JPH0148696B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0148696B2
JPH0148696B2 JP19878681A JP19878681A JPH0148696B2 JP H0148696 B2 JPH0148696 B2 JP H0148696B2 JP 19878681 A JP19878681 A JP 19878681A JP 19878681 A JP19878681 A JP 19878681A JP H0148696 B2 JPH0148696 B2 JP H0148696B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
groove
resonant element
piezoelectric resonant
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP19878681A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5899023A (ja
Inventor
Jiro Inoe
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP56198786A priority Critical patent/JPS5899023A/ja
Priority to US06/446,729 priority patent/US4431938A/en
Priority to KR8205438A priority patent/KR860001276B1/ko
Priority to GB08235045A priority patent/GB2113461B/en
Priority to DE19823245658 priority patent/DE3245658A1/de
Publication of JPS5899023A publication Critical patent/JPS5899023A/ja
Publication of JPH0148696B2 publication Critical patent/JPH0148696B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/54Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/56Monolithic crystal filters
    • H03H9/562Monolithic crystal filters comprising a ceramic piezoelectric layer
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/10Mounting in enclosures
    • H03H9/1007Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
    • H03H9/1014Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
    • H03H9/1028Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device the BAW device being held between spring terminals

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、圧電フイルタなどの圧電共振部品
に関する。
たとえばAM受信機用圧電フイルタの中心周波
数は、数100kH台、一例としては450kHzであり、
量産性等、種々の観点からいつて以下の三種類の
フイルタ構造がある。その第一は、ヤーマン形の
フイルタである。このフイルタは、IFTが必須
で、IFTと圧電共振子とのマツチングが難し
い、コイルの信頼性が低い、大形になる、
高価である、などの欠点がある。その第二は、角
板の拡がり振動モードや円板の径方向振動モード
を用いた三端子形のフイルタである。このフイル
タは、比較的大形である、特に円板の第三次高
調波利用の場合、大きさが問題になる、角板の
場合、輪かく振動モードによるスプリアス振動が
強く励振される、などの欠点がある。その第三
は、長方形板の長さ方向振動の二重モード利用の
フイルタである。このフイルタは、二つの共振
子の調整が難かしい、構造が複雑、高価であ
る、などの欠点がある。
この発明の目的は、従来の圧電共振部品とは全
く異なる構造を有し、スプリアス特性及びインピ
ーダンスに優れ、かつ小型で特性のばらつきの少
ない圧電共振部品を提供することにある。
すなわち、この発明の要旨は、圧電共振素子の
長さ振動モードを用いた圧電共振部品であつて、
一方面に長さ方向に延びる第1の溝及び第1の溝
に直交し長さ方向中央からそれぞれ全長の1/3の
位置に配された第2の溝が形成された圧電板と、
該圧電板の一方面上において第1の溝の両側で第
2の溝間に形成された第1、第2の電極と、第2
の溝の外側に形成された第3、第4の電極と、前
記圧電板の他方面に形成された全面電極とを有す
る圧電共振素子と、前記圧電共振素子を収納する
ケースと、圧電共振素子の第1、第2の電極及び
全面電極にそれぞれ電気的に接続されておりかつ
上記ケース外に引出された複数の端子板とを備え
ることを特徴とする圧電共振部品である。
以下にこの発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。
この発明は、使用する圧電共振素子の構造に特
徴を有するものであるため、以下の実施例の説明
においては、まず第1図〜第4図を参照して使用
する圧電共振素子の構造及び製造方法を説明す
る。第1図において、2は圧電セラミツク基板
で、その一方主表面に長さl方向に沿つた溝3が
設けてあり、この第1の溝3によつて一方主表面
が長さl方向に二等分されている。また、長さl
方向と交差する方向に第2の溝4,5がそれぞれ
長さl方向の中心から1/3lの位置に設けてある。
したがつて基板2の一方主表面には、第1の電極
としての入力電極6、第2の電極としての出力電
極7並びに第3の電極としての独立電極8,10
及び第4の電極としての独立電極9,11が、溝
3〜5で区切られて設けられている。また、基板
2の他方主表面には、全面電極12が設けられて
いる。そして長さl方向に伸縮する長さ振動モー
ドを用いることとし、基板2における各部寸法
は、たとえば中心周波数が450kHzのとき、長さ
lが約4.05mm、幅が0.6mm、厚みが0.3mm、溝3の
深さが0.15mm、溝3の幅が0.15mm、溝4,5の深
さと幅は、電極6,7を電極8もしくは9,10
もしくは11から電気的に分離させるだけのもの
であるから適当でよい。第2図は第1図に示す圧
電共振素子1の電気的シンボルを示す。このよう
に第1図に示す圧電共振素子1は、長さ方向の単
一モードの振動を用いたフイルタ素子として使え
る。
この圧電共振素子1の製造方法を以下に説明す
る。一辺が数cmオーダーの矩形板状のセラミツク
焼結体101をラツピングして表面を整える。対
向主表面に電極を設ける。この電極は分極処理用
の電極であるとともに、電極6〜12になるもの
である。分極処理によつて圧電性を付与されたセ
ラミツク焼結体101は、第3図に示すように、
製造能率を上げるために、多数集結させて、ダイ
シングソー13を用いて所定寸法の圧電共振素子
1を切り出すと同時に、溝3〜5を形成する。す
なわち、ダイシングソー13によれば、カツト精
度が±2μmと高いため、正確な長さlを有する
圧電共振素子1を切り出すことができ、従来の製
造方法に比べ、周波数選別、周波数調整といつた
工程が省略できる。たとえば中心周波数455kHz
のものを得たいとき、中心周波数のバラツキは最
大1.2kHz内におさめられた。また、溝3〜5を形
成することによつて必要な外形寸法を有する入力
電極6、出力電極7が分極電極を流用して得られ
る。この点、従来の製造方法では、分極後、分極
電極に振動電極のパターンをレジストインキで印
刷し、エツチングするといつた工程があり、あき
らかに、本発明の方が簡単であるといえる。溝
4,5は、入力電極6、出力電極7の長さl方向
の長さを2/3・lにするもので、第3高調波を抑
圧する作用効果を有する。したがつて、電極8〜
11は遊んでいることになる。ダイシングソー1
3は、刃が高速回転しながら第4図の矢印A方向
に移動するもので、深くは切れないが、本発明が
対象にする圧電板の厚み位なら充分役に立つ。
また、第4図の矢印のB方向にダイシングソー
13を動かして適当な値に設定することによつ
て、切断ができたり、任意深さの溝が形成され
る。したがつて、切断したり、溝を形成する一方
法としては、第3図に示すように、複数の圧電焼
結体101を集結仮固定してまとめて図の左右方
向に設けるべき溝形成や、切断を行なつたのち、
図の上下方向に設けるべき溝形成や、切断を行な
うと能率的である。
次に、上述の共振素子が収納されるケース及び
他の部材の構造を、第5図〜第16図を参照して
説明する。第5図〜第7図は、ベース14を示
し、ベース14へは後述する入・出力端子板1
5、導電性ゴムシート16、圧電共振素子1、ア
ース端子板17が相互の位置関係が規制されて装
着される。アース端子板17は、後述するが、ケ
ース18にこれら内部素子を挿入するときケース
18の内壁面に対するアース端子板17の形状寸
法を工夫して圧電共振素子1との間に適当な接触
圧が得られるようにしている。ベース14は、以
下の構造を有している。長方形板状部分19の両
長辺からは壁20,20が部分19と一体に設け
てあり、両短辺からも低壁21,21が一体に設
けてある。また、これら壁20,20,21,2
1で囲まれた内部には、一対の柱状体22,2
2、四つ一組の柱状体23,23,23,23が
部分19と一体にそれぞれ設けてある。そして、
入・出力端子板15を図中一点鎖線で象徴的に示
したように装着する。
入・出力端子板15は第8図により明確に示す
ように、入力端子部分24、出力端子部分25を
有する。入力端子部分24は、入力端子部分24
は、第5図において、下側の壁20の右端と右側
の低壁21の下端との間、右側の柱状体22と右
側の低壁21との間、上側の壁20と右上の柱状
体23との間、そして左上の柱状体23と右上の
柱状体23との間の各すき間にはめこまれる。出
力端子部分25は、第5図において、左側の低壁
21の下端と下側の壁20の左端との間、左下の
柱状体23と下側の壁20との間、そして左下の
柱状体23と右下の柱状体23との間の各すき間
にはめこまれる。図からあきらかなようにはめこ
みを容易にするためのテーパをずい所に設けてい
る。
つぎに、第5図において、四つの柱状体23,
23,23,23で囲まれた区域に、第9図に示
すような導電性ゴムシート16を載置する。さら
にゴムシート16の上に、溝3〜5側を下にして
圧電共振素子1を載置する。圧電共振素子1はベ
ース14の一対の柱状体22および四つの柱状体
23で位置規制される。すると、入・出力端子板
15の入力端子部分24、出力端子部分25の各
先端26,27は、圧電共振素子1の入力電極
6、出力電極7に、導電性ゴムシート16を介し
て接触するのである。このゴムシート16は、異
方導電性ゴムシートと呼ばれるもので、たとえ
ば、シリコンゴムシートの厚み方向にグラフアイ
トの繊維や金属の細い線を埋めこんだ構成からな
り、シートの厚み方向には導電性を示し、横方向
では絶縁性を示す。したがつて圧電共振素子1の
入力電極6、出力電極7それぞれが、相互短絡な
しに、異方導電性ゴムシート16を介して入力端
子部分24の先端26、出力端子部分25の先端
27に接触することになる。
第10図〜第12図に、アース端子板17をよ
り明確に示す。アース端子板17はリード部分2
8に略H字の先端部29が一体に形成されたもの
で中心には接触突起291を有している。先端部
29は、第10図、第12図に示すように弓状に
形成されて必要な弾性力が付与されている。さら
に、リード部分28のケース18に収容される部
分に略クランク状に折曲げた部分30を有する。
この折曲げ具合によつて、先端部29とリード部
分28とが平行ではなく、それぞれの延長線が交
差するよう(一例として交差角θ=10゜)にして
おく。
第13図〜第15図に、ケース18の形状をよ
り明確に示す。図に示すように、方向性をもたす
ためにテーパ31を有する略箱状の成型体の底
面、つまり、入・出力端子板15やアース端子板
17が導出される面に開口部32を有する。内空
間33はベース14の外形に相似させるべく奥に
向かつて断面凸字状の拡がりをもつている。開口
部32の縁は内部素子の挿入を容易にするためテ
ーパ34を有する。
第16図は、この発明に関連して示すもので、
ベース14に、入・出力端子板15、ゴムシート
16、圧電共振素子1が積み重ねられ、入・出力
端子板15のリードフレーム連結部分にアース端
子板17のリードフレームが重ねられて、アース
端子板17の接触突起291が圧電共振子1の全
面電極12の中央位置に圧接されたものを、ケー
ス18に挿入する前の状態を示すものである。図
からもあきらかなように、ケース18へ挿入する
内部素子が集結されたものを側面からみると、ア
ース端子板17の成形形状によつてクサビのよう
になつている。この状態でケース18へ内部素子
を挿入すると、アース端子板17の先端部29、
折り曲げ部分30がケース18内壁面に圧接され
ることによる反作用で挿入開始から完了する間
も、アース端子板17とベース14との間にある
圧電共振素子1、導電性ゴムシート16、入・出
力端子板15に適当な圧力が加わつており、挿入
完了後は、アース端子板17が前述するようにア
ーチ状になつていることによる弾性力と、ゴムシ
ート16の弾性力とによつて圧電共振素子1保持
に必要な接触圧力が得られるので、各部品相互の
位置ずれもなくケース18内に収容される。
なお、第17図〜第19図は、完成品の状態を
示すものである。アース端子板17のリード部分
28が、ベース14の第5図における下側の壁2
0の真中にある凹部201にはまりこんでいる。
ケース18の開口部32は、一般的なシール用
樹脂35によつて封止される。このとき、ベース
14の第5図における下側の壁20が開口部32
のほとんどをふさいでいるので、封止が確実にな
されるとともに余分な樹脂が内部にまわりこむこ
とがなくなる。一般にいつて開口部を封止するの
は開口部の大きさが小さい程確実になされること
は当然である。ところが、ケースの開口部から内
部部品を挿入するには開口部が小さい程困難にな
る。本発明では前述したように、内部部品全体形
状をクサビ形に集結した上で挿入するので、開口
部が小さくても挿入が容易になつて、機械による
組立てが可能になり、このため自動組立が可能な
上に封止も確実になされるといつた相乗的効果を
もつのである。
第20図は本発明に関する圧電共振素子を一個
用いたフイルタの選択特性曲線を示す。第21図
はこれにさらにIFTを一個縦続接続したものの選
択特性曲線を示す。第22図は、本発明に関する
圧電共振素子を二個結合コンデンサを介さずに直
接縦続接続したものの選択特性曲線を示す。第2
3図はこれにさらにIFTを一個縦続接続したもの
の選択特性曲線を示す。第24図は本発明に関す
る圧電共振素子を二個とIFT一個を縦続接続した
フイルタのスプリアス特性を示す。
以上の説明からもあきらかなように、この発明
は、長さ振動モードを用いた圧電共振部品であつ
て、圧電板の一方面において第1の溝の両側にお
いて第2の溝間に第1、第2の電極が形成されて
おり、第2の溝の外側に第3、第4の電極が形成
されており、他方面に全面電極が形成された長さ
振動モードを利用した圧電共振素子を用いたの
で、以下のような効果を有する。
第1に、長さ振動モードを利用するものである
ため、共振素子の小型化、ひいては圧電共振部品
の小型化が図れる。従来の角板の拡がり振動モー
ドを用いた三端子型フイルタと比べた場合、本発
明に用いる共振素子は1素子で体積比にして1/4
になる。また、2素子であれば、1/4+1/4=1/8
といつたように、使用する共振素子数が多いほど
大きさを効果的に低減することができる。
第2に、長さ振動モードを用いるものであるた
め、他の振動モードが励振されにくく、従つて、
長波帯、中波帯(〜2.5MHz)におけるスプリア
ス特性が優れている。特に、本発明では、第2の
溝が圧電板の長さ方向中央から全長の1/3の位置
に形成されているので、第1及び第2の電極の長
さ方向の長さが3分の2にされ、従つて第3高調
波が効果的に抑圧される。よつて、AMラジオの
中間周波回路のフイルタに好適に用いることがで
きる。
第3に、長さ振動モードを利用した共振素子を
用いるので、素子が変わつても、中心周波数が
少々変わつても、インピーダンスがほぼ一定で変
化しないため、IFTと組合わせた場合、IFTの仕
様をその都度変更する必要がない。
第4に、圧電板の一方面に溝が形成されている
ので、第1、第2の電極を入出力電極とした場合
入出力間のストレー容量が少なく、従来の角板の
拡がり振動モードを用いた三端子型フイルタに比
べ中心周波数を境にして高域側、低域側の選択特
性曲線の対称性が良い。
【図面の簡単な説明】
第1図は、圧電共振素子の斜視図、第2図は、
第1図示のものの電気シンボル図、第3図は、セ
ラミツク焼結体複数の正面図、第4図は、本発明
を説明するための側面説明図、第5図は、ベース
の正面図、第6図は、同、底面からみた破断図、
第7図は、同、側面からみた破断図、第8図は、
入・出力端子板の正面図、第9図は、ゴムシート
の正面図、第10図は、アース端子板の上面図、
第11図は、同、正面図、第12図は、同、側面
図、第13図は、ケースの側面図、第14図は、
同、正面図、第15図は、同、底面図、第16図
は、本発明に関する圧電共振部品の分解断面図、
第17図は、同、正面図、第18図は、同、断面
図、第19図は、底面からみた破断図、第20図
〜第23図は、選択特性曲線図、第24図は、ス
プリアス特性曲線図である。 1……圧電共振素子、2……圧電セラミツク基
板、3〜5……溝、6……入力電極、7……出力
電極、8〜11……独立電極、12……全面電
極、13……ダンシングソー、14……ベース、
15……入・出力端子板、16……導電性ゴムシ
ート、17……アース端子板、18……ケース、
19……長方形板状部分、20……壁、21……
低壁、22……柱状体、23……柱状体、24…
…入力端子部分、25……出力端子部分、26…
…先端、27……先端、28……リード部分、2
9……先端部、30……折り曲げ部分、31……
テーパ、32……開口部、33……内空間、34
……テーパ、35……シール用樹脂、101……
セラミツク焼結体、291……接触突起。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 圧電共振素子の長さ振動モードを用いた圧電
    共振部品であつて、 一方面に長さ方向に延びる第1の溝及び第1の
    溝に直交し、長さ方向中央からそれぞれ全長の1/
    3の位置に配された第2の溝が形成された圧電板
    と、該圧電板の一方面上において第1の溝の両側
    において第2の溝間に形成された第1、第2の電
    極と、第2の溝の外側に形成された第3、第4の
    電極と、圧電板の他方面に形成された全面電極と
    を有する圧電共振素子と、 前記圧電共振素子を収納するケースと、 前記圧電共振素子の第1、第2の電極及び全面
    電極に、それぞれ、電気的に接続されておりかつ
    前記ケース外に引出された複数の端子板とを備え
    ることを特徴とする、圧電共振部品。
JP56198786A 1981-12-09 1981-12-09 圧電共振部品 Granted JPS5899023A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP56198786A JPS5899023A (ja) 1981-12-09 1981-12-09 圧電共振部品
US06/446,729 US4431938A (en) 1981-12-09 1982-12-03 Grooved piezoelectric resonating element and a mounting therefore
KR8205438A KR860001276B1 (ko) 1981-12-09 1982-12-04 압전공진소자와 그의 제법 및 압전공진소자를 사용한 압전공진장치
GB08235045A GB2113461B (en) 1981-12-09 1982-12-08 Piezoelectric resonating element and method of manufacture thereof
DE19823245658 DE3245658A1 (de) 1981-12-09 1982-12-09 Piezoelektrisches resonanzelement, verfahren zur herstellung desselben und piezoelektrische resonanzeinrichtung mit demselben

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP56198786A JPS5899023A (ja) 1981-12-09 1981-12-09 圧電共振部品

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5899023A JPS5899023A (ja) 1983-06-13
JPH0148696B2 true JPH0148696B2 (ja) 1989-10-20

Family

ID=16396883

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP56198786A Granted JPS5899023A (ja) 1981-12-09 1981-12-09 圧電共振部品

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5899023A (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5899023A (ja) 1983-06-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3378775B2 (ja) 圧電共振子およびその周波数調整方法
US4431938A (en) Grooved piezoelectric resonating element and a mounting therefore
US5900790A (en) Piezoelectric resonator, manufacturing method therefor, and electronic component using the piezoelectric resonator
US4608509A (en) Length polarized, end electroded piezoelectric resonator
JPH0134435Y2 (ja)
WO2005015951A1 (ja) インサート端子付きケースおよびこのケースを用いた圧電型電気音響変換器、インサート端子付きケースの製造方法
JPH0148695B2 (ja)
JPH0148696B2 (ja)
JPH06177689A (ja) 梯子型電気濾波器の周波数調整方法
JP3147834B2 (ja) 圧電共振子の製造方法
JPH0148693B2 (ja)
JPH0148692B2 (ja)
JPH0148691B2 (ja)
JPS60137113A (ja) 圧電振動子
KR860001276B1 (ko) 압전공진소자와 그의 제법 및 압전공진소자를 사용한 압전공진장치
US6366182B1 (en) Ladder-type piezoelectric filter having a substantially square resonator with the four corners cut
JP3271538B2 (ja) 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
KR100731509B1 (ko) 절연 세라믹 기저판을 이용해서 캡 수단을 갖는 표면실장형 레조네이터들 및 그의 형성방법들
JPS58162118A (ja) 圧電共振部品
JPH0144047B2 (ja)
JPS59212A (ja) 圧電共振素子とその製造方法
JPS6320185Y2 (ja)
JPS6038895B2 (ja) 圧電濾波器
JPH0482312A (ja) 圧電部品の容量調整方法及び圧電部品
JP2001068962A (ja) 圧電共振子及び圧電共振部品