JPS6391811A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘツドの製造方法Info
- Publication number
- JPS6391811A JPS6391811A JP23730786A JP23730786A JPS6391811A JP S6391811 A JPS6391811 A JP S6391811A JP 23730786 A JP23730786 A JP 23730786A JP 23730786 A JP23730786 A JP 23730786A JP S6391811 A JPS6391811 A JP S6391811A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- alloy
- anisotropy
- magnetic head
- ferromagnetic thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims description 30
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 28
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 4
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 27
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 2
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 abstract description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 4
- 229910003271 Ni-Fe Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 2
- 229910021364 Al-Si alloy Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910017082 Fe-Si Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910017133 Fe—Si Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は磁気に！、録装置に使用される磁気ヘッドの製
造方法に関するものである。
造方法に関するものである。
従来の技術
近年、データの記録装置として磁気記録＊置が広い分野
にわたって使用されているが、この磁気に！、録装置に
おいて優れた高記録密度特性を達成するためには、記録
媒体の薄膜化、高保磁力化が必要である。
にわたって使用されているが、この磁気に！、録装置に
おいて優れた高記録密度特性を達成するためには、記録
媒体の薄膜化、高保磁力化が必要である。
一方、磁気ヘッドは、コアの飽和を防ぐため高飽和磁束
密度を有する強磁性情１ （Ｆ ｅ −Ａ Ｉ −３ｉ
系合金等）を使用した薄膜ヘッドや、バルクヘッドにお
いてギャップ近傍に磁性１１１１（Ｆｅ−ＡＩ−８ｉ系
合金等）を用いたリングヘッドの複合磁気ヘッドが注口
されている。この磁気ヘッドの場合、高保磁力の媒体も
ヘッドの磁気的飽和もなく充分に記録できるという利点
がある。
密度を有する強磁性情１ （Ｆ ｅ −Ａ Ｉ −３ｉ
系合金等）を使用した薄膜ヘッドや、バルクヘッドにお
いてギャップ近傍に磁性１１１１（Ｆｅ−ＡＩ−８ｉ系
合金等）を用いたリングヘッドの複合磁気ヘッドが注口
されている。この磁気ヘッドの場合、高保磁力の媒体も
ヘッドの磁気的飽和もなく充分に記録できるという利点
がある。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、上記したような従来の磁気ヘツドでは第
２図（ａ）に示すように再生出力の周波数特性にうねり
が生じたり、第３図（ａ）に示すように孤立再生波形が
歪み、疑似出力部分Ａが発生するという問題点があり、
実用化には問題がある。
２図（ａ）に示すように再生出力の周波数特性にうねり
が生じたり、第３図（ａ）に示すように孤立再生波形が
歪み、疑似出力部分Ａが発生するという問題点があり、
実用化には問題がある。
この現象は、強磁性薄膜とコアの間に、コアのラッピン
グ処理の際に生じた非磁性または著しく磁気的特性の劣
化した層によって、疑似的ギャップが形成され正式のギ
ャップと同様のはたらきをするために起こるものである
。
グ処理の際に生じた非磁性または著しく磁気的特性の劣
化した層によって、疑似的ギャップが形成され正式のギ
ャップと同様のはたらきをするために起こるものである
。
問題点を解決するための手段
本発明は、上記問題点を解決するために、コアの表面の
変質層を除去し、その表面に第１の強磁性薄膜を被着形
成し、さらにその上部に前記第１の強磁性薄膜より面内
異方性の小さい第２の強磁性薄膜を被着させて、磁気ヘ
ッドを構成するものである。
変質層を除去し、その表面に第１の強磁性薄膜を被着形
成し、さらにその上部に前記第１の強磁性薄膜より面内
異方性の小さい第２の強磁性薄膜を被着させて、磁気ヘ
ッドを構成するものである。
作 用
コアの表面と強磁性薄膜との間には擬似ギャップがな（
なる。
なる。
実施例
以下、本発明の一実施例を第１図を参照して説明する。
第１図はフェライトを用いたリングヘッドの側面図であ
り、少なくともギャップ部の近傍に２層の強磁性薄膜を
被着形成させた複合磁気ヘッドである。
り、少なくともギャップ部の近傍に２層の強磁性薄膜を
被着形成させた複合磁気ヘッドである。
フェライトの磁気ヘッドは、Ｉ型コア、Ｃ型コアと呼ば
れる２つのコア１．２より構成され、ギャップ対向面７
．７はラッピング等により鏡面に仕上げられ、ギャップ
長を維持するためガラス等の非磁性材５を介して、ヘッ
ドとして接合される。
れる２つのコア１．２より構成され、ギャップ対向面７
．７はラッピング等により鏡面に仕上げられ、ギャップ
長を維持するためガラス等の非磁性材５を介して、ヘッ
ドとして接合される。
本実施例の複合磁気ヘッドは、前記したラッピング加工
ｌこ引続いて、その後、メカノケミノフル、ケミカルエ
ツチング、スパッタ装置等によるエツチングによって、
表面の加工変質層を除去する。
ｌこ引続いて、その後、メカノケミノフル、ケミカルエ
ツチング、スパッタ装置等によるエツチングによって、
表面の加工変質層を除去する。
更にその後、その面７．７上に面内異方性の強い強磁性
材（例えば、Ｎｉ−Ｆｅ系合金、非晶質系合金）をスパ
ッタ等の装置にて被着形成させ第１の強磁性薄膜３，３
を形成し、その上部に、面内異方性が前記第１の強磁性
薄膜より十分に低い強磁性材であるセンダスト合金（例
えば、Ｆｅ−Ａｌ−５ｉ系合金、Ｆｅ−５ｉ系合金）を
被着形成し、強磁性薄膜４．４を形成する。
材（例えば、Ｎｉ−Ｆｅ系合金、非晶質系合金）をスパ
ッタ等の装置にて被着形成させ第１の強磁性薄膜３，３
を形成し、その上部に、面内異方性が前記第１の強磁性
薄膜より十分に低い強磁性材であるセンダスト合金（例
えば、Ｆｅ−Ａｌ−５ｉ系合金、Ｆｅ−５ｉ系合金）を
被着形成し、強磁性薄膜４．４を形成する。
上述のように２層の強磁性薄膜を被着した２つのコア１
，２を、ギャップ長に相当する厚みをもつ ＳｉＯ等の
非磁性材５を介して、強磁性薄膜のある面を相接するよ
うにし、磁気ヘッドを構成する。上記強磁性薄膜は、必
要に応じアニール処理を行い特性を向上させることもで
きる。
，２を、ギャップ長に相当する厚みをもつ ＳｉＯ等の
非磁性材５を介して、強磁性薄膜のある面を相接するよ
うにし、磁気ヘッドを構成する。上記強磁性薄膜は、必
要に応じアニール処理を行い特性を向上させることもで
きる。
このような構成にすることで、フェライト、強磁性薄膜
間に、連続的な磁気的特性が得られ、界面に非磁性また
は著しく磁気的特性の劣化した。＠の形成をな（すこと
ができる。
間に、連続的な磁気的特性が得られ、界面に非磁性また
は著しく磁気的特性の劣化した。＠の形成をな（すこと
ができる。
以上の構成の磁気ヘッドにおいて再生出力に対する周波
数特性は第２図（ｂ）に示すようになり、また孤立再生
波形は第３図（ｂ）に示すようになり、ギャップ部によ
る記録再生のみ（こ限ることができ、本来の特徴である
高保磁力媒体をも充分に記録再生できるという優れた効
果を呈した。
数特性は第２図（ｂ）に示すようになり、また孤立再生
波形は第３図（ｂ）に示すようになり、ギャップ部によ
る記録再生のみ（こ限ることができ、本来の特徴である
高保磁力媒体をも充分に記録再生できるという優れた効
果を呈した。
発明の効果
本発明の磁気ヘッドはフェライト基板の表面をラッピン
グ加工する際等に発生ずる変質層を除去し、その上に異
方性の大きい第１の強磁性薄膜を被着し、さらにその上
に異方性の小さい第２の強磁性Ｗｅ ＩＩ’ｊ４を被着
させたため、記録再生特性において、うねりの発生もな
（、また波形歪も少（、実用上極めて有効なるものであ
る。
グ加工する際等に発生ずる変質層を除去し、その上に異
方性の大きい第１の強磁性薄膜を被着し、さらにその上
に異方性の小さい第２の強磁性Ｗｅ ＩＩ’ｊ４を被着
させたため、記録再生特性において、うねりの発生もな
（、また波形歪も少（、実用上極めて有効なるものであ
る。
第１図は本発明の一実施例の磁気ヘッドの側面図、第２
図は従来の複合磁気ヘッドおよび本発明の一実施例の複
合磁気ヘッドにおける周波数うねりを説明するための周
波数特性曲線図、第３図は同複合磁気ヘッドの波形歪を
示す特性曲線図である。 １・・・・・・第１のコア ２・・・・・・第２のコア ３・・・・・・第１の強磁１１薄膜 ４・・・・・・第２の強磁性薄膜 ５・・・・・・ギャップ ６・・・・・・コイル 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はが１名第１Ｂ ％ ３ 、＠
図は従来の複合磁気ヘッドおよび本発明の一実施例の複
合磁気ヘッドにおける周波数うねりを説明するための周
波数特性曲線図、第３図は同複合磁気ヘッドの波形歪を
示す特性曲線図である。 １・・・・・・第１のコア ２・・・・・・第２のコア ３・・・・・・第１の強磁１１薄膜 ４・・・・・・第２の強磁性薄膜 ５・・・・・・ギャップ ６・・・・・・コイル 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はが１名第１Ｂ ％ ３ 、＠
Claims (3)
- （１）ギャップ部を挟むコアの対向面表面の加工変質層
を除去した後、その表面に第１の強磁性薄膜を被着形成
し、更にその上に異方性が前記第１の強磁性薄膜より小
さい第２の強磁性薄膜を被着形成することを特徴とする
磁気ヘッドの製造方法。 - （２）ギャップ部を挟むコアの対向面表面の加工変質層
をエッチング処理により除去した後、その表面に第１の
強磁性薄膜を被着形成し、更にその上に異方性が前記第
１の強磁性薄膜より小さい第２の強磁性薄膜を被着形成
することを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の磁
気ヘッドの製造方法。 - （３）フェライト製のコアにＦｅ−Ｎｉ合金薄膜を被着
形成し、その上にセンダスト合金薄膜を被着形成するこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項に記
載の磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23730786A JPS6391811A (ja) | 1986-10-06 | 1986-10-06 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23730786A JPS6391811A (ja) | 1986-10-06 | 1986-10-06 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6391811A true JPS6391811A (ja) | 1988-04-22 |
| JPH0519762B2 JPH0519762B2 (ja) | 1993-03-17 |
Family
ID=17013427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23730786A Granted JPS6391811A (ja) | 1986-10-06 | 1986-10-06 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6391811A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0254405A (ja) * | 1988-08-18 | 1990-02-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ヘッド |
| JPH02146103A (ja) * | 1988-11-28 | 1990-06-05 | Mitsumi Electric Co Ltd | 複合磁気ヘッド及びその製造方法 |
| US5038242A (en) * | 1988-05-13 | 1991-08-06 | Citizen Watch Co., Ltd. | Magnetic head containing a barrier layer |
-
1986
- 1986-10-06 JP JP23730786A patent/JPS6391811A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5038242A (en) * | 1988-05-13 | 1991-08-06 | Citizen Watch Co., Ltd. | Magnetic head containing a barrier layer |
| JPH0254405A (ja) * | 1988-08-18 | 1990-02-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ヘッド |
| JPH02146103A (ja) * | 1988-11-28 | 1990-06-05 | Mitsumi Electric Co Ltd | 複合磁気ヘッド及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0519762B2 (ja) | 1993-03-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5891B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| US4621030A (en) | Perpendicular magnetic recording medium and manufacturing method thereof | |
| JPS6391811A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH06215325A (ja) | 積層型磁気ヘッドコア | |
| US5155645A (en) | Magnetic head with improved efficiency in both high and low frequency ranges | |
| KR950001603B1 (ko) | 적층자기헤드 | |
| JPH01285022A (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP3022206B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS61294618A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH02216604A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| KR100200809B1 (ko) | 자기헤드 및 그 제조방법 | |
| CA2007688A1 (en) | Magnetic head | |
| JPH09293219A (ja) | 複合型薄膜磁気ヘッド | |
| JPS6366703A (ja) | 複合型磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH0276111A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPH0668414A (ja) | Ｍｉｇ型磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH01277307A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH04341908A (ja) | 複合磁気ヘッド | |
| JPH08235515A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH025206A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS61289507A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPH01256010A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS63173215A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS63300417A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH04241205A (ja) | 磁気ヘッド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |