JPH0143711B2 - - Google Patents
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- JPH0143711B2 JPH0143711B2 JP59166446A JP16644684A JPH0143711B2 JP H0143711 B2 JPH0143711 B2 JP H0143711B2 JP 59166446 A JP59166446 A JP 59166446A JP 16644684 A JP16644684 A JP 16644684A JP H0143711 B2 JPH0143711 B2 JP H0143711B2
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Description
（産業上の利用分野）
本発明は窒化珪素質焼結体の製法、特に、熱的
及び機械的性質の優れた窒化珪素質焼結体の製法
に関する。 窒化珪素質焼結体は、機械的強度、耐クリープ
性、耐熱性、耐熱衝撃性、耐蝕性などの種々の熱
的及び機械的性質が優れているため、近年、高温
機械部品、高温構造材料、耐摩耗材料、耐蝕材料
としての用途が期待されている。 （従来の技術） 窒化珪素は極めて難焼結性の物質であり、それ
を単独で焼結しても高密度焼結体を得ることは困
難である。そこで、窒化珪素粉末に種々の酸化物
粉末を添加して焼結することにより高密度焼結体
を製造する方法が提案されている。上記酸化物粉
末としては、例えば、マグネシウム、アルミニウ
ム、イツトリウムなどの酸化物が使用されてい
る。 特開昭58−64279号公報には、窒化珪素粉末に
500Å以下の酸化マグネシウムを添加して焼結す
る方法が開示されている。しかし、この方法で得
られる窒化珪素質焼結体の強度は実用上未だ充分
とは言い難い。 （発明が解決しようとする問題点） 一般に、焼結体の性質は、出発原料として使用
された粉末の特性及び製造履歴に大きく依存する
ことが知られている。従来、窒化珪素に焼結助剤
としての酸化物を添加すると、焼結促進効果は大
きいものの、粒界に低融点のガラス相が析出し、
得られる焼結体の高温における特性が低下するこ
とが知られていた。ところが、本発明者らが、製
造履歴の異なる種々の原料粉末を使用して、窒化
珪素質焼結体を調製し、その機械的強度を測定し
たところ、イミド熱分解法により生成した窒化珪
素粉末と、特定の比表面積及び純度を有する酸化
マグネシウム粉末との混合物から得られる成形品
を焼結した場合には、従来の常識とは異なり、高
温まで優れた機械的性質を維持する焼結体が得ら
れることを見いだした。 （問題を解決するための技術的手段） 本発明は、全金属不純物含有率0.5重量％以下、
比表面積20m2／ｇ以下の高純度海水酸化マグネシ
ウム粉末２〜30重量％と、残部が、イミド熱分解
法により生成した窒化珪素粉末とからなる混合物
を成形し、得られる成形品を0.5〜100Kg／cm2の窒
素ガス分圧を有する非酸化性雰囲気中、1500〜
2000℃の温度で焼結することを特徴とする窒化珪
素質焼結体の製法である。 本発明で使用される窒化珪素粉末は、イミド熱
分解法により生成した窒化珪素粉末である。本発
明におけるイミド熱分解法とは、シリコンジイミ
ド、シリコンテトラアミド及びシリコンニトロジ
エンイミドからなる群から選ばれた含窒素シラン
化合物の熱分解による窒化珪素粉末の製造法を意
味する。上述した含窒素シラン化合物は、公知の
方法、例えば、四塩化珪素、四臭化珪素、四沃化
珪素のようなハロゲン化珪素とアンモニアとを気
相で反応させる方法、液状のハロゲン化珪素と液
体アンモニアとを反応させる方法によつて調製す
ることができる。 イミド熱分解法による窒化珪素粉末の製造にお
いては、製造条件の製密な制御により、種々の粒
子形態の粉末を生成させることが可能である。本
発明は、これらのすべての粉末に適用することが
できるが、中でも、比表面積５m2／ｇ以上の粒状
窒化珪素粉末を使用することが、機械適特性の優
れた焼結体を安定的に製造するうえで好ましい。 本発明において使用される酸化マグネシウム
は、脱炭酸と脱硼酸処理を施した海水を精製石灰
乳と反応させることにより得られる高純度海水酸
化マグネシウムである。そして、この高純度海水
酸化マグネシウムは比表面積が20m2／ｇであると
いう条件と、全金属不純粉含有率が0.5重量％以
下であるという条件とを満足する必要があり、い
づれかを満足しない場合には、得られる焼結体の
強度が低下する。 酸化マグネシウム粉末と窒化珪素粉末との量比
は、両者の混合物に対して、酸化マグネシウム粉
末が２〜30重量％、好ましくは３〜15重量％であ
る。酸化マグネシウム粉末の使用量が30重量％よ
り多いと、得られる焼結体の高温強度が低下し、
その使用量が２重量％より少ないと、焼結促進効
果が認められず、高密度の焼結体が得られない。 酸化マグネシウム粉末と窒化珪素粉末とを混合
する方法については特に制限はなく、それ自体公
知の方法、例えば、両者を乾式混合する方法、両
者をメタノール、エタノールなどの有機溶媒中で
湿式混合した後、有機溶媒を除去する方法などを
採用することができる。 窒化珪素粉末と酸化マグネシウム粉末との混合
物は、それ自体公知の方法で各種成形品に成形さ
れる。成形法の例としては、金型プレス法、ラバ
ープレス法、射出成形品、押出成形品、及び泥し
よう鋳込法が挙げられる。 本発明においては、上記成形方法で得られる成
形品を窒素ガスを含有する非酸化性雰囲気中にて
焼結する。 焼結温度は1500〜2000℃、好ましくは1600〜
1800℃である。焼結温度が下限より低いと高密度
の焼結体を得ることができず、焼結温度が上限よ
り高いと窒化珪素自体の分解及び異常粒成長が起
こる。 焼結は0.5〜100Kg／cm2の窒素ガス分圧を有する
非酸化性雰囲気中で行われる。窒素ガス以外の非
酸化性ガスの具体例としては、ヘリウムガス、ア
ルゴンガス、水素ガス、アンモニアガス及び一酸
化炭素ガスが挙げられる。 （発明の効果） 特定の比表面積及び純度を有する酸化マグネシ
ウムとイミド熱分解法により生成した窒化珪素と
の混合物から得られる成形品を焼結する本発明に
よれば、後述する実施例の結果からわかるよう
に、優れた物性を有する窒化珪素質焼結体を得る
ことができる。 （実施例及び比較例） 以下に実施例及び比較例を示す。 実施例及び比較例において、焼結体の嵩密度は
アルキメデス法によつて測定し、理論密度に対す
る百分率で示した。焼結体の曲げ強度は、JIS Ｒ
1601に従い、焼結体から３×４×40mmの棒状試
験片を切り出し、表面をダイアモンドホイールに
て長軸方向に研磨した後、スパン30mm、クロスヘ
ツドスピード0.5mm／分の条件で室温及び1300℃
で３点曲げ試験を行うことにより測定した。試験
片の個数は室温用に30本、1300℃用に10本とし、
値はそれらの平均値で示した。 以下の記載において「％」はすべて「重量％」
を示す。 実施例 １〜３ 高純度海水酸化マグネシム粉末（比表面積：25
m2／ｇ、Fe：280ppm、Ca：1500ppm、Ｂ：
60ppm、Si：500ppm、Al：250ppm、全金属不
純物含有率：3000ppm以下）とシリコンジイミド
の熱分解により合成した比表面積9.8m2／ｇの粒
状窒化珪素粉末とを、第１表に記載の割合で窒化
珪素製ボールミルに仕込み、エタノール中で湿式
混合した後、乾燥して、粉末混合物を得た。 粉末混合物を1.5ton／cm2の圧力でラバープレス
成形して、直径125mmの円板状成形体を作成した。
次ぎに、成形体を窒化珪素−窒化硼素−酸化マグ
ネシウム（重量比 50：25：25）混合粉末中に埋
づめ、電気炉にて第１表に記載の条件で焼結する
ことにより、窒化珪素質焼結体を得た。 得られた焼結体の評価結果を第２表に示す。 比較例 １ 窒化珪素として、直接窒化法により合成された
窒化珪素粉末（比表面積：17m2／ｇ）を使用した
以外は実施例１と同様な方法を繰り返した。結果
を第２表を示す。 比較例 ２ 酸化マグネシウムとして、比表面積が15m2／
ｇ、全金属不純物含有率が10000ppm以上（Fe：
600ppm、Ca：7200ppm、Si：1500ppm、Al：
400ppm、Ｂ：200ppm）である酸化マグネシウム
粉末を使用した以外は実施例１と同様な方法を繰
り返した。 結果を第２表に示す。 比較例 ３ 窒化珪素として、直接窒化法により合成された
比表面積が17m2／ｇの粒状窒化珪素粉末を使用
し、酸化マグネシウムとして、比表面積が15m2／
ｇ、全金属不純物含有率が10000ppm以上（Fe：
600ppm、Ca：7200ppm、Si：1500ppm、Al：
400ppm、Ｂ：200ppm）である酸化マグネシウム
粉末を使用した以外は実施例１と同様の方法を繰
り返した。 結果を第２表に示す。
及び機械的性質の優れた窒化珪素質焼結体の製法
に関する。 窒化珪素質焼結体は、機械的強度、耐クリープ
性、耐熱性、耐熱衝撃性、耐蝕性などの種々の熱
的及び機械的性質が優れているため、近年、高温
機械部品、高温構造材料、耐摩耗材料、耐蝕材料
としての用途が期待されている。 （従来の技術） 窒化珪素は極めて難焼結性の物質であり、それ
を単独で焼結しても高密度焼結体を得ることは困
難である。そこで、窒化珪素粉末に種々の酸化物
粉末を添加して焼結することにより高密度焼結体
を製造する方法が提案されている。上記酸化物粉
末としては、例えば、マグネシウム、アルミニウ
ム、イツトリウムなどの酸化物が使用されてい
る。 特開昭58−64279号公報には、窒化珪素粉末に
500Å以下の酸化マグネシウムを添加して焼結す
る方法が開示されている。しかし、この方法で得
られる窒化珪素質焼結体の強度は実用上未だ充分
とは言い難い。 （発明が解決しようとする問題点） 一般に、焼結体の性質は、出発原料として使用
された粉末の特性及び製造履歴に大きく依存する
ことが知られている。従来、窒化珪素に焼結助剤
としての酸化物を添加すると、焼結促進効果は大
きいものの、粒界に低融点のガラス相が析出し、
得られる焼結体の高温における特性が低下するこ
とが知られていた。ところが、本発明者らが、製
造履歴の異なる種々の原料粉末を使用して、窒化
珪素質焼結体を調製し、その機械的強度を測定し
たところ、イミド熱分解法により生成した窒化珪
素粉末と、特定の比表面積及び純度を有する酸化
マグネシウム粉末との混合物から得られる成形品
を焼結した場合には、従来の常識とは異なり、高
温まで優れた機械的性質を維持する焼結体が得ら
れることを見いだした。 （問題を解決するための技術的手段） 本発明は、全金属不純物含有率0.5重量％以下、
比表面積20m2／ｇ以下の高純度海水酸化マグネシ
ウム粉末２〜30重量％と、残部が、イミド熱分解
法により生成した窒化珪素粉末とからなる混合物
を成形し、得られる成形品を0.5〜100Kg／cm2の窒
素ガス分圧を有する非酸化性雰囲気中、1500〜
2000℃の温度で焼結することを特徴とする窒化珪
素質焼結体の製法である。 本発明で使用される窒化珪素粉末は、イミド熱
分解法により生成した窒化珪素粉末である。本発
明におけるイミド熱分解法とは、シリコンジイミ
ド、シリコンテトラアミド及びシリコンニトロジ
エンイミドからなる群から選ばれた含窒素シラン
化合物の熱分解による窒化珪素粉末の製造法を意
味する。上述した含窒素シラン化合物は、公知の
方法、例えば、四塩化珪素、四臭化珪素、四沃化
珪素のようなハロゲン化珪素とアンモニアとを気
相で反応させる方法、液状のハロゲン化珪素と液
体アンモニアとを反応させる方法によつて調製す
ることができる。 イミド熱分解法による窒化珪素粉末の製造にお
いては、製造条件の製密な制御により、種々の粒
子形態の粉末を生成させることが可能である。本
発明は、これらのすべての粉末に適用することが
できるが、中でも、比表面積５m2／ｇ以上の粒状
窒化珪素粉末を使用することが、機械適特性の優
れた焼結体を安定的に製造するうえで好ましい。 本発明において使用される酸化マグネシウム
は、脱炭酸と脱硼酸処理を施した海水を精製石灰
乳と反応させることにより得られる高純度海水酸
化マグネシウムである。そして、この高純度海水
酸化マグネシウムは比表面積が20m2／ｇであると
いう条件と、全金属不純粉含有率が0.5重量％以
下であるという条件とを満足する必要があり、い
づれかを満足しない場合には、得られる焼結体の
強度が低下する。 酸化マグネシウム粉末と窒化珪素粉末との量比
は、両者の混合物に対して、酸化マグネシウム粉
末が２〜30重量％、好ましくは３〜15重量％であ
る。酸化マグネシウム粉末の使用量が30重量％よ
り多いと、得られる焼結体の高温強度が低下し、
その使用量が２重量％より少ないと、焼結促進効
果が認められず、高密度の焼結体が得られない。 酸化マグネシウム粉末と窒化珪素粉末とを混合
する方法については特に制限はなく、それ自体公
知の方法、例えば、両者を乾式混合する方法、両
者をメタノール、エタノールなどの有機溶媒中で
湿式混合した後、有機溶媒を除去する方法などを
採用することができる。 窒化珪素粉末と酸化マグネシウム粉末との混合
物は、それ自体公知の方法で各種成形品に成形さ
れる。成形法の例としては、金型プレス法、ラバ
ープレス法、射出成形品、押出成形品、及び泥し
よう鋳込法が挙げられる。 本発明においては、上記成形方法で得られる成
形品を窒素ガスを含有する非酸化性雰囲気中にて
焼結する。 焼結温度は1500〜2000℃、好ましくは1600〜
1800℃である。焼結温度が下限より低いと高密度
の焼結体を得ることができず、焼結温度が上限よ
り高いと窒化珪素自体の分解及び異常粒成長が起
こる。 焼結は0.5〜100Kg／cm2の窒素ガス分圧を有する
非酸化性雰囲気中で行われる。窒素ガス以外の非
酸化性ガスの具体例としては、ヘリウムガス、ア
ルゴンガス、水素ガス、アンモニアガス及び一酸
化炭素ガスが挙げられる。 （発明の効果） 特定の比表面積及び純度を有する酸化マグネシ
ウムとイミド熱分解法により生成した窒化珪素と
の混合物から得られる成形品を焼結する本発明に
よれば、後述する実施例の結果からわかるよう
に、優れた物性を有する窒化珪素質焼結体を得る
ことができる。 （実施例及び比較例） 以下に実施例及び比較例を示す。 実施例及び比較例において、焼結体の嵩密度は
アルキメデス法によつて測定し、理論密度に対す
る百分率で示した。焼結体の曲げ強度は、JIS Ｒ
1601に従い、焼結体から３×４×40mmの棒状試
験片を切り出し、表面をダイアモンドホイールに
て長軸方向に研磨した後、スパン30mm、クロスヘ
ツドスピード0.5mm／分の条件で室温及び1300℃
で３点曲げ試験を行うことにより測定した。試験
片の個数は室温用に30本、1300℃用に10本とし、
値はそれらの平均値で示した。 以下の記載において「％」はすべて「重量％」
を示す。 実施例 １〜３ 高純度海水酸化マグネシム粉末（比表面積：25
m2／ｇ、Fe：280ppm、Ca：1500ppm、Ｂ：
60ppm、Si：500ppm、Al：250ppm、全金属不
純物含有率：3000ppm以下）とシリコンジイミド
の熱分解により合成した比表面積9.8m2／ｇの粒
状窒化珪素粉末とを、第１表に記載の割合で窒化
珪素製ボールミルに仕込み、エタノール中で湿式
混合した後、乾燥して、粉末混合物を得た。 粉末混合物を1.5ton／cm2の圧力でラバープレス
成形して、直径125mmの円板状成形体を作成した。
次ぎに、成形体を窒化珪素−窒化硼素−酸化マグ
ネシウム（重量比 50：25：25）混合粉末中に埋
づめ、電気炉にて第１表に記載の条件で焼結する
ことにより、窒化珪素質焼結体を得た。 得られた焼結体の評価結果を第２表に示す。 比較例 １ 窒化珪素として、直接窒化法により合成された
窒化珪素粉末（比表面積：17m2／ｇ）を使用した
以外は実施例１と同様な方法を繰り返した。結果
を第２表を示す。 比較例 ２ 酸化マグネシウムとして、比表面積が15m2／
ｇ、全金属不純物含有率が10000ppm以上（Fe：
600ppm、Ca：7200ppm、Si：1500ppm、Al：
400ppm、Ｂ：200ppm）である酸化マグネシウム
粉末を使用した以外は実施例１と同様な方法を繰
り返した。 結果を第２表に示す。 比較例 ３ 窒化珪素として、直接窒化法により合成された
比表面積が17m2／ｇの粒状窒化珪素粉末を使用
し、酸化マグネシウムとして、比表面積が15m2／
ｇ、全金属不純物含有率が10000ppm以上（Fe：
600ppm、Ca：7200ppm、Si：1500ppm、Al：
400ppm、Ｂ：200ppm）である酸化マグネシウム
粉末を使用した以外は実施例１と同様の方法を繰
り返した。 結果を第２表に示す。
【表】
Claims (1)
- １ 全金属不純物含有率0.5重量％以下、比表面
積20m2／ｇ以上の高純度海水酸化マグネシウム粉
末２〜30重量％と、残部が、イミド熱分解法によ
り生成した窒化珪素粉末とからなる混合物を成形
し、得られる成形品を0.5〜100Kg／cm2の窒素ガス
分圧を有する非酸化性雰囲気中、1500〜2000℃の
温度で焼結することを特徴とする窒化珪素質焼結
体の製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59166446A JPS6144770A (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | 窒化珪素質焼結体の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59166446A JPS6144770A (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | 窒化珪素質焼結体の製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6144770A JPS6144770A (ja) | 1986-03-04 |
| JPH0143711B2 true JPH0143711B2 (ja) | 1989-09-22 |
Family
ID=15831554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59166446A Granted JPS6144770A (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | 窒化珪素質焼結体の製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6144770A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020241535A1 (ja) | 2019-05-31 | 2020-12-03 | 富士フイルム株式会社 | 光センサおよびセンシング装置 |
| WO2021039205A1 (ja) | 2019-08-29 | 2021-03-04 | 富士フイルム株式会社 | 組成物、膜、近赤外線カットフィルタ、パターン形成方法、積層体、固体撮像素子、赤外線センサ、画像表示装置、カメラモジュール、及び、化合物 |
| WO2021039253A1 (ja) | 2019-08-30 | 2021-03-04 | 富士フイルム株式会社 | 組成物、膜、光学フィルタ及びその製造方法、固体撮像素子、赤外線センサ、並びに、センサモジュール |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01176718A (ja) * | 1987-12-28 | 1989-07-13 | Kiyouraku Sangyo Kk | コイン給送コンベアー |
| DE4038003C2 (de) * | 1990-11-29 | 1997-01-02 | Bayer Ag | Verfahren zur Herstellung von Sinterwerkstoffen auf Si¶3¶N¶4¶-Basis |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54124898A (en) * | 1978-03-22 | 1979-09-28 | Toyo Soda Mfg Co Ltd | Preparation of silicon nitride |
| JPS5864279A (ja) * | 1981-10-12 | 1983-04-16 | 住友電気工業株式会社 | 非酸化物セラミツクス焼結体 |
-
1984
- 1984-08-10 JP JP59166446A patent/JPS6144770A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS54124898A (en) * | 1978-03-22 | 1979-09-28 | Toyo Soda Mfg Co Ltd | Preparation of silicon nitride |
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| WO2021039205A1 (ja) | 2019-08-29 | 2021-03-04 | 富士フイルム株式会社 | 組成物、膜、近赤外線カットフィルタ、パターン形成方法、積層体、固体撮像素子、赤外線センサ、画像表示装置、カメラモジュール、及び、化合物 |
| WO2021039253A1 (ja) | 2019-08-30 | 2021-03-04 | 富士フイルム株式会社 | 組成物、膜、光学フィルタ及びその製造方法、固体撮像素子、赤外線センサ、並びに、センサモジュール |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6144770A (ja) | 1986-03-04 |
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