JPS6017279A - 電歪振動子を用いる気体ポンプ - Google Patents
電歪振動子を用いる気体ポンプInfo
- Publication number
- JPS6017279A JPS6017279A JP58124635A JP12463583A JPS6017279A JP S6017279 A JPS6017279 A JP S6017279A JP 58124635 A JP58124635 A JP 58124635A JP 12463583 A JP12463583 A JP 12463583A JP S6017279 A JPS6017279 A JP S6017279A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- thin copper
- electrostriction
- electrostrictive
- copper disc
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
- F04B45/04—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は電歪振動子を用いた気体ポンプに関するもの
である。
である。
気体の流れを発生させる駆動源として電歪セラミック振
動子を用いた気体ポンプが提案され、限定されたスペー
スにおいて少量の気体循環を望む場合等に使用されてい
る。これは電歪振動子に印加する電圧極性により７％歪
方向が異る特性を利用し、極性を交番させることによシ
反復運動を起させ、気体のボング源として活用するもの
である。
動子を用いた気体ポンプが提案され、限定されたスペー
スにおいて少量の気体循環を望む場合等に使用されてい
る。これは電歪振動子に印加する電圧極性により７％歪
方向が異る特性を利用し、極性を交番させることによシ
反復運動を起させ、気体のボング源として活用するもの
である。
従来の電歪セラミック振動子による気体ポンプの構造を
述べると、第コ及び３図に示すように、電歪振動子ｌは
電歪セラミック円板／ａ。
述べると、第コ及び３図に示すように、電歪振動子ｌは
電歪セラミック円板／ａ。
／ｂが銅薄円板／Ｃの両面にサンドインチ状に接着され
て形成されていて、一点にオリフィス孔／ｄ’（ｚ有し
ている。このような電歪セラミック振動子ｌはその周縁
が第１図に示すように、中央に凹部２ａを有するフラン
ジ２の開口部周縁、２ｂに溶接されて、フランジコの四
部２ａはポンプ室３を形成している。電歪セラミック円
板ｌａ、１ｂＶｃはこれに電圧を印加するだめの電線ｌ
ｅが取付けられている。
て形成されていて、一点にオリフィス孔／ｄ’（ｚ有し
ている。このような電歪セラミック振動子ｌはその周縁
が第１図に示すように、中央に凹部２ａを有するフラン
ジ２の開口部周縁、２ｂに溶接されて、フランジコの四
部２ａはポンプ室３を形成している。電歪セラミック円
板ｌａ、１ｂＶｃはこれに電圧を印加するだめの電線ｌ
ｅが取付けられている。
第７図の電線／ｅに電圧を印加すると、振動子ｌは矢印
Ｐ１方向に電歪するので、ポンプ室３内の気体が圧縮さ
れ、オリフィス孔／（ｌよシ吐出されるが、交番電圧に
より次の瞬間電歪セラミックには逆極性の電圧が印加さ
れ、矢印Ｐ２方向に電歪し、ポンプ室３内の気体は希薄
となり、オリフィス孔／ｄより急激に気体を吸入する。
Ｐ１方向に電歪するので、ポンプ室３内の気体が圧縮さ
れ、オリフィス孔／（ｌよシ吐出されるが、交番電圧に
より次の瞬間電歪セラミックには逆極性の電圧が印加さ
れ、矢印Ｐ２方向に電歪し、ポンプ室３内の気体は希薄
となり、オリフィス孔／ｄより急激に気体を吸入する。
この連続高周期反復作動により連続的な気体の吐出がお
こりポンプ作用が得られる。
こりポンプ作用が得られる。
しかし、従来の構造においては、フランシスと電歪振動
子／の電歪セラミック円板／ｂが周縁において、フラン
ジ周縁２ｂに直接溶接されているので、電歪作用が抑制
され、電歪量の低下を余儀なくされていた。また電歪セ
ラミック円板／ｂとフランシスの溶接作業にばらつきが
あり、これも電歪振動子の性能面、ポンプの性能に悪影
響を及はしていた。
子／の電歪セラミック円板／ｂが周縁において、フラン
ジ周縁２ｂに直接溶接されているので、電歪作用が抑制
され、電歪量の低下を余儀なくされていた。また電歪セ
ラミック円板／ｂとフランシスの溶接作業にばらつきが
あり、これも電歪振動子の性能面、ポンプの性能に悪影
響を及はしていた。
この発明は以上の欠点を除去するためになされたもので
、性能のすぐれた気体ポンプを提供すること全１］的と
し、電歪振動子の構造において、電歪セラミック円板の
直径を銅薄円板の直径より小さくすることにより、銅薄
円板の周縁ｆ：ｇ出させ、フランジとの溶接は銅薄円板
の周縁部においてのみとし、電歪セラミック円板をフラ
ンジに直接溶接しないことによって、電歪の円滑化を行
うと共に溶接作業のばらつきをなくシ、気体ポンプの性
能を高めつるものである。
、性能のすぐれた気体ポンプを提供すること全１］的と
し、電歪振動子の構造において、電歪セラミック円板の
直径を銅薄円板の直径より小さくすることにより、銅薄
円板の周縁ｆ：ｇ出させ、フランジとの溶接は銅薄円板
の周縁部においてのみとし、電歪セラミック円板をフラ
ンジに直接溶接しないことによって、電歪の円滑化を行
うと共に溶接作業のばらつきをなくシ、気体ポンプの性
能を高めつるものである。
以下忙、図示する実施例に関してこの発明全説明する。
第５及び６図に示すように、この発明における改良した
電歪振動子ダは銅薄日板１１ｃに対し、電歪セラミック
円板！ａ、ｌＩｂの直径を小にし、銅薄円板１１ｃの両
面に電歪セラミック円板＜ｚａ。
電歪振動子ダは銅薄日板１１ｃに対し、電歪セラミック
円板！ａ、ｌＩｂの直径を小にし、銅薄円板１１ｃの両
面に電歪セラミック円板＜ｚａ。
＋ｂをサンドイッチ状に同心に接着し、銅薄円板１１ｃ
の外周縁部Ｆｆｆ：露出させている。電歪振動子が一点
にオリフィス孔＆ｄ金持ち電線ｌｌｅを取付けられてい
ることは第ａ、３図の従来のものと同様である。この電
歪振動子ダは第４図に示すように、凹部、２ａ’ｉ有す
るフランジ２の周縁：ｌｂに電歪撮動子ダの外周縁部ｌ
／、ｆのみによって溶接されて、気体ポンプを構成し、
フランシスの凹部２ａがポンプ室３を形成する。
の外周縁部Ｆｆｆ：露出させている。電歪振動子が一点
にオリフィス孔＆ｄ金持ち電線ｌｌｅを取付けられてい
ることは第ａ、３図の従来のものと同様である。この電
歪振動子ダは第４図に示すように、凹部、２ａ’ｉ有す
るフランジ２の周縁：ｌｂに電歪撮動子ダの外周縁部ｌ
／、ｆのみによって溶接されて、気体ポンプを構成し、
フランシスの凹部２ａがポンプ室３を形成する。
気体ポンプのポンプ作用は先に第１図に関して説明した
ものと同様である。しかし、電歪セラミンク円板グｂは
その周縁が直接フランシュの周縁２ｂに溶接されていな
いので、電歪作動が円滑に行われる。
ものと同様である。しかし、電歪セラミンク円板グｂは
その周縁が直接フランシュの周縁２ｂに溶接されていな
いので、電歪作動が円滑に行われる。
この発明によれば、以上のように、電歪振動子は銅薄円
板の外周縁部のみによってフランジに溶接されているの
で、電歪振動子の機械的振動が銅τ１ｇ円板によりて受
けられ、機械的剛性が小さいので、電歪作動が円滑にな
りポンプ性能が向上する。また電歪セラミック円板をフ
ランジに溶接しないので固着作業にばらつきがなく、こ
れによっても効率よい安定したポンプ作用が得られる効
果がある。
板の外周縁部のみによってフランジに溶接されているの
で、電歪振動子の機械的振動が銅τ１ｇ円板によりて受
けられ、機械的剛性が小さいので、電歪作動が円滑にな
りポンプ性能が向上する。また電歪セラミック円板をフ
ランジに溶接しないので固着作業にばらつきがなく、こ
れによっても効率よい安定したポンプ作用が得られる効
果がある。
第１図はレト米の′電歪振動子を用いる気体ポンプの堝
′造の一例を示す断面図、第２図は従来の電歪１辰拗子
の平面図、第３図はその断面図、第４図はこの発明によ
るｔ歪振動千金用いる気体ポンプの一実施例を示す断面
図、第Ｓ図は第４図に用いる電歪振動子の平面図、第６
図は断面図である。 ／、ｌＩ・・電歪振動子、／ａ、／ｂ、ｔＩａ、ｌｌｂ
・・電歪セラミック円板、／ＣｌゲＣ・・銅薄円板、／
ｄ、’ｉ＜ｄ・・オリスイス孔、ｌθ、ｑｅ・・電線、
ａ・・フランジ、λａ・・凹部、２ｂ・・周縁、３・・
ポンプ室、ｔ／、ｆ・・銅薄円板外周縁部。 特許出願人 多摩川精機株式会社
′造の一例を示す断面図、第２図は従来の電歪１辰拗子
の平面図、第３図はその断面図、第４図はこの発明によ
るｔ歪振動千金用いる気体ポンプの一実施例を示す断面
図、第Ｓ図は第４図に用いる電歪振動子の平面図、第６
図は断面図である。 ／、ｌＩ・・電歪振動子、／ａ、／ｂ、ｔＩａ、ｌｌｂ
・・電歪セラミック円板、／ＣｌゲＣ・・銅薄円板、／
ｄ、’ｉ＜ｄ・・オリスイス孔、ｌθ、ｑｅ・・電線、
ａ・・フランジ、λａ・・凹部、２ｂ・・周縁、３・・
ポンプ室、ｔ／、ｆ・・銅薄円板外周縁部。 特許出願人 多摩川精機株式会社
Claims (1)
- 銅薄円板の両面に電歪セラミック円板をサンドイッチ状
に接着してな９７点にオリフィス孔を有する電歪振動子
と、この振動子の外周縁を開口部周縁に接着した凹状円
形フランジとからなるｌ、歪振動子を用いる気体ポンプ
において、前記電歪振動子の銅薄円板の直径を電歪セラ
ミック円板の直径より大とし、銅薄日板の外周縁部のみ
を前記円形フランジの周縁に溶接したことを特徴とする
電歪振動子を用いる気体ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58124635A JPS6017279A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 電歪振動子を用いる気体ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58124635A JPS6017279A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 電歪振動子を用いる気体ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6017279A true JPS6017279A (ja) | 1985-01-29 |
| JPH0156275B2 JPH0156275B2 (ja) | 1989-11-29 |
Family
ID=14890286
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58124635A Granted JPS6017279A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 電歪振動子を用いる気体ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6017279A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63121785U (ja) * | 1987-01-30 | 1988-08-08 | ||
| US5129789A (en) * | 1990-04-23 | 1992-07-14 | Advanced Medical Systems, Inc. | Means and method of pumping fluids, particularly biological fluids |
| CN1106458C (zh) * | 1997-12-10 | 2003-04-23 | 埃勒夫阿托化学有限公司 | 膜与氧还原阴极的电解槽的间歇方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5818083U (ja) * | 1981-07-30 | 1983-02-03 | 三菱電機株式会社 | 圧電振動子ポンプ |
| JPS59200082A (ja) * | 1983-04-27 | 1984-11-13 | Sharp Corp | 液送ポンプ |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5818083B2 (ja) * | 1980-01-25 | 1983-04-11 | マツダ株式会社 | プラスチツクフレ−ムシ−トのヘツドレストステ−の支持構造 |
-
1983
- 1983-07-11 JP JP58124635A patent/JPS6017279A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5818083U (ja) * | 1981-07-30 | 1983-02-03 | 三菱電機株式会社 | 圧電振動子ポンプ |
| JPS59200082A (ja) * | 1983-04-27 | 1984-11-13 | Sharp Corp | 液送ポンプ |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63121785U (ja) * | 1987-01-30 | 1988-08-08 | ||
| US5129789A (en) * | 1990-04-23 | 1992-07-14 | Advanced Medical Systems, Inc. | Means and method of pumping fluids, particularly biological fluids |
| CN1106458C (zh) * | 1997-12-10 | 2003-04-23 | 埃勒夫阿托化学有限公司 | 膜与氧还原阴极的电解槽的间歇方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0156275B2 (ja) | 1989-11-29 |
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