JPH01252343A - 接触位置検出装置および該装置を用いた工作機械 - Google Patents

接触位置検出装置および該装置を用いた工作機械

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JPH01252343A
JPH01252343A JP7669588A JP7669588A JPH01252343A JP H01252343 A JPH01252343 A JP H01252343A JP 7669588 A JP7669588 A JP 7669588A JP 7669588 A JP7669588 A JP 7669588A JP H01252343 A JPH01252343 A JP H01252343A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、磁気軸受で軸支された砥石等とワーク等との
接触位置を検出するための接触位置検出装置に関し、さ
らに、この接触位置検出装置を利用した工作機械に関す
る。
(発明の概要) 本発明は、磁気軸受で軸支されたロータ軸の位置変化か
ら、ロータ軸先端にム2けられた刃物、砥石等がワーク
に接触したことを検出し、この検出位置を基に切削加工
あるいはドレス加工を行なうようにしたものである。
(従来の技術) 従来、研削盤あるいはフライス盤等の工作機械においで
、ワークと刃物あるいは砥石(以下これらを「工具」と
いう)の接触状態を検出する手段として工具またはワー
クを回転させるモータの駆動電流(または電圧)変化を
検出して行なうことが提案されている(例えば特公昭5
3−34677@、同61−26469号)。
すなわち、ワークと工具が接触したことによる負荷変動
を駆動電流の変化として捕え、これによりワークと工具
の接触状態を検出するようにしている。
また、最近工作機械の仕上げの高精度化に伴い、例えば
砥石を超高速回転させて研削加工することが行なわれて
いる。
この場合における砥石の回転は、ロータ軸の先端に砥石
を設け、このロータ軸をモータの回転子とするとともに
、スピンドル内にモータコイルを有するステータを設け
、ざらにロータ軸を磁気軸受で軸支して超高速回転させ
ている。
(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、上記従来のワークと工具の接触状態検出
は、ワークまたは工具を回転駆動させるモータの電流変
化を監視して行なうようになっているが、高精度の接触
位置検出ができないという問題点があった。
すなわち、ワークを回転させる主軸または工具を回転さ
せるロータ軸自体一定の質量を有し、これが回転させら
れると相当のエネルギーを持っているため、ワークと工
具の接触初めの回転体のエネルギー変化はごく僅かでモ
ータの駆動電流変化としては正確に検出できず、瞬時か
つ鋭敏に高精度の接触位置検出が不可能であった。
(問題点を解決するための手段) 本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので
あってその構成は、磁気軸受で軸支されて回転駆動され
るロータ軸の先端に刃物、砥石等の付属体を有するスピ
ンドルと、 前記磁気軸受内における前記ロータ軸の位置を検出する
ための位置センサと、 前記スピンドルの相対移動により前記付属体が他の物体
に接触したことを前記ロータ軸の位置変化または前記磁
気軸受の励磁電流の変化から検出するための接触検出手
段とからなる接触位置検出装置であり、 また、磁気軸受で軸支されて回転駆動されるO−タ軸の
先端に刃物または砥石等の工具を有するスピンドルと、 上記スピンドルが載置固定されるテーブルと、前記工具
により加工されるワークを支持する支持台と、 前記磁気軸受内における前記ロータ軸の位置を検出する
ための位置センサと、 前記テーブルまたは前記主軸台が移動することにより前
記工具とワークが接触したことを前記ロータ軸の位置変
化または前記磁気軸受の励磁電流の変化から検出するた
めの接触検出手段とからなる工作機械であり、 ざらに、磁気軸受で軸支されて回転駆動されるロータ軸
の先端に砥石を有するスピンドルと、上記スピンドルが
載置されるテーブルと、前記砥石をドレスするドレッサ
ーを支持する支持合と、 前記磁気軸受内における前記ロータ軸の位置を検出する
ための位置センサと、 前記テーブルまたは前記支持台が移動することにより前
記[iと前記ドレッサーとが接触したことを前記ロータ
軸の位置変化または前記磁気軸受の励磁電流の変化から
検出するための接触検出手段と、 前記砥石と前記ドレツナーとの接触位置から所定のドレ
ス吊となるように前記磁気軸受内のロータ軸を該ロータ
軸芯と平行に移動するように前記磁気軸受の励磁電流を
制御するための励磁制御手段とからなる工作機械である
(作用) 本発明は、ワークと工具とが接触すると磁気軸受内のロ
ータ軸位置が変化し、また磁気軸受の励磁電流が変化す
るので、その変化は接触検出手段により検出されてワー
クと工具との接触状態が検出されるように作用する。
(実施例の説明) 第1〜3図は請求項1および2に係わる接触位置検出装
置およびこの装置を用いた研削盤の一実施例を示すもの
であって、第1図はその概略構成図である。
図中1はスピンドルであって、そのスピンドル1の一端
に砥石aを有するロータ軸2が回転自在に横架されてい
る。スピンドル1はテーブル3に載置固定されており、
このテーブル3はサーボモータ4およびこれにより回転
されるスクリュー5等から構成される周知の送り機構に
よりロータ軸2の軸芯方向(Z軸方向)へ移動可能に構
成されている。
ロータ軸2は、そのほぼ中央に一体的に設けられた円盤
状のプレート6を有し、これはスピンドル1内に設けら
れたスラスト磁気軸受7で軸支され、軸芯方向の力を受
止めているとともに、その左右端をラジアル磁気軸受8
,9により軸支されている。
スラストおよびラジアル磁気軸受の機構は周知であるの
でその詳細については省略するが、これら磁気軸受は複
数の対からなる電磁石7a、7b。
8a、ab、9a、9b、の間にロータ1ll12を磁
力により浮上させて構成される。
磁気軸受は、通常型¥ii石の磁極とロータf’1l1
2ならびにプレート6の外周との間にはQ、5mm程度
のクリアランスが設けられている。従って、一対の電磁
石の励磁電流を調整することによってロータ軸2をいず
れかの電磁石側に偏らせて軸支することが可能である。
しかし、通常ロータf@2にはクリアランスのほぼ中間
に位置するように後述の位置センサでロータ軸2の位置
を検出し、この検出信号をフィードバックして励磁電流
が調整されている。
10はモータステータであって、そのコイル10′に電
流が流れるとロータ軸2を回転させるように作用する。
このためロータ軸2はモータの回転子として作用し、モ
ータステータ10は固定子として作用する。
11.12はロータ軸2の左右側に設けられた位置セン
サ、13はプレート6側に設けられた位置センサおよび
16はロータ軸2の他端側に設けられた位置センサであ
って、このうち位置センサ11.12はロータ軸2の半
径(ラジアル)方向位置が検出される。
センサ13はスラスト磁気軸受7の間におけるプレート
6の位置が検出され、ざらにセンサ14はスピンドル1
内のロータ軸2の軸芯(スラスト)方向の位置偏位が検
出される。
なお、センサ13と14は必ずしも両方設ける必要はな
く、どちらか一方を設けるようにしても良い。
これら位置センサ11〜14としては、本出願人が先に
実願昭61−61261号で提案した位置検出センサ等
が使用できる。
図中すはワークであって、上記テーブル3と同様の送り
機構を有する支持台15上に載置固定されている。すな
わち支持台15はサーボモータ16およびこれにより回
転されるスクリュー17を備えている。
図中Cは制御手段を示すものであって、cpu。
ROM、RAM等を含む制御部18.ユーザプログラム
を設定するためのキーボード等からなる設定器192位
置センサ11〜14からの検出信号を取込むためのA/
D変換器20.スラスト磁気軸受7およびラジアル磁気
軸受8.9を駆動させるための磁気軸受駆動回路21.
E−タコイル10を駆動するためのモータ駆動回路22
およびテーブル3.支持台15を駆動させるためのテー
ブル・支持台駆動回路23ならびにこれら各駆動回路の
ためのD/A変換器24から構成されている。
制御部18は、研削盤を統轄的に制御するもので、その
RAMにはユーザプログラムが予め設定されているとと
もに、俊速の工具aとワークbの接触を検出するための
しきい値が予め設定されている。
以上の構成からなる本実施例の動作を第2図のフローヂ
ャートおよび第3図のテーブルの移動量。
位置センサ出力および磁気軸受の励磁電流との関係を示
した説明図(切込特性線図)を参照しながら説明する。
今、図示しない研削開始ボタンが押されて研削加工が開
始されるとくステップ1oo=定、第3図t、)、制御
部18からD/A変換器24を介してテーブル・支持台
駆動回路23から信号を受けてサーボモータ4が急速回
転し砥石aがワークbに接近する(ステップ102)。
この場合、位置センサ14の検出電流は一定値を維持し
ている。しかし、砥5aとワークbとが接すると、ロー
タ軸2が位置センサ14側に移動するので、これが位置
センサ14の検出電流を増加させ、その増加が設定器1
9で予め設定して必るしきい値よりも大きくなり、この
時点が砥石aとワークbとの接触位置として検出される
(ステップ104肖定、第3図A)。この検出はロータ
軸2の位置変化を位置センサ14で行なうため、瞬時か
つ鋭敏に高精度に検出することができる。
なお、ここでは砥石aとワークbとは、ロータ軸2の軸
芯方向へ移動して接触する例を示したが、砥石aまたは
ワークbがロータ軸2の軸芯方向と直交する方向に移動
して接触するときは、位置センサ11および12(、:
より検出される。
さて、砥5aとワークbが接触したときサーボモータ4
を停止させるとともに、微小量逆転させてテーブルを微
小潰後退(リトラクション)させ、その後サーボを一タ
4の回転数を粗研削回転数に設定してテーブル3を移動
させる(ステップ108)。もちろん、この場合、リト
ラクションを行なわずに急速送りから粗研送りにそのま
ま移項するようにしても良い。粗研削が終了した俊(第
3図B)、さらにサーボモータ4の回転数を落して精研
送りにしてテーブル3を移動させる(ステップ110.
112)。
精研終了俊(第3図C)、研削量を0にして研削加工を
行なって、いわゆるスパークアウト後(第3図D)、テ
ーブル3を急速後退させて終了する(ステップ114肖
定、116.118>。
上述の接触検出は、位置センサの検出電流により検出し
たが、これを第3図に示すように磁気軸受の励1a電流
(ロータ軸2の軸芯方向の接触検出時はスラスト磁気軸
受の励磁電流、ロータ軸2の軸芯と直交する方向の接触
検出時はラジアル磁気軸受の励磁電流)をしきい値と比
較して行なうようにしても良い。
本実施例の制御動作に対し、従来においては、第3図−
点鎖線に示されるように急速送りをワークと砥石とが接
する前の所定の位置のところまで行なうようになってい
る。このため上記t1より早いtoから急速送りが開始
され、従って本実施例においてはj+  joの分だけ
研削加工時間が短縮できる効果がある。
なお、上記実施例では研削盤の例を示したが砥石の代り
に刃物を取付けてフライス盤とすることもできる。
またテーブル3の送りの代りに支持台15を送るように
しても良く、さらにこれら両方の送り機構を任意に組合
せて初期の研削量あるいは切削口を求めるようにしても
良い。
第4〜6図は請求項3記載の発明に係わる研削盤の自動
ドレス装置の一実施例を示すもので必って、第4図はそ
の概略構成図である。
同図においてスピンドル1は、上記第1図のラジアル磁
気軸受9と七−タステータ10の位置が逆転している点
9位置センサ12がロータ軸2の他端側に位置している
点および位置センサ14が省略されている点を除いて同
じである。
なお、第4図の構成において第1図と同一符号ないし同
一符号に′を付した構成要素は同一機能ないしは類似機
能を有する構成を示している。
スピンドル1は図示しないテーブルに載置固定されてい
て、このテーブルはサーボモータ4−およびスクリュー
5′によりロータ軸2の軸芯方向と直角に移動可能に構
成されている。
図中dはドレッサーであってその先端にはダイヤ[ンド
ツール25を有し、図示しない主軸台に固定支持されて
いて、スピンドル1がテーブルの送り機構により移動さ
れたとき、または主軸台の送り機構により移動されたと
きダイヤモンドツール25が砥石aに接するように両者
は対応して配置されている。
なお、ドレッサーdは主軸台とは別に送り機構を有する
ドレッサー支持台を設け、これに取付けるようにしても
良い。
図中Cは制御手段を示すもので市って、cpu。
メ[り等を含む制御部181位置検出回路25a。
25b、制御回路26a、26b、演算回路27a、2
7b、増幅回路28a、28b、29a。
29b、七−タ駆動回路22およびテーブル駆動回路2
3から構成されている。
このうち制御部18はドレス作業を統轄的に制御するも
ので、そのメ[りには砥石aのドレス看h(削り呈)が
予め工Ω定されている。
以上の構成からなる本実施例の動作を第5図のフローチ
V−トおよび第6図のロータ軸2の移動状態の説明図を
参照しながら説明する。
今、図示しないドレススタートボタンが押されてドレス
作業が開始されるとくステップ200肖定)、回転して
いるロータ軸2の軸芯方向位置はラジアル磁気軸受8,
9の中間に位置するように、すなわち第6図工点鎖線位
置に位置していて、この位置状態が位置検出回路25a
、25bにより検出されている。
一方、ドレス作業開始と同時に制御部18からD/A変
換器24′を介して演痒部27a、27bにランプ波信
号が送出されるとともに(ステップ202>、テーブル
駆動回路23に出力され、サーボモータ4′が第6図矢
印イ方向へスピンドル1を移動させる。
この移動により砥石aとドレッサーdとが接しロータ軸
2の移動が阻止されると、位置センサ11.12からの
検出信号を処理する位置検出回路25a、25bの出力
信号とランプ波信号とが一致して、その接触状態が検出
され(ステップ204)、その時点でサーボモータ4−
が停止される。
このためスピンドル1の移動が停止する(ステップ20
6)。
次いで、制御部18のメモリには予め砥石aのドレス口
である削り深さhが記憶工2定されているので、すなわ
ちロータ軸2のドレッサーd側への平行移動量が図示し
ないキーボードから入力設定されているので、この削り
吊深さhに相当するラジアル磁気軸受8,9の励磁電流
が制御されてロータ軸2をドレッサーd側に平行移動さ
せる(ステップ208.210>。これにより、ロータ
軸2は第6図工点鎖線位置から実線位置へ平行移動する
ラジアル磁気軸受8,9の励磁電流の供給は、制御部1
8により制御される制御回路268.26bから増幅器
28a、28b、29a、29bを介して所定の励磁電
流が供給される。この際、位置センサ11.12により
ロータ軸2の移動量が検出され、その検出信号がフィー
ドバックされて所定の移動量となるように調整される。
所定の削り量に達した後(ステップ210肯定)テーブ
ル駆動回路23からサーボモータ4に出力されスピンド
ル1をロータ軸2の軸芯方向へ移動させて(第6図矢印
ロ方向)ドレス作業を行ない終了する(ステップ212
,214>。
なお、スピンドル1の軸芯方向への移動は、所定のドレ
スlに達するまで数回繰り返して行なうようにしても良
く、またはドレッサーdの取付けられている主軸台をス
ピンドル1側へ移動するようにしても良い。
また砥石aとドレッサーdが接するまでの移動は、ドレ
ッサーdを移動させるようにしても良い。
すなわち、ドレッサーdの固定しである主軸台を移動さ
せるようにしても良い。
以上の実施例においては、研削作業時に用いられる砥石
とワークとの接触位置検出手段を用いて砥石とドレッサ
ーとの接触位置を検出した俊、磁気軸受の励磁電流を調
整して砥石の所定削り深さまで調整できるように構成し
たので、ドレッサーのための特別なメカニカルな送り機
構は必要でなく、しかもドレス作業は自動化されるため
作業員によるドレスの不均一は解消される。
なお、上述した各実施例では、位置センサの検出出力は
検出電流から検出し、ざらに磁気軸受の励磁電流の変化
から接触位置を検出するようにしたが、もちろんこれら
電流を電圧変換して検出しても良いのであって、このた
め特許請求の範囲で励磁電流の変化というときは電圧変
化も含むと解釈しなりればならない。
(効果) 本発明は、磁気軸受で軸支されるロータ軸の先端に設け
られた刃物あるいは砥?lEi等の工具(付属体)とワ
ークあるいはドレッサー等の他の物体との接触を磁気軸
受の位置変化または磁気軸受の励磁電流の変化から検出
するように構成したため、工具とワークが接触した位置
を瞬時にかつ鋭敏に高精度に検出することができ、この
接触位置を基にして研削量、切削量等の加工寸法を容易
に冑ることのできる工作機械とすることができる。
また、ドレス量も磁気軸受内におけるロータ軸の平行移
動により自動的に行なうことができるため、作業員によ
るドレス♀の不均一が防止できる等の効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明装置の一実施例を示す概略構成図、第2
図は研削制御動作のフローチャート、第3図は切込特性
線図、第4図は他の実施例を示す概略構成図、第5図は
ドレス作業の制御動作のフローチャートおよび第6図は
ロータ軸の移動状態を示す説明図である。 1・・・スピンドル 2・・・ロータ軸 7・・・スラスト磁気軸受 8.9・・・ラジアル磁気軸受 10・・・モータコイル 11.12.13.14・・・位置センサ18・・・制
御部 a・・・砥石(付属体) b・・・ワーク(他の物体) C・・・制御手段 d・・・ドレッサー 特許出願人  セイコー精機株式会社

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、磁気軸受で軸支されて回転駆動されるロータ軸の先
    端に刃物、砥石等の付属体を有するスピンドルと、 前記磁気軸受内における前記ロータ軸の位置を検出する
    ための位置センサと、 前記スピンドルの相対移動により前記付属体が他の物体
    に接触したことを前記ロータ軸の位置変化または前記磁
    気軸受の励磁電流の変化から検出するための接触検出手
    段と、 を具備することを特徴とする接触位置検出装置。 2、磁気軸受で軸支されて回転駆動されるロータ軸の先
    端に刃物または砥石等の工具を有するスピンドルと、 上記スピンドルが載置固定されるテーブルと、前記工具
    により加工されるワークを支持する支持台と、 前記磁気軸受内における前記ロータ軸の位置を検出する
    ための位置センサと、 前記テーブルまたは前記主軸台が移動することにより前
    記工具とワークが接触したことを前記ロータ軸の位置変
    化または前記磁気軸受の励磁電流の変化から検出するた
    めの接触検出手段と、を具備することを特徴とする工作
    機械。 3、磁気軸受で軸支されて回転駆動されるロータ軸の先
    端に砥石を有するスピンドルと、上記スピンドルが載置
    されるテーブルと、 前記砥石をドレスするドレッサーを支持する支持台と、 前記磁気軸受内における前記ロータ軸の位置を検出する
    ための位置センサと、 前記テーブルまたは前記支持台が移動することにより前
    記砥石と前記ドレッサーとが接触したことを前記ロータ
    軸の位置変化または前記磁気軸受の励磁電流の変化から
    検出するための接触検出手段と、 前記砥石と前記ドレッサーとの接触位置から所定のドレ
    ス量となるように前記磁気軸受内のロータ軸を該ロータ
    軸芯と平行に移動するように前記磁気軸受の励磁電流を
    制御するための励磁制御手段と、 を具備することを特徴とする工作機械。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05104405A (ja) * 1991-10-16 1993-04-27 Canon Inc 切削状態監視装置
WO1998057776A1 (fr) * 1997-06-18 1998-12-23 Seiko Seiki Kabushiki Kaisha Detecteur de position utilisant un palpeur a palier magnetique
JP2007263143A (ja) * 2006-03-27 2007-10-11 Jtekt Corp 工作機械用磁気軸受装置
CN103769932A (zh) * 2013-12-31 2014-05-07 冯建国 高速旋转加工机构
JP7082725B1 (ja) * 2021-11-29 2022-06-08 ヤマザキマザック株式会社 工作機械、工作機械による砥石とワークとの接触検出方法、及び、コンピュータプログラム

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57205051A (en) * 1981-06-09 1982-12-16 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Contact detecting method between work and tool
JPS5989820A (ja) * 1982-11-11 1984-05-24 Seiko Instr & Electronics Ltd 剛性可変の磁気軸受装置
JPS61185039A (ja) * 1985-02-13 1986-08-18 Hitachi Ltd 磁気軸受を有する回転電機

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57205051A (en) * 1981-06-09 1982-12-16 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Contact detecting method between work and tool
JPS5989820A (ja) * 1982-11-11 1984-05-24 Seiko Instr & Electronics Ltd 剛性可変の磁気軸受装置
JPS61185039A (ja) * 1985-02-13 1986-08-18 Hitachi Ltd 磁気軸受を有する回転電機

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05104405A (ja) * 1991-10-16 1993-04-27 Canon Inc 切削状態監視装置
WO1998057776A1 (fr) * 1997-06-18 1998-12-23 Seiko Seiki Kabushiki Kaisha Detecteur de position utilisant un palpeur a palier magnetique
JP2007263143A (ja) * 2006-03-27 2007-10-11 Jtekt Corp 工作機械用磁気軸受装置
CN103769932A (zh) * 2013-12-31 2014-05-07 冯建国 高速旋转加工机构
JP7082725B1 (ja) * 2021-11-29 2022-06-08 ヤマザキマザック株式会社 工作機械、工作機械による砥石とワークとの接触検出方法、及び、コンピュータプログラム
WO2023095339A1 (ja) * 2021-11-29 2023-06-01 ヤマザキマザック株式会社 工作機械、工作機械による砥石とワークとの接触検出方法、及び、コンピュータプログラム

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