JPH01291926A - ディスク成形装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 皮丘圀ヱ 本発明はディスク成形装置に関し、特に書換え消去可能
な光磁気ディスクやコンパクトディスク（ＣＤ）などの
ディスクの成形方法に関する。

延工肱韮 近年、記憶容量の大きさから着目されている読出し専用
光ディスクや追記可能型光ディスクは、超精密出射成形
技術によりポリカーボネイト基板やＰＭＭＡ　（ポリメ
タクリル酸メチル）基板上に情報記録ピットが形成され
ている。

これに対して書換え消去可能な光磁気ディスクにおいて
は、情報の書込み読出しおよび消去に光の偏光を用いて
信号のＳ／Ｎを良好としているため、複屈折性の高いポ
リカーボネイト基板や耐湿性が悪く信頼性の欠ける面が
あるＰＭＭＡ基板を光磁気ディスクの基板として用いる
ことが技術上非常に困難となっている。よって、光磁気
ディスクの基板としてガラス基板を用いる方法が有力視
されている。

このガラス基板上に情報記録ピットを形成する方法とし
てフォトポリマー法（２Ｐ法）がある。

フォトポリマー法とはディスクスタンパ上に流し込まれ
た光硬化型樹脂＜２Ｐ樹脂）をガラス基板に密着させ、
この状態でガラス基板に紫外光を照射して光硬化型樹脂
を硬化させ、硬化した光硬化型樹脂をガラス基板ごとデ
ィスクスタンパから離型させることによりディスクスタ
ンパ上に形成されている情報記録ピットをガラス基板上
に転写させる方法である。

このフォトポリマー法に用いられている光硬化型樹脂は
、ある特定の波長を持ち、ある強度以上の光（例えば紫
外光）が照射された時点から硬化反応を開始するが、こ
の硬化反応は酸素によって阻害されるため、空気層に触
れている部分の光硬化型樹脂が未硬化となりやすいとい
う性質や、硬化時に発生する硬化エネルギにより帯電し
やすいという性質を有している。

したがって、ディスクスタンパからガラス基板を離型す
る際に、未硬化の光硬化型樹脂が情報記録面上に飛散し
てガラス基板上に形成された情報記録ピットを破損させ
る恐れがあった。そのため、従来のディスク成形装置で
は未硬化の光硬化型樹脂の層を除去し、非帯電処理を施
すなど特別なプロセスを加えた後にディスクスタンパか
らガラス基板を離型させていた。

このような従来のディスク成形装置では、光磁気ディス
クを生成するなめに未硬化の光硬化型樹脂層の除去処理
や非帯電処理などの特別なプロセスを必要としているの
で、光磁気ディスクの生産性が低下するという欠点があ
る。

また、未硬化の光硬化型樹脂層を除去するために有効な
方法がないため、光磁気ディスクに対して高い信頼性や
歩留まりが得られないという欠点がある。

九咀ム旦豊 本発明は上記のような従来のものの欠点を除去すべくな
されたもので、ディスクの生産性および信頼性を向上さ
せることができるディスク成形装置の提供を目的とする
。

及ユじソ１戚 本発明によるディスク成形装置は、光硬化型樹脂が塗布
されたディスクスタンパを基板に圧着し、該基板に紫外
光を照射してディスクを生成するディスク成形装置であ
って、前記ディスクスタンパと前記基板との圧着面周辺
を真空状態とする手段を設けたことを特徴とする。

Ｘ腹］ 次に、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。

第１図は本発明の一実施例の構成を示す構成図である０
図において、本発明の一実施例によるディスク成形装置
は、紫外光照射器１と、シリンダ２と、基板保持部４と
、スタンパベース７と、ストッパ８と、スタンパ固定テ
ーブルつと、排気ホース１０と、真空ポンプ１１とによ
り構成されている。

基板３が基板保持部４に保持されると、シリンダ２に設
けられた空気吸入口１２がら空気を吸入して基板３を撓
ませる。

光硬化型樹脂６が塗布されたディスクスタンパ５はスタ
ンパベース７上に載置され、ストッパ８により固定され
る。

このディスクスタンパ５上の光硬化型樹脂６がスタンパ
固定テーブル９の上昇により撓んでいる基板３に接触す
ると、空気吸入口１２からの空気の吸入を停止させ、基
板３とディスクスタンパ５とが水平状態となるまでスタ
ンバ固定テーブル９を上昇させる。

これら基板３とディスクスタンパ５とが水平状態となっ
たときに、光硬化型樹脂６の内部や表面に空気を混入さ
せることなく、ディスクスタンパ５の表面上に光硬化型
樹脂６を均一に押し広げることができる。

これら基板３とディスクスタンパ５と光硬化型樹脂６と
が互いに密着した後に、排気ホース１０と真空ポンプ１
１とによりスタンバ固定テーブル９に設けられた空気排
気口１３からシリンダ２とスタンパ固定テーブル９との
間の空気を抜き、互いに密着する基板３とディスクスタ
ンパ５と光硬化型樹脂６との周辺を真空状態とする。

シリンダ２は紫外光に対して透過率が高いガラスを材料
としているので、この真空状態となったところで紫外光
照射器１から光硬化型樹脂６に紫外光を照射することに
より、基板３とディスクスタンパ５との間の光硬化型樹
脂６は未硬化部分を残すことなく完全に硬化する。

光硬化型樹脂６が完全に硬化したところで、スタンパ固
定テーブル９を徐々に下降させ、基板３を光硬化型樹脂
６ごとディスクスタンパ５から離型させる。よって、デ
ィスクスタンパ５上に形成されている情報記録ビットを
基板３上に転写することができる。

このように、基板３とディスクスタンパ５と光硬化型樹
脂６とを互いに密着させた後に、これらの周囲を真空ポ
ンプ１１により真空状態とするようにすることによって
、紫外光照射器１からの紫外光により光硬化型樹脂６を
完全に硬化させることができ、ディスクスタンパ５から
の離型時に基板３の帯電作用により未硬化の光硬化型樹
脂６が飛散するのを防止することができる。

よって、未硬化の光硬化型樹脂６の除去処理や非帯電処
理などの特別なプロセスを必要とすることなく、ディス
クの生産性および信顆性を向上さぜることができる。

九匪ム激Ｊ 以上説明したように本発明によれば、光硬化型樹脂が塗
布されたディスクスタンパと基板との圧着面周辺を真空
状態とするようにすることによって、ディスクの生産性
および信顆性を向上させることができるという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の構成を示す構成図である。 主要部分の符号の説明 ２・・・・・・シリンダ ３・・・・・・基板 ４・・・・・・基板保持部 ５・・・・・・ディスクスタンパ ６・・・・・・光硬化型樹脂 ９・・・・・・スタンパ固定テーブル １１・・・・・・真空ポンプ １２・・・・・・空気吸入口 １３・・・・・・空気排気口

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）光硬化型樹脂が塗布されたディスクスタンパを基
   板に圧着し、該基板に紫外光を照射してディスクを生成
   するディスク成形装置であって、前記ディスクスタンパ
   と前記基板との圧着面周辺を真空状態とする手段を設け
   たことを特徴とするディスク成形装置。