JPH0148691B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、圧電フイルタなどの圧電共振部品
の製造方法に関する。

たとえばAM受信機用圧電フイルタの中心周波
数は、数100kH台、一例としては450kHzであり、
量産性等、種々の観点からいつて以下の三種類の
フイルタ構造がある。その第一は、ヤーマン形の
フイルタである。このフイルタは、IFTが必須
で、IFTと圧電共振子とのマツチングが難し
い、コイルの信頼性が低い、大形になる、
高価である、などの欠点がある。その第二は、角
板の拡がり振動モードや円板の径方向振動モード
を用いた三端子形のフイルタである。このフイル
タは、比較的大形である、特に円板の第三次高
調波利用の場合、大きさが問題になる、角板の
場合、輪かく振動モードによるスプリアス振動が
強く励振される、などの欠点がある。その第三
は、長方形板の長さ方向振動の二重モード利用の
フイルタである。このフイルタは、二つの共振
子の調整が難かしい、構造が複雑、高価であ
る、などの欠点がある。

この発明は、種々の特徴をもつもので、前述し
た構造のものとはまつたく異なる構造をもつ圧電
共振部品の製造方法に関するもので以下の目的を
もつ。

この発明の目的は、従来の構造のものとは全く
異なる構造を有し、製品毎の特性ばらつきが小さ
くかつ安価な圧電共振部品を効率よく製造し得る
方法を堤供することにある。

すなわち、この発明の要旨は、表裏面の全面に
電極が形成された母圧電基板を用意する工程と、
ダイシングソーを用いて前記母圧電基板から所定
寸法に圧電共振素子を切り出すと同時に、各圧電
素子に少なくとも一方面側に溝を形成することに
より該溝の両側に分割電極を形成することにより
圧電共振素子を得る工程とを備えることを特徴と
する、圧電共振部品の製造方法である。

以下にこの発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。

本発明の一実施例として、第１図に示す圧電共
振素子を用いた圧電共振部品の製造方法につき説
明する。本発明は、圧電共振素子を得る工程に特
徴を有するものであるため、まず、この圧電共振
素子の構造及び製造方法を詳細に説明する。図に
おいて、２は圧電セラミツク基板で、その一方主
表面に長さｌ方向に沿つた溝３が設けてあり、こ
の溝３によつて一方主表面が長さｌ方向に二等分
されている。また、長さｌ方向と交差する方向に
溝４，５がそれぞれ長さｌ方向の中心から1/3ｌ
の位置に設けてある。したがつて基板２の一方主
表面には、入力電極６、出力電極７、独立電極８
〜１１が、溝３〜５で区切られて設けられてい
る。また、基板２の他方主表面には、全面電極１
２が設けられている。そして長さｌ方向に伸縮す
る長さ振動モードを用いることとし、基板２にお
ける各部寸法は、たとえば中心周波数が450kHz
のとき、長さｌが約4.05mm、幅が0.6mm、厚みが
0.3mm、溝３の深さが0.15mm、溝３の幅が0.15mm、
溝４，５の深さと幅は、電極６，７を電極８もし
くは９，１０もしくは１１から電気的に分離させ
るだけのものであるから適当でよい。第２図は第
１図に示す圧電共振素子１の電気的シンボルを示
す。このように第１図に示す圧電共振素子１は、
長さ方向の単一モードの振動を用いたフイルタ素
子として使える。

この圧電共振素子１の製造方法を以下に説明す
る。一辺が数Cmオーダーの短形板状のセラミツ
ク焼結体１０１をラツピングして表面を整える。
対向主表面に電極を設ける。この電極は分極処理
用の電極であるとともに、電極６〜１２になるも
のである。分極処理によつて圧電性を付与された
セラミツク焼結体１０１が、本発明における圧電
母基板となるものであり、第３図に示すように、
製造能率を上げるために、多数集結させて、ダイ
シングソー１３を用いて所定寸法の圧電共振素子
１を切り出すと同時に、溝３〜５を形成する。す
なわち、ダイシングソー１３によれば、カツト精
度が±2μｍと高いため、正確な長さｌを有する
圧電共振素子１を切り出すことができ、従来の製
造方法に比べ、周波数選別、周波数調整といつた
工程が省略できる。たとえば中心周波数455kHz
のものを得たいとき、中心周波数のバラツキは最
大1.2kHz内におさめられた。また、溝３〜５を形
成することによつて必要な外形寸法を有する入力
電極６、出力電極７が分極電極を流用して得られ
る。この点、従来の製造方法では、分極後、分極
電極に振動電極のパターンをレジストインキで印
刷し、エツチングするといつた工程があり、あき
らかに、本発明の方が簡単であるといえる。溝
４，５は、入力電極６、出力電極７の長さｌ方向
の長さを2/3・ｌにするもので、第３高調波を抑
圧する作用効果を有する。したがつて、電極８〜
１１は遊んでいることになる。ダイシングソー１
３は、刃が高速回転しながら第４図の矢印Ａ方向
に移動するもので、深くは切れないが、本発明が
対象にする圧電板の厚み位なら充分役に立つ。

また、第４図の矢印のＢ方向にダイシングソー
１３を動かして適当な値に設定することによつ
て、切断ができたり、任意深さの溝が形成され
る。したがつて、切断したり、溝を形成する一方
法としては、第３図に示すように、複数の圧電焼
結体１０１を集結仮固定してまとめて図の左右方
向に設けるべき溝形成や、切断を行なつたのち、
図の上下方向に設けるべき溝形成や、切断を行な
うと能率的である。

第５図〜第７図は、ベース１４を示し、ベース
１４へは後述する入・出力端子板１５、導電性ゴ
ムシート１６、圧電共振素子１、アース端子板１
７が相互の位置関係が規制されて装着される。ア
ース端子板１７は、後述するが、ケース１８にこ
れら内部素子を挿入するときケース１８の内壁面
に対するアース端子板１７の形状寸法を工夫して
圧電共振素子１との間に適当な接触圧が得られる
ようにしている。ベース１４は、以下の構造を有
している。長方形板状部分１９の両長辺からは壁
２０，２０が部分１９と一体に設けてあり、両短
辺からも低壁２１，２１が一体に設けてある。ま
た、これら壁２０，２０，２１，２１で囲まれた
内部には、一対の柱状体２２，２２、四つ一組の
柱状体２３，２３，２３，２３が部分１９と一体
にそれぞれ設けてある。そして、入・出力端子板
１５を図中一点鎖線で象徴的に示したように装着
する。

入・出力端子板１５は第８図により明確に示す
ように、入力端子部分２４、出力端子部分２５を
有する。入力端子部分２４は、第５図において、
下側の壁２０の右端と右側の低壁２１の下端との
間、右側の柱状体２２と右側の低壁２１との間、
上側の壁２０と右上の柱状体２３との間、そして
左上の柱状体２３と右上の柱状体２３との間の各
すき間にはめこまれる。出力端子部分２５は、第
５図において、左側の低壁２１の下端と下側の壁
２０の左端との間、左下の柱状体２３と下側の壁
２０との間、そして左下の柱状体２３と右下の柱
状体２３との間の各すき間にはめこまれる。図か
らあきらかなようにはめこみを容易にするための
テーパをずい所に設けている。

つぎに、第５図において、四つの柱状体２３，
２３，２３，２３で囲まれた区域に、第９図に示
すような導電性ゴムシート１６を載置する。さら
にゴムシート１６の上に、溝３〜５側を下にて圧
電共振素子１を載置する。圧電共振素子１はベー
ス１４の一対の柱状体２２および四つの柱状体２
３で位置規制される。すると、入・出力端子板１
５の入力端子部分２４、出力端子部分２５の各先
端２６，２７は、圧電共振素子１の入力電極６、
出力電極７に、導電性ゴムシート１６を介して接
触するのである。このゴムシート１６は、異方導
電性ゴムシートと呼ばれるもので、たとえば、シ
リコンゴムシートの厚み方向にグラフアイトの繊
維や金属の細い線を埋めこんだ構成からなり、シ
ートの厚み方向には導電性を示し、横方向では絶
縁性を示す。したがつて圧電共振素子１の入力電
極６、出力電極７それぞれが、相互短絡なしに、
異方導電性ゴムシート１を介して入力端子部分２
４の先端２６、出力端子部分２５の先端２７に接
触することになる。

第１０図〜第１２図に、アース端子板１７をよ
り明確に示す。アース端子板１７はリード部分２
８に略Ｈ字の先端部２９が一体に形成されたもの
で中心には接触突起２９１を有している。先端部
２９は、第１０図、第１２図に示すように弓状に
形状されて必要な弾性力が付与されている。さら
に、リード部分２８のケース１８に収容される部
分に略クランク状に折曲げた部分３０を有する。
この折曲げ具合によつて、先端部２９とリード部
分２８とが平行ではなく、それぞれの延長線が交
差するよう（一例として交差角θ＝10゜）にして
おく。

第１３図〜第１５図に、ケース１８の形状をよ
り明確に示す。図に示すように、方向性をもたす
ためにテーパ３１を有する略箱状の成型体の底
面、つまり、入・出力端子板１５やアース端子板
１７が導出される面に開口部３２を有する。内空
間３３はベース１４の外形に相似させるべく奥に
向かつて断面凸字状の拡がりをもつている。開口
部３２の縁は内部素子の挿入を容易にするためテ
ーパ３４を有する。

第１６図は、この発明に関連して示すもので、
ベース１４に、入・出力端子板１５、ゴムシート
１６、圧電共振素子１が積み重ねられ、入・出力
端子板１５のリードフレーム連結部分にアース端
子板１７のリードフレームが重ねられて、アース
端子板１７の接触突起２９１が圧電共振子１の全
面電極１２の中央位置に圧接されたものを、ケー
ス１８を挿入する前の状態を示すものである。図
からもあきらかなように、ケース１８へ挿入する
内部素子が集結されたものを側面からみると、ア
ース端子板１７の成形形状によつてクサビのよう
になつている。この状態でケース１８へ内部素子
を挿入すると、アース端子板１７の先端部２９、
折り曲げ部分３０がケース１８内壁面に圧接され
ることによる反作用で挿入開始から完了する間
も、アース端子板１７とベース１４との間にある
圧電共振素子１、導電性ゴムシート１６、入・出
力端子板１５に適当な圧力が加わつており、挿入
完了後は、アース端子板１７が前述するようにア
ーチ状になつていることによる弾性力と、ゴムシ
ート１６の弾性力とによつて圧電共振素子１保持
に必要な接触圧力が得られるので、各部品相互の
位置ずれもなくケース１８内に収容される。

なお、第１７図〜第１９図は、完成品の状態を
示すものである。アース端子板１７のリード部分
２８が、ベース１４の第５図における下側の壁２
０の真中にある凹部２０１にはまりこんでいる。

ケース１８の開口部３２は、一般的なシール用
樹脂３５によつて封止される。このとき、ベース
１４の第５図における下側の壁２０が開口部３２
のほとんどをふさいでいるので、封止が確実にな
されるとともに余分な樹脂が内部にまわりこむこ
とがなくなる。一般にいつて開口部を封止するの
は開口部の大きさが小さい程確実になされること
は当然である。ところが、ケースの開口部から内
部部品を挿入するには開口部が小さい程困難にな
る。本発明では前述したように、内部部品全体形
状をクサビ形に集結した上で挿入するので、開口
部が小さくても挿入が容易になつて、機械による
組立てが可能になり、このため自動組立が可能な
上に封止も確実になされるといつた相乗的効果を
もつのである。

第２０図は本発明に関する圧電共振素子を一個
用いたフイルタの選択特性曲線を示す。第２１図
はこれにさらにIFTを一個縦続接続したものの選
択特性曲線を示す。第２２図は、本発明に関する
圧電共振素子を二個結合コンデンサを介さずに直
接縦続接続したものの選択特性曲線を示す。第２
３図はこれにさらにIFTを一個縦続接続したもの
の選択特性曲線を示す。第２４図は本発明に関す
る圧電共振素子を二個とIFT一個を縦続接続した
フイルタのスプリアス特性を示す。

以上の説明からもあきらかなように、この発明
は、表裏面の全面に電極が形成された母圧電基板
を用意し、ダイシングソーを用いて、上記母圧電
基板から所定寸法の圧電共振素子を切り出すと同
時に、各圧電共振素子の少なくとも一方面側に溝
を形成することにより上記溝の両側に分割電極を
形成することにより圧電共振素子を得る工程とを
備えることを特徴とする圧電共振部品の製造方法
であるから、以下のような効果を有する。

この発明によると、母圧電基板に複数素子分の
振動電極パターンをレジストインキで印刷する工
程、不要電極部分をエツチング処理で除去する工
程、母圧電基板から素子を所定寸法で切り出す工
程、研磨工程、中心周波数によつて製品をクラス
分けする工程、中心周波数を所定値に調整する工
程が、ダイシングソウーによる電極加工および素
子の切り出し工程の一つに短縮できる。

この発明によると、入・出力間のストレー容量
が少ないため、従来の角板の拡がり振動モードを
用いた三端子型フイルタに比べ中心周波数を境に
して高域側、低域側の選択特性曲線の対称性が良
い。

なお、本発明が適用できる、圧電共振素子の形
状、使用振動モード、電極形状等が前述の実施例
に限定されないことはいうまでもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、圧電共振素子の斜視図、第２図は、
第１図示のものの電気シンボル図、第３図は、セ
ラミツク焼結体複数の正面図、第４図は、本発明
を説明するための側面説明図、第５図は、ベース
の正面図、第６図は、同、底面からみた破断図、
第７図は、同、側面からみた破断図、第８図は、
入・出力端子板の正面図、第９図は、ゴムシート
の正面図、第１０図は、アース端子板の上面図、
第１１図は、同、正面図、第１２図は、同、側面
図、第１３図は、ケースの側面図、第１４図は、
同、正面図、第１５図は、同、底面図、第１６図
は、本発明に関する圧電共振部品の分解断面図、
第１７図は、同、正面図、第１８図は、同、断面
図、第１９図は、底面からみた破断図、第２０図
〜第２３図は、選択特性曲線図、第２４図は、ス
プリアス特性曲線図である。 １……圧電共振素子、２……圧電セラミツク基
板、３〜５……溝、６……入力電極、７……出力
電極、８〜１１……独立電極、１２……全面電
極、１３……ダンシングソー、１４……ベース、
１５……入・出力端子板、１６……導電性ゴムシ
ート、１７……アース端子板、１８……ケース、
１９……長方形板状部分、２０……壁、２１……
低壁、２２……柱状体、２３……柱状体、２４…
…入力端子部分、２５……出力端子部分、２６…
…先端、２７……先端、２８……リード部分、２
９……先端部、３０……折り曲げ部分、３１……
テーパ、３２……開口部、３３……内空間、３４
……テーパ、３５……シール用樹脂、１０１……
セラミツク焼結体、２９１……接触突起。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 表裏面の全面に電極が形成された母圧電基板
   を用意する工程と、 ダイシングソーを用いて前記母圧電基板から所
   定寸法の圧電共振素子を切り出すと同時に、各圧
   電共振素子の少なくとも一方面側に溝を形成する
   ことにより、該溝の両側に分割電極を形成するこ
   とにより圧電共振素子を得る工程とを備えること
   を特徴とする、圧電共振部品の製造方法。