JPH01277307A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPH01277307A JPH01277307A JP63106284A JP10628488A JPH01277307A JP H01277307 A JPH01277307 A JP H01277307A JP 63106284 A JP63106284 A JP 63106284A JP 10628488 A JP10628488 A JP 10628488A JP H01277307 A JPH01277307 A JP H01277307A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 16
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 claims abstract description 32
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 20
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 229910018125 Al-Si Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910018520 Al—Si Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気ヘッドの製造方法に係り、特にフェライト
よりなるコアブロックに形成された磁性金属膜面を平滑
にして、磁気ヘッドの磁気特性を向上させ得る磁気ヘッ
ドの製造方法に関する。
よりなるコアブロックに形成された磁性金属膜面を平滑
にして、磁気ヘッドの磁気特性を向上させ得る磁気ヘッ
ドの製造方法に関する。
８ミリビデオテープレコーダ、Ｒ−ＤＡＴ等の録再装置
には、記録媒体としてメタルテープが使用され、 その
メタルテープ対応の磁気ヘッドとしてフェライトコアの
ギャップ部にＦｅ−Ａｌ−９ｉ（登録商標センダスト）
等の高磁束密度の磁性金属膜を配した、いわゆるメタル
・イン・ギャップと呼ばれるものがある。
には、記録媒体としてメタルテープが使用され、 その
メタルテープ対応の磁気ヘッドとしてフェライトコアの
ギャップ部にＦｅ−Ａｌ−９ｉ（登録商標センダスト）
等の高磁束密度の磁性金属膜を配した、いわゆるメタル
・イン・ギャップと呼ばれるものがある。
上記磁気ヘッドは、まず一対のフェライトからなるコア
ブロックにトラック加工を施こし、次に加工面にＦｅ−
Ａｎ−３ｔ等の磁性金属膜をスパッタリング等の方法で
形成し、次に夫々のコアブロックの磁性金属膜面を突き
合わせガラス接合して磁気ヘッドコアブロックを形成し
、その後磁気へラドコアロックを切断して得られる。
ブロックにトラック加工を施こし、次に加工面にＦｅ−
Ａｎ−３ｔ等の磁性金属膜をスパッタリング等の方法で
形成し、次に夫々のコアブロックの磁性金属膜面を突き
合わせガラス接合して磁気ヘッドコアブロックを形成し
、その後磁気へラドコアロックを切断して得られる。
しかし、フェライトコアブロックとＦｅ−Ａｌ！−３ｔ
ｌｌｉの境界面には、 ■フェライトコア加工面の加工
歪、 ■Ｆｅ−Ａｊ！−３ｔ膜形成初期の結晶欠陥層及
び ■フェライトコアとＦｅ−Ａｊ！−３ｉ膜とを接し
て加熱するさいに、Ｆｅ−Ａｆｆｉ−３ｉ膜中のＡ１が
フェライト中の酸素を奪う反応が起こって、酸素の移動
等が発生する等の原因で、歪が発生し易く、その部分で
の磁気特性を低下させ、ヘッド効率を落とすと共にいわ
ゆる擬似ギャップ効果を増大させてしまう等の問題点が
ある。
ｌｌｉの境界面には、 ■フェライトコア加工面の加工
歪、 ■Ｆｅ−Ａｊ！−３ｔ膜形成初期の結晶欠陥層及
び ■フェライトコアとＦｅ−Ａｊ！−３ｉ膜とを接し
て加熱するさいに、Ｆｅ−Ａｆｆｉ−３ｉ膜中のＡ１が
フェライト中の酸素を奪う反応が起こって、酸素の移動
等が発生する等の原因で、歪が発生し易く、その部分で
の磁気特性を低下させ、ヘッド効率を落とすと共にいわ
ゆる擬似ギャップ効果を増大させてしまう等の問題点が
ある。
そこで、本発明では、フェライトコアブロックの磁性金
属膜形成面を清浄にして、その清浄面に磁性金属膜を形
成することにより、上記問題点を解決した磁気ヘッドの
製造方法をすることを目的とする。
属膜形成面を清浄にして、その清浄面に磁性金属膜を形
成することにより、上記問題点を解決した磁気ヘッドの
製造方法をすることを目的とする。
〔問題点を解決するための手段及び作用）上記問題点を
解決するために本発明では、フェライトコアブロックの
磁性金属膜形成面を予め酸素ガス中でスパッタエツチン
グ処理し、そのエツチング処理したフェライトコアブロ
ック面に上記磁性金ｍｓを形成する製造方法にした。
解決するために本発明では、フェライトコアブロックの
磁性金属膜形成面を予め酸素ガス中でスパッタエツチン
グ処理し、そのエツチング処理したフェライトコアブロ
ック面に上記磁性金ｍｓを形成する製造方法にした。
磁気ヘッドの製造方法を上記のようにすることにより、
フェライトコアブロック面が清浄になり、これに伴ない
フェライトコアブロック面に形成される磁性金属膜面が
平滑となって磁気ヘッド特性が向上する。
フェライトコアブロック面が清浄になり、これに伴ない
フェライトコアブロック面に形成される磁性金属膜面が
平滑となって磁気ヘッド特性が向上する。
第１図〜第８図に本発明になる磁気ヘッドの製造方法の
第１実施例を示す、磁気ヘッドの製造工程について説明
する。まず、フェライト材からなるフェライトコアブロ
ック１を容易し、そのコアブロックｌをトランク加工し
て、第３図の如く溝２を形成する０次に、第１図の如く
フェライトコアブロック１を基板３に固定し、酸素ガス
中でスパッタエツチングを施し、フェライトコアブロッ
ク１の面及び溝２をエツチングする。 次に、第２図の
如く、Ｆｅ−Ａｌ２−３ｉ４をターゲットとしアルゴン
（Ａ「）ガス中でスパッタを施こし、第４図の如くフェ
ライトコアブロック１にＦｅ−Ａ １− Ｓ ｉ ｙｌ
Ｉ５を形成してコアブロック６を得る。
第１実施例を示す、磁気ヘッドの製造工程について説明
する。まず、フェライト材からなるフェライトコアブロ
ック１を容易し、そのコアブロックｌをトランク加工し
て、第３図の如く溝２を形成する０次に、第１図の如く
フェライトコアブロック１を基板３に固定し、酸素ガス
中でスパッタエツチングを施し、フェライトコアブロッ
ク１の面及び溝２をエツチングする。 次に、第２図の
如く、Ｆｅ−Ａｌ２−３ｉ４をターゲットとしアルゴン
（Ａ「）ガス中でスパッタを施こし、第４図の如くフェ
ライトコアブロック１にＦｅ−Ａ １− Ｓ ｉ ｙｌ
Ｉ５を形成してコアブロック６を得る。
次に、他方のフェライト材からなるフェライトコアブロ
ック７を用意し、コアブロック１と同様トラック加工を
施こし、酸素ガス中でスパッタエツチングした後Ｆｅ−
Ａｊ！−３ｔをターゲットとしてアルゴンガス中でスパ
ッタを施こして第５図の如く溝８、Ｆｅ−Ａｌ２−３ｔ
膜９を形成して他方のコアブロック１０を得る０次に、
コアブロック６、ｌＯを突合せガラス１１を充填して第
６図の如く磁気ヘッドコアブロック１２を形成する。
ック７を用意し、コアブロック１と同様トラック加工を
施こし、酸素ガス中でスパッタエツチングした後Ｆｅ−
Ａｊ！−３ｔをターゲットとしてアルゴンガス中でスパ
ッタを施こして第５図の如く溝８、Ｆｅ−Ａｌ２−３ｔ
膜９を形成して他方のコアブロック１０を得る０次に、
コアブロック６、ｌＯを突合せガラス１１を充填して第
６図の如く磁気ヘッドコアブロック１２を形成する。
次に、第６図の状態でｘ−ｘ’ 、ｙ−ｙ’ 、ｚ−２
゛方向に切断して、第７図、第８図（第７図の斜視図）
の如く単体の磁気へラドコア１３を形成する。磁気へラ
ドコア１３はコイルを巻線して磁気ヘッドを形成する。
゛方向に切断して、第７図、第８図（第７図の斜視図）
の如く単体の磁気へラドコア１３を形成する。磁気へラ
ドコア１３はコイルを巻線して磁気ヘッドを形成する。
第９図、第１Ｏ図は、トラック加工部の形態を変えて、
上述した製造工程と同様に形成した磁気ヘッド１４．１
５である。第９図、第１０図中、上述の実施例と対応す
る部分は同一符号を付して、その説明を省略する。
上述した製造工程と同様に形成した磁気ヘッド１４．１
５である。第９図、第１０図中、上述の実施例と対応す
る部分は同一符号を付して、その説明を省略する。
上記磁気ヘッドの製造方法においては、フェライトコア
ブロック１，７ヘスパツタエツチングを施こすことによ
り、フェライトコアブロック１．７表面を荒らさずに鏡
面のまま削ることができ、又酸素ガスは活性ガスなので
表面に汚れがついたとしでも、それを化学的に除去する
ことができ清浄で平らな面を出すことができる。又酸素
ガスのいくらかは、フェライト表層に打ちこまれること
になるので、フェライト中の酸素が増え、Ｆｅ−Ａｆｆ
ｉ−３ｉｌｌのＡｌに酸素が奪われても最終的にフェラ
イト中の酸素が著しく減ることはなくフェライト側の特
性劣化を抑えることができる。
ブロック１，７ヘスパツタエツチングを施こすことによ
り、フェライトコアブロック１．７表面を荒らさずに鏡
面のまま削ることができ、又酸素ガスは活性ガスなので
表面に汚れがついたとしでも、それを化学的に除去する
ことができ清浄で平らな面を出すことができる。又酸素
ガスのいくらかは、フェライト表層に打ちこまれること
になるので、フェライト中の酸素が増え、Ｆｅ−Ａｆｆ
ｉ−３ｉｌｌのＡｌに酸素が奪われても最終的にフェラ
イト中の酸素が著しく減ることはなくフェライト側の特
性劣化を抑えることができる。
なお、上記説明中破性金属膜としてＦｅ−Ａｌ２−３ｉ
を使用したがアモルファスを使用してもよい。
を使用したがアモルファスを使用してもよい。
上述の如く、本発明の磁気ヘッドの製造方法では、フェ
ライトよりなる一対のコアブロックに夫々磁性金属膜を
形成し、次に該コアブロックを磁性金属膜が突き合わさ
れるように接合して磁気ヘッドコアブロックを形成し、
該磁気ヘッドコアブロックより磁気ヘッドを形成する磁
気ヘッドの製造方法において、該コアブロックの磁性金
属膜形成面は予め酸素ガス中でスパッタエツチング処理
され、次にエツチング処理されたコアブロック面に上記
磁性金属膜を形成したため、フェライトコアとＦｅ−Ａ
１．−３ｉ膜の境界面における歪の発生をなくして平ら
な面を形成でき、歪による磁気特性の劣化を防止した磁
気ヘッドを得ることができる等の効果が生じる。
ライトよりなる一対のコアブロックに夫々磁性金属膜を
形成し、次に該コアブロックを磁性金属膜が突き合わさ
れるように接合して磁気ヘッドコアブロックを形成し、
該磁気ヘッドコアブロックより磁気ヘッドを形成する磁
気ヘッドの製造方法において、該コアブロックの磁性金
属膜形成面は予め酸素ガス中でスパッタエツチング処理
され、次にエツチング処理されたコアブロック面に上記
磁性金属膜を形成したため、フェライトコアとＦｅ−Ａ
１．−３ｉ膜の境界面における歪の発生をなくして平ら
な面を形成でき、歪による磁気特性の劣化を防止した磁
気ヘッドを得ることができる等の効果が生じる。
第１図〜第８図は本発明に係る磁気ヘッドの製造方法の
第１実施例を示し、第１図はコアブロックを酸素ガス中
でスパッタエツチングする様子を示す図、 第２図はコ
アブロックにアルゴンガス中でＦｅ−Ａｌ−５ｔ膜を形
成する様子を示す図、第３図はフェライトコアブロック
にトラック加工した図、第４図はフェライトコアブロッ
クにＦｅ−Ａｊ！−３ｉ膜を形成した図、 第５図は他
方のフェライトコアブロックにトラック加工し、Ｆｅ−
Ａｊ！−３ｉ膜を形成した図、第６図は磁気コアブロッ
クを示す図、第７図は磁気へラドコアの平面図、第８図
は磁気へラドコアの斜視図、第９図、第１０図はそれぞ
れ本発明に係る磁気ヘッドの製造方法によって得られた
磁気へラドコアの変形例を示す平面図である。 １．７・・・フェライトコアブロック、２．８・・・溝
、 ３・・・基板、 ４ ・Ｆ ｅ −Ａ ｌ −Ｓ ｉ 。 ５．９−＝ Ｆ ｅ −Ａ ｉ −Ｓ ｉ ＷＡ 。 ６、ｔｏ・・・コアブロック、 １１・・・ガラス
、１２・・・磁気ヘッドコアブロック、 １３．１４．１５・・・磁気ヘッド。 第１図 第２図 １冒’ｌＦｅ−Ａｔ−５゜ 第７図 第８図
第１実施例を示し、第１図はコアブロックを酸素ガス中
でスパッタエツチングする様子を示す図、 第２図はコ
アブロックにアルゴンガス中でＦｅ−Ａｌ−５ｔ膜を形
成する様子を示す図、第３図はフェライトコアブロック
にトラック加工した図、第４図はフェライトコアブロッ
クにＦｅ−Ａｊ！−３ｉ膜を形成した図、 第５図は他
方のフェライトコアブロックにトラック加工し、Ｆｅ−
Ａｊ！−３ｉ膜を形成した図、第６図は磁気コアブロッ
クを示す図、第７図は磁気へラドコアの平面図、第８図
は磁気へラドコアの斜視図、第９図、第１０図はそれぞ
れ本発明に係る磁気ヘッドの製造方法によって得られた
磁気へラドコアの変形例を示す平面図である。 １．７・・・フェライトコアブロック、２．８・・・溝
、 ３・・・基板、 ４ ・Ｆ ｅ −Ａ ｌ −Ｓ ｉ 。 ５．９−＝ Ｆ ｅ −Ａ ｉ −Ｓ ｉ ＷＡ 。 ６、ｔｏ・・・コアブロック、 １１・・・ガラス
、１２・・・磁気ヘッドコアブロック、 １３．１４．１５・・・磁気ヘッド。 第１図 第２図 １冒’ｌＦｅ−Ａｔ−５゜ 第７図 第８図
Claims (1)
- フェライトよりなる一対のコアブロックに夫々磁性金属
膜を形成し、次に該コアブロックを磁性金属膜が突き合
わされるように接合して磁気ヘッドコアブロックを形成
し、該磁気ヘッドコアブロックから磁気ヘッドを形成す
る磁気ヘッドの製造方法において、該コアブロックの磁
性金属膜形成面は予め酸素ガス中でスパッタエッチング
処理され、次にエッチング処理されたコアブロック面に
該磁性金属膜を形成したことを特徴とする磁気ヘッドの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63106284A JP2550486B2 (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63106284A JP2550486B2 (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01277307A true JPH01277307A (ja) | 1989-11-07 |
| JP2550486B2 JP2550486B2 (ja) | 1996-11-06 |
Family
ID=14429772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63106284A Expired - Lifetime JP2550486B2 (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2550486B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0432006A (ja) * | 1990-05-29 | 1992-02-04 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 磁気ヘッドの製造方法 |
-
1988
- 1988-04-28 JP JP63106284A patent/JP2550486B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0432006A (ja) * | 1990-05-29 | 1992-02-04 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 磁気ヘッドの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2550486B2 (ja) | 1996-11-06 |
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