JPH0148492B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0148492B2 JPH0148492B2 JP57234322A JP23432282A JPH0148492B2 JP H0148492 B2 JPH0148492 B2 JP H0148492B2 JP 57234322 A JP57234322 A JP 57234322A JP 23432282 A JP23432282 A JP 23432282A JP H0148492 B2 JPH0148492 B2 JP H0148492B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensitivity
- molecular pump
- turbo molecular
- analysis tube
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 20
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 13
- 108010063955 thrombin receptor peptide (42-47) Proteins 0.000 description 5
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 3
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 3
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000700 radioactive tracer Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はリークテスト装置の改良に関する。
従来のこの種装置では、感度を制御するために
排気系の途中に流路断面積を変更できる絞り弁が
設けられ、感度が低下したとき、絞り弁の開度を
減らして感度の低下を防いでいた。併しながら絞
り弁による排気量の調節はスムーズに行なわれな
かつた。
排気系の途中に流路断面積を変更できる絞り弁が
設けられ、感度が低下したとき、絞り弁の開度を
減らして感度の低下を防いでいた。併しながら絞
り弁による排気量の調節はスムーズに行なわれな
かつた。
本発明は上記欠点を除去し、ターボ分子ポンプ
の回転数を変えることにより感度を調節するよう
にしたリークテスト装置を提供することを目的と
する。
の回転数を変えることにより感度を調節するよう
にしたリークテスト装置を提供することを目的と
する。
この目的を達成するため、本発明の構成は次の
とおりとする。即ち、リークガスを感知する分析
管と、該分析管のガス入口側に接続されたターボ
分子ポンプを有する真空排気部と、該ターボ分子
ポンプの排気側へ接続されたテスト管系とを具備
するとともに、前記ターボ分子ポンプの電動機に
回転数調節器が電気的に接続され、更に、前記分
析管より検出された信号の増幅器と、感度設定器
と、これら増幅器および設定器からの信号の差に
より回転数コントロール信号を出力する比較器
と、感度校正スイツチが閉成されている間に前記
回転数コントロール信号が前記回転数調節器に出
力されるようにしたホールド回路とを具備したこ
とである。
とおりとする。即ち、リークガスを感知する分析
管と、該分析管のガス入口側に接続されたターボ
分子ポンプを有する真空排気部と、該ターボ分子
ポンプの排気側へ接続されたテスト管系とを具備
するとともに、前記ターボ分子ポンプの電動機に
回転数調節器が電気的に接続され、更に、前記分
析管より検出された信号の増幅器と、感度設定器
と、これら増幅器および設定器からの信号の差に
より回転数コントロール信号を出力する比較器
と、感度校正スイツチが閉成されている間に前記
回転数コントロール信号が前記回転数調節器に出
力されるようにしたホールド回路とを具備したこ
とである。
以下本発明を図面に示す一実施例にもとづいて
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すものである。
該第１装置は、図示の通りリークガスを感知する
分析管７と、該分析管７のガス入口側に接続され
たコールドトラツプ６と、該コールドトラツプ６
に接続されたターボ分子ポンプ８を有する真空排
気部と、前記コールドトラツプ６に接続されたテ
スト管系Ｔとを具備するとともに、前記ターボ分
子ポンプ８の電動機に回転数調節器として回転数
可変インバータ１０が電気的に接続されたもので
ある。なお、第１図中１は被試験体接続口、２は
粗引バルブ、３は粗引ポンプ、４はテストバル
ブ、５は真空計、９は補助ポンプ、S1は標準リー
クバルブ、S2は標準リークガス源である。
該第１装置は、図示の通りリークガスを感知する
分析管７と、該分析管７のガス入口側に接続され
たコールドトラツプ６と、該コールドトラツプ６
に接続されたターボ分子ポンプ８を有する真空排
気部と、前記コールドトラツプ６に接続されたテ
スト管系Ｔとを具備するとともに、前記ターボ分
子ポンプ８の電動機に回転数調節器として回転数
可変インバータ１０が電気的に接続されたもので
ある。なお、第１図中１は被試験体接続口、２は
粗引バルブ、３は粗引ポンプ、４はテストバル
ブ、５は真空計、９は補助ポンプ、S1は標準リー
クバルブ、S2は標準リークガス源である。
次に、上記実施例における作動状態を説明す
る。
る。
補助ポンプ９とターボ分子ポンプ８を駆動し、
真空計５が２×10-4Torr以下になつたことを確
認した後、コールドトラツプ６に液体窒素を投入
し分析管７の校正を行なう。校正は標準リークバ
ルブS1を開き、標準リークガス源S2より流れ出る
一定流量のヘリウムガスを分析管で検知して行な
うが、このとき、感度が低ければ周波数可変イン
バータ１０によりターボ分子ポンプ８の回転数を
下げる。校正が終ると、被試験体接続口１に試験
容器を接続し、粗引バルブ２を開いて粗引ポンプ
３で約１×10-2Torr以下まで排気し、粗引バル
ブ２を閉じて、テストバルブ４を開く。その後試
験容器にトレーサガス（例えばヘリウム）を吹き
付ける。洩れ個所から試験容器内に流入したトレ
ーサガスは分析管へ導びかれ、電気信号として検
出されリーク量が求まる。
真空計５が２×10-4Torr以下になつたことを確
認した後、コールドトラツプ６に液体窒素を投入
し分析管７の校正を行なう。校正は標準リークバ
ルブS1を開き、標準リークガス源S2より流れ出る
一定流量のヘリウムガスを分析管で検知して行な
うが、このとき、感度が低ければ周波数可変イン
バータ１０によりターボ分子ポンプ８の回転数を
下げる。校正が終ると、被試験体接続口１に試験
容器を接続し、粗引バルブ２を開いて粗引ポンプ
３で約１×10-2Torr以下まで排気し、粗引バル
ブ２を閉じて、テストバルブ４を開く。その後試
験容器にトレーサガス（例えばヘリウム）を吹き
付ける。洩れ個所から試験容器内に流入したトレ
ーサガスは分析管へ導びかれ、電気信号として検
出されリーク量が求まる。
次に、第２図は前記実施例において、テスト管
系Ｔをターボ分子ポンプ８の排気側へ接続した第
２装置で第２図に示す如く、リークガスを感知す
る分析管７と、該分析管のガス入口側に接続され
たターボ分子ポンプ８を有する真空排気部と、前
記ターボ分子ポンプ８の排気側へ接続されたテス
ト管系Ｔとを具備するとともに、前記ターボ分子
ポンプ８の電動機に回転数可変インバータ１０が
電気的に接続されている。
系Ｔをターボ分子ポンプ８の排気側へ接続した第
２装置で第２図に示す如く、リークガスを感知す
る分析管７と、該分析管のガス入口側に接続され
たターボ分子ポンプ８を有する真空排気部と、前
記ターボ分子ポンプ８の排気側へ接続されたテス
ト管系Ｔとを具備するとともに、前記ターボ分子
ポンプ８の電動機に回転数可変インバータ１０が
電気的に接続されている。
この場合、接続口１よりのトレーサガスはター
ボ分子ポンプ８の排気側から吸気側へ逆拡散して
分析管７に至る。他の部分は第１装置と同じであ
る。
ボ分子ポンプ８の排気側から吸気側へ逆拡散して
分析管７に至る。他の部分は第１装置と同じであ
る。
次に、感度調整を自動的に行なう場合の例を第
３図にもとづいて説明する。標準リークバルブS1
を開にすると標準リークガス源S2より一定のヘリ
ウムガスが流れ出る。感度校正スイツチ２５を押
すと下記のプロセスで自動的にリークデデテクタ
の感度を調整することができる。即ち、分析管７
より検出された信号が増幅器２１により増幅され
て比較的２３に入る。事前に感度設定器２２によ
り設定された信号が比較器２３に入つており、前
記増幅器２１からの信号との比較により回転数コ
ントロール信号が出され、ホールド回路２４に入
る。感度校正スイツチ２５が押されている間、こ
の信号は回転数調整器として周波数可変インバー
タ１０に入り、ターボ分子ポンプ８の回転数を無
段階的に変える。ターボ分子ポンプ８の回転数が
変ることにより該ポンプの排気速度が変り、分析
管７のHe濃度に応じた電流出力が変る。増幅器
２１の信号と感度設定器２２からの信号が釣りあ
つたところで感度校正スイツチ２５を放すと、ホ
ールド回路２４がその時の回転数を保持する信号
を継続して出力する。
３図にもとづいて説明する。標準リークバルブS1
を開にすると標準リークガス源S2より一定のヘリ
ウムガスが流れ出る。感度校正スイツチ２５を押
すと下記のプロセスで自動的にリークデデテクタ
の感度を調整することができる。即ち、分析管７
より検出された信号が増幅器２１により増幅され
て比較的２３に入る。事前に感度設定器２２によ
り設定された信号が比較器２３に入つており、前
記増幅器２１からの信号との比較により回転数コ
ントロール信号が出され、ホールド回路２４に入
る。感度校正スイツチ２５が押されている間、こ
の信号は回転数調整器として周波数可変インバー
タ１０に入り、ターボ分子ポンプ８の回転数を無
段階的に変える。ターボ分子ポンプ８の回転数が
変ることにより該ポンプの排気速度が変り、分析
管７のHe濃度に応じた電流出力が変る。増幅器
２１の信号と感度設定器２２からの信号が釣りあ
つたところで感度校正スイツチ２５を放すと、ホ
ールド回路２４がその時の回転数を保持する信号
を継続して出力する。
本発明は以上の如く、ターボ分子ポンプの回転
数を調節して分析管の感度を調節するようにした
ので、感度の調節が容易かつ、電気的コントロー
ルが可能となつたのである。しかも、絞り弁が不
要となり配管が簡単となり、コスト低減に寄与す
ることとなつた。そのうえ、分析管の感度調節が
自動的になされることとなつた。
数を調節して分析管の感度を調節するようにした
ので、感度の調節が容易かつ、電気的コントロー
ルが可能となつたのである。しかも、絞り弁が不
要となり配管が簡単となり、コスト低減に寄与す
ることとなつた。そのうえ、分析管の感度調節が
自動的になされることとなつた。
第１図、第２図は各々第１、第２装置の一実施
例を示す系統図、第３図は感度調整を自動的に行
うための系統図である。 ６…コールドトラツプ、７…分析管、８…ター
ボ分子ポンプ、１０…回転数可変インバータ、２
１…増幅器、２２…感度設定器、２３…比較器、
２４…ホールド回路、２５…スイツチ。
例を示す系統図、第３図は感度調整を自動的に行
うための系統図である。 ６…コールドトラツプ、７…分析管、８…ター
ボ分子ポンプ、１０…回転数可変インバータ、２
１…増幅器、２２…感度設定器、２３…比較器、
２４…ホールド回路、２５…スイツチ。
Claims (1)
- １ リークガスを感知する分析管と、該分析管の
ガス入口側に接続されたターボ分子ポンプを有す
る真空排気部と、該ターボ分子ポンプの排気側へ
接続されたテスト管系とを具備するとともに、前
記ターボ分子ポンプの電動機に回転数調節器が電
気的に接続され、更に、前記分析管より検出され
た信号の増幅器と、感度設定器と、これら増幅器
および設定器からの信号の差により回転数コント
ロール信号を出力する比較器と、感度校正スイツ
チが閉成されている間に前記回転数コントロール
信号が前記回転数調節器に出力されるようにした
ホールド回路とを具備したことを特徴とするリー
クテスト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23432282A JPS59119234A (ja) | 1982-12-24 | 1982-12-24 | リ−クテスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23432282A JPS59119234A (ja) | 1982-12-24 | 1982-12-24 | リ−クテスト装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59119234A JPS59119234A (ja) | 1984-07-10 |
| JPH0148492B2 true JPH0148492B2 (ja) | 1989-10-19 |
Family
ID=16969187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23432282A Granted JPS59119234A (ja) | 1982-12-24 | 1982-12-24 | リ−クテスト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59119234A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2688307B1 (fr) * | 1992-03-04 | 1997-10-24 | Aerospatiale | Procede de detection et de quantification globale de fuites sur au moins une jonction d'une capacite. |
| US8555704B2 (en) * | 2008-10-20 | 2013-10-15 | Agilent Technologies, Inc. | Calibration systems and methods for tracer gas leak detection |
| WO2015196955A1 (zh) * | 2014-06-24 | 2015-12-30 | 江苏天舒电器有限公司 | 一种热泵-制冷机组充氮保压检漏设备及其控制方法和装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2049117A1 (de) * | 1969-10-27 | 1971-05-06 | Sargent Welch Scientific Co | Gasleckanzeigesystem |
| JPS5022914A (ja) * | 1973-07-04 | 1975-03-12 |
-
1982
- 1982-12-24 JP JP23432282A patent/JPS59119234A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2049117A1 (de) * | 1969-10-27 | 1971-05-06 | Sargent Welch Scientific Co | Gasleckanzeigesystem |
| JPS5022914A (ja) * | 1973-07-04 | 1975-03-12 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59119234A (ja) | 1984-07-10 |
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