の外周縁部４ｆのみによつて溶接され
て、気体ポンプを構成し、フランジ２の凹部２ａ
がポンプ室３を形成する。
第４図の電線４ｅに電圧を印加すると、振動子
４は下方向に電歪するので、ポンプ室３内の気体
が圧縮され、オリフイス孔１ｄの中心から矢印で
示されるように吐出されるが、交番電圧により次
の瞬間振動子４には逆極性の電圧が印加され、前
述と逆の上方向に電歪すると、ポンプ室３内にオ
リフイス孔４ｄの周囲位置から気体が矢印で示さ
れるように吸入される。この連続高周期交番電圧
（例えば、4KHz）の反復作動により、第４図の矢
印で示されるように、気体の吐出と吸入が連続し
て得られ、それによつてポンプ作用が得られる。
４は下方向に電歪するので、ポンプ室３内の気体
が圧縮され、オリフイス孔１ｄの中心から矢印で
示されるように吐出されるが、交番電圧により次
の瞬間振動子４には逆極性の電圧が印加され、前
述と逆の上方向に電歪すると、ポンプ室３内にオ
リフイス孔４ｄの周囲位置から気体が矢印で示さ
れるように吸入される。この連続高周期交番電圧
（例えば、4KHz）の反復作動により、第４図の矢
印で示されるように、気体の吐出と吸入が連続し
て得られ、それによつてポンプ作用が得られる。
又、本願による気体ポンプの応用例の１例とし
て、第７図で示す本願出願日前に公知であるガス
レートセンサ３０に応用した場合には、オリフイ
ス孔４ｄから吐出された気体（ガス）は、第１室
３１、吐出口３２、輪状の第２室３３、第１ガス
流路３４、ノズル孔３５及び第２ガス流路３６を
介して検出部３７に達した後、電極ホルダ３８の
案内孔３９及び前記第１室３１を介してオリフイ
ス孔４ｄの周辺からポンプ室３に戻る。
て、第７図で示す本願出願日前に公知であるガス
レートセンサ３０に応用した場合には、オリフイ
ス孔４ｄから吐出された気体（ガス）は、第１室
３１、吐出口３２、輪状の第２室３３、第１ガス
流路３４、ノズル孔３５及び第２ガス流路３６を
介して検出部３７に達した後、電極ホルダ３８の
案内孔３９及び前記第１室３１を介してオリフイ
ス孔４ｄの周辺からポンプ室３に戻る。
従つて、検出部３７には連続したガス流（気体
流）が得られるものである。しかし、電歪セラミ
ツク円板４ｂはその周縁が直接フランジ２の周縁
２ｂに溶接されていないので、電歪作動が円滑に
行われる。
流）が得られるものである。しかし、電歪セラミ
ツク円板４ｂはその周縁が直接フランジ２の周縁
２ｂに溶接されていないので、電歪作動が円滑に
行われる。
この発明によれば、以上のように、電歪振動子
は銅薄円板の外周縁部のみによつてフランジに溶
接されているので、電歪振動子の機械的振動が銅
薄円板によつて受けられ、機械的剛性が小さいの
で、電歪作動が円滑になりポンプ性能が向上す
る。また電歪セラミツク円板をフランジに溶接し
ないので固着作業にばらつきがなく、これによつ
ても効率よい安定したポンプ作用が得られる効果
がある。
は銅薄円板の外周縁部のみによつてフランジに溶
接されているので、電歪振動子の機械的振動が銅
薄円板によつて受けられ、機械的剛性が小さいの
で、電歪作動が円滑になりポンプ性能が向上す
る。また電歪セラミツク円板をフランジに溶接し
ないので固着作業にばらつきがなく、これによつ
ても効率よい安定したポンプ作用が得られる効果
がある。
第１図は従来の電歪振動子を用いる気体ポンプ
の構造の一例を示す断面図、第２図は従来の電歪
振動子の平面図、第３図はその断面図、第４図は
この発明による電歪振動子を用いる気体ポンプの
一実施例を示す断面図、第５図は第４図に用いる
電歪振動子の平面図、第６図は断面図、第７図は
本発明による気体ポンプを応用したガスレートセ
ンサを示す断面図である。 １，４……電歪振動子、１ａ，１ｂ，４ａ，４
ｂ……電歪セラミツク円板、１ｃ，４ｃ……銅薄
円板、１ｄ，４ｄ……オリフイス孔、１ｅ，４ｅ
……電線、２……フランジ、２ａ……凹部、２ｂ
……周縁、３……ポンプ室、４ｆ……銅薄円板外
周縁部。
の構造の一例を示す断面図、第２図は従来の電歪
振動子の平面図、第３図はその断面図、第４図は
この発明による電歪振動子を用いる気体ポンプの
一実施例を示す断面図、第５図は第４図に用いる
電歪振動子の平面図、第６図は断面図、第７図は
本発明による気体ポンプを応用したガスレートセ
ンサを示す断面図である。 １，４……電歪振動子、１ａ，１ｂ，４ａ，４
ｂ……電歪セラミツク円板、１ｃ，４ｃ……銅薄
円板、１ｄ，４ｄ……オリフイス孔、１ｅ，４ｅ
……電線、２……フランジ、２ａ……凹部、２ｂ
……周縁、３……ポンプ室、４ｆ……銅薄円板外
周縁部。
Claims (1)
- １ 凹部２ａをなすポンプ室３を有するフランジ
２と、前記フランジ２の周縁２ｂ上に接合してそ
の外周縁部４ｆが設けられた銅薄円板４ｃと、前
記銅薄円板４ｃの両面に設けられ前記銅薄円板４
ｃの直径より小であると共に、前記周縁２ｂとは
非接触状態に形成された一対の電歪セラミツク円
板４ａ，４ｂと、前記銅薄円板４ｃ及び前記各電
歪セラミツク円板４ａ，４ｂを貫通して形成さ
れ、前記ポンプ室３を外部と連通させるためのオ
リフイス孔４ｄとを備え、前記各電歪セラミツク
円板４ａ，４ｂに逆極性の交番電圧を印加するこ
とにより前記各電歪セラミツク円板４ａ，４ｂが
前記フランジ２とは非接触状態で振動し、前記オ
リフイス孔４ｄから気体の吐出を得るようにした
ことを特徴とする電歪振動子を用いる気体ポン
プ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58124635A JPS6017279A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 電歪振動子を用いる気体ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58124635A JPS6017279A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 電歪振動子を用いる気体ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6017279A JPS6017279A (ja) | 1985-01-29 |
| JPH0156275B2 true JPH0156275B2 (ja) | 1989-11-29 |
Family
ID=14890286
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58124635A Granted JPS6017279A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 電歪振動子を用いる気体ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6017279A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0643503Y2 (ja) * | 1987-01-30 | 1994-11-14 | 株式会社三鈴エリ− | アクチエ−タ− |
| US5129789A (en) * | 1990-04-23 | 1992-07-14 | Advanced Medical Systems, Inc. | Means and method of pumping fluids, particularly biological fluids |
| FR2772051B1 (fr) * | 1997-12-10 | 1999-12-31 | Atochem Elf Sa | Procede d'immobilisation d'une cellule d'electrolyse a membrane et a cathode a reduction d'oxygene |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5818083B2 (ja) * | 1980-01-25 | 1983-04-11 | マツダ株式会社 | プラスチツクフレ−ムシ−トのヘツドレストステ−の支持構造 |
| JPS59200082A (ja) * | 1983-04-27 | 1984-11-13 | Sharp Corp | 液送ポンプ |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5818083U (ja) * | 1981-07-30 | 1983-02-03 | 三菱電機株式会社 | 圧電振動子ポンプ |
-
1983
- 1983-07-11 JP JP58124635A patent/JPS6017279A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5818083B2 (ja) * | 1980-01-25 | 1983-04-11 | マツダ株式会社 | プラスチツクフレ−ムシ−トのヘツドレストステ−の支持構造 |
| JPS59200082A (ja) * | 1983-04-27 | 1984-11-13 | Sharp Corp | 液送ポンプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6017279A (ja) | 1985-01-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0156275B2 (ja) | ||
| JPH08205288A (ja) | 圧電振動体 | |
| JPS59132964A (ja) | 霧化ポンプ | |
| JPS6351065B2 (ja) | ||
| JPH0879894A (ja) | 超音波探触子 | |
| JPH055755Y2 (ja) | ||
| JPH075416Y2 (ja) | ガスレートセンサ | |
| JPH08227946A (ja) | パッケージの気密封止方法 | |
| JPS6091800A (ja) | 複合圧電積層体 | |
| JPS61111164A (ja) | 霧化ポンプ | |
| JPS59878Y2 (ja) | 圧電ブザ− | |
| JPH03542Y2 (ja) | ||
| JPS6352546B2 (ja) | ||
| JPS5853836Y2 (ja) | 圧電発音体 | |
| KR200149968Y1 (ko) | 압전 스피커 | |
| JP4347946B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JPS5843097U (ja) | 圧電振動体 | |
| JPS62793Y2 (ja) | ||
| JPS6216231Y2 (ja) | ||
| JPH0710186B2 (ja) | 超音波モ−タ− | |
| JPH06205592A (ja) | 超音波モータ | |
| JPH07147787A (ja) | 超音波モーター | |
| JPS63117600A (ja) | 動電型スピ−カ | |
| JPH05284761A (ja) | 超音波モータのステータの製造方法 | |
| JPS5852771Y2 (ja) | 音響変換器 |