JPH01312893A - プリント基板の製造方法 - Google Patents
プリント基板の製造方法Info
- Publication number
- JPH01312893A JPH01312893A JP14319088A JP14319088A JPH01312893A JP H01312893 A JPH01312893 A JP H01312893A JP 14319088 A JP14319088 A JP 14319088A JP 14319088 A JP14319088 A JP 14319088A JP H01312893 A JPH01312893 A JP H01312893A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- copper foil
- crystal grains
- copper
- prepreg
- electrolytic copper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 73
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 claims abstract description 44
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 29
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 28
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000007788 roughening Methods 0.000 claims 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract description 21
- 238000005476 soldering Methods 0.000 abstract description 5
- 238000003475 lamination Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010306 acid treatment Methods 0.000 abstract description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 abstract 2
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 5
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- LCPVQAHEFVXVKT-UHFFFAOYSA-N 2-(2,4-difluorophenoxy)pyridin-3-amine Chemical compound NC1=CC=CN=C1OC1=CC=C(F)C=C1F LCPVQAHEFVXVKT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N Cu2+ Chemical compound [Cu+2] JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910001431 copper ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000007363 ring formation reaction Methods 0.000 description 1
- 235000011121 sodium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- CHQMHPLRPQMAMX-UHFFFAOYSA-L sodium persulfate Substances [Na+].[Na+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O CHQMHPLRPQMAMX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
プリント基板の製造方法に関し、
プリプレグと中間層形成用の銅箔との密着度を高めるの
を目的とし、 少なくとも中間層とプリプレグからなるプリント基板の
製造方法に於いて、前記中間層形成用の銅箔を予め電解
銅メツキして銅箔表面を電解銅の結晶粒で粗面状にした
後、該粗面状の電解銅の結晶粒の一部をエツチングする
工程を付与して構成する。
を目的とし、 少なくとも中間層とプリプレグからなるプリント基板の
製造方法に於いて、前記中間層形成用の銅箔を予め電解
銅メツキして銅箔表面を電解銅の結晶粒で粗面状にした
後、該粗面状の電解銅の結晶粒の一部をエツチングする
工程を付与して構成する。
本発明はプリント基板の製造方法に関する。
多層プリント基板を製造する場合、樹脂板の両面に！Ｐ
Ｉ箔を形成した銅張り積層板よりなる中間層の両面に、
ガラス布に半硬化性のエポキシ樹脂を含浸させたプリプ
レグと銅箔を設置し、加圧加熱して積層して基板を形成
後、所定の位置にスルーホールを設け、該スルーホール
内を無電解銅メツキ層および電解銅メツキ層よりなる導
体層でメツキして形成している。
Ｉ箔を形成した銅張り積層板よりなる中間層の両面に、
ガラス布に半硬化性のエポキシ樹脂を含浸させたプリプ
レグと銅箔を設置し、加圧加熱して積層して基板を形成
後、所定の位置にスルーホールを設け、該スルーホール
内を無電解銅メツキ層および電解銅メツキ層よりなる導
体層でメツキして形成している。
〔従来の技術］
第３図はこのような多層プリント基板の断面図で、１は
スルーホール、２は銅箔、３はエポキシ樹脂よりなる基
材で２と３で中間層４が形成されている。また５はプリ
プレグ、６は表面銅箔である。このような中間層４の銅
箔２はその上下に加圧積層されるプリプレグ５に対して
密着性を高め、加圧積層後、前記銅箔２とプリプレグ５
が剥離しないようにするため、銅箔２の表面を粗面化す
る必要がある。
スルーホール、２は銅箔、３はエポキシ樹脂よりなる基
材で２と３で中間層４が形成されている。また５はプリ
プレグ、６は表面銅箔である。このような中間層４の銅
箔２はその上下に加圧積層されるプリプレグ５に対して
密着性を高め、加圧積層後、前記銅箔２とプリプレグ５
が剥離しないようにするため、銅箔２の表面を粗面化す
る必要がある。
そのため、従来の方法は銅箔２をカセイソーダと過硫酸
ソーダの混合液より成る高アルカリ酸化？’ａ’ｅに浸
漬し、その銅箔２の表面に酸化銅よりなる微細結晶粒子
を成長させる工程を採っている。
ソーダの混合液より成る高アルカリ酸化？’ａ’ｅに浸
漬し、その銅箔２の表面に酸化銅よりなる微細結晶粒子
を成長させる工程を採っている。
ところで第３図に示すように上記した酸化銅は、スルー
ホールを形成後、該スルーホール内に無電解銅メツキ層
を形成する前の前処理として、塩酸で基板を洗浄する洗
浄工程があり、この洗浄工程に於いて前記銅箔２の表面
に形成した酸化銅７の微細結晶粒子が溶解する問題があ
る。従ってこの酸化銅の微細結晶粒子が溶解した箇所に
スルーホール内の電解銅メツキ層が被着する形となり、
該スルーホールの周辺部に電解銅メツキ層の銅イオンの
色のピンク色のリング状の縞が発生する問題がある。
ホールを形成後、該スルーホール内に無電解銅メツキ層
を形成する前の前処理として、塩酸で基板を洗浄する洗
浄工程があり、この洗浄工程に於いて前記銅箔２の表面
に形成した酸化銅７の微細結晶粒子が溶解する問題があ
る。従ってこの酸化銅の微細結晶粒子が溶解した箇所に
スルーホール内の電解銅メツキ層が被着する形となり、
該スルーホールの周辺部に電解銅メツキ層の銅イオンの
色のピンク色のリング状の縞が発生する問題がある。
このピンク色のリング状の縞が発生した箇所は、酸化銅
７が除去されているために、表面に微細結晶粒子が形成
されておらず、従ってその部分はプリプレグと密着性が
悪いために、その部分より亀裂や、クラ・ンクが発生し
、特に該プリント基板に電子部品を半田付けする工程で
基板が加熱されるために、そのピンク状の縞が発生した
箇所でプリプレグと銅箔の密着が悪いために積層された
プリプレグが膨れるような現象が発生する。
７が除去されているために、表面に微細結晶粒子が形成
されておらず、従ってその部分はプリプレグと密着性が
悪いために、その部分より亀裂や、クラ・ンクが発生し
、特に該プリント基板に電子部品を半田付けする工程で
基板が加熱されるために、そのピンク状の縞が発生した
箇所でプリプレグと銅箔の密着が悪いために積層された
プリプレグが膨れるような現象が発生する。
本発明は上記した問題点を除去し、前記した銅箔の表面
に形成した結晶粒がプリント基板の酸処理の際に溶解し
ないようにし、プリプレグと銅箔の密着度を高めて電子
部品の半田付けの際に！Ｐｌ箔とプリプレグの積層箇所
に亀裂や膨れを発生しないようにしたプリント基板の製
造方法を目的とする。
に形成した結晶粒がプリント基板の酸処理の際に溶解し
ないようにし、プリプレグと銅箔の密着度を高めて電子
部品の半田付けの際に！Ｐｌ箔とプリプレグの積層箇所
に亀裂や膨れを発生しないようにしたプリント基板の製
造方法を目的とする。
（課題を解決するための手段〕
上記目的を達成する本発明のプリント基板の製造方法は
、少なくとも中間層とプリプレグからなるプリント基板
の製造方法に於いて、前記中間層形成用の銅箔を予め電
解銅メツキして銅箔表面を電解銅の結晶粒で粗面状にし
た後、該粗面状の電解銅の結晶粒の一部をエツチングす
る工程を付与して構成する。
、少なくとも中間層とプリプレグからなるプリント基板
の製造方法に於いて、前記中間層形成用の銅箔を予め電
解銅メツキして銅箔表面を電解銅の結晶粒で粗面状にし
た後、該粗面状の電解銅の結晶粒の一部をエツチングす
る工程を付与して構成する。
銅箔を本実施例の組成の電解銅メツキ液で電解銅メツキ
すると電解銅メッキ層の結晶粒が銅箔表面に形成され、
この結晶粒の表面を更に本実施例のエツチング液でエツ
チングすると結晶粒の表面が凹凸状となり、この表面が
凹凸状の結晶粒がある銅箔はメツキ前の前処理工程で基
板を酸処理してもその結晶粒は溶解せず、またプリプレ
グとの密着強度が大となり、積層後、電子部品を基板に
半田付けする過程で銅箔とプリプレグとの積層箇所で亀
裂や膨れを発生しなくなる。
すると電解銅メッキ層の結晶粒が銅箔表面に形成され、
この結晶粒の表面を更に本実施例のエツチング液でエツ
チングすると結晶粒の表面が凹凸状となり、この表面が
凹凸状の結晶粒がある銅箔はメツキ前の前処理工程で基
板を酸処理してもその結晶粒は溶解せず、またプリプレ
グとの密着強度が大となり、積層後、電子部品を基板に
半田付けする過程で銅箔とプリプレグとの積層箇所で亀
裂や膨れを発生しなくなる。
以下、図面を用いながら本発明の一実施例に付き詳細に
説明する。
説明する。
第１図（ａｌに示すように、電解銅メツキ液１１を収容
した液槽１２の内部に銅箔１３を浸漬する。そして図示
しないが銅よりなる電掘と！ＰＩ箔１３間に電流密度が
０．１〜２．０ Ａ ／ ｍ”でメツキ時間を０．５〜
２．０時間として電解メツキする。この電解銅メツキ液
の組成は第１表のようにする。
した液槽１２の内部に銅箔１３を浸漬する。そして図示
しないが銅よりなる電掘と！ＰＩ箔１３間に電流密度が
０．１〜２．０ Ａ ／ ｍ”でメツキ時間を０．５〜
２．０時間として電解メツキする。この電解銅メツキ液
の組成は第１表のようにする。
第 １ 表
このような電解銅メツキ後の銅箔の表面状態は第２図（
ａ）に示すようになり、銅箔の表面に直径が７μｍ程度
の粗大結晶粒１７が形成される。
ａ）に示すようになり、銅箔の表面に直径が７μｍ程度
の粗大結晶粒１７が形成される。
この粗大結晶粒１７が形成された銅箔を第１図（ｂ）に
示す流水の洗浄槽１４内で０．５〜１．０間水洗して洗
浄する。
示す流水の洗浄槽１４内で０．５〜１．０間水洗して洗
浄する。
次いでこの銅箔を第１図（Ｃ）に示すような塩化銅（Ｃ
ｕＣ１ｚ）が１０〜５０ｇ／ ｉ 、塩酸（ＨＣＩが全
体の１２の溶液中で５〜２０重量％となるような塩化銅
浴よりなるソフトエツチング液１５内で２５秒間ソフト
エツチング処理する。或いは過硫酸アンモニウムＣ（Ｎ
Ｉ＋４）２５０５ ） ３０〜１００ｇを、１ｉの水に
溶解した過硫酸アンモニウム浴内で２５秒間ソフトエツ
チングする。
ｕＣ１ｚ）が１０〜５０ｇ／ ｉ 、塩酸（ＨＣＩが全
体の１２の溶液中で５〜２０重量％となるような塩化銅
浴よりなるソフトエツチング液１５内で２５秒間ソフト
エツチング処理する。或いは過硫酸アンモニウムＣ（Ｎ
Ｉ＋４）２５０５ ） ３０〜１００ｇを、１ｉの水に
溶解した過硫酸アンモニウム浴内で２５秒間ソフトエツ
チングする。
更にこのようなソフトエツチング処理した銅箔を第１図
（ｄ）に示す流水の洗浄槽１６内で０．５〜１．０分間
水洗処理する。
（ｄ）に示す流水の洗浄槽１６内で０．５〜１．０分間
水洗処理する。
そして８０°Ｃの乾燥器内で１０〜３０分間乾燥する。
このようにして形成された銅箔の表面は第２図（ｂ）に
示すようになり、前記電解銅メツキにより形成された銅
の結晶粒１７の表面が更に部分的に微細にエツチングさ
れて凹凸状の微細結晶粒１７Ａが形成されるのでプリプ
レグとの密着強度が高まる。
示すようになり、前記電解銅メツキにより形成された銅
の結晶粒１７の表面が更に部分的に微細にエツチングさ
れて凹凸状の微細結晶粒１７Ａが形成されるのでプリプ
レグとの密着強度が高まる。
この粗大結晶粒１７が全てでな（、その一部がエツチン
グされて微細結晶粒１７Ａが形成される条件は、前記し
た電解銅メツキ液の組成と電解条件とソフトエンチング
液の組成の組み合わせによって始めて達成さ才りる。
グされて微細結晶粒１７Ａが形成される条件は、前記し
た電解銅メツキ液の組成と電解条件とソフトエンチング
液の組成の組み合わせによって始めて達成さ才りる。
尚、実験の結果、従来の酸化処理をした銅箔にプリプレ
グを積層してスルーホールを形成後、該プリント基板を
電子部品の半田付は温度の２６０°Ｃで３分間加熱処理
した処、プリプレグと銅箔の積層箇所でプリント基板の
膨れは発生しなかったが、ピンク状のリング状の縞は発
生した。
グを積層してスルーホールを形成後、該プリント基板を
電子部品の半田付は温度の２６０°Ｃで３分間加熱処理
した処、プリプレグと銅箔の積層箇所でプリント基板の
膨れは発生しなかったが、ピンク状のリング状の縞は発
生した。
更に本発明の電解銅メッキ処理をした銅箔を用いたプリ
ント基板は前記加熱処理をした場合、膨れは発生したが
、ピンク状のリングの縞の発生は見られない結果が得ら
れた。
ント基板は前記加熱処理をした場合、膨れは発生したが
、ピンク状のリングの縞の発生は見られない結果が得ら
れた。
更に本発明の電解メツキ処理と該電解銅メツキ層のエツ
チング処理を施した銅箔を用いたプリント基板は前記加
熱処理をした場合、膨れもピンク状のリング伏線の発生
も見られない高信頼度のプリント基板が得られた。
チング処理を施した銅箔を用いたプリント基板は前記加
熱処理をした場合、膨れもピンク状のリング伏線の発生
も見られない高信頼度のプリント基板が得られた。
以上の説明から明らかなように本発明の方法により形成
したプリント基板は、電子部品の半田付は温度に加熱し
ても銅箔とプリプレグとの積層箇所で膨れを発生せず、
またスルーホール内にピンク状のリングの発生も見られ
ない高信頼度のプリントａ板が得られる効果がある。
したプリント基板は、電子部品の半田付は温度に加熱し
ても銅箔とプリプレグとの積層箇所で膨れを発生せず、
またスルーホール内にピンク状のリングの発生も見られ
ない高信頼度のプリントａ板が得られる効果がある。
第１図（ａ）より第１図（ｄ）迄は、本発明の方法の工
程を示す説明図、 第２図（ａ）より第２図（ｂ）迄は、本発明の方法によ
る銅箔の表面状態図、 第３図は従来の方法による不都合な状態を示す説明図で
ある。 図において、 １１は電解銅メツキ液、１２は液槽、１３は銅箔、１４
．１６は洗浄槽、１５はソフトエツチング液、１７は粗
大結晶粒、１７Ａは微細結晶粒を示す。 庫塾咀ｅ用の乃３五じより瀾議め長面４欠暎０図第２図
程を示す説明図、 第２図（ａ）より第２図（ｂ）迄は、本発明の方法によ
る銅箔の表面状態図、 第３図は従来の方法による不都合な状態を示す説明図で
ある。 図において、 １１は電解銅メツキ液、１２は液槽、１３は銅箔、１４
．１６は洗浄槽、１５はソフトエツチング液、１７は粗
大結晶粒、１７Ａは微細結晶粒を示す。 庫塾咀ｅ用の乃３五じより瀾議め長面４欠暎０図第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 少なくとも中間層（４）とプリプレグ（５）からなる
プリント基板の製造方法に於いて、 前記中間層形成用の銅箔（２）を予め電解銅メッキして
銅箔表面を電解銅の結晶粒（１７）で粗面状にした後、
該粗面状の電解銅の結晶粒の一部をエッチングする工程
を付与したことを特徴とするプリント基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14319088A JPH01312893A (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | プリント基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14319088A JPH01312893A (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | プリント基板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01312893A true JPH01312893A (ja) | 1989-12-18 |
Family
ID=15332968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14319088A Pending JPH01312893A (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | プリント基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01312893A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003096593A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-04-03 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 粗化処理方法及び電解銅メッキ装置 |
| JP2004256910A (ja) * | 2003-02-04 | 2004-09-16 | Furukawa Techno Research Kk | 高周波回路用銅箔、その製造方法、その製造設備、及び該銅箔を用いた高周波回路 |
| WO2023181627A1 (ja) * | 2022-03-22 | 2023-09-28 | 三井化学株式会社 | 構造体、構造体の製造方法及び接合体 |
-
1988
- 1988-06-09 JP JP14319088A patent/JPH01312893A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003096593A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-04-03 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 粗化処理方法及び電解銅メッキ装置 |
| JP2004256910A (ja) * | 2003-02-04 | 2004-09-16 | Furukawa Techno Research Kk | 高周波回路用銅箔、その製造方法、その製造設備、及び該銅箔を用いた高周波回路 |
| WO2023181627A1 (ja) * | 2022-03-22 | 2023-09-28 | 三井化学株式会社 | 構造体、構造体の製造方法及び接合体 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3752161B2 (ja) | プリント配線基板の銅表面粗化方法ならびにプリント配線基板およびその製造方法 | |
| US4633035A (en) | Microwave circuit boards | |
| US5538616A (en) | Process for copper plating a wiring board | |
| JP2002047583A (ja) | 銅または銅合金のマイクロエッチング剤およびそれを用いるマイクロエッチング法 | |
| JP2000353874A (ja) | 多層プリント配線板およびその製造方法 | |
| TWI664323B (zh) | 形成金屬層之方法及製造具有該金屬層之基板之方法 | |
| JPH0335394B2 (ja) | ||
| KR100522377B1 (ko) | 다층 회로기판과 그 제조방법 및 다층 회로용 기판 및 전자장치 | |
| US4525247A (en) | Microwave circuit boards and method of manufacture thereof | |
| JP4129665B2 (ja) | 半導体パッケージ用基板の製造方法 | |
| JPH01312893A (ja) | プリント基板の製造方法 | |
| US4968398A (en) | Process for the electrolytic removal of polyimide resins | |
| JP4593331B2 (ja) | 積層回路基板とその製造方法 | |
| JP2002060967A (ja) | 銅または銅合金の表面処理法 | |
| JPH01195281A (ja) | 無電解めつき用触媒 | |
| JP3713158B2 (ja) | 多層配線基板の製造方法 | |
| JP2000114693A (ja) | 配線板の製造法 | |
| JP3176713B2 (ja) | 多層プリント配線板用基板 | |
| JPS6199700A (ja) | 銅配線基板の構造 | |
| JP3698694B2 (ja) | スルーホールめっき方法 | |
| JPH05167248A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
| JP3185516B2 (ja) | 多層配線板の製造方法 | |
| JP2768122B2 (ja) | 多層配線板の製造方法 | |
| JP2768123B2 (ja) | 多層配線板の製造方法 | |
| JPH05132785A (ja) | 無電解めつき前処理方法 |