JPH01246133A - 超伝導体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、超伝導転移温度等の超伝導特性が高く、核
融合炉、電磁流体発電機、加速器、電動機や発電機等の
回転電気機器、磁気分離機、磁気浮上列車、磁気浮上自
動車、核磁気共鳴断層躍影診断装置、磁気推進船、電子
ビーム露光装置、単結晶製造装置、各種実験装置等のマ
グネットコイル用材料として適し、また、送電線、エネ
ルギー貯蔵器、変圧器、整流器、調相機等の電力損失が
問題になる用途に適し、さらに、ジョセフンン素子、５
ＱＵＩＤ素子等の素子として適し、さらにまた、赤外線
感知材料、磁気遮蔽材料等として適した超伝導体の製造
方法に関する。

（従来の技術） 従来、Ｙの硝酸塩と、Ｂａの硝酸塩と、ＣＬＩの硝酸塩
とをモル比で１：２：３になるように混合してなる溶液
の霧滴を高温に加熱した基材に接触させてその基材上に
膜を形成し、ざらに９００℃程度の温度で加熱処理して
膜を超伝導材とする方法が知られている（日本応用物理
学公刊、Ｊａｐａｎｅｓｅ　Ｊｏｕｒｎａｌ　Ｏｆ　Ａ
ｐｐｌｉｅｄ　Ｐｈｙｓｉｃｓ　、　Ｖｏｌ、２６、Ｎ
ｏ、１０　、第１１７４０〜１１７４２頁、１９８７年
）。しかしながら、この方法が適用できるのは、基材の
温度が低いときであって、４５０℃以上の温度になると
膜は超伝導材とならない。超伝導材になるためには、Ｙ
、Ｂａ、Ｃｕの原子数の比が１：２：３になっているこ
とが必要であるが、従来の方法によるものは、理由は明
らかでないが、Ｂａの原子数が２よりも相当低くなって
しまっている。

（発明が解決しようとする課題） この発明の目的は、従来の方法の上述した問題点を解決
し、基材の温度が４５０〜１０００℃の範囲で超伝導体
を得ることができる方法を提供するにある。

（課題を解決するための手段〉 上記目的を達成するために、この発明においては、α（
ただし、αはＹ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ。

Ｇｄ、　Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬＬＪ　
　　　　”から選ばれた元素）の硝酸塩と、Ｂａの硝酸
塩と、Ｃｕの硝酸塩とを含む溶液の霧滴を４５０〜１０
００℃に加熱した基材に接触させ、その基材上に上記α
、ＢａおよびＣＬＪを含む酸化物からなる超伝導材の膜
を形成するに際し、上記溶液中のα、ＢａおよびＣｕの
原子数を、αの原子数をｎ（α）、Ｂａの原子数をｎ（
Ｂａ）、Ｃｕの原子数をｎ　（Ｃｕ）とし、上記基材の
温度を１℃としたとき、式、 ［ｎ　（Ｃｕ）／ｎ　（α）］＝３．０＋０．５・・・
・・・■ ［ｎ　（Ｃｕ）／ｎ　（Ｂａ）］ ＝　［−２，８６Ｘ１０−３Ｘ　（ｔ−４５０）］＋１
．５±０．３　　　　　　　　　　　・・・・・・（２
）を満足する範囲にすることを特徴とする、超伝導体の
製造方法が提供される。なお、上記αに関しでは、たと
えばＹとＥｒとの組合わせといったように、２種以上の
元素を併用することも可能である。

この発明の詳細な説明するに、この発明においテハ、ま
ず、α（ただし、αはＹ、Ｎｄ、Ｓｍ。

Ｅｕ、Ｇｄ、ＤＶ、ＨＯ，Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬＬ
Ｊから選ばれた元素）の硝酸塩と、ｌｅａの硝酸塩と、
Ｃｕの硝酸塩とを含む溶液の霧滴を４５０〜１０００℃
に加熱した基材に接触させる。

α、Ｂａ、Ｃｕの硝酸塩は、水和物でも、そうでなくて
も、いずれでもよい。また、亜硝酸塩を使用することも
できる。これらの硝酸塩としては、たとえば、Ｙ　（Ｎ
Ｏ３）３・６日２０、Ｙ（ＮＯ３）３　・３Ｈ２０，Ｎ
ｄ　（ＮＯ３）３　・６Ｈ２０，Ｓｍ　　（ＮＯ３）　
　３　　・　６Ｈ２０、Ｅ　ｕ（ＮＯ３）３・６Ｈ２０
，Ｇｄ　（ＮＯ３）３・５Ｈ２０、Ｇｄ　（ＮＯ３）３
・６ＨｚＯ，ＤＶ（ＮＯ３）３・５Ｈ２０，ＤＶ　（Ｎ
Ｏ３）３・６Ｈ２０，ＨＯ（ＮＯ３）３　・５ＨｚＯ，
Ｅｒ（ＮＯ３）３　・６Ｈ２０，Ｅｒ　（ＮＯ３）３　
・５５Ｈ２Ｏ５Ｔ　（ＮＯ３）３　・５１−１２０．Ｙ
ｂ（ＮＯ３）３・５日２０、Ｙｂ　（ＮＯ３）３・４Ｈ
２０、Ｌｕ　　　（ＮＯ３）　　　３　　　・　２Ｈ２
０、３ａ（ＮＯ３）２、Ｂａ　（ＮＯ２）２　・Ｈ２Ｏ
、Ｃｕ（ＮＯ３）２　・３Ｈ２０，ｃｕ　（Ｎｏ：３）
：２−６Ｈ２０等がある。

α、３ａ、ＣＩＪの硝酸塩の溶媒としては、水や、各種
アルコールや、各種炭化水素や、ジメチルフォルムアミ
ドや、ジメチルアセトアミドや、ピリジンや、アセトニ
トリル等の含窒素溶媒や、ジメチルスルフオキシド等の
含硫黄溶媒等を使用することができる。なお、炭素を含
む溶媒を使用する場合には、その霧滴を基材に接触させ
ると、炭酸化物を形成しゃすいＢａがＢａＣＯ３に変わ
り、さらに超伝導材へと反応が進行するが、水を使用し
た場合には、水は炭素を含まないから、そのような経過
を経ることなく硝酸の分解とともに超伝導材へと反応が
進行する。

α、３ａ、ＣＬＩの硝酸塩溶液の濃度は、適宜選択でき
るが、１〜１０００ｍｍｏｌ／　Ｉであるのがよい。好
ましいのは、１０〜３００ｍｍｏｌ／Ｉである。

霧滴にすることができ、しかも基材への均一な付着が行
える粘度を与える濃度であればよい。

溶液中のα、）３ａ、Ｑｕの原子数は、αの原子数をｎ
（１，Ｙ）、［ｌａの原子数をｎ（Ｂａ）、Ｃｕの原子
数をｎ　（ＣＬＪ）とし、基材の温度をｔ　’Ｃとした
とき、式、 ［ｎ　（Ｃｕ＞／ｎ　（ｌ　］＝３．０±０．５・・・
・・・■ ［ｎ　（Ｃｕ）／ｎ　（Ｂａ）］ ＝　［−２，８６ｘ１０’ｘ　（ｔ−４５０）］＋１．
５±０．３　　　　　　　　　　・・・・・・（２）を
満足する範囲でなければならない。この範囲を満足する
ときは、実施例に示すように、基材上に超伝導材の膜を
形成することができる。

硝酸塩の溶液を霧化し、霧滴とする方法としては、圧縮
ガスによるスプレー法がある。この方法は、霧吹の原理
を利用するものである。また、超音波ｊ騒動子を用いる
方法がある。この方法は、圧電素子によって溶液を高周
波で振動させ、霧化するもので、霧滴は適当なギヤリア
ーガスで反応至に運ばれる。ざらに、スプレー法と超音
波１辰動子による方法とを組み合わせることもできる。

この方法は、超音波撮動子によって霧化した溶液をスプ
レーによって噴霧する方法である。なお、上記圧縮ガス
やキャリアーガスとしては、酸素、空気、窒素、アルゴ
ン、炭酸ガス等が適している。

基材としては、テープ状、シート状、箔状、板状、繊維
状、線状等、いろいろな形態のものを使用することがで
きる。厚みや太さは任意でよい。

なお、基材は中空であってもよい。中空であると、使用
時にその中空部に液体ヘリウムや液体窒素等の冷媒を流
すこともできる。

また、繊維状の基材は、超伝導被覆への磁束の侵入を少
なくして発熱を抑え、またその侵入速度を遅くして単位
時間当りの発熱量を抑え、さらに冷却効果を高めて超伝
導特性を安定させるために、太さが４〜１０μｍ程度の
、いわゆる極細繊維をを束ねた繊維束の形態で使用する
のがよい。この場合、超伝導材の膜は各単繊維に形成す
るようにする。

基材は、４５０〜１０００℃という加熱温度や後述する
熱処理温度に耐えるものであればよく、下記のような材
料を使用することができる。

炭素系材料： ポリアクリロニトリル系炭素、ピッチ系炭素等。

セラミックス系材料： アルミナ、サファイア、アルミナ−シリカ、マグネシア
、部分安定化ジルコニア、ジルコニア、イツトリア、ラ
ンタニア、シリコンカーバイド、窒化ケイ素、炭化チタ
ン、窒化ニオブ、窒化ホウ素、チタン酸アルカリ、ケイ
Ｍｌカリ、チタン酸ストロンチウム、ホウ化チタン、ホ
ウ化ジルコニウム等。チタンと、シリコンと、炭素と、
酸素とからなるセラミックスたとえば、宇部興産株式会
社製のチタンａ１ｉ維〉等。

金属系材料： Ｗ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｎ　ｉ　、Ｖ、Ｎｂ、Ｙ。

Ｚｒ、Ｂ、Ａｃｔ、Ｐｔ等。これら金属の少なくとも１
種を主成分とする合金（たとえば、５５〜５９％Ｎｉ、
１８〜１２％Ｍｏ、０．０４〜０．１５％Ｃ合金）等。

ガラス系材料： Ｅガラス、Ｓガラス等。

これらの材料のうち、金属は、アモルファス構造をもつ
ものでおってもよい。また、基材には、上述した材料を
混用することもできる。たとえば、ポリアクリロニトリ
ル系炭素にシリコンカーバイドを被覆したものを使用す
ることができる。

さて、この発明においては、上述したように硝酸塩溶液
の霧滴を４５０〜１０００’Ｃに加熱した基材に接触さ
せ、膜を形成する。

基材上の膜は、基材温度が６５０℃以上で、かつ膜の形
成速度が比較的遅い場合には、超伝導材になってしまっ
ていることもある。超伝導材になっていない場合には、
さらに熱処理を行う。この熱処理は、空気、オゾン、酸
素、その他の酸化剤による酸化性雰囲気の下で、８００
〜１２００’Ｃの温度で１分から数時間程度行う。なお
、熱処理を施さない場合も、施す場合も、酸素欠損を生
ずることがあるが、その場合は酸素を補充するのが好ま
しい。酸素を補充する方法としては、イオン注入法や、
空気、オゾン、酸素、その他の酸化剤による乾式酸化法
等ある。

（実施例〉 実施例１ 基材として、厚み１　ｍｌｌ１．縦１０ｍｍ、横５ｍｍ
の単結晶ジルコニアを用意した。一方、α、３ａおよび
Ｃｕを含む硝酸塩の溶液として、１＋ｎｍｏｌのＹ（Ｎ
Ｏ３）３　・６Ｈ２０と、５．５ｍｍｏｌの［３ａ（Ｎ
Ｏ３）２と、３ｍｍｏｌのＣｕ　（ＮＯ３）２　・３Ｈ
２０と、１００ｍ１の水との混合液を用意した。

この溶液中の、Ｙ、Ｂａ、Ｃｕの原子数の比は、ｎ　（
Ｃｕ）／ｎ　（Ｙ）が３、ｎ（Ｃｕ）／ｎ（Ｂａ）が０
．５５である。

次に、基材をホットプレート上に置いて８００℃に加熱
し、これに、酸素ガスを圧縮ガスとして、ノズル径が９
．３ｍｍのスプレーノズルから上記溶液を７回に分けて
噴霧し、基材に付着させた。噴霧量は１回につき５ｍｌ
とし、各回の噴霧の間には１時間の間隔をあいた。終了
後は、ホラ１ヘプレートの電源を切り、３時間はどかけ
て挙温まで冷却した。

かくして、単結晶ジルコニアの上に、Ｙ、ＢａおよびＣ
ｕを含む酸化物からなる超伝導材の膜を有する超伝導体
を得た。超伝導材は、Ｙ、Ｂａ、Ｃｕの原子数の比がほ
ぼ１：２：３でめった。また、超伝導転移温度は３５に
であった。

実施例２ 実施例１において、溶液を、１ｍｍｏｌのＮｄ（ＮＯ３
）３　・６Ｈ２０と、５．５ｍｍｏｌのＢａ（ＮＯ３）
２と、３ｍｍ０ＩのＣｕ　（ＮＯ３）　２　・３Ｈ２０
と、１００ｍ１の水との混合液に変えた。溶液中の、Ｎ
ｄ、Ｂａ、Ｃｕの原子数の比は、ｎ（Ｃｕ）／ｎ　（Ｎ
ｄ）が３、ｎ（Ｃｕ）／ｎ（Ｂａ）が０．５５である。

以下、実施例１と同様にして基材上に膜を形成した蚤、
酸素中にて５００℃で５時間乾式酸化処理した。

かくして、単結晶ジルコニアの上に、Ｎｄ。

ＢａおよびＣＬＪを含む酸化物からなる超伝導材の膜を
有する超伝導体を得た。超伝導材は、Ｎｄ、３ａ、ＣＵ
の原子数の比がほぼ１２：３であった。また、超伝導転
移温度は４５にであった。

実施例３ 実施例２において、溶液を、１ｍｍｏｌの３ｍ（ＮＯ３
）３　・６Ｈ２０と、５．５ｍｍ０１の［３ａ（ＮＯ３
）２と、３ｍｍ０１のＣＵ　（ＮＯ３）２−３Ｈ２０と
、１００ｍ１の水との混合液に変えた。溶液中の、３ｍ
、Ｂａ、　Ｃｕの原子数の比は、ｎ（Ｃｕ）／ｎ　（Ｓ
ｍ）が３、ｎ　（Ｃｕ）／ｎ（Ｂａ）が０．５５である
。

かくして、単結晶ジルコニアの上に、３ｍ、Ｂａおよび
Ｃｕを含む酸化物からなる超伝導材の膜を有する超伝導
体を得た。超伝導材は、３ｍ、３ａ、　Ｃｕの原子数の
比がほぼ１：２：３であった。また、超伝導転移温度は
４３にでめった。

実施例４ 実施例２において、溶液を、１ｍｍｏｌのＥｕ（ＮＯ３
）３　・６Ｈ２０と、５．５ｍｍ０＋の［３ａ（ＮＯ３
）２と、３ｍｍｏｌのＣｕ　（ＮＯ３）２　・３ｌ−（
２０と、１００ｍ１の水との混合液に変えた。溶液中の
、Ｅｕ、１３ａ、ＣＩＪの原子数の比は、ｎ（Ｃｕ）／
ｎ　（Ｅｕ）が３、ｎ　（Ｃｕ）／ｎ（Ｂａ）が０．５
５である。

かくして、単結晶ジルコニアの上に、Ｅｕ１Ｂａおよび
ＣＬＪを含む酸化物からなる超伝導材の膜を有する超伝
導体を１ｑた。超伝導材は、ＥＬＩ、３ａ、　Ｃｕの原
子数の比がほぼ１：２：３であった。また、超伝導転移
温度は４８にであった。

実施例５ 実施例１において、溶液を、１ｍｍｏｌのＧｄ（ＮＯ３
）３　・６Ｈ２０と、４．２ｍｌ０ＩのＢａ（ＮＯ３）
２と、３ｍｍ０１のＣｕ　（ＮＯ３）　２　”３Ｈ２０
と、１００ｍ１の水との混合液に変えた。溶液中の、Ｇ
ｄ、Ｂａ、Ｃｕの原子数の比は、ｎ（Ｃｕ）／ｎ　（Ｇ
ｄ）が３、ｎ（Ｃｕ）／ｎ（Ｂａ）が０．７１である。

また、基材の加熱温度を７２０’Ｃに変えた。

かくして、単結晶ジルコニアの上に、Ｇｄ、Ｂａおよび
Ｃｕを含む酸化物からなる超伝導材の膜を有する超伝導
体を得た。超伝導材は、Ｇｄ、３ａ、ＣＬＪの原子数の
比がほぼ１　：２：３で必った。また、超伝導転移温度
は３２にであった。

実施例６ 実施例２において、溶液を、１ｍｍｏｌのＤｙ（ＮＯ３
）３　・５Ｈ２０と、４．２ｍｍｏｌの１ｅａ（ＮＯ３
）２と、３ｍｍ０１のＣＬＩ　（ＮＯ３）２　・３ト１
２０と、１００ｍ１の水との混合液に変えた。溶液中の
、Ｄｙ、Ｂａ、Ｃｕの原子数の比は、ｎ（Ｃｕ）／ｎ　
（Ｄｙ）が３、ｎ（Ｃｕ）／ｎ（Ｂａ＞が０．７１であ
る。また、基材の加熱温度を７２０℃に変えた。

かくして、単結晶ジルコニアの上に、Ｄｙ１３ａおよび
ＣＬＪを含む酸化物からなる超伝導材の膜を有する超伝
導体を得た。超伝導材は、ＤＶ、Ｂａ、Ｃｕの原子数の
比がほぼ１：２：３で必った。また、超伝導転移温度は
３８にでおった。

実施例７ 実施例１において、溶液を、’１ｍｍｏｌのＨＯ（ＮＯ
３）３　・５Ｈ２０と、３ｍｍ０１の［３ａ＜ＮＯ３）
２と、３ｍｍ０１のＣｕ　（ＮＯ３）　２　・３Ｈ２０
と、１００ｍ１の水との混合液に変えた。溶液中の、Ｈ
ｏ、Ｂａ、　Ｃｕの原子数の比は、ｎ（Ｃｕ）／ｎ　（
Ｈｏ）が３、ｎ　（ＣＬＪ）／ｎ（Ｂａ）が１である。

また、基材の加熱温度を６００’Ｃに変えた。ざらに、
冷却後に酸素中にて９５０℃で１分間熱処理し、１００
’Ｃ／時の速度で冷却した。

かくして、単結晶ジルコニアの上に、ＨＯｌＢａおよび
Ｃｕを含む酸化物からなる超伝導材の膜を有する超伝導
体を得た。超伝導材は、Ｈｏ、Ｂａ、Ｑｕの原子数の比
がほぼ１：２：３であった。また、超伝導転移温度は７
７にであった。

実施例８ 基材として、アルミナ繊維束を十分に解繊してテープ状
にしたものを用意した。アルミナ繊維束は、微粒子状の
α−アルミナと、これと同量のＡｌ２Ｏ３とを含む塩基
性塩化アルミニウム水溶液を紡糸して得たもので、Ａｌ
２Ｏ３は９９％以上、単繊維径は２０μｍ１単繊維数は
１０００本である。一方、硝酸塩の溶液として、１ｍｍ
ｏｌのＥｒ　（ＮＯ３）３　・６ＨｚＯと、５．５ｍｍ
０１のＢａ　（ＮＯ３）２と、３ｍｍ０１のＣＵ　（Ｎ
Ｏ３）　２・３Ｈ２０と、１００ｍ１の水との混合液を
用意した。溶液中の、Ｅｒ、１３ａ、　Ｃｕの原子数の
比は、ｎ　（Ｃｕ）／ｎ　（Ｅｒ）が３、ｎ　（Ｃｕ）
／ｎ（Ｂａ）が０．５５である。

次に、基材を赤外線ヒーターによってａｏｏ’ｃに加熱
し、これに酸素ガスを圧縮ガスとして、テープ状繊維束
の両面から、ノズル径がＱ、３ｍｍのスプレーノズルか
ら上記溶液を７回に分けて噴霧し、基材に付着させた。

噴霧量は１回につき５ｍｌとし、各回の噴霧の間には１
時間の間隔をおいた。

終了後は、赤外線ヒーターの出力を徐々に弱め、３時間
はどかけて至温まで冷却した。

かくして、アルミナ繊維束を構成している各単繊維の上
に、Ｅｒ、ＢａおよびＣＵを含む酸化物からなる超伝導
材の膜を有する超伝導体＠：得た。

超伝導材は、Ｅｒ、３ａ、　Ｃｕの原子数の比がほぼ１
：２：３で必った。また、超伝導転移温度は３１にであ
った。

実施例９ 実施例８において、溶液を、１ｍｍｏｌのＴｍ（ＮＯ３
）３　・５Ｈ２０と、５．５ｍｍｏｌ（７）Ｂａ（ＮＯ
３）２と、３ｍｍｏｌのＣｕ　（ＮＯ３）２　・３Ｈ２
０と、１００ｍ１の水との混合液に変えた。溶液中の、
丁ｍ、Ｂａ、　Ｃｕの原子数の比は、ｎ（Ｃｕ）／ｎ　
（Ｔｍ）が３、ｎ　（ＣＬＪ）／ｎ（Ｂａ）が０．５５
である。また、冷却後、酸素中にて５００℃で５時間乾
式酸化処理した。

かくして、アルミナ繊維束を構成している各単繊維の上
に、１ｍ、［３ａおよびＣ１，Ｊを含む酸化物からなる
超伝導材の膜を有する超伝導体を得た。

超伝導材は、１ｍ、ｌｅａ、　Ｃｕの原子数の比がほぼ
１：２：３であった。また、超伝導転移温度は３５にで
あった。

実施例１０ 実施例８において、基材を中空炭素繊維に銀を電解メツ
キしてなるものに変えた。炭素繊維の太さは１７μｍ、
中空部の直径は約６μｍである。

また、銀メツキの厚みは約３μｍで、そのような炭素繊
維３０００本からなる繊維束を使用した。

マタ、溶液を、１ｍｍｏｌのＹｂ　（ＮＯ３）　３　・
５Ｈ２０と、５．５ｍｍ０１のＢａ　（ＮＯ３）２と、
３ｍｍｏ　ｌのＣｕ　（ＮＯ３）２　・３Ｈ２０と、１
００ｍ１の水との混合液に変えた。溶液中の、ｙｂ、３
ａ、ＣＵの原子数の比は、ｎ　（Ｃｕ）／ｎ　（Ｙｂ）
が３、ｎ　（Ｃｕ）／ｎ　（Ｂａ）が０．５５である。

かくして、炭素繊維束を構成している各単繊維の上に、
膜状の超伝導材を有する超伝導体を１ｑだ。

超伝導材は、Ｙｂ、Ｂａ、Ｃｕの原子数の比がほぼ１：
２：３であった。また、超伝導転移温度は３６にであっ
た。

実施例１１ 実施例１０において溶液を、１ｍｍｏＩのＬｕ（ＮＯ３
）３　・２Ｈ２０と、５．５ｍｍｏｌの［３ａ（ＮＯ３
）２と、３ｍｍ０ＩのＣｕ　（ＮＯ３）　２　・３Ｈ２
０と、１００ｍ１の水との混合液に変えた。溶液中の、
１−ｕ、Ｂａ、ＣＬＪの原子数の比は、ｎ（Ｃｕ）／ｎ
　（Ｌｕ）が３、ｎ　（Ｃｕ）／ｎ（Ｂａ＞が０．５５
である。

かくして、炭素繊維束を構成している各単繊維の上に、
ｌｕ、ＢａおよびＣｕを含む酸化物からなる超伝導材の
膜を有する超伝導体を得た。超伝導材は、Ｌｕ、３ａ、
ＣＬＩの原子数の比がほぼ１：２：３であった。また、
超伝導転移温度は３８にであった。

（発明の効果） この発明の方法は、溶液中のα、３ａおよびＣＬＪの原
子数を、αの原子数をｎ（α）、Ｂａの原子数をｎ（Ｂ
ａ）、Ｃｕの原子数をｎ（Ｃｕ）とし、上記基材の温度
をｔ’Ｃとしたとき、式、［ｎ　（Ｃｕ）／ｎ　＜ａ＞
　］＝３．０±０．５・・・・・・■ ［ｎ　（Ｃｕ）／ｎ　（Ｂａ）］ ＝　［−２，８６ｘ１０’ｘ　（ｔ−４５０）　ｊ十１
．５±０．３　　　　　　　　　　・・・・・・（２）
を満足する範囲にするから、理由は明らかでないが、実
施例に示したように、基材の温度が４５０〜１０００℃
の範囲で超伝導体を１ｑることができる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　α（ただし、αはＹ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、ＧｄＮＤｙ
   、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕから選ばれた元素
   ）の硝酸塩と、Ｂａの硝酸塩と、Ｃｕの硝酸塩とを含む
   溶液の霧滴を４５０〜１０００℃に加熱した基材に接触
   させ、その基材上に前記α、ＢａおよびＣｕを含む酸化
   物からなる超伝導材の膜を形成するに際し、前記溶液中
   のα、ＢａおよびＣｕの原子数を、αの原子数をｎ（α
   ）、Ｂａの原子数をｎ（Ｂａ）、Ｃｕの原子数をｎ（Ｃ
   ｕ）とし、前記基材の温度をｔ℃としたとき、式、 ［ｎ（Ｃｕ）／ｎ（α）］＝３．０±０．５・・・・・
   ・（１） ［ｎ（Ｃｕ）／ｎ（Ｂａ）］ ＝［−２．８６×１０＾−＾３×（ｔ−４５０）］＋１
   ．５±０．３・・・・・・（２） を満足する範囲にすることを特徴とする、超伝導体の製
   造方法。