JPH0137872B2 - - Google Patents
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- JPH0137872B2 JPH0137872B2 JP59170143A JP17014384A JPH0137872B2 JP H0137872 B2 JPH0137872 B2 JP H0137872B2 JP 59170143 A JP59170143 A JP 59170143A JP 17014384 A JP17014384 A JP 17014384A JP H0137872 B2 JPH0137872 B2 JP H0137872B2
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- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 230000011514 reflex Effects 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/16—Window-type lasers, i.e. with a region of non-absorbing material between the active region and the reflecting surface
- H01S5/164—Window-type lasers, i.e. with a region of non-absorbing material between the active region and the reflecting surface with window regions comprising semiconductor material with a wider bandgap than the active layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/12—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region the resonator having a periodic structure, e.g. in distributed feedback [DFB] lasers
-
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/12—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region the resonator having a periodic structure, e.g. in distributed feedback [DFB] lasers
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-
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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Description
【発明の詳細な説明】
(発明の技術分野)
本発明は安定な単一波長動作を実現する4分の
1波長相当の回折格子の位相シフトを有する分布
帰還形半導体レーザ(以下「DFBレーザ」と略
す)に関するものである。
1波長相当の回折格子の位相シフトを有する分布
帰還形半導体レーザ(以下「DFBレーザ」と略
す)に関するものである。
(従来技術とその問題点)
DFBレーザは、レーザ内部に波長選択性に優
れた回折格子を内蔵しているため、単一波長動作
が容易に実現でき、低損失光フアイバ通信などの
光源として開発が進められている。特に、回折格
子の位相が中央付近で光の波長の4分の1相当分
だけシフトしたDFBレーザは単一波長性に優れ、
製造上の歩留まり向上も期待されている。
れた回折格子を内蔵しているため、単一波長動作
が容易に実現でき、低損失光フアイバ通信などの
光源として開発が進められている。特に、回折格
子の位相が中央付近で光の波長の4分の1相当分
だけシフトしたDFBレーザは単一波長性に優れ、
製造上の歩留まり向上も期待されている。
第1図はInGaAsP/InP半導体系から構成され
る従来の位相シフトDFBレーザであり、光の進
行方向に沿う断面模式図である。n型InP基板1
の上にInGaAsPからなる導波路層2、発光層3、
メルトバツク防止用のバツフアー層4、およびp
型InP層5が順次積層されており、かつこの例で
は、発光層3のあるレーザ領域の延長上にp型
InP層5とn型InP層6とで埋めた形の窓構造が
設けられている。n型InGaAsPキヤツプ層7は
亜鉛拡散領域9をp型にすることにより選択的に
電流通路を形成し、かつp側電極11との電気的
接触を良好にするためのものである。10は
SiO2絶縁膜、12はn側電極、13はレーザの
出力光を有効に取り出すための反射防止膜であ
る。周期的な凹凸8は、この場合、発光層3に隣
接する導波路層2に設けられており、発光領域の
中央付近を境界として第1の領域と第2の領域と
で、凹凸の位相がレーザ内の光の波長の4分の1
に相当する分だけシフトしている。このような
DFBレーザでは、丁度ブラツグ波長において安
定な単一波長動作が得られる。
る従来の位相シフトDFBレーザであり、光の進
行方向に沿う断面模式図である。n型InP基板1
の上にInGaAsPからなる導波路層2、発光層3、
メルトバツク防止用のバツフアー層4、およびp
型InP層5が順次積層されており、かつこの例で
は、発光層3のあるレーザ領域の延長上にp型
InP層5とn型InP層6とで埋めた形の窓構造が
設けられている。n型InGaAsPキヤツプ層7は
亜鉛拡散領域9をp型にすることにより選択的に
電流通路を形成し、かつp側電極11との電気的
接触を良好にするためのものである。10は
SiO2絶縁膜、12はn側電極、13はレーザの
出力光を有効に取り出すための反射防止膜であ
る。周期的な凹凸8は、この場合、発光層3に隣
接する導波路層2に設けられており、発光領域の
中央付近を境界として第1の領域と第2の領域と
で、凹凸の位相がレーザ内の光の波長の4分の1
に相当する分だけシフトしている。このような
DFBレーザでは、丁度ブラツグ波長において安
定な単一波長動作が得られる。
一方、レーザ出力という観点で見た場合、第1
図のような構造では第1の領域と第2の領域の構
造が位相変換点に関して互いにほぼ対称となつて
いるため、第1と第2の領域側からの出力が等し
くなつている。実際の光フアイバ通信等に使用さ
れる場合には、一方の出力だけを用い、他方を単
なるモニタとして使用するので、両側から同じ出
力を出すのは極めて効率が悪い。このように従来
の位相シフトDFBレーザでは単一波長性には優
れているものの、レーザの効率という点では、非
効率的な構成となつていた。
図のような構造では第1の領域と第2の領域の構
造が位相変換点に関して互いにほぼ対称となつて
いるため、第1と第2の領域側からの出力が等し
くなつている。実際の光フアイバ通信等に使用さ
れる場合には、一方の出力だけを用い、他方を単
なるモニタとして使用するので、両側から同じ出
力を出すのは極めて効率が悪い。このように従来
の位相シフトDFBレーザでは単一波長性には優
れているものの、レーザの効率という点では、非
効率的な構成となつていた。
(発明の目的と特徴)
本発明は、上述した従来技術の欠点を解消する
ためになされたもので、DFBレーザ両側からの
レーザ出力を非対称とする位相シフトDFBレー
ザを提供することを目的とする。
ためになされたもので、DFBレーザ両側からの
レーザ出力を非対称とする位相シフトDFBレー
ザを提供することを目的とする。
本発明の特徴は、DFBレーザの発光領域の第
1の領域と第2の領域とに設けられた周期的な凹
凸の深さを変えることにより、第1の領域と第2
の領域とのブラツグ反射の強さを異ならしめ、
DFBレーザ両側からの光出力を非対称にしたこ
とにある。
1の領域と第2の領域とに設けられた周期的な凹
凸の深さを変えることにより、第1の領域と第2
の領域とのブラツグ反射の強さを異ならしめ、
DFBレーザ両側からの光出力を非対称にしたこ
とにある。
(発明の構成及び作用)
以下に図面を用いて本発明を詳細に説明する。
第2図は、本発明の一実施例であり、導波路層
2に設けられた周期的な凹凸8(以下、「回折格
子」と称す)の長さは第1図と同様であるが、回
折格子8の深さが第1の領域と第2の領域とでは
異なるようにしてある。この場合、ブラツグ反射
の強さは周期的な凹凸の深さが深いほど強くな
り、浅いほど弱くなる。従つて、同図では凹凸の
深さが深い第1の領域側のブラツグ反射が強くな
り、光出力は第2図と同様に第2の領域側から主
出力を取り出すことになる。
2に設けられた周期的な凹凸8(以下、「回折格
子」と称す)の長さは第1図と同様であるが、回
折格子8の深さが第1の領域と第2の領域とでは
異なるようにしてある。この場合、ブラツグ反射
の強さは周期的な凹凸の深さが深いほど強くな
り、浅いほど弱くなる。従つて、同図では凹凸の
深さが深い第1の領域側のブラツグ反射が強くな
り、光出力は第2図と同様に第2の領域側から主
出力を取り出すことになる。
なお、第1と第2の領域の長さはほぼ等しくし
てある。
てある。
このように、位相シフトDFBレーザは、前述
したようにレーザ発振力が丁度ブラツグ波長、す
なわち、一次の回折格子の場合には凹凸の周期の
2倍の波長で起こり、出力分布は第1の領域及び
第2の領域におけるブラツグ反射の強さによつて
決定される。
したようにレーザ発振力が丁度ブラツグ波長、す
なわち、一次の回折格子の場合には凹凸の周期の
2倍の波長で起こり、出力分布は第1の領域及び
第2の領域におけるブラツグ反射の強さによつて
決定される。
従つて、第2図のごとく第1の領域側の回折格
子8を深くしてブラツグ反射を強くした場合は、
光出力が大きい第2の領域側に光フアイバ等を接
続して主出力を取り出し、反対に光出力が小さい
第1の領域側からの光出力をモニター出力とする
ことにより、光出力を効率良く使用することがで
きる。
子8を深くしてブラツグ反射を強くした場合は、
光出力が大きい第2の領域側に光フアイバ等を接
続して主出力を取り出し、反対に光出力が小さい
第1の領域側からの光出力をモニター出力とする
ことにより、光出力を効率良く使用することがで
きる。
このように、第1と第2の領域のブラツグ反射
の強さを非対称にすることは、単一波長性が若干
劣化するが、位相シフトDFBレーザの単一波長
性は本来極めて大きいため、実用上問題とならな
い。
の強さを非対称にすることは、単一波長性が若干
劣化するが、位相シフトDFBレーザの単一波長
性は本来極めて大きいため、実用上問題とならな
い。
また、以上の説明では、横モード安定化のため
のストライプ構造については触れなかつたが、埋
込みヘテロ構造や平凸導波路構造など各種のスト
ライプ構造に適用できることは言うまでもない。
半導体材料にしても、説明に用いたInGaAsP/
InP系だけでなく、AlInGaAs/InP系、
AlGaAs/GaAs系など他の材料にも容易に適用
できることは言うまでもない。
のストライプ構造については触れなかつたが、埋
込みヘテロ構造や平凸導波路構造など各種のスト
ライプ構造に適用できることは言うまでもない。
半導体材料にしても、説明に用いたInGaAsP/
InP系だけでなく、AlInGaAs/InP系、
AlGaAs/GaAs系など他の材料にも容易に適用
できることは言うまでもない。
(発明の効果)
以上の説明から明らかなように、本発明はブラ
ツグ反射の強さを異ならしめてレーザ出力を非対
称にし、大きい光出力を主出力として、他方の小
さい光出力をモニター用として使用できるので、
実用上効率の良いDFBレーザが実現される。従
つて、長距離光フアイバ通信等に応用でき、その
効果は極めて大である。
ツグ反射の強さを異ならしめてレーザ出力を非対
称にし、大きい光出力を主出力として、他方の小
さい光出力をモニター用として使用できるので、
実用上効率の良いDFBレーザが実現される。従
つて、長距離光フアイバ通信等に応用でき、その
効果は極めて大である。
第1図は従来の位相シフトDFBレーザの断面
模式図、第2図は本発明による位相シフトDFB
レーザの断面模式図である。 1……n型InP基板、2……n型InGaAsP導波
路層、3……InGaAsP発光層、4……InGaAsP
バツフアー層、5……p型InP層、6……n型
InP層、7……n型InGaAsPキヤツプ層、8,1
4,15……周期的凹凸、9……亜鉛拡散領域、
10……SiO2絶縁膜、11……p側電極、12
……n側電極。
模式図、第2図は本発明による位相シフトDFB
レーザの断面模式図である。 1……n型InP基板、2……n型InGaAsP導波
路層、3……InGaAsP発光層、4……InGaAsP
バツフアー層、5……p型InP層、6……n型
InP層、7……n型InGaAsPキヤツプ層、8,1
4,15……周期的凹凸、9……亜鉛拡散領域、
10……SiO2絶縁膜、11……p側電極、12
……n側電極。
Claims (1)
- 1 発光層もしくは該発光層に隣接する層に、光
の進行方向に沿つて周期的な凹凸を有し、かつ該
周期的な凹凸の位相が第1の領域と第2の領域と
で、光の4分の1波長相当分だけシフトしている
分布帰還形半導体レーザにおいて、前記第1の領
域と前記第2の領域との前記周期的な凹凸の深さ
を異ならしめ、前記第1の領域からと前記第2の
領域からとの光出力の大きさが非対称になるよう
に構成されたことを特徴とする分布帰還形半導体
レーザ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59170143A JPS6147685A (ja) | 1984-08-15 | 1984-08-15 | 分布帰還形半導体レ−ザ |
US06/764,217 US4701930A (en) | 1984-08-15 | 1985-08-09 | Distributed feedback semiconductor laser |
GB08520505A GB2163290B (en) | 1984-08-15 | 1985-08-15 | Distributed feedback semiconductor laser |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59170143A JPS6147685A (ja) | 1984-08-15 | 1984-08-15 | 分布帰還形半導体レ−ザ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6147685A JPS6147685A (ja) | 1986-03-08 |
JPH0137872B2 true JPH0137872B2 (ja) | 1989-08-09 |
Family
ID=15899464
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59170143A Granted JPS6147685A (ja) | 1984-08-15 | 1984-08-15 | 分布帰還形半導体レ−ザ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4701930A (ja) |
JP (1) | JPS6147685A (ja) |
GB (1) | GB2163290B (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4740987A (en) * | 1986-06-30 | 1988-04-26 | American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories | Distributed-feedback laser having enhanced mode selectivity |
JPS6332988A (ja) * | 1986-07-25 | 1988-02-12 | Nec Corp | 分布帰還形半導体レ−ザ |
JPS63244694A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-12 | Sony Corp | 分布帰還形半導体レ−ザ |
DE3873398T2 (de) * | 1987-04-27 | 1993-03-18 | Nippon Telegraph & Telephone | Phasenverschobener halbleiterlaser mit verteilter rueckkopplung. |
JPH01161886A (ja) * | 1987-12-18 | 1989-06-26 | Yasuharu Suematsu | 半導体レーザ |
US4872176A (en) * | 1988-04-25 | 1989-10-03 | General Electric Company | Device and method for monitoring a light-emitting device |
US4908833A (en) * | 1989-01-27 | 1990-03-13 | American Telephone And Telegraph Company | Distributed feedback laser for frequency modulated communication systems |
US4905253A (en) * | 1989-01-27 | 1990-02-27 | American Telephone And Telegraph Company | Distributed Bragg reflector laser for frequency modulated communication systems |
US5012484A (en) * | 1990-01-02 | 1991-04-30 | At&T Bell Laboratories | Analog optical fiber communication system, and laser adapted for use in such a system |
JP3086767B2 (ja) * | 1993-05-31 | 2000-09-11 | 株式会社東芝 | レ−ザ素子 |
JP3180725B2 (ja) | 1997-08-05 | 2001-06-25 | 日本電気株式会社 | 分布帰還型半導体レーザ |
US6501777B1 (en) * | 1999-01-29 | 2002-12-31 | Nec Corporation | Distributed feedback semiconductor laser emitting device having asymmetrical diffraction gratings |
JP2005353761A (ja) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Mitsubishi Electric Corp | 分布帰還型半導体レーザ |
JP4541208B2 (ja) * | 2005-03-30 | 2010-09-08 | アンリツ株式会社 | 半導体発光素子 |
US20100290489A1 (en) * | 2009-05-15 | 2010-11-18 | Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte. Ltd. | electro-absorption modulated laser (eml) assembly having a 1/4 wavelength phase shift located in the forward portion of the distributed feedback (dfb) of the eml assembly, and a method |
JP6355888B2 (ja) | 2013-01-31 | 2018-07-11 | 日本オクラロ株式会社 | 半導体レーザ素子、及び光半導体装置 |
US20230344197A1 (en) * | 2020-11-20 | 2023-10-26 | Nlight, Inc. | Semiconductor laser device with first order diffraction grating extending to facet |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4096446A (en) * | 1976-02-02 | 1978-06-20 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Distributed feedback devices with perturbations deviating from uniformity for removing mode degeneracy |
JPS60202974A (ja) * | 1983-10-18 | 1985-10-14 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> | 分布帰還形半導体レ−ザ |
JPH0666509B2 (ja) * | 1983-12-14 | 1994-08-24 | 株式会社日立製作所 | 分布帰還型半導体レ−ザ装置 |
-
1984
- 1984-08-15 JP JP59170143A patent/JPS6147685A/ja active Granted
-
1985
- 1985-08-09 US US06/764,217 patent/US4701930A/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-08-15 GB GB08520505A patent/GB2163290B/en not_active Expired
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
ELECTRONICS LETTERS * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2163290A (en) | 1986-02-19 |
JPS6147685A (ja) | 1986-03-08 |
GB8520505D0 (en) | 1985-09-18 |
US4701930A (en) | 1987-10-20 |
GB2163290B (en) | 1988-08-03 |
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JPS6218782A (ja) | 埋込み構造半導体レ−ザ |
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