JPH0141240B2 - - Google Patents
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- JPH0141240B2 JPH0141240B2 JP14720180A JP14720180A JPH0141240B2 JP H0141240 B2 JPH0141240 B2 JP H0141240B2 JP 14720180 A JP14720180 A JP 14720180A JP 14720180 A JP14720180 A JP 14720180A JP H0141240 B2 JPH0141240 B2 JP H0141240B2
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01D3/02—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups with provision for altering or correcting the law of variation
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
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- G01D5/24—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
- G01D5/241—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes
- G01D5/2417—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying separation
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- G—PHYSICS
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- G01L9/12—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor
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- H03K—PULSE TECHNIQUE
- H03K17/00—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
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- H03K17/965—Switches controlled by moving an element forming part of the switch
- H03K17/975—Switches controlled by moving an element forming part of the switch using a capacitive movable element
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は容量変化型センサを使用する回路に関
し、特に容量変化型圧力センサ回路などに使用し
て好適な、容量の変化を直流電圧信号に変換する
回路に関する。さらに詳しく述べると、２枚の平
行平板電極を有し、該２枚の電極間の距離が、例
えば圧力、距離、角度変化などの物理的助変数の
変化に比例して変化することにより、該２枚の電
極間容量が変化するような容量変化型センサの容
量変化を検出して電気的信号に変換し、該電気的
信号が、前記物理的助変数の変化に比例して大き
さの変化する直流電圧信号となるような容量検出
回路を実現しようとするものである。
し、特に容量変化型圧力センサ回路などに使用し
て好適な、容量の変化を直流電圧信号に変換する
回路に関する。さらに詳しく述べると、２枚の平
行平板電極を有し、該２枚の電極間の距離が、例
えば圧力、距離、角度変化などの物理的助変数の
変化に比例して変化することにより、該２枚の電
極間容量が変化するような容量変化型センサの容
量変化を検出して電気的信号に変換し、該電気的
信号が、前記物理的助変数の変化に比例して大き
さの変化する直流電圧信号となるような容量検出
回路を実現しようとするものである。
まず、本発明の原理を、容量変化により圧力を
検知する容量変化型圧力センサを例にとつて説明
する。第１図に前記容量変化型圧力センサの原理
図を示す。第１図において１は可動電極、２は固
定電極、ｐは圧力、d0は圧力が印加されない時の
電極間隔、△ｄは圧力ｐが印加された時の電極間
隔の変化、ｄはその時の電極間隔を示す。該圧力
センサの初期容量（圧力が印加されない時の容
量）をC0、圧力ｐが印加され電極間隔がｄにな
つた時の容量をＣ、電極面積をＳとする。電極間
隔の変化△ｄは印加圧力ｐに比例するので、 ｄ＝d0−△ｄ ＝d0−k1p（k1は定数） ……(1) ∴ｐ＝１／k1（d0−ｄ） ＝k2（１−ｄ／d0）（k2＝d0／k1：定数）……(2
) 一方、容量C0およびＣは、 C0＝εS／d0、Ｃ＝εS／ｄ（εは誘電率） ……(3) となるので、 ｄ／d0＝C0／Ｃ ……(4) となる。(4)式を(2)式に代入すると次式を得る。
検知する容量変化型圧力センサを例にとつて説明
する。第１図に前記容量変化型圧力センサの原理
図を示す。第１図において１は可動電極、２は固
定電極、ｐは圧力、d0は圧力が印加されない時の
電極間隔、△ｄは圧力ｐが印加された時の電極間
隔の変化、ｄはその時の電極間隔を示す。該圧力
センサの初期容量（圧力が印加されない時の容
量）をC0、圧力ｐが印加され電極間隔がｄにな
つた時の容量をＣ、電極面積をＳとする。電極間
隔の変化△ｄは印加圧力ｐに比例するので、 ｄ＝d0−△ｄ ＝d0−k1p（k1は定数） ……(1) ∴ｐ＝１／k1（d0−ｄ） ＝k2（１−ｄ／d0）（k2＝d0／k1：定数）……(2
) 一方、容量C0およびＣは、 C0＝εS／d0、Ｃ＝εS／ｄ（εは誘電率） ……(3) となるので、 ｄ／d0＝C0／Ｃ ……(4) となる。(4)式を(2)式に代入すると次式を得る。
ｐ＝k2（１−C0／Ｃ） ……(5)
したがつて、（１−C0／Ｃ）は圧力ｐに比例す
る。
る。
次に、２個のコンデンサC0とＣ（C0＜Ｃ）があ
り、C0とＣは共に基準電圧Vref2と等しい電圧ま
で充電されているとし、この状態からC0とＣを
それぞれ特性の同じ充電回路によつて充電し、Ｃ
の電圧が基準電圧Vref1に達すると充電をやめて
放電し、Ｃの電圧が再び基準電圧Vref2に戻ると
放電をやめて充電を始めるという動作サイクルを
繰返すとする。この動作サイクル中に、C0の電
圧が基準電圧Vref1より高くなる区間Taが存在す
るが、この区間Taの間だけ一定振幅の電圧を発
生するパルス信号υp（服幅υpm）を考える。第２
図にこの動作サイクル図を示す。第２図におい
て、３はＣの充放電波形、４はC0の充放電波形、
５は前記パルス信号υpである。第２図より、 T1／T2＝C0／Ｃ、T3／T4＝C0／Ｃ ……(6) より、 T1＋T3／Ｔ＝C0／Ｃ（Ｔは周期） ……(7) ゆえに、 Ta／Ｔ＝１−T1＋T3／Ｔ＝１−C0／Ｃ ……(8) となる。パルス信号５の平均値Vpを求めると、 Vp＝υpmTa／Ｔ＝υpm（１−C0／Ｃ） ……(9) 前記(5)式と(9)式より、該５のパルス信号υpの平
均値は圧力に比例することがわかる。
り、C0とＣは共に基準電圧Vref2と等しい電圧ま
で充電されているとし、この状態からC0とＣを
それぞれ特性の同じ充電回路によつて充電し、Ｃ
の電圧が基準電圧Vref1に達すると充電をやめて
放電し、Ｃの電圧が再び基準電圧Vref2に戻ると
放電をやめて充電を始めるという動作サイクルを
繰返すとする。この動作サイクル中に、C0の電
圧が基準電圧Vref1より高くなる区間Taが存在す
るが、この区間Taの間だけ一定振幅の電圧を発
生するパルス信号υp（服幅υpm）を考える。第２
図にこの動作サイクル図を示す。第２図におい
て、３はＣの充放電波形、４はC0の充放電波形、
５は前記パルス信号υpである。第２図より、 T1／T2＝C0／Ｃ、T3／T4＝C0／Ｃ ……(6) より、 T1＋T3／Ｔ＝C0／Ｃ（Ｔは周期） ……(7) ゆえに、 Ta／Ｔ＝１−T1＋T3／Ｔ＝１−C0／Ｃ ……(8) となる。パルス信号５の平均値Vpを求めると、 Vp＝υpmTa／Ｔ＝υpm（１−C0／Ｃ） ……(9) 前記(5)式と(9)式より、該５のパルス信号υpの平
均値は圧力に比例することがわかる。
第３図に示すような、放電を一気に行なうよう
な場合でも、原理的には前述の原理と同じである
ことは明白である。
な場合でも、原理的には前述の原理と同じである
ことは明白である。
以下、本発明の実施例を挙げて、構成および動
作の説明をする。
作の説明をする。
第４図に本発明の一実施例を示す。第４図にお
いて、６は容量変化型センサ、７は基準コンデン
サ、８および９は充電回路、１０および１１は放
電回路、１２および１３は比較回路、１４は基準
電圧Vref1を発生する基準電圧源、１５は充放電
制御手段（本実施例では単安定マルチバイブレー
タ）、１６は低域フイルタ、ａおよびｂは接続点
である。第５図に、第４図の構成の回路の動作タ
イミング図を示す。第５図において、２０は容量
変化型センサ６の充放電波形、２１は基準コンデ
ンサ７の充放電波形、２２は比較回路１３の出力
信号、２３は単安定マルチバイブレータ１５の出
力信号、２４は比較回路１２の出力信号である。
いて、６は容量変化型センサ、７は基準コンデン
サ、８および９は充電回路、１０および１１は放
電回路、１２および１３は比較回路、１４は基準
電圧Vref1を発生する基準電圧源、１５は充放電
制御手段（本実施例では単安定マルチバイブレー
タ）、１６は低域フイルタ、ａおよびｂは接続点
である。第５図に、第４図の構成の回路の動作タ
イミング図を示す。第５図において、２０は容量
変化型センサ６の充放電波形、２１は基準コンデ
ンサ７の充放電波形、２２は比較回路１３の出力
信号、２３は単安定マルチバイブレータ１５の出
力信号、２４は比較回路１２の出力信号である。
容量変化型センサ６および基準コンデンサ７の
電荷が零で、接続点ａおよびｂの電圧が共にOV
の状態から、容量変化型センサ６および基準コン
デンサ７がそれぞれ充電回路８および充電回路９
によつて充電されると、接続点ａおよび接続点ｂ
の電圧はしだいに上昇する。接続点ｂの電圧２１
が基準電圧Vref1より高くなると、比較回路１３
の出力２２は低レベル（OV）から高レベル（電
源電圧Vcc）に上がる。さらに時間が経過して接
続点ａの電圧２０が基準電圧Vref1より高くなる
と、比較回路１２の出力２４が反転して、単安定
マルチバイブレータ１５にトリガがかかる。単安
定マルチバイブレータ１５はトリガがかかると一
定のパルス幅のパルス２３を出力し、該パルス２
３により放電回路１０および１１が動作し、容量
変化型センサ６および基準コンデンサ７に蓄積さ
れた電荷は放電される。容量変化型センサ６およ
び基準コンデンサ７の電荷は、単安定マルチバイ
ブレータ１５の出力パルス２３のパルス幅の期間
内に完全に放電され、接続点ａおよびｂの電圧は
OVに戻る。接続点ａの電圧２０がOVに戻る途
中、基準電圧Vref1より低くなるので、比較回路
１２の出力２４は反転して元の状態に戻り、接続
点ｂの電圧２１がOVに戻る途中、基準電圧Vref1
より低くなるので、比較回路１３の出力２２は低
レベルに戻る。単安定マルチバイブレータ１５の
出力パルス２３がなくなると、放電回路１０およ
び１１は動作を停止し、圧力変化型センキ６およ
び基準コンデンサ７は再び充電を開始し、次の動
作サイクルが始まる。以上述べた動作サイクルの
繰返しにより、比較回路１３の出力に、前記原理
の説明で述べたような、容量変化型センサ６に加
えられた物理的助変数の値の変化に比例して平均
電圧が変化するパルス信号２２が得られる。該パ
ルス信号２２は、低域フイルタ１６により直流電
圧に変換され、物理的助変数の値の変化に比例し
て電圧が変化する直流電圧が得られる。
電荷が零で、接続点ａおよびｂの電圧が共にOV
の状態から、容量変化型センサ６および基準コン
デンサ７がそれぞれ充電回路８および充電回路９
によつて充電されると、接続点ａおよび接続点ｂ
の電圧はしだいに上昇する。接続点ｂの電圧２１
が基準電圧Vref1より高くなると、比較回路１３
の出力２２は低レベル（OV）から高レベル（電
源電圧Vcc）に上がる。さらに時間が経過して接
続点ａの電圧２０が基準電圧Vref1より高くなる
と、比較回路１２の出力２４が反転して、単安定
マルチバイブレータ１５にトリガがかかる。単安
定マルチバイブレータ１５はトリガがかかると一
定のパルス幅のパルス２３を出力し、該パルス２
３により放電回路１０および１１が動作し、容量
変化型センサ６および基準コンデンサ７に蓄積さ
れた電荷は放電される。容量変化型センサ６およ
び基準コンデンサ７の電荷は、単安定マルチバイ
ブレータ１５の出力パルス２３のパルス幅の期間
内に完全に放電され、接続点ａおよびｂの電圧は
OVに戻る。接続点ａの電圧２０がOVに戻る途
中、基準電圧Vref1より低くなるので、比較回路
１２の出力２４は反転して元の状態に戻り、接続
点ｂの電圧２１がOVに戻る途中、基準電圧Vref1
より低くなるので、比較回路１３の出力２２は低
レベルに戻る。単安定マルチバイブレータ１５の
出力パルス２３がなくなると、放電回路１０およ
び１１は動作を停止し、圧力変化型センキ６およ
び基準コンデンサ７は再び充電を開始し、次の動
作サイクルが始まる。以上述べた動作サイクルの
繰返しにより、比較回路１３の出力に、前記原理
の説明で述べたような、容量変化型センサ６に加
えられた物理的助変数の値の変化に比例して平均
電圧が変化するパルス信号２２が得られる。該パ
ルス信号２２は、低域フイルタ１６により直流電
圧に変換され、物理的助変数の値の変化に比例し
て電圧が変化する直流電圧が得られる。
第６図に本発明の他の実施例を示す。第６図に
おいて、１５′は充放電制御手段であり、１７は
基準電圧Vref2を発生する基準電圧源、１８は比
較回路、１９はフリツプ・フロツプ回路である。
第７図に、第６図の構成の回路の動作タイミング
図を示す。第７図において、２５はフリツプ・フ
ロツプ回路１９の出力、２４は比較回路１２の出
力、２６は比較回路１８の出力である。
おいて、１５′は充放電制御手段であり、１７は
基準電圧Vref2を発生する基準電圧源、１８は比
較回路、１９はフリツプ・フロツプ回路である。
第７図に、第６図の構成の回路の動作タイミング
図を示す。第７図において、２５はフリツプ・フ
ロツプ回路１９の出力、２４は比較回路１２の出
力、２６は比較回路１８の出力である。
接続点ａおよびｂの電圧が共に基準電圧Vref2
に等しい状態から、容量変化型センサ６および基
準コンデンサ７がそれぞれ充電回路８および充電
回路９によつて充電され、接続点ａおよびｂの電
圧はしだいに上昇する。接続点ｂの電圧２１が基
準電圧Vref1より高くなると、比較回路１３の出
力２２が低レベルから高レベルになる。さらに時
間が経過して接続点ａの電圧２０が基準電圧
Vref1より高くなると、比較回路１２の出力２４
が反転し、フリツプ・フロツプ１９がセツトされ
る。フリツプ・フロツプ１９がセツトされると波
形２５放電回路１０および１１が動作し、容量変
化型センサ６および基準コンデンサ７の電荷はそ
れぞれ放電回路１０および放電回路１１を通して
放電を開始し、接続点ａおよびｂの電圧はしだい
に下がつていく。接続点ａの電圧２１が基準電圧
Vref1より下がると、比較回路１３の出力２２は
高レベルから低レベルに戻る。さらに時間が経過
して、接続点ａの電圧２０が基準電圧Vref2より
下がると、比較回路１８の出力が反転し、フリツ
プ・フロツプ１９がリセツトされる。フリツプ・
フロツプ１９がリセツトされると、放電回路１０
および１１の動作は停止し、容量変化型センサ６
および基準コンデンサ７は再び充電を開始し、次
の動作サイクルが始まる。以上に述べた動作サイ
クルの繰返しにより、比較回路１３の出力には、
前記原理の説明で述べたような、物理的助変数の
値の変化に比例して平均電圧の変化するパルス信
号２２が得られ、該パルス信号２２は低域フイル
タ１６によつて直流電圧に変換され、物理的助変
数の値の変化に比例して電圧が変化するような直
流電圧が得られる。
に等しい状態から、容量変化型センサ６および基
準コンデンサ７がそれぞれ充電回路８および充電
回路９によつて充電され、接続点ａおよびｂの電
圧はしだいに上昇する。接続点ｂの電圧２１が基
準電圧Vref1より高くなると、比較回路１３の出
力２２が低レベルから高レベルになる。さらに時
間が経過して接続点ａの電圧２０が基準電圧
Vref1より高くなると、比較回路１２の出力２４
が反転し、フリツプ・フロツプ１９がセツトされ
る。フリツプ・フロツプ１９がセツトされると波
形２５放電回路１０および１１が動作し、容量変
化型センサ６および基準コンデンサ７の電荷はそ
れぞれ放電回路１０および放電回路１１を通して
放電を開始し、接続点ａおよびｂの電圧はしだい
に下がつていく。接続点ａの電圧２１が基準電圧
Vref1より下がると、比較回路１３の出力２２は
高レベルから低レベルに戻る。さらに時間が経過
して、接続点ａの電圧２０が基準電圧Vref2より
下がると、比較回路１８の出力が反転し、フリツ
プ・フロツプ１９がリセツトされる。フリツプ・
フロツプ１９がリセツトされると、放電回路１０
および１１の動作は停止し、容量変化型センサ６
および基準コンデンサ７は再び充電を開始し、次
の動作サイクルが始まる。以上に述べた動作サイ
クルの繰返しにより、比較回路１３の出力には、
前記原理の説明で述べたような、物理的助変数の
値の変化に比例して平均電圧の変化するパルス信
号２２が得られ、該パルス信号２２は低域フイル
タ１６によつて直流電圧に変換され、物理的助変
数の値の変化に比例して電圧が変化するような直
流電圧が得られる。
本発明のさらに他の実施例を第８図に示す。第
９図に第８図の構成の回路の動作タイミング図を
示す。第８図に示した実施例は、単安定マルチバ
イブレータ（充放電制御手段）１５の出力によ
り、充電回路８および９を制御するようにした回
路であり、動作は、前述した第４図あるいは第６
図の構成の回路の動作説明から第９図を参照する
ことにより容易に理解できるので、改めて説明を
要しないであろう。
９図に第８図の構成の回路の動作タイミング図を
示す。第８図に示した実施例は、単安定マルチバ
イブレータ（充放電制御手段）１５の出力によ
り、充電回路８および９を制御するようにした回
路であり、動作は、前述した第４図あるいは第６
図の構成の回路の動作説明から第９図を参照する
ことにより容易に理解できるので、改めて説明を
要しないであろう。
以上のように、本発明によれば、計測の対象と
なる例えば圧力などのような物理的助変数の値の
変化と出力である直流電圧とが比例するため、直
線性補正が不要であり、回路構成が簡単な容量検
出回路を実現し得る。
なる例えば圧力などのような物理的助変数の値の
変化と出力である直流電圧とが比例するため、直
線性補正が不要であり、回路構成が簡単な容量検
出回路を実現し得る。
第１図は容量変化型センサの原理図、第２図と
第３図は本発明の原理を説明するための波形図、
第４図と第６図と第８図は本発明の実施例をそれ
ぞれ示す構成図、第５図と第７図と第９図はそれ
ぞれ、第４図と第６図と第８図の構成における動
作タイミング図を示す。 ６……容量変化型センサ、７……基準コンデン
サ、８，９……充電回路、１０，１１……放電回
路、１２，１３，１８……比較回路、１４，１７
……基準電圧源、１５，１５′……充放電制御手
段、１６……低域フイルタ、１９……フリツプ・
フロツプ回路。
第３図は本発明の原理を説明するための波形図、
第４図と第６図と第８図は本発明の実施例をそれ
ぞれ示す構成図、第５図と第７図と第９図はそれ
ぞれ、第４図と第６図と第８図の構成における動
作タイミング図を示す。 ６……容量変化型センサ、７……基準コンデン
サ、８，９……充電回路、１０，１１……放電回
路、１２，１３，１８……比較回路、１４，１７
……基準電圧源、１５，１５′……充放電制御手
段、１６……低域フイルタ、１９……フリツプ・
フロツプ回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 物理的助変数の値の変化に応じて変化する容
量を有する容量変化型センサと、基準コンデンサ
と、第１の充電回路と、第１の放電回路と、第１
の比較回路と、第２の充電回路と、第２の放電回
路と、第２の比較回路と、基準電圧源と、充放電
制御手段と、低域フイルタとを有し、前記容量変
化型センサ、前記第１の充電回路、前記第１の放
電回路、および前記第１の比較回路の一方の入力
端とが第１の接続点で接続され、前記基準コンデ
ンサ、前記第２の充電回路、前記第２の放電回
路、および前記第２の比較回路の一方の入力端と
が第２の接続点で接続され、基準コンデンサと第
２の充電回路または第２の放電回路で決まる充電
または放電時定数が容量変化型センサの初期容量
と第１の充電回路または第１の放電回路で決まる
充電または放電時定数に対して等しいかまたは小
さくなるように設定し、前記第１の比較回路の他
方の入力と、前記第２の比較回路の他方の入力と
は前記基準電圧源の出力に接続され、前記第２の
比較回路の出力は前記低域フイルタの入力に接続
され、前記第１の比較回路の出力は前記充放電制
御手段の入力に接続され、前記充放電制御手段の
出力は、前記第１の充電回路および前記第２の充
電回路を、もしくは前記第１の放電回路および前
記第２の放電回路を制御して、前記低域フイルタ
の出力に前記物理的助変数の変化を示す直流電圧
信号を発生することを特徴とする容量検出回路。 ２ 充放電制御手段は、単安定マルチバイブレー
タを有してなることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の容量検出回路。 ３ 充放電制御手段に、第２の基準電圧源と、第
３の比較回路と、フリツプ・フロツプ回路とを包
合させ、前記第３の比較回路の一方の入力を前記
第２の基準電圧源に接続し、前記第３の比較回路
の他方の入力を前記第１の接続点あるいは前記第
２の接続点に接続し、前記フリツプ・フロツプ回
路の一方の入力を前記第１の比較回路の出力に接
続し、前記フリツプ・フロツプ回路の他方の入力
を前記第３の比較回路に接続したことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の容量検出回路。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14720180A JPS5770404A (en) | 1980-10-20 | 1980-10-20 | Capacitance detecting circuit |
| US06/312,846 US4404481A (en) | 1980-10-20 | 1981-10-19 | Capacitance to voltage conversion apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14720180A JPS5770404A (en) | 1980-10-20 | 1980-10-20 | Capacitance detecting circuit |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5770404A JPS5770404A (en) | 1982-04-30 |
| JPH0141240B2 true JPH0141240B2 (ja) | 1989-09-04 |
Family
ID=15424837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14720180A Granted JPS5770404A (en) | 1980-10-20 | 1980-10-20 | Capacitance detecting circuit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5770404A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5910014U (ja) * | 1982-07-12 | 1984-01-21 | 横河電機株式会社 | 容量式変換器 |
| JPS59142418A (ja) * | 1983-02-02 | 1984-08-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 物理量検出装置 |
| JP5086113B2 (ja) * | 2008-01-24 | 2012-11-28 | 株式会社フジクラ | 静電容量型センサ |
-
1980
- 1980-10-20 JP JP14720180A patent/JPS5770404A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5770404A (en) | 1982-04-30 |
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