JPH0147040B2 - - Google Patents
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- JPH0147040B2 JPH0147040B2 JP61065345A JP6534586A JPH0147040B2 JP H0147040 B2 JPH0147040 B2 JP H0147040B2 JP 61065345 A JP61065345 A JP 61065345A JP 6534586 A JP6534586 A JP 6534586A JP H0147040 B2 JPH0147040 B2 JP H0147040B2
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F9/00—Making metallic powder or suspensions thereof
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- H—ELECTRICITY
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Description
【発明の詳細な説明】
イ 産業上の利用分野
本発明は、磁気シールド材に関し、特に、漏洩
磁束を遮断する磁気シールド材に関する。
磁束を遮断する磁気シールド材に関する。
ロ 従来技術
精密計測器のような精密な電気機器は、家電製
品、OA（オフイスオートメーシヨン）機器等の
電気機器や建物の鉄骨等からの漏洩磁束に曝され
ると、測定値に誤差を生じたり誤動作を起こすこ
とが多々ある。また、地磁気も同様に精密電気機
器に悪影響を及ぼすことがある。そこで、精密電
気機器又は精密電気機器を収容する室（例えば計
測室）を磁気シールド材で囲んで、上記のような
外部磁界を遮断する試みがなされている。この磁
気シールド材としては、珪素鋼板やパーマロイが
使用されているが、これらは磁気シールド性が十
分ではないために、磁気シールドを確実にするに
は可なりの厚さの板を使用せねばならず、不便で
あり、不経済でもある。
品、OA（オフイスオートメーシヨン）機器等の
電気機器や建物の鉄骨等からの漏洩磁束に曝され
ると、測定値に誤差を生じたり誤動作を起こすこ
とが多々ある。また、地磁気も同様に精密電気機
器に悪影響を及ぼすことがある。そこで、精密電
気機器又は精密電気機器を収容する室（例えば計
測室）を磁気シールド材で囲んで、上記のような
外部磁界を遮断する試みがなされている。この磁
気シールド材としては、珪素鋼板やパーマロイが
使用されているが、これらは磁気シールド性が十
分ではないために、磁気シールドを確実にするに
は可なりの厚さの板を使用せねばならず、不便で
あり、不経済でもある。
ハ 発明の至る過程
非晶質合金は、化学的、機械的性質に於いて通
常の結晶質合金に見られない特異な特性を示すた
めに、各種機能材料として注目されている。中で
も鉄基、コバルト基等の非晶質合金は、結晶異方
性を示さないため、保磁力が非常に小さく、透磁
率が高いという極めて良好な軟磁気特性を示し、
この性質を利用しての実用化が期待されている。
常の結晶質合金に見られない特異な特性を示すた
めに、各種機能材料として注目されている。中で
も鉄基、コバルト基等の非晶質合金は、結晶異方
性を示さないため、保磁力が非常に小さく、透磁
率が高いという極めて良好な軟磁気特性を示し、
この性質を利用しての実用化が期待されている。
ところが、非晶質合金は通常厚さ数十μm、幅
100mm程度のリボン状のものとして供給されてお
り、所定の寸法の板材とするには切断による破損
や重ね合わせに際しての接着に問題があり、取扱
いが非常に難しい。その上、所定の厚さにするに
は幾層にも積層せねばならず、多くの工数を要し
て生産性の点で難がある。
100mm程度のリボン状のものとして供給されてお
り、所定の寸法の板材とするには切断による破損
や重ね合わせに際しての接着に問題があり、取扱
いが非常に難しい。その上、所定の厚さにするに
は幾層にも積層せねばならず、多くの工数を要し
て生産性の点で難がある。
本発明者は、鋭意研究の結果、磁性非晶質合金
を鱗片状とし、これを積層することによつて磁性
非晶質合金の上記の優れた特性をその侭保有し、
而も生産性にも優れた磁気シールド材が得られる
ことを見出した。本発明は上記の知見によつてな
されたものである。
を鱗片状とし、これを積層することによつて磁性
非晶質合金の上記の優れた特性をその侭保有し、
而も生産性にも優れた磁気シールド材が得られる
ことを見出した。本発明は上記の知見によつてな
されたものである。
ニ 発明の目的
本発明は、静磁場乃至低周波磁場をも含めた外
部磁界に対する磁気シールド性に優れ、かつ生産
性の高い磁気シールド材を提供することを目的と
している。
部磁界に対する磁気シールド性に優れ、かつ生産
性の高い磁気シールド材を提供することを目的と
している。
ホ 発明の構成
本発明は、厚さ５〜100μm、アスペクト比（但
し、アスペクト比は最大厚さに対する最大長さの
比である。）10〜15000の鱗片状又はフレーク状軟
磁性非晶質合金片が積層された構造を有する磁気
シールド材に係る。
し、アスペクト比は最大厚さに対する最大長さの
比である。）10〜15000の鱗片状又はフレーク状軟
磁性非晶質合金片が積層された構造を有する磁気
シールド材に係る。
軟磁性非晶質合金片（以下、単に非晶質合金片
と呼ぶ。）の厚さを5μm未満にすると非晶質合金
片の製造が困難であり、これが100μmを越えて厚
くなると非晶質化が難しくなるので、この厚さは
５〜100μmとする。特に好ましい厚さは20〜
50μmである。
と呼ぶ。）の厚さを5μm未満にすると非晶質合金
片の製造が困難であり、これが100μmを越えて厚
くなると非晶質化が難しくなるので、この厚さは
５〜100μmとする。特に好ましい厚さは20〜
50μmである。
非晶質合金片のアスペクト比が10未満では、非
晶質合金片の透磁率が低下し、非晶質合金片の磁
気特性が変化するためと、積層が難しくなり、磁
気シールド性が劣化するようになる。他方、上記
アスペクト比が15000を越えると、非晶質合金片
の取扱いが面到になり、生産性が低下するように
なる。アスペクト比の特に好ましい範囲は50〜
10000である。
晶質合金片の透磁率が低下し、非晶質合金片の磁
気特性が変化するためと、積層が難しくなり、磁
気シールド性が劣化するようになる。他方、上記
アスペクト比が15000を越えると、非晶質合金片
の取扱いが面到になり、生産性が低下するように
なる。アスペクト比の特に好ましい範囲は50〜
10000である。
ヘ 実施例
先ず、本発明の好ましい態様について説明す
る。
る。
第１図は本発明に基く磁気シールド材の平面
図、第２図は同じく拡大断面図である。
図、第２図は同じく拡大断面図である。
この例は磁気シールド材を強固な板状とした例
であり、ガラス、アクリル樹脂、塩化ビニール、
エポキシ樹脂、フエノール樹脂等の２枚の板３の
間に鱗片状乃至フレーク状非晶質合金片（以下、
単に非晶質合金片と呼ぶ。）２を積層させ、これ
らを一体にして磁気シールド材１が構成されてい
る。但し、第１図では上記の板３は図示省略して
ある。
であり、ガラス、アクリル樹脂、塩化ビニール、
エポキシ樹脂、フエノール樹脂等の２枚の板３の
間に鱗片状乃至フレーク状非晶質合金片（以下、
単に非晶質合金片と呼ぶ。）２を積層させ、これ
らを一体にして磁気シールド材１が構成されてい
る。但し、第１図では上記の板３は図示省略して
ある。
この磁気シールド材１を製造するには、所望の
磁気シールド特性に合わせて所定重量を秤量した
非晶質合金片２を２枚の板３の間に均一に分散さ
せて板３で固定すれば良く、製造が極めて容易で
ある。非晶質合金片の固定には接着剤を全く使用
しなくても済むし、ホツトメルト法を使用するな
ど適宜選択できる。而も、各非晶質合金片２は方
向がランダムになつて均一に分散、積層するの
で、自然に無方向性となる。これに対して非晶質
合金リボンや結晶質合金薄帯を積層するには、切
断と接着の繰返し、無方向性にするためにクロス
方向及び角度を変えた接着をしなければならず、
その作業は甚だ煩わしい。なお、本発明にあつて
方向性を要求される場合は、非晶質合金片の均一
分散時に所定の方向に沿つた若干の磁場をかけれ
ば、非晶質合金片を長手方向に揃え、方向性を付
与することができる。
磁気シールド特性に合わせて所定重量を秤量した
非晶質合金片２を２枚の板３の間に均一に分散さ
せて板３で固定すれば良く、製造が極めて容易で
ある。非晶質合金片の固定には接着剤を全く使用
しなくても済むし、ホツトメルト法を使用するな
ど適宜選択できる。而も、各非晶質合金片２は方
向がランダムになつて均一に分散、積層するの
で、自然に無方向性となる。これに対して非晶質
合金リボンや結晶質合金薄帯を積層するには、切
断と接着の繰返し、無方向性にするためにクロス
方向及び角度を変えた接着をしなければならず、
その作業は甚だ煩わしい。なお、本発明にあつて
方向性を要求される場合は、非晶質合金片の均一
分散時に所定の方向に沿つた若干の磁場をかけれ
ば、非晶質合金片を長手方向に揃え、方向性を付
与することができる。
なお、樹脂等の板３に替えて樹脂フイルムを使
用すると、磁気シールド材に可撓性が付与されて
目的によつては使用上便利になる。この可撓性磁
気シールド材は、例えば、２枚の樹脂フイルム間
に非晶質合金片を均一に分散させた後に、接着剤
にて温間で加圧密着させる方法やフイルム間を減
圧して密着させる真空パツクの手法によつて製造
することができる。
用すると、磁気シールド材に可撓性が付与されて
目的によつては使用上便利になる。この可撓性磁
気シールド材は、例えば、２枚の樹脂フイルム間
に非晶質合金片を均一に分散させた後に、接着剤
にて温間で加圧密着させる方法やフイルム間を減
圧して密着させる真空パツクの手法によつて製造
することができる。
なお、本発明に於いて、２枚の板又はフイルム
間を減圧してその間に挟まれた非晶質合金片を固
定する方法を採用すると、非晶質合金片間の隙間
を一層少なくして圧着でき、磁気シールド性を一
層向上させる上で有効である。
間を減圧してその間に挟まれた非晶質合金片を固
定する方法を採用すると、非晶質合金片間の隙間
を一層少なくして圧着でき、磁気シールド性を一
層向上させる上で有効である。
非晶質合金片の組成は、軟磁性を示す組成であ
れば磁気シールド性を示す。磁歪が（−10〜＋
10）×10-6で透磁率が1000以上のコバルト基非晶
質合金片は、磁束密度が若干低いために、強い磁
場に対しては磁気シールド材の肉厚を若干厚くす
る必要があるが、弱い磁場に対しては極めて良好
な磁気シールド性を示す。強い磁場に対しては、
飽和磁束密度が12000G以上の鉄基非晶質合金片
が磁気シールド材の肉厚を薄く設計しても良好な
磁気シールド性を示す。また、強い磁場から地磁
気以下の非常に弱い磁場に迄亘つて磁気シールド
を行う場合は、磁歪（−10〜＋10）×10-6、透磁
率1000以上のコバルト基非晶質合金片と飽和磁束
密度12000G以上の鉄基非晶質合金片とを層状に
配するか又は混在させるかすることにより、磁気
シールドを効果的にすることができる。
れば磁気シールド性を示す。磁歪が（−10〜＋
10）×10-6で透磁率が1000以上のコバルト基非晶
質合金片は、磁束密度が若干低いために、強い磁
場に対しては磁気シールド材の肉厚を若干厚くす
る必要があるが、弱い磁場に対しては極めて良好
な磁気シールド性を示す。強い磁場に対しては、
飽和磁束密度が12000G以上の鉄基非晶質合金片
が磁気シールド材の肉厚を薄く設計しても良好な
磁気シールド性を示す。また、強い磁場から地磁
気以下の非常に弱い磁場に迄亘つて磁気シールド
を行う場合は、磁歪（−10〜＋10）×10-6、透磁
率1000以上のコバルト基非晶質合金片と飽和磁束
密度12000G以上の鉄基非晶質合金片とを層状に
配するか又は混在させるかすることにより、磁気
シールドを効果的にすることができる。
非晶質合金片は、リボンからの切断や公知のメ
ルト・エクストラクシヨン法によつて作ることが
できるが、生産性の観点及び非晶質合金片の周縁
を薄肉にできることから、本出願人の一人が先に
特開昭58−6907号公報で提示したキヤビテーシヨ
ン法（熔融金属に対して漏れ性の小さな表面層を
有し、高速で回転しているロール表面に熔融金属
を供給し、この熔融金属を微細な熔融金属滴に分
断した後、引続いてこの熔融金属滴を高速で回転
する金属回転体に衝突させて急速凝固させる方
法。）を応用することが望ましい。
ルト・エクストラクシヨン法によつて作ることが
できるが、生産性の観点及び非晶質合金片の周縁
を薄肉にできることから、本出願人の一人が先に
特開昭58−6907号公報で提示したキヤビテーシヨ
ン法（熔融金属に対して漏れ性の小さな表面層を
有し、高速で回転しているロール表面に熔融金属
を供給し、この熔融金属を微細な熔融金属滴に分
断した後、引続いてこの熔融金属滴を高速で回転
する金属回転体に衝突させて急速凝固させる方
法。）を応用することが望ましい。
以下に本発明の具体的な実施例について説明す
る。
る。
実施例 １
前記キヤビテーシヨン法によつてCo68.8Fe4.2
Si16B11（元素記号に付した数字は当該元素成分の
原子％を表す。以下同じ。）の非晶質合金片を作
製した。この非晶質合金の磁歪は零、飽和磁束密
度は7000G、透磁率は10000である。またこの非
晶質合金片の平均厚さは40μm、アスペクト比は
200〜500である。
Si16B11（元素記号に付した数字は当該元素成分の
原子％を表す。以下同じ。）の非晶質合金片を作
製した。この非晶質合金の磁歪は零、飽和磁束密
度は7000G、透磁率は10000である。またこの非
晶質合金片の平均厚さは40μm、アスペクト比は
200〜500である。
この非晶質合金片を使用して前述したようにし
て常圧下で第１図及び第２図に示したような板状
磁気シールド材１とした。なお、２枚の板３には
アクリル樹脂板を使用し、板３は接着剤（図示省
略す）で互いに接着させてある。
て常圧下で第１図及び第２図に示したような板状
磁気シールド材１とした。なお、２枚の板３には
アクリル樹脂板を使用し、板３は接着剤（図示省
略す）で互いに接着させてある。
この板状磁気シールド材について、第３図の装
置によつて磁気シールド性を調べた。即ち、電磁
鋼板（珪素鋼板）製コア４に磁化コイル５を巻付
けたものを磁場源とし、磁化コイル５に励磁電流
を供給して磁束６を発生させ、板状磁気シールド
材１を通過する漏洩磁束の強さをコア４の端部か
ら100mm離れた（図中にl1で示す。）位置に配した
検出コイル７で測定し、この測定結果に基づいて
磁気シール性を評価する。板状磁気シールド材１
は、コア４と検出コイル７との間に検出コイル７
から15mmの位置（図中l2で示す。）に位置させて
ある。また磁化コイル５に供給する励磁電流を変
化させることにより、磁束６によつて形成される
磁場の強さを変化させるようにしてある。
置によつて磁気シールド性を調べた。即ち、電磁
鋼板（珪素鋼板）製コア４に磁化コイル５を巻付
けたものを磁場源とし、磁化コイル５に励磁電流
を供給して磁束６を発生させ、板状磁気シールド
材１を通過する漏洩磁束の強さをコア４の端部か
ら100mm離れた（図中にl1で示す。）位置に配した
検出コイル７で測定し、この測定結果に基づいて
磁気シール性を評価する。板状磁気シールド材１
は、コア４と検出コイル７との間に検出コイル７
から15mmの位置（図中l2で示す。）に位置させて
ある。また磁化コイル５に供給する励磁電流を変
化させることにより、磁束６によつて形成される
磁場の強さを変化させるようにしてある。
第３図の装置を使用し、磁化コイル５への供給
電力は直流又は400Hzの交流とし、板状磁気シー
ルド材１の単位面積当りの非晶質合金片の重量を
変化させ、板状磁気シールド材１を通過する漏洩
磁束を測定した。この例では、印加磁場を1Gに
している。その結果は第４図に示す通りである。
電力は直流又は400Hzの交流とし、板状磁気シー
ルド材１の単位面積当りの非晶質合金片の重量を
変化させ、板状磁気シールド材１を通過する漏洩
磁束を測定した。この例では、印加磁場を1Gに
している。その結果は第４図に示す通りである。
同図には、比較のために市販の0.5mm厚の無方
向珪素鋼板について同様の測定をした結果が併記
してある。本実施例では直流、交流（静磁場、交
番磁場）共に殆ど同じ結果が得られた。比較の無
方向珪素鋼板は単位面積当たりの重量は４Kg/m2
であり、本実施例では１Kg/m2で比較の無方向珪
素鋼板と同程度の数値を示しており、比較材に対
して約1/4の重量で同等の磁気シールド性を示す
ことが解る。単位面積当たりの重量を更に増加さ
せれば、磁気シールド性が一層向上することは言
う迄もない。
向珪素鋼板について同様の測定をした結果が併記
してある。本実施例では直流、交流（静磁場、交
番磁場）共に殆ど同じ結果が得られた。比較の無
方向珪素鋼板は単位面積当たりの重量は４Kg/m2
であり、本実施例では１Kg/m2で比較の無方向珪
素鋼板と同程度の数値を示しており、比較材に対
して約1/4の重量で同等の磁気シールド性を示す
ことが解る。単位面積当たりの重量を更に増加さ
せれば、磁気シールド性が一層向上することは言
う迄もない。
実施例 ２
前記実施例１の非晶質合金片を使用し、これを
均一分散させる際に1Torrの減圧雰囲気下で板状
磁気シールド材とした。その他は前記実施例１に
於けると同様である。
均一分散させる際に1Torrの減圧雰囲気下で板状
磁気シールド材とした。その他は前記実施例１に
於けると同様である。
この板状磁気シールド材について前記実施例１
に於けると同様の測定を行つた結果は第５図に示
す通りである。同図には、第４図に於けると同様
に厚さ0.5mmの無方向珪素鋼板（比較例）につい
ての測定結果が併記してある。
に於けると同様の測定を行つた結果は第５図に示
す通りである。同図には、第４図に於けると同様
に厚さ0.5mmの無方向珪素鋼板（比較例）につい
ての測定結果が併記してある。
本実施例では、静磁場では単位面積当たりの重
量0.4Kg/m2で比較の無方向珪素鋼板と同程度の磁
気シールド性を示し、比較例に対して1/10の重量
で同等の磁気シールド性が得られ、磁気シールド
材を大幅に軽量化することができる。交番磁場に
対しても上記と概ね同程度の磁気シールド性を示
している。
量0.4Kg/m2で比較の無方向珪素鋼板と同程度の磁
気シールド性を示し、比較例に対して1/10の重量
で同等の磁気シールド性が得られ、磁気シールド
材を大幅に軽量化することができる。交番磁場に
対しても上記と概ね同程度の磁気シールド性を示
している。
単位面積当たりの重量を1.8Kg/m2の本実施例
と、比較の無方向珪素鋼板（４Kg/m2）とについ
て、静磁場の印加磁場を変化させて上記の測定を
行つた結果は、第６図に示す通りである。
と、比較の無方向珪素鋼板（４Kg/m2）とについ
て、静磁場の印加磁場を変化させて上記の測定を
行つた結果は、第６図に示す通りである。
同図から、本実施例では比較例に対して1/2以
下の重量でありながら、各磁場強さについて格段
に優れた磁気シールド性を示しており、地磁気に
対するシールも完壁（ぺき）であることが解る。
下の重量でありながら、各磁場強さについて格段
に優れた磁気シールド性を示しており、地磁気に
対するシールも完壁（ぺき）であることが解る。
実施例 ３
前記実施例１と同様にしてFe72Co8Si5B15の組
成を有する非晶質合金片を作製した。この非晶質
合金の磁歪は＋40×10-6、飽和磁束密度は
16500Gである。またこの非晶質合金片の平均厚
さは40μm、アスペクト比は200〜500である。
成を有する非晶質合金片を作製した。この非晶質
合金の磁歪は＋40×10-6、飽和磁束密度は
16500Gである。またこの非晶質合金片の平均厚
さは40μm、アスペクト比は200〜500である。
この非晶質合金片を使用して、前記実施例２に
於けると同様に1Torrの減圧雰囲気下で板状磁気
シールド材を作製した。
於けると同様に1Torrの減圧雰囲気下で板状磁気
シールド材を作製した。
この板状磁気シールド材と、前記実施例２の
Co68.8Fe4.2Si16B11の非晶質合金片を使用してなる
板状磁気シールド材とについて、前記実施例１，
２と同様の測定を行つた。但し、印加磁場は2G
の静磁場である。測定結果は第７図に示す通りで
ある。
Co68.8Fe4.2Si16B11の非晶質合金片を使用してなる
板状磁気シールド材とについて、前記実施例１，
２と同様の測定を行つた。但し、印加磁場は2G
の静磁場である。測定結果は第７図に示す通りで
ある。
Co68.8Fe4.2Si16B11の非晶質合金片を使用してな
る板状磁気シールド材は、前記実施例１で説明し
たように、印加磁場1G程度の弱い磁場では良好
な磁気シールド性を示すのであるが、印加磁場が
2Gという強い磁場に対しては飽和磁束密度が低
い（7000G）ためにFe72Co8Si5B15の非晶質合金
片を使用してなる板状磁気シールド材に較べて磁
気シールド性がやや劣る。これに対して
Fe72Co8Si5B15の非晶質合金片を使用してなる板
状磁気シールド材は、Co68.8Fe4.2Si16B11非晶質合
金片を使用してなる板状磁気シールド材に較べて
飽和磁束密度が高いために2Gの磁場に対しては
単位面積当たりの重量が小さくても良好な磁気シ
ールド性を示している。単位面積当たりの重量が
約１Kg以下ではFe72Co8Si5B15の非晶質合金片を
使用した板状磁気シールド材が、より優れた磁気
シールド性を示している。
る板状磁気シールド材は、前記実施例１で説明し
たように、印加磁場1G程度の弱い磁場では良好
な磁気シールド性を示すのであるが、印加磁場が
2Gという強い磁場に対しては飽和磁束密度が低
い（7000G）ためにFe72Co8Si5B15の非晶質合金
片を使用してなる板状磁気シールド材に較べて磁
気シールド性がやや劣る。これに対して
Fe72Co8Si5B15の非晶質合金片を使用してなる板
状磁気シールド材は、Co68.8Fe4.2Si16B11非晶質合
金片を使用してなる板状磁気シールド材に較べて
飽和磁束密度が高いために2Gの磁場に対しては
単位面積当たりの重量が小さくても良好な磁気シ
ールド性を示している。単位面積当たりの重量が
約１Kg以下ではFe72Co8Si5B15の非晶質合金片を
使用した板状磁気シールド材が、より優れた磁気
シールド性を示している。
実施例 ４
前記実施例１のCo68.8Fe4.2Si16B11の非晶質合金
片と、前記実施例３のFe72Co8Si5B15の非晶質合
金片とを混合比１：１でブレンドし、1Torrの減
圧雰囲気下で前記実施例2.3と同様にして単位面
積当たりの重量１Kg/m2の板状磁気シールド材を
製作した。
片と、前記実施例３のFe72Co8Si5B15の非晶質合
金片とを混合比１：１でブレンドし、1Torrの減
圧雰囲気下で前記実施例2.3と同様にして単位面
積当たりの重量１Kg/m2の板状磁気シールド材を
製作した。
この板状磁気シールド材と比較の無方向珪素鋼
板（0.5mm厚、４Kg/m2）とについて、印加磁場強
さを変化させ、前記各実施例に於けると同様の測
定を行つた。但し、印加磁場は静磁場である。
板（0.5mm厚、４Kg/m2）とについて、印加磁場強
さを変化させ、前記各実施例に於けると同様の測
定を行つた。但し、印加磁場は静磁場である。
測定結果は第８図に示す通りである。同図か
ら、本実施例は、比較例に較べて1/4の重量であ
るにも拘わらず、各磁場強さでの磁気シールド性
が格段に優れていることが解る。
ら、本実施例は、比較例に較べて1/4の重量であ
るにも拘わらず、各磁場強さでの磁気シールド性
が格段に優れていることが解る。
実施例 ５
前記キヤビテーシヨン法により組成がCo68.8
Fe4.2Si16B11で、平均厚さ40μm、アスペクト比３
〜10の非晶質合金片（比較例）と、平均厚さ
40μm、アスペクト比50〜100の非晶質合金片（実
施例）とを作製した。アスペクト比は、回転ロー
ルの周速を変化させることによつて変化させた。
Fe4.2Si16B11で、平均厚さ40μm、アスペクト比３
〜10の非晶質合金片（比較例）と、平均厚さ
40μm、アスペクト比50〜100の非晶質合金片（実
施例）とを作製した。アスペクト比は、回転ロー
ルの周速を変化させることによつて変化させた。
これらの各非晶質合金片を前記実施例１の場合
と同様にして２枚の板の間に所定量を分散固定し
て磁気シールド材を作製し、各磁気シールド材の
磁気シールド特性を測定した。
と同様にして２枚の板の間に所定量を分散固定し
て磁気シールド材を作製し、各磁気シールド材の
磁気シールド特性を測定した。
測定結果を第９図に示す。
第９図から明らかな如く、アスペクト比３〜10
の非晶質合金片を使用した比較の磁気シールド材
は、アスペクト比50〜100の非晶質合金片を使用
した磁気シールド材（実施例）に比較して低い磁
気シールド特性を示している。
の非晶質合金片を使用した比較の磁気シールド材
は、アスペクト比50〜100の非晶質合金片を使用
した磁気シールド材（実施例）に比較して低い磁
気シールド特性を示している。
なお、厚さ5μm未満の非晶質合金片は製造する
ことができず、また、厚さ100μmを越えた合金片
には結晶質の部分が含有されていた。
ことができず、また、厚さ100μmを越えた合金片
には結晶質の部分が含有されていた。
上記の実施例はコバルト基及び鉄基非晶質合金
片を使用しているが、非晶質合金片は、これらの
ほか、ニツケル基又はコバルト、鉄、ニツケルの
２種以上を主要成分とするものでも良いことは言
う迄もない。
片を使用しているが、非晶質合金片は、これらの
ほか、ニツケル基又はコバルト、鉄、ニツケルの
２種以上を主要成分とするものでも良いことは言
う迄もない。
ト 発明の効果
以上説明したように、本発明に基づく磁気シー
ルド材を使用するときは、次のような効果が奏せ
られる。
ルド材を使用するときは、次のような効果が奏せ
られる。
(1) 軟磁性非晶質合金片が積層した構造としてい
るので、保磁力が小さく、透磁率が高い。その
結果、磁気シールドが極めて良好であり、外部
磁界が有効に遮断できる。
るので、保磁力が小さく、透磁率が高い。その
結果、磁気シールドが極めて良好であり、外部
磁界が有効に遮断できる。
(2) 上記非晶質合金片は、厚さ５〜100μm、アス
ペクト比10〜15000の鱗片状又はフレーク状と
しているので、磁気シールド材中で各非晶質合
金片間の隙間を小さくでき、磁気シールドが効
果的になされる。
ペクト比10〜15000の鱗片状又はフレーク状と
しているので、磁気シールド材中で各非晶質合
金片間の隙間を小さくでき、磁気シールドが効
果的になされる。
(3) 上記非晶質合金片を上記のような寸法の鱗片
状又はフレーク状としているので、その積層が
容易であり、磁気シールド材の生産性が高い。
状又はフレーク状としているので、その積層が
容易であり、磁気シールド材の生産性が高い。
図面はいずれも本発明の実施例を示すものであ
つて、第１図は磁気シールド材の平面図、第２図
は磁気シールド材の拡大断面図、第３図は漏洩磁
束測定装置の要部を示す概略図、第４図及び第５
図は磁気シールド材の単位面積当たりの重量と
1Gの磁場に於ける漏洩磁束との関係を示すグラ
フ、第６図は磁場強さと漏洩磁束との関係を示す
グラフ、第７図は磁気シールド材の単位面積当た
りの重量と2Gの磁場に於ける漏洩磁束との関係
を示すグラフ、第８図は２種類の鱗片状又はフレ
ーク状非晶質合金片で作製された磁気シールド材
の磁場強さと漏洩磁束との関係を示すグラフ、第
９図は鱗片状又はフレーク状非晶質合金片の平均
アスペクト比別に磁気シールド材の単位面積当た
りの重量と漏洩磁束との関係を示すグラフであ
る。 なお、図面に示された符号に於いて、１……磁
気シールド材、２……鱗片状又はフレーク状非晶
質合金片、３……アクリル樹脂板、４……電磁鋼
板製コア、５……磁化コイル、６……磁束、７…
…検出コイルである。
つて、第１図は磁気シールド材の平面図、第２図
は磁気シールド材の拡大断面図、第３図は漏洩磁
束測定装置の要部を示す概略図、第４図及び第５
図は磁気シールド材の単位面積当たりの重量と
1Gの磁場に於ける漏洩磁束との関係を示すグラ
フ、第６図は磁場強さと漏洩磁束との関係を示す
グラフ、第７図は磁気シールド材の単位面積当た
りの重量と2Gの磁場に於ける漏洩磁束との関係
を示すグラフ、第８図は２種類の鱗片状又はフレ
ーク状非晶質合金片で作製された磁気シールド材
の磁場強さと漏洩磁束との関係を示すグラフ、第
９図は鱗片状又はフレーク状非晶質合金片の平均
アスペクト比別に磁気シールド材の単位面積当た
りの重量と漏洩磁束との関係を示すグラフであ
る。 なお、図面に示された符号に於いて、１……磁
気シールド材、２……鱗片状又はフレーク状非晶
質合金片、３……アクリル樹脂板、４……電磁鋼
板製コア、５……磁化コイル、６……磁束、７…
…検出コイルである。
Claims (1)
- １ 厚さ５〜100μm、アスペクト比（但し、アス
ペクト比は最大厚さに対する最大長さの比であ
る。）10〜15000の鱗片状又はフレーク状軟磁性非
晶質合金片が積層された構造を有する磁気シール
ド材。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61065345A JPS62221199A (ja) | 1986-03-24 | 1986-03-24 | 磁気シ−ルド材 |
| KR1019870002565A KR940011766B1 (ko) | 1986-03-24 | 1987-03-20 | 자기 시일드재 |
| EP87104246A EP0239052B1 (en) | 1986-03-24 | 1987-03-23 | Magnetic-shielding material |
| DE87104246T DE3787549T2 (de) | 1986-03-24 | 1987-03-23 | Material für magnetische Abschirmung. |
| US07/328,746 US4992329A (en) | 1986-03-24 | 1989-03-24 | Magnetic-shielding sheet |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61065345A JPS62221199A (ja) | 1986-03-24 | 1986-03-24 | 磁気シ−ルド材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62221199A JPS62221199A (ja) | 1987-09-29 |
| JPH0147040B2 true JPH0147040B2 (ja) | 1989-10-12 |
Family
ID=13284266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61065345A Granted JPS62221199A (ja) | 1986-03-24 | 1986-03-24 | 磁気シ−ルド材 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4992329A (ja) |
| EP (1) | EP0239052B1 (ja) |
| JP (1) | JPS62221199A (ja) |
| KR (1) | KR940011766B1 (ja) |
| DE (1) | DE3787549T2 (ja) |
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| JPH0344208Y2 (ja) * | 1987-11-17 | 1991-09-17 | ||
| JPH01278095A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-08 | Shimizu Corp | 磁気・電磁遮蔽体 |
| JPH01161398U (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-09 | ||
| JPH01161397U (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-09 | ||
| JPH01276798A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-07 | Shimizu Corp | 磁気遮蔽壁体 |
| JP2614600B2 (ja) * | 1988-05-25 | 1997-05-28 | 株式会社リケン | 磁気シールド装置 |
| JPH027500A (ja) * | 1988-06-27 | 1990-01-11 | Teikoku Piston Ring Co Ltd | 電磁シールドシートおよびその製造方法 |
| JPH02148892A (ja) * | 1988-11-30 | 1990-06-07 | Riken Corp | 磁気シールド材及びその固定法 |
| JP2696771B2 (ja) * | 1988-12-29 | 1998-01-14 | 株式会社リケン | 磁気シールド格子体 |
| US5260128A (en) * | 1989-12-11 | 1993-11-09 | Kabushiki Kaisha Riken | Electromagnetic shielding sheet |
| JPH0444197U (ja) * | 1990-08-15 | 1992-04-15 | ||
| US5165985A (en) * | 1991-06-28 | 1992-11-24 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method of making a flexible, transparent film for electrostatic shielding |
| US5314732A (en) * | 1991-06-28 | 1994-05-24 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Flexible, transparent film for electrostatic shielding |
| US5278377A (en) * | 1991-11-27 | 1994-01-11 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Electromagnetic radiation susceptor material employing ferromagnetic amorphous alloy particles |
| JPH05299874A (ja) * | 1992-04-23 | 1993-11-12 | Hitachi Ferrite Ltd | 電波吸収体及びその取り付け方法 |
| JPH0993034A (ja) * | 1995-09-22 | 1997-04-04 | Tokin Corp | 複合磁性体及びその製造方法ならびに電磁干渉抑制体 |
| JP3900559B2 (ja) | 1996-09-19 | 2007-04-04 | 大同特殊鋼株式会社 | 磁気遮蔽用シートとその製造方法及びこれを用いたケーブル |
| JPH10322085A (ja) * | 1997-03-14 | 1998-12-04 | Daido Steel Co Ltd | 遮蔽用シートとその製造方法 |
| JP3420493B2 (ja) * | 1998-01-30 | 2003-06-23 | 株式会社巴川製紙所 | フレキシブルプリント回路基板用電磁波シールドシート |
| CN1368910A (zh) * | 1999-06-16 | 2002-09-11 | 邦尼·罗奇 | 显示装置及其附件和显示方法 |
| JP3309854B1 (ja) * | 2001-07-27 | 2002-07-29 | ソニー株式会社 | 磁気吸着シートおよびその製造方法 |
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| KR100460297B1 (ko) * | 2002-05-03 | 2004-12-08 | 노바템스 주식회사 | 고투자율의 금속박 리본을 이용한 전자파 차폐재 및 그제조방법 |
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| AU2003238766A1 (en) * | 2002-05-28 | 2003-12-12 | Astic Signals Defenses L.L.C. | A system and method for filtering electromagnetic and visual transmissions and for minimizing acoustic transmissions |
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| WO2015021359A1 (en) * | 2013-08-09 | 2015-02-12 | Chamberlain Lisa | Magnetic shields |
| WO2020148796A1 (ja) | 2019-01-15 | 2020-07-23 | 株式会社日立ハイテク | 電磁界遮蔽板、その製造方法、電磁界遮蔽構造、および半導体製造環境 |
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