JPH01164729A - 超伝導材の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、核融合炉、電磁流体発電機、加速器、回転
電気機器、磁気分離機、磁気浮上列車、核磁気共鳴断層
撮影診断装置、磁気推進船、各種実験装置、送電線、エ
ネルギー貯蔵器、ジョセフソン素子、ＳＱＵ■Ｄ（スキ
ッド）素子、磁気センサ、ホロメータなどの用途に適し
た超伝導材を製造する方法に関する。

（従来の技術） 超伝導材を製造する方法はいろいろおるが、そのひとつ
に、ＣＶＤ法（化学気相蒸着法）がある。

この方法は、必要な元素を含む揮発性化合物を蒸発させ
て基材上に上記化合物の膜を形成した後、その膜を酸化
して超伝導材とするものである。揮発性化合物として、
必要な元素を含む、たとえば１．１．１−トリフルオロ
−２，４−ペンタンジオン、ヘキサフルオロアセチルア
セトン、４，４゜４−トリフルオロ−１−（２−ヂエニ
ル）−１゜３−ブタンジオン等のβ−ジケトン錯体が用
いられる。ところが、この方法は、蒸気圧を高くとれな
いβ−ジケトン錯体等を使用するため、膜の形成が大変
難しいという問題がある。

（発明が解決しようとする課題） この発明の目的は、従来の方法の上述した問題点を解決
し、膜の形成が大変容易な、超伝導材の製造方法を提供
するにある。

（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために、この発明においては、一般
式（α１−Ｘ　ＢａＸ　）Ｚ　ＣｕＯ４−’ｔ／ただし
、 ＣＸ　：　Ｙ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｄｙ。

ＨＯｌＥｒＳＴｍｌＹｂまたはＬＩＪ ＯくＸく１ ０≦Ｖ＜２ ０．５≦Ｚ≦３ で表わされる超伝導材の製造方法であって、上記α、Ｂ
ａおよびＣｕの元素を含む化合物の溶液の霧滴流を、加
熱された繊維状またはテープ状基材にその長手方向に対
して直交する方向から接触させ、上記基材に膜状の超伝
導材を形成することを特徴とする、超伝導材の製造方法
が提供される。

また、この発明においては、上記目的を達成するだめに
、一般式（αａＢａｂＡｇ。）７（Ｃｕ　ｄＡ　ｇｅ　
）　０４−ｙ ただし、 ａ　：Ｙ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｄ”ｌｌ／。

ＨＯｌＦｒ、丁ｍ、’ｙｂまたは１−ｕａ〉○ ｂ＞０ ０≦ｃ＜Ｑ、４ ａ十す十〇＝１ ０．５＜ｄ＜１ Ｑ＜ｅ≦０．５ ｄ＋ｅ＝１ ０≦’１／＜２ ０．５≦７≦３ で表わされる超伝導材の製造方法であって、上記α、Ｂ
ａ、’ＡＱおよびＣｕの元素を含む化合物の溶液の霧滴
流を、加熱された繊維状またはテープ状基材にその長手
方向に対して直交する方向から接触させ、上記基材に膜
状の超伝導材を形成することを特徴とする、゛超伝導材
の製造方法が提供される。

この発明の詳細な説明するに、一般のＣＶＤ法において
は、基材が繊維状やテープ状である場合には、原料流は
、基材の長手方向に沿って流すのが普通である。しかし
ながら、原料を霧滴にして反応系に供給する場合には、
原料霧滴流を、基材にその長手方向に対して直交する方
向から接触させると均一性が向上する。

基材にその長手方向に対して直交する方向から原料霧滴
流を接触させるとき、原料霧滴流は、上記長手方向に対
して直交する面内において複数の方向から供給すること
ができる。また、反応系に適当な邪魔板を配置する等の
方法によって、原料霧滴流を基材にその長手方向に対し
て直交する方向から接触させることもできる。

この発明において、基材の長手方向に対して直交する方
向とは、原料霧滴流を、基材の長手方向の流速と、それ
と直交する方向の流速とに分けて考えたとき、上記長手
方向の流速よりも直交方向の流速のほうが大きいことを
意味する。換言すれば、基材の長手方向の分速があって
も構わない。

また、この発明においては、均一性をさらに向上させる
ため、ＣＶＤ法を基材を回転させながら実施することが
できる。

基材は、繊維状またはテープ状の形態のものを使用する
。繊維状基材の場合、磁束の侵入を少なくして発熱を抑
え、またその侵入速度を遅くして単位時間当りの発熱量
を抑え、ざらに冷却効果を高めて超伝導特性を安定化さ
せるために、極細多芯化するのが好ましく、たとえば４
〜１０μｍ程度の太さの単繊維を束ねたものであるのが
好ましい。また、超伝導材は、使用時に、通常、液体ヘ
リウムや液体窒素、その他の冷媒を用いて冷却するが、
この冷却効果を高めるために、中空の基材を用いるのも
好ましいことである。

そのような基材を構成する材料としては、大別して、金
属系のものと非金属系のものとがある。

金属系の基材としては、銅、クロム、鉄、モリブデン、
ニッケル、ニオブ、パラジウム、白金、銀、タンタル、
チタン、タングステン、バナジウム、イツトリウム、ジ
ルコニウム等の単体金属や、それら単体金属を主成分と
する合金がある。これら金属系基材の場合、表面をアル
ミナ、サファイア、チタン酸ストロンチウム、酸化マグ
ネシウム、ジルコニア等で被覆してあくこともできる。

また、非金属系の基材としては、アルミナ、サファイア
、チタン酸ストロンチウム、酸化マグネシウム、ジルコ
ニア、シリコンカーバイド、チタンとシリコンカーバイ
ドとの混合物、ボロン、窒化ホウ素、チタン酸アルカリ
、ケイ酸鉛カリ等がある。なかでも、ジルコニア、それ
も部分安定化ジルコニア（ＰＳＺ）が最も好ましい。Ｐ
ＳＺは、周知のように、安定化剤として、イツトリア、
マグネシア、カルシア等の希土類元素の酸化物を固溶せ
しめてなるジルコニアセラミックスである。

なかでも、比較的低温で焼結できるために結晶粒子径を
小さくでき、機械的強度の高いものが得られる、イツト
リアやカルシアを使用したＰＳＺが好ましい。

さて、この発明においては、上述したような基材に、元
素α、すなわち、 ｃｘ：Ｙ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、ＤｙＸＨｏ。

Ｆｒ１丁ｍＸＹｂまたはｌ−ｕ と、１３ａと、Ｃｕとを所望の割合で含む化合物の溶液
、または、上記元素αと、Ｂａと、Ａｇと、Ｃｕとを所
望の割合で含む化合物の溶液の霧滴流を、加熱された繊
維状またはテープ状基材にその長手方向に対して直交す
る方向から接触させ、その基材上にそれら化合物の膜を
形成する。元素の割合は、後述する超伝導材が得られる
割合である。

特に、ａ　：　Ｂａ　：　ｃｕが１　：、２　：、３で
ある三重ペロブスカイト構造とするのが好適であり、典
型的なものとして、Ｙ　：　Ｂａ　：　Ｃｕが’Ｉ：２
：３である三重ペロブスカイト構造がある。

上述した元素を含む化合物は、溶媒に可溶性のものであ
ればよく、硝酸塩、塩化物、過塩素酸塩、蓚酸塩、酢酸
塩、ナフテン酸塩、アルコキシド、β−ジケトン錯体、
エチレンジアミン四酢酸錯体、炭酸塩等である。なかで
も、アルコキシドに炭酸ガスを挿入して得られる金属ア
ルキルカーボネート、それも、メチル、エチル、プロピ
ル、ｉ−プロピル、ブチル、ｉ−ブチル等の低級アルキ
ルカーボネートが好ましい。

これらの化合物の溶媒は、水や、アルコール類や、炭化
水素類や、ジメチルフォルムアミド、ジメチルアセトア
ミド、ピリジン、アセトニトリル等の含窒素溶媒や、ジ
メチルスルフオキシド等の含硫黄溶媒など、化合物を溶
解し、かつ霧滴にし得る粘度を有するものであればよい
。なお、溶液中における化合物の濃度は、これら化合物
の溶解度以下であればよいが、１０〜３００ｍｍｏｌ／
ｌの範囲が適当である。

溶液を霧滴にする方法としては、圧縮ガスを利用したス
プレー法や、超音波振動子を利用する方法等がある。よ
り均一な大きさの霧滴を発生させることができるという
理由で、後者の方法が好ましい。この、超音波振動子を
利用する方法は、圧電素子を用いて溶液を高周波で振動
させて霧滴を作るものであり、霧滴はキャリアーガスで
反応室に運ぶ。キャリヤーガスは、空気、窒素ガス、ア
ルゴンガス、炭酸ガス等である。溶媒が不燃性の場合は
空気が適しているが、可燃性の場合には、窒素ガス、ア
ルゴンガス、炭酸ガス等の非支燃性ガスを使用する。な
お、化合物の分解、酸化のために、適当量の酸素および
／または水等の分解剤や酸化剤をこれらのキャリアーガ
スに含ませておいてもよい。

基材の温度は、化合物の種類等によって異なるので一概
にはいえないが、通常、２００〜１１００′Ｃの範囲で
ある。好ましくは２００〜９５０’Ｃの範囲である。

さて、基材上に形成された膜は、化合物が酸化、分解さ
れて超伝導材になっている場合もあるが、通常は、ざら
に熱処理、酸化処理工程を経て超伝導材とする。この超
伝導材は、元素として上記α、ＢａおよびＣＬＩを使用
した場合には、一般式、（α１−ｘＢａｘ）７ＣｕＯ４
−Ｖ ただし、 ａ：Ｙ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ５Ｄｙ。

）−１ｏ、　Ｅｒ、　Ｔｍ、　Ｙｂまたはｌ−ｕＱ＜Ｘ
＜１ ０≦Ｖ＜２ ０．５≦７≦３ で表わされるものとなり、元素として上記α、Ｂａ、Ａ
ＯおよびＣｕを使用した場合には、一般式、 （α［３ａ　　ＡＱ　　＞　　（ＣＬＩ６　ＡＱｅ　）
　ｏ４−。

ａ　　　ｂ　　　ｃｚ ただし、 α：Ｙ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ１Ｄｙ。

ＨｏｌＥｒｌＴｍ１ＹｂまたハＬｕ ａ＞Ｑ ｂ＞Ｑ Ｏ≦Ｃ＜Ｏ，，４ ａ十す十Ｇ＝’１ ０．５＜ｄ＜１ Ｑ＜ｅ≦０．５ ｄ十ｅ＝１ ０≦ｙ＜２ ０．５≦７≦３ で表わされるものとなる。

−１２＝ ここで、熱処理、酸化処理は、８００〜１２００′Ｃ程
度で、かつ、基材の融点未満の温度で行う。

熱処理、酸化処理時間は、１０分から数時間程度である
。このとき、昇温は、基材から膜が剥離するのを防止す
るため、１０’Ｃ／分以下の速度で行うのが好ましい。

特に、２〜３°Ｃ／分の昇温速度が好ましい。熱処理、
酸化処理の雰囲気は、通常、空気であるが、酸素または
適当な酸素分圧の下で行うこともできる。また、酸化の
方法は、オゾン、酸素、空気、その他の酸化剤による乾
式酸化法が適当である。なお、熱処理、酸化処理の過程
で酸素が逃げ、若干の酸素欠損を生ずる場合があるが、
この場合には、イオン注入法等の方法によって酸素を補
充するのも好ましい。

（実施例および比較例） 実施例１ Ｙ　（ＮＯ３）３と、Ｂａ　（ＮＯ３）２と、Ｃｕ（Ｎ
Ｏ３）２とをそれぞれ８０ｍｍｏｌ／ｌ　、１６０ｍｍ
ｏｌ／ｌ　、２４０ｍｍｏｌ／ｌ含む水溶液を、ＩＭＨ
ｚ、１００Ｗの超音波振動子を用いて霧滴にし、その霧
滴を空気をキャリアーガスとして３００℃に加熱した金
線（直径：０．２ｍｍ、長さ１００ｍｍ）にその長手方
向に対して直交する方向から１５分間接触させ、金線上
に化合物の膜を形成した。このとき、金線をｌｐｐｍで
回転させた。

次に、膜が形成された金線を空気中にて９００°Ｃで１
時間熱処理、酸化処理して、金線上に、（Ｙｏ、３３Ｂ
ａＯ，Ｂ７）Ｉ　ＣｕＯ２，２なる超伝導材を得た。

この超伝導材を２５ｍｍずつに切断し、それぞれについ
て付着している元素を分析したところ、法衣に示すよう
に、位置によらず原子の比がほぼ一定であった。また、
この超伝導材の超伝導転移温度は、４５にであった。

比較例１ 原料霧滴流を金線にその長手方向に対して平行な方向か
ら供給したほかは実施例１と同様にして、超伝導材を得
た。

この超伝導材について、実施例１と同様に元素分析を行
ったところ、次表に示すように、位置によって原子の比
にばらつきがあった。なお、Ｎ工１が霧滴流の導入口に
最も近く、Ｎ、４が最も遠い。

実施例２ Ｙ（ＣｌＯ２＞３と、Ｂａ　（ＣＩ　０４　）’２と、
Ｃｕ（ＣＩＯ＋＞２とをそれぞれ１Ｑｍｍｏｌ／ｌ、２
０ｍｍｏｌ／Ｉ　、３０ｍｍｏｌ／Ｉ含む水溶液を、１
’ＭＨ２，１００Ｗの超音波振動子を用いて霧滴にし、
３５０’Ｃに加熱したアルミナ線（直径：０．２ｍｍ、
長さ１００ｍｍ＞にその長手方向に対して直交する方向
から１５分間接触させ、アルミナ線上に化合物の膜を形
成した。このとき、アルミナ線を５「ｐ…で回転させた
。

次に、膜が形成されたアルミナ線を空気中にて９００’
Ｃで５時間熱処理、酸化処理し、アルミナ線上に（Ｙｏ
、３３ＢａＯ，６７＞　Ｉ　ＣｕＯ２，２なる超伝導材
を得た。

この超伝導材を実施例１と同様に分析したところ、次表
に示すように、やはり位置によらず原子の比がほぼ一定
であった。また、この超伝導材の超伝導転移温度は、５
５にであった。

比較例２ 原料霧滴流をアルミナ線にその長手方向に対して平行な
方向から供給したほかは実施例２と同様にして、超伝導
材を得た。

この超伝導材について、実施例２と同様に元素分析を行
ったところ、次表に示すように、位置によって原子の比
にばらつきがあった。

実施例３ Ｙ　（ＮＯ３）３と、Ｂａ　（ＮＯ３）２と、Ｃｕ（Ｎ
Ｏ３）２とをそれぞれ８０ｍｍｏｌ／Ｉ　、１６０ｍｍ
ｏｌ／ｌ　、２４０ｍｍｏｌ／ｌ含む水溶液を、１ＭＨ
ｚ。

１００Ｗの超音波振動子を用いて霧滴にし、その霧滴を
空気をキャリアーガスとして２５０°Ｃに加熱したイツ
トリアテープ（直径：２ｍｍ、長さ：１ＱＱｍｍ、厚み
：０．５ｍｍ＞にその長手方向に対して直交するる方向
から１５分間接触させ、テープ上に化合物の膜を形成し
た。このとき、イツトリアテープを１　ｒｐｍで回転さ
せた。

次に、膜が形成されたイツトリアテープを空気中にて９
００’Ｃで１時間加熱処理、酸化処理し、イツトリアテ
ープ上に（ｙＯ，３３ＢａＯ，６７＞　Ｉ　ＣＬＪ０２
．２なる超伝導材を得た。

この超伝導材を実施例１と同様に元素分析したところ、
次表に示すように、やはり位置によらず原子の比がほぼ
一定であった。また、この超伝導材の超伝導転移温度は
７５にであった。

比較例３ 原料霧滴流をイツトリアテープにその長手方向に対して
平行な方向から供給したほかは実施例３と同様にして、
超伝導材を得た。

この超伝導材について、実施例３と同様に元素分析を行
ったところ、数表に示すように、位置によって原子の比
にばらつきがあった。

実施例４ 実施例１において、Ｙ　（ＮＯ，３＞　３をＮｄ　（Ｎ
Ｏ３）３に変えた。

得られた（ＮｄＯ，３３ＢａＯ，６７＞　Ｉ　ＣｕＯ２
，２なる超伝導材は、実施例１で得られたものと同様、
やはり位置によらず原子の比がほぼ一定であった。

また、この超伝導材の超伝導転移温度は６０にでめった
。

実施例５ 実施例１において、Ｙ　（ＮＯ３）３をＳｍ　（ＮＯ３
）３に変えた。

得られた（Ｓｍ　　　Ｂａ　　　）　　ＣｕＯ２，２な
０．３３０．６７す る超伝導材は、実施例１で得られたものと同様、やはり
位置によらず原子の比がほぼ一定であった。

また、この超伝導材の超伝導転移温度は５９にであった
。

実施例６ 実施例１において、Ｙ　（ＮＯ３）３をＥｕ　（ＮＯ３
）３に変えた。

１ｑられた（Ｅ　ｕＯ，３３ＢａＯ，６７）１　ｃｕｏ
２．２なる超伝導材は、実施例１で得られたものと同様
、やはり位置によらず原子の比がほぼ一定でめった。

また、この超伝導材の超伝導転移温度は６２にであった
。

実施例７ 実施例１において、Ｙ　（ＮＯ３）３をＧｄ　（Ｎ０３
）３に変えた。

得られた（、Ｇ　ｄ　□、３３Ｂ　ａ、ｏ、６７）　Ｉ
Ｃｕ　０２．２なる超伝導材は、実施例１で得られたも
のと同様、やはり位置によらず原子の、比がほぼ一定で
あった。

また、この超伝導材の超伝導転移温度は６５にでめった
。

実施例８ 実施例１において、Ｙ　（Ｎｏ、３　）　３をＤｙ（Ｎ
０３）３に変えた。

得られた（　Ｄ　ｙｏ、３３’３　ａＯ，６７＞　Ｉ　
Ｃｕ　０２．２なる超伝導材は、実施例１で得られたも
のと同様、やはり位置によらず原子の比がほぼ一定であ
った。

また、この超伝導材の超伝導転移温度は６０にであった
。

実施例９ 実施例１において、Ｙ　（ＮＯ３）３をＨｏ　（ＮＯ３
）３に変えた。

得られた（ＨＯｏ、３３ＢａＯ，６７＞Ｉ　ＣｕＯ２，
２なる超伝導材は、実施例１て得られたものと同様、や
はり位置によらず原子の比がほぼ一定であった。

また、この超伝導材の超伝導転移温度は５９にであった
。

実施例１０ 実施例１において、Ｙ　（ＮＯ３）３をＥｒ（Ｎ０３）
３に変えた。

得られた（、Ｅ　ｒ　□、３３Ｂ　ａｏ、６７＞　Ｉ　
Ｃｕ　０２．２なる超伝導材は、実施例１で得られたも
のと同様、やはり位置によらず原子の比がほぼ一定であ
った。

また、この超伝導材の超伝導転移温度は６９にであった
。

実施例１１ 実施例１において、Ｙ　（ＮＯ３）３をＴｍ　（Ｎ０３
）３に変えた。

得られた（Ｔｍｏ、３３ＢａＯ，６７＞Ｉ　ＣｕＯ２，
２なる超伝導材は、実施例１で得られたものと同様、や
はり位置によらず原子の比がほぼ一定でめった。

また、この超伝導材の超伝導転移温度は５８にであった
。

実施例１２ 実施例１において、Ｙ　（ＮＯ３）３をＹｂ　（ＮＯ３
）３に変えた。

得られた（Ｙｂｏ、３３Ｂａｏ、６７）　Ｉ　ＣｕＯ２
，２なる超伝導材は、実施例１で得られたものと同様、
やはり位置によらず原子の比がほぼ一定であった。

また、この超伝導材の超伝導転移温度は６９にであった
。

実施例１３ 実施例１におイテ、Ｙ　（ＮＯ３）３をＬｕ　（ＮＯ３
）３に変えた。

得られた（　Ｌ　ｕｏ、３３Ｂ　ａＯ’、６７）　Ｉ　
Ｃｕ　０２．２なる超伝導材は、実施例１で得られたも
のと同様、やはり位置によらず原子の比がほぼ一定でお
った。

また、この超伝導材の超伝導転移温度は５５にでｄろ　
つ　ｌこ。

実施例］４ 実施例１において、水溶液を、Ｙ　（ＮＯ３）　３を８
０ｍｍｏｌ／ｌ　、Ｂａ　（ＨＮＯ３）　２を１６０ｍ
ｍｏｆ／ｌ　、　Ｃｕ　（ＨＮＯ３）　２を２４０ｍｍ
ｏｌ／ｌ、ＡＱ　（ＨＮＯ３）２を２０ｍｍｏｌ／ｌ含
むものに変えた。

得られた（Ｙ□、３１ＢａＯ，６Ａｇ□、１　）　１（
ＣｕＯ，Ｂ　Ａｇ０．２　＞　０２．２７なる超伝導材
は、実施例１で得られたものと同様、やはり位置によら
ず原子の比がほぼ一定であった。また、この超伝導材の
超伝導転移温度は５０にであった。

　２３　一 実施例１５ 実施例１４において、Ｙ　（ＮＯ３）３をＮｄ（ＮＯ３
）３に変えた。

得られた（Ｎｄ□、３　Ｅ３ａＯ，６Ａｇ□、１　）　
１（Ｃｕｏ、８△ｇ０．２　＞　０２．２７なる超伝導
材は、実施例１で得られたものと同様、やはり位置によ
らず原子の比かほぼ一定でめった。また、この超伝導材
の超伝導転移温度は６０にであった。

実施例１６ 実施例１４において、Ｙ　（ＮＯ３）３を３ｍ（ＮＯ３
）−３に変えた。

得られた（Ｓｍ（３３［３ａＯ，６Ａ　ｇ□、１’　＞
　１（Ｃｕ０．８　Ａｑｏ、２　＞　０２．２７なる超
伝導材は、実施例１で得られたものと同様、やはり位置
によらず原子の比がほぼ一定でめった。また、この超伝
導材の超伝導転移温度は５０にでおった。

実施例１７ 実施例１４において、Ｙ　（ＮＯ３）３をＦｕ（’Ｎ０
３）３に変えた。

得られた（ＥＵＯ，３ＢａＯ，６Ａｇ０．１　＞　１（
ＣＵ□、Ｂ　Ａ’０□、２　）　０２．２７なる超伝導
材は、実施例１で得られたものと同様、やはり位置によ
らず原子の比がほぼ一定であった。また、この超伝導材
の超伝導転移温度は４９にであった。

実施例１８ 実施例１４において、Ｙ　（ＮＯ３）３をＧｄ（ＮＯ３
）３に変えた。

得られた（Ｇｄ０．３　ＢａＯ，６Ａｑｏ、１　＞　１
（Ｃｕ（１４Ａｇ０．２　）　０２．２７なる超伝導材
は、実施例１で得られたものと同様、やはり位置によら
ず原子の比がほぼ一定であった。また、この超伝導材の
超伝導転移温度は４９にであった。

実施例１９ 実施例１４において、Ｙ　（ＮＯ３）３をＤｙ（ＮＯ３
）３に変えた。

得られた（ＤＶ□、３　［３ａＯ，６ＡＱｏ、１　＞　
１（Ｃｕ０４　Ａｇ□、２　）０２．２７なる超伝導材
は、実施例１で得られたものと同様、やはり位置によら
ず原子の比がほぼ一定であった。また、この超伏導材の
超伝導転移温度は５２にであった。

実施例２０ 実施例１４において、Ｙ　（ＮＯ３）３をＨＯ（ＮＯ３
）３に変えた。

得られた＜１−ｔｏ。、３［３ａＯ，６ＡＱ□、１　）
　１（ＣｕＯ，８Ａｇ（３２＞　０２．２７なる超伝導
材は、実施例１で得られたものと同様、やはり位置によ
らず原子の比がほぼ一定でおった。また、この超伝導材
の超伝導転移温度は５８にでおった。

実施例２１ 実施例１４において、Ｙ　（ＮＯ３）３をＦｒ（ＮＯ３
）３に変えた。

得られた（Ｅ　’０．３８ａ□、６　Ａｇ□、１）１（
Ｃ’０．８　”０．２　＞　０２．２７なる超伝導材は
、実施例１で得られたものと同様、やはり位置によらず
原子の比がほぼ一定であった。また、この超伝導材の超
伝導転移温度は５０にでおった。

実施例２２ 実施例１４において、Ｙ　（ＮＯ３）３を丁ｍ（ＮＯ３
）３に変えた。

得られた（Ｔ−ｍ□、３　Ｅ３ａＯ，６Ａ”０．１　＞
　１（Ｃｕ０．８　Ａ”０．２　＞　０２．２７なる超
伝導材は、実施例１で得られたものと同様、やはり位置
によらず原子の比がほぼ一定でめった。また、この超伝
導材の超伝導転移温度は５５にであった。

実施例２３ 実施例１４においＴ、Ｙ　（ＮＯ３）　３をＹｂ（ＮＯ
３）３に変えた。

１ｑられた（Ｙｂ□、３　Ｅ３ａＯ，６ＡＱ□、１　）
１（ＣｕＯ，８Ａｇ０．２　＞　０２．２７なる超伝導
材は、実施例１で得られたものと同様、やはり位置によ
らず原子の比がほぼ一定であった。また、この超伝導材
の超伝導転移温度は５３にであった。

実施例２４ 実施例１４において、Ｙ　（ＮＯ３）３を１ｕ（ＮＯ３
）３に変えた。

得られた（ｍｕ□、３　Ｅ３ａＯ，６ＡＱ□、１　）　
１（Ｃｕ　Ｏ，Ｂ　Ａ　Ｑ　□、２）　０２．２７なる
超伝導材は、実施例１で得られたものと同様、やはり位
置によらず原子の比がほぼ一定であった。また、この超
伏導材の超伝導転移温度は５５にであった。

（発明の効果） この発明の方法は、基材に、その長手方向に対して直交
する方向から、必要な元素を含む化合物の溶液の霧滴流
を接触させるので、必要な元素を含む揮発性化合物を蒸
発させて使用する従来のＣＶＤ法にくらべて、実施例に
も示したように、基材上への膜の形成が大変容易で、均
一性の高い超伝導材を得ることができるようになる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）一般式（α＿１＿−＿ｘＢａ＿ｘ）＿ｚＣｕＯ＿
   ４＿−＿ｙただし、 α：Ｙ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｄｙ、 Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂまたはＬｕ ０＜ｘ＜１ ０≦ｙ＜２ ０．５≦ｚ≦３ で表わされる超伝導材の製造方法であって、上記α、Ｂ
   ａおよびＣｕの元素を含む化合物の溶液の霧滴流を、加
   熱された繊維状またはテープ状基材にその長手方向に対
   して直交する方向から接触させ、上記基材に膜状の超伝
   導材を形成することを特徴とする、超伝導材の製造方法
   。 （２）一般式（α＿ａＢａ＿ｂＡｇ＿ｃ）＿ｚ（Ｃｕ＿
   ｄＡｇ＿ｅ）Ｏ＿４＿−＿ｙ ただし、 α：Ｙ、Ｎｄ、Ｓｍ、ＥＵ、Ｇｄ、Ｄｙ、 Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂまたはＬｕ ａ＞０ ｂ＞０ ０≦ｃ＜０．４ ａ＋ｂ＋ｃ＝１ ０．５＜ｄ＜１ ０＜ｅ≦０．５ ｄ＋ｅ＝１ ０≦ｙ＜２ ０．５≦ｚ≦３ で表わされる超伝導材の製造方法であって、上記α、Ｂ
   ａ、ＡｇおよびＣｕの元素を含む化合物の溶液の霧滴流
   を、加熱された繊維状またはテープ状基材にその長手方
   向に対して直交する方向から接触させ、上記基材に膜状
   の超伝導材を形成することを特徴とする、超伝導材の製
   造方法。