JPH01263906A - ダブルアジマス薄膜磁気ヘッド及びその組立体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ＶＴＲ用の薄膜磁気ヘッドに係シ、特にアジ
マスの異なる２個のへラドチップをその磁気ギャップ間
隔が１１１Ｉｌ以下となるように配置したダブルアジマ
ス薄膜磁気ヘッド及びその組立体に関する。

〔従来の技術〕

従来、ＶＴＲにおいて静止画再生、スロー再生等の特殊
機能を高画質で行うために、１つのヘッドベースにアジ
マスの異なるヘッドチップを２個配置したいわゆるダ、
プルアジマス磁気ヘッドが用いられている。２つのへラ
ドチップの磁気ギヤ。

プの間隔は磁気テープ上に記録されたビデオ信号の水平
走査線の１本分（１Ｈ）もしくは２本分（２Ｈ）に設定
され、数１００μｍの距離となる。

第１３図は特開昭６２−１１７１２５号公報、特開昭６
１−１５０１１３号公報に記載されているダブルアジマ
ス磁気ヘッドを示したものでフェライトあるいは磁性合
金のコアをギャップボンディングしたリングコア型の２
個の磁気ヘッドを１つのヘッドベースに貼付け、それぞ
れのヘッドの巻線窓にコイルを巻線したものである。第
１３図の従来例はギャップボンディングで磁気ギャップ
を形成したいわゆるバルクタイプの磁気ヘッドの例を示
したものである。

一方、磁気ヘッドのタイプとして基板上にフォトリング
ラフイー技術を用いて磁気コア、巻線コイルを形成した
薄膜磁気ヘッドがある。この種の薄膜磁気ヘッドの従来
例は、例えば特開昭５５−８４０２０号公報、特開昭５
６−１３７５１４号公報に記載されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術においては、例えば特開昭６１−１５０１
１３号公報に記載されているダブルアジマス磁気ヘッド
はブロック状の磁気コア体よシなり、磁気コア体積が大
きいのと、コイルの巻回の半径が大きくなることから、
２個のヘッド間の磁束の漏れが増大し、クロストークが
太きいという問題があり、両ヘッドの間隔が狭くなると
この傾向は顕著となる。

一方、薄膜磁気ヘッドは磁気コアの極小化を容易に図れ
、またコイルの巻回もその半径を小さくできる。従って
、ダブルアジマス磁気ヘッドにおいてはクロストークの
少ない高性能の磁気ヘッドが得られる。しかし、この様
な薄膜磁気ヘッドをＶＴＲ用ダブルアジマス磁気ヘッド
に適用した場合、ヘッドのコイル電極と外部電極との接
続が困難となる。即ち、薄膜磁気ヘッドは磁気コアとコ
イル電極が同一基板に形成されており、２つの磁気コア
を対向させて配置したダブルアジマス磁気ヘッドでは、
コイル電極も対向する。従って、コイル電極と外部電極
の接続を２つのヘッド間を通して行う必要がある。しか
しながら、ヘッド間隔が数１００μｍと狭く、更にコイ
ル電極が対向しているために、従来の薄膜ヘッドの端子
接続に用いられているワイヤーボンディング方法もしく
は半田付方法による端子接続ができないという問題があ
った。

また、ダブルアジマス磁気ヘッドでは２個のへラドチッ
プにミクロンオーダーの位置精度が要求されるが、ヘッ
ドチップの形状が小さいため、ヘッドチップの位置合わ
せが困難であり、取付は治具も複雑となり、更に単に２
個のヘッドチップをヘッドベースに取付けただけでは、
形状′Ｍ度、取付精度のバラツキによシ位置精度が出せ
ず、シリンダ取付は後に押ネジ等により再度トラックセ
ンター、ヘッド間隔等の位置調整をしていた。更Ｋ、２
個のヘッドチップを取付は後、巻線を行い、性能評価を
行うため、性能バラツキによりヘッド歩留りを低下させ
ていた。

本発明は、端子接続が容易で、かつ高精度なダブルアジ
マス薄ａａｔ１ｉ気ヘッドを歩留りのよい構成としたダ
ブルアジマス薄膜磁気ヘッド及びその組立体を提供する
ことを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、アジマス角度の異なる２個の薄膜磁気ヘッ
ドを分割した個々のヘッドベースに取付けてコイル電極
と外部電極を接続し、２個のヘッドを所定の位置に位置
合わせした後、２つのヘッドベースを一体化した構造に
より達成される。

〔作用〕

ＶＴＲ用のダブルアジマス磁気ヘッドとして、２個の薄
膜磁気ヘッドを用いたことにより、磁気コア、コイルの
極小化が図られ、両ヘッド間の磁気漏れが低減され、両
ヘッド間のクロストークが改善される。

また、個々のへラドチップをそれぞれのヘッドベースに
取付け、コイル電極と外部電極を接続した後、２つのヘ
ッドベースを一体化する構造としたことにより電極の接
続が容易となる。

さらに、一体化以前に端子接続を行っていることから、
個々のヘッド性能の測定が可能である。

このことから、ヘッド特性を合わせた２個のへラドチッ
プのベアリングが容易にでき、特性バラツキの少ないダ
ブルアジマス磁気ヘッドが得られる。

そして、ヘッド形状、取付精度も同様にそれらの合った
ヘッドチップの組合わせができ、また−体化においても
それらによる誤差をなくすことも容易であることから組
立精度、及びバラツキの少ないダブルアジマス薄Ｐａｍ
気ヘッドが得られる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。

第１図は本発明の一実施例であるダブルアジマス薄膜磁
気ヘッドの外観図、第２図は第１図の薄膜磁気ヘッドを
テープ走行面からみた平面図、第３図はその側面図であ
って、１ａ、１ｂは薄膜磁気へ、トチ、プ、２ａ、２ｂ
はコイル電極（図示せず）に接続されているフレキシブ
ル配線基板、３ａ、３ｂは個々のへラドチップを取付け
ているヘッドベース、４はヘッドベース３ａ、　３ｂを
一体化するためのスペーサ、５は薄膜磁気ヘッド素子を
保護するための保護膜、６ｍ、６ｂは磁気ギャップ、７
はヘッドベースをシリンダに取付けるためのネジ穴であ
る。

アジマス角度の異なるヘッドチップ１ａ（アジマス角度
十θ）、１ｂ（アジマス角度−θ）はそレソれのヘッド
ベース３ａ、３ｂに取付けられ、コイル電極はフレキシ
ブル配線基板２ａ、２ｂに接続されている１個々のヘッ
ドベース３ａ、３ｂはへラドチップのトラックセンター
（第２図のＡ−Ａ’）、ギャップ間隔Ｌｇ、突出し量Ｈ
の位置を合わせてスペーサ４で接着材等を用いて一体化
される。この位置合わせは顕微鏡を用いて行い±２μｍ
以内の精度は容易に得られる。

本実施例は以下のようにして製造される。

第４図は第３図のＥ−Ｂ’断面図で、第５図は第４図の
Ｃ−Ｃに沿った磁気コア部の断面図である。

また、第６図は磁気ヘッドを形成したウェハーの部分斜
視図、第７図はウェハーの加工の説明図である。第５図
において、まず、この薄膜磁気へ、ドの製造方法はガラ
ス、セラミック、フェライト等のテープとの当接が良好
な非磁性基板９（本実施例ではＭｎ０−Ｎユ０系のセラ
ミックを用いた）上に、下部コアとしてＣ０−Ｎ、−Ｚ
ｒ等の非晶質合金１０をスパッタリング等の手法により
約２０μｍ厚に形成する。

次に、Ｓ１０□、Ａ１□０５等よシなる絶縁層１１をス
パッタリング等で形成した後、Ｃよりなる薄膜コイル１
２を形成し、更に絶縁層１１を形成して薄膜コイル１２
と磁気コア間の電気絶縁を確保する。更に、ギャップ長
を規制する非磁性のギャップ材としてＳ、０□、Ａｌ２
Ｏ，等を０．５ｆｉｍ形成し、そして上部コア１３とし
て下部コア１０と同一の材料を所定の形状に形成し、更
に第４図示すコイル電極８も形成する。

次に、保護膜１４としてテープとの当接が良好な材料例
えばＭｇＯ−３，０２系セラミック層をスパッタリング
あるいは蒸着等の手法で約１０〜６０μｍ厚に形成する
。

ここまでの工程で第６図示すごとく１基板上に多数個の
磁気ヘッド素子を形成したウニ／−−１５を得る０個々
のへラドチップを得るには、まずウェハー１５を機械加
工により切断し、磁気ヘッド素子が複数個並んだ第７図
に示す短冊１６とする。

次に、テープ走行面に円筒研削あるいはテープ研磨によ
り半径ＲのＲ形状加工を行う。本実施例では、このＲｔ
−最もテープとの当接が安定する８〜１３■にした。更
に、個々のへラドチップの先端を第４図に示したように
薄膜コイル１２７ｆｔ切らない様にヘッド先端を角度α
で７字状溝１７の加工を行う。

角度αとしては３０〜６０度が選ばれる。角度αが大き
い方が薄膜コイル１２の配設面積が大きくなり、コイル
の電気抵抗が小さくできヘッドのインピーダンスノイズ
が低減できるという効果がある。しかし、角度αが６０
度を越えて大きくなシすぎると、ヘッドの摩耗に従い急
激にヘッド摺動幅が大きくなり、安定なテープ当接が得
られないという問題がある。

次に、ワイヤーソー、ダイシングソー等の機械加工によ
シ磁気ギャップが所定のアジマス角度になるように磁気
ヘッド素子を短冊１６から第７図に示すＤ−Ｄ’で切断
し第４図に示す磁気ヘッドチップ１ａｉ得る。他方の磁
気ヘッドチップ１ｂも同様の工程でアジマス角度を変え
て得る。

そして、第８図に示すようにヘッドチップ１ａをヘッド
ベース３ａの先端に有機接着剤で接着する。ここで、接
着はシアノアクリレート糸の瞬間接着剤を用いて仮接着
を行い、その後エポキシ系またはアクリル系の接着剤で
本接着を行ってもよい。

ヘッドチップの接着位置は後でヘッドベースを一体化し
た場合、第２図及び第３図に示した２個のヘッドチップ
の位置が設定できる範囲であれば任意でよい、しかしな
がらヘッドチップの接着面積を小さくすることは接着強
度の点から望ましくなく、第８図に示す様にヘッドベー
ス先端からのヘッドチップの突出し量Δｔはへラドチッ
プの長さｔの約Ｖ３以内とした。接層強度が得られるな
らば△ｔの値を更に大きくしても構わないのは言うまで
もない。

次に、Ｗｃ９図に示す様に７レキシプル配線板２ａの先
端電極とコイルを極８の接続を半田付で行い、フレキシ
ブル配線板２ａをヘッドベース３ａに接着する。この接
続にＡ、　、　Ｃｕ　等の金属線をワイヤーポンディン
グで接続してもよいが、その場合には第１０図に示すご
とくフレキシブル配線板２ａの接続部をヘッドベース３
ａの端面に接着して、それぞれの電極を金属線１Ｂで接
続すればよい。

また、先にフレキシブル配線板を接着したヘッドベース
にヘッドチップを貼付けて、その後電極の接続を行って
もよい。

本実施例ではフレキシブル配線板とヘッドベースの接着
にエポキシ系の厚さ５０μｍの熱圧着フィルムを用いた
。片側のへラドチップ１ｂも同様にして組立を行い、次
に個々のヘッドのインダクタンス、出力特性、取付精度
等を測定し、それらの揃っているアジマスの異なるヘッ
ドチップを一対のペアーとする。

次に、顕微鏡を見ながら一対のヘッドの磁気ギャップ間
隔Ｌｇ、トラックセンター、ヘッド先端の突出し量Ｈを
個々のヘッドベースを移動させて合わせ、その後スペー
サ４をシアノアクリレート系瞬間接着剤等の有機接着剤
でヘッドベースに貼付け、２個のヘッドベースを固定し
、第１図に示したダブルアジマス薄膜磁気ヘッドを得る
。

なお、スペーサ接着時において有機接着剤の接着層厚の
バラツキが発生するが、その厚さは±５μｍ以内に制御
でき、実用上問題はなかった。また、スペーサ接着後、
補強のために２つのヘッドベース分割部にエポキシ樹脂
等の有機接着剤を途布してもよい。

この様に構成したダブルアジマス薄膜磁気ヘッドでは両
ヘッド間のクロストークが低減され、同一磁気ギャップ
間隔では従来のバルク型ダブルアジマス磁気ヘッドと比
較して約１０ｄＢ以上は改善し、特性の良いヘッドが得
られる。また、ヘッドの組立においても個々のヘッドチ
ップをそれぞれのヘッドベースに貼付けるため、コイル
電極と外部端子の接続が半田付け、ワイヤー、ボンド等
の方法を用いて容易にできる。更に、個々のヘッドがす
でに外部端子と接続されているため、ダブルアジマスに
組立てる以前にヘッドの特性測定が可能となシ、特性の
揃ったヘッドチップでダブルアジマス磁気ヘッドが組立
てられ、特性バラツキの少ない磁気ヘッドが得られる。

また、ヘッド形状バラツキ、ヘッドチップの取付誤差も
２つのヘッドベースを一体化する時に補正でき、ヘッド
の位置合わせもヘッドベースにヘッドチップを取付けた
状ゆで行うため、組立治具の簡素化、高精度化が容易で
あり、それＫより組立精度の良いダブルアジマス薄膜磁
気ヘッドが得られる。

第１１図は本発明の第２の実施例であるダブルアジマス
薄膜磁気ヘッドのチップ取付面を示す側面図であって、
薄膜磁気へラドチップ１ａ、Ｉｂのヘッドベース３ａ、
３ｂへの取付け、コイル電極の接続は第１の実施例と同
じであるが、ヘッドベース５ａ　、　３ｂにそれぞれネ
ジ穴１９ａ、１９ｂを設けである。このそれぞれのヘッ
ドベースを第１２図に示す様に回転シリンダ２０に磁気
ヘッドのギヤツブ間隔Ｌｇ、突出しｉＨ、トラックセン
ターを合わせて、それぞれの取付ネジ２１ａ、２１ｂで
取付ける。この時雨ヘッドのトラックセンターはシリン
ダー側に設けである押ネジ２２で合わせる。この様な構
成とすることにより、両ヘッドの位置合わせ全上記シリ
ンダー取付時に行うため、第１の実施例と同様の効果に
加えて、ダブルアジマスの組立て、調整工程の省略等の
効果が得られる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、アジマスの異な
る２個の薄膜磁気ヘッドをそれぞれのヘッドベースに貼
付け、コイル電極と外部端子の接続を行った後、両ヘッ
ドを所定の位置に合わせ一体化する構成としたことによ
り、上記端子接続が容易で、両ヘッド間の特性バラツキ
が少なく、組立精度が良く、上記従来技術の問題点を除
いて優れた機能のＶＴＲ用のダブルアジマス薄膜磁気ヘ
ッド及び組立体を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であるダブルアジマス薄膜磁
気ヘッドの外観図、第２図は第１図の薄膜磁気ヘッドを
テープ走行面からみた平面図、第３図はその側面図、第
４図は第３図のＢ−Ｂ’断面図、第５図は第４図のＣ−
Ｃ’断面図、第６図は薄膜出猟ヘッド形成基板の外観図
、第７図はへラドチップを得るための短冊の外観図、第
８図はへ。 トチツブを取付けた状態を示す側面図、第９図。 第１０図は端子接続部を示す図、第１１図、第１２図は
本発明の他の実施例を示す側面図、第１３図は従来技術
の磁気ヘッドの側面図である。 １ａ、１ｂ・・・薄膜磁気ヘッド ２ａ、２ｂ−・フレキシブル配線板 ３ａ、３ｂ・・・ヘッドベース ４・・・スペーサ ８・・・コイル電極 １２・・・薄膜コイル。 第　１図 第２図 第′５図 第４図 累６図 第７図 Ｑ　４−−１ 第９図　　　　　　第１０図 第１１図 業１３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基板上に磁性材、絶縁材、導電体、保護膜等を所定
   の形状に形成して成るアジマス角度の異なる一対の薄膜
   磁気ヘッドから構成されたダブルアジマス薄膜磁気ヘッ
   ドにおいて、分割した一対のヘッドベースと、この一対
   のヘッドベースの各々に個別に取付けた前記アジマス角
   度の異なる薄膜磁気ヘッドとから成り、上記一対のヘッ
   ドベースは、取付けられた各々の薄膜磁気ヘッドの磁気
   ギャップ間に所定の空隙を持たせて一体化されているこ
   とを特徴とするダブルアジマス薄膜磁気ヘッド。 ２、請求項１記載のダブルアジマス薄膜磁気ヘッドのヘ
   ッドベースを、それぞれネジ穴を有する分割した一対の
   ヘッドベースとし、この一対のヘッドベースの各々に前
   記一対の薄膜磁気ヘッドのそれぞれを個別に取り付け、
   回転磁気ヘッドを構成する回転シリンダに、上記一対の
   薄膜磁気ヘッドの各薄膜形成面を向い合わせて所定の位
   置に配置して上記ネジ穴にネジを通して固定して成るこ
   とを特徴とするダブルアジマス薄膜磁気ヘッド組立体。