JPH01230420A - 内部に有機基を有する多孔質球状シリカ微粒子 - Google Patents

内部に有機基を有する多孔質球状シリカ微粒子

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JPH01230420A
JPH01230420A JP63056131A JP5613188A JPH01230420A JP H01230420 A JPH01230420 A JP H01230420A JP 63056131 A JP63056131 A JP 63056131A JP 5613188 A JP5613188 A JP 5613188A JP H01230420 A JPH01230420 A JP H01230420A
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Tadahiro Yoneda
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    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/113Silicon oxides; Hydrates thereof
    • C01B33/12Silica; Hydrates thereof, e.g. lepidoic silicic acid
    • C01B33/16Preparation of silica xerogels
    • C01B33/163Preparation of silica xerogels by hydrolysis of organosilicon compounds, e.g. ethyl orthosilicate

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は内部に有機基を有する多孔質球状シリカ微粒子
に関するものである。該微粒子は吸着剤、乾燥剤、撥水
剤、増粘剤、消泡剤、滑り性向上剤、光拡散剤、固体潤
滑剤、化粧品、塗料、ゴム、樹脂及び紙の充填剤、クロ
マトグラフのカラム充填剤等として有用である。
し従来の技it’i 、Thび発明か解決しようとする
問題点〕粒子内部骨格中のケイ毒原子に有機基がその炭
素原子との結合を介して存在するいわゆる内部に有機基
を有するシリカ黴粒子(以下、含有機シリカ黴粒子と称
す。)が、ケイ素−炭素結合した有機基を有する加水分
脈 縮合可能なゲイ素化合物原料(以下、有機シリカ原
1′」ど称す。)と、場合によりケイ素−炭素結合した
有機基を有しない縮合可能なケイ素化合物原料(以下、
シリカ原料と称す。)を共縮合して得られることは従来
より知られている3、例えば含有機シリカ黴粒子の製法
として、特公昭59−15083号公報にシリカ原料と
してアルカリ金属ケイ酸塩を用いる方法か、また特開昭
61−243828号公報には有機シリカ原料及びシリ
カ原料として塩素化合物を用いる方法が開示されている
。しかしこれらの方法では粒子中に原料由来のアルカリ
金属又は塩素が混入し、水洗、抽出等の操作を行っても
完全に除去することができず、用途が限定されるという
問題があった。
不純物が少ない含有機シリカ黴粒子の製法としては、有
機シリカ原料としてメチルトリアルコキシシラン又はそ
の縮合物を用いる方法(特開昭60−13813号公報
)、有機シリカ原イ4どしてフェニルトリエトキシシラ
ン、ビニルトリエトキシシラン、メタクリロキシプロピ
ルトリメトキシシランを用い、シリカ原木4としてテト
ラエトキシシランを用いて加水分解、共縮合する方法(
第6回前機高分子討論会予稿集、第66〜67頁、19
87年)か示されている。しかしこれらの方法によって
得られる含有機シリカ微粒子は、 (1)粒子形状が真
珠である、 (2)1廟度分布がシャープである、 (
3)多孔質である、という性質をすべて満足するものは
ない。
ここで上記性質の中で(3)の項は、従来一般にBET
比表面積値か大きければ多孔質であると定性的に言われ
ているが、比表面積は粒子径により大きく左右される事
を考慮する必要がある。平滑な表面を有する非孔質な真
球状粒子の場合、3XdXρ=6 (但し、Sは比表面積(m:/g)、dは数平均粒子径
(m)、ρは粒子の密度(g/m3)をそれぞi″L表
わす。) と計算され、実際にSとしてBET法により測定された
値、dとして電子顕微鏡により測定される数平均粒子径
、ρとして真比重測定器による測定値を代入すると良く
一致する。従来公知のき有機シリカ黴粒子は、仮に上記
性質のうち(1)項又は(2)項を満足するものであっ
ても(3)項即ちSXd×ρ〉180を満足するものは
知られていない。本発明の目的どするところは(1)項
、(2)項、 (3)項ともに十分に満足する内部に有
機基を有する多孔質球状シリカ微粒子である。
[問題点を解決するための手段] 本発明は、平均組成が一般式(I) RnSi04−。
m:「− (但し、Rは直接ケイ素原子に結合する炭素原子を有す
る有機基の平均組成を示し、nは1までの正の数をそれ
ぞれ表わす。) で示きれ、下記に示す(A)〜(D)の物性をすべて満
足することを特徴とする内部に有機基を有する多孔質球
状シリカ黴粒子として特定される。
CA)Sx(3xρ〉180 (但し、S Ii B E T法によりXJ11定した
粒子の比表面積(m′−/g)、dは電子顕微鏡観察に
よりθ、11定した数平均粒子径(m)、ρは粒子の密
度(g/m’)をそれぞ21表わす1.)(B)平均粒
子径か0.05〜110l1の範囲にある。
(C)粒子径の標準輪差値が1.0〜1.5の範囲にあ
る。
(D)実質的にアルカリ金属及び塩素を含まない。
このように特定される内部に有機基を有する多孔質球状
シリカ黴粒子は従来の公知の技術では得られない新規な
ものである。
本発明でいう多孔質とは5XdXρ〉180なる関係式
を満足するものをいう。又、実質的にアルカリ金属及び
塩素を含まないとは、微粒子中アルカリ金属及び塩毒が
それぞれ1 ppm以下の実質上無視しうる含量である
ことを示す。これは微粒子原梱どしてシリカ原料又は有
機シリカ原料にアルカリ金属ケイ酸塩又は塩化り゛イ素
化合物を用いて粒子化後説アルカリ金属処理又は脱塩素
処理を施しても到達しえない金策である。
本発明者らが従来公知の技術では本発明でいう多孔質球
状シリカ微粒子が得られない原因について種々検討した
ところ、加水分解、縮合時の反応条件泣び加水分解、縮
合後得ら)’+ノコ黴粉粒子懸濁体り微粒子を単離する
条件に問題かあることが判明し、更に検討を重ねlコ結
果、上記問題点を克服した製法により初めて新規な内部
に有機基を有する多孔質球状シリカ微粒子が得られL二
のである。
本発明に示す内部に有機基を有する多孔質球状シリカ微
粒子の製法例について以下に詳述する。
加水分解、縮合可能な一般式(II) R’、、5iX4−□ (但し、R′は置換基を有していてもよい、アルキル基
、アリール基及び不飽和脂肪族残基からなる群から選ば
れる少くとも一種の基、Xは水素原子、水酸基、アルコ
キシ基、アルコキシ基からなる群から選ばれる少くとも
一種の基、mはO〜3の範囲の整v1.をそれぞれ表わ
す。)で示とれるシラン化合物及びその誘導体からなる
群から選ばれる少なくとも一種(但し、−数式(II)
においてm−0,2または3て示されるシラン化合物又
はその誘導体の単独使用は除く。)を触媒と水を含む有
機性溶液中で加水分角族を宿合して、内部に有機基を有
する球状シリカ水和物微粒子の有機性溶液1u濁体とす
る。該lL!、濁体より水和物微粒子を単8にシて乾燥
する時点又1よそれ以前に、常圧での沸点が120℃以
上のアルコール(以下、アルコール(A)と称す。)を
微粒子内部細孔内表面のシラノール基と結合せしめ、そ
の後句粒子を単i’i[l、乾燥及び場合により焼成す
ることにより製造しうる。
ここで−数式(IT)に示す化合物としては、テトラメ
トキシシラン、テトラエトキシシラン、テトライソプロ
ポキシシラン、テトラブトキシシラン、トリメトキシシ
ラン、トリエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン
、トリメトキシビニルシラン、トリエトキシビニルシラ
ン、3−グリシドギシプロピルトリメトキシシラン、3
−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−(2−
アミノエヂルアミノプロピル)トリメトキシシラン、フ
ェニルトリメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラ
ン、ジメトキシジメチルシラン、ジメトキシメチルシラ
ン、ジェトキシメチルシラン、ジェトキシ−3−グリシ
ドキシプロピルメチルシラス ジメトキシジフェニルシ
ラン、ジメトキシジメチルフェニルシラン、トリメチル
メトキシシラン、トリメチルエトキシシラス ジメチル
エトキシシラン、ジメトキシジェトキシシラン、等のア
ルコキシシラン化合物、テトラアセトキシシラン、メチ
ルトリメトキシシラン、フェニルトリアセトキシシラン
、ジアセトキシジメチルシラン、ジアセトキシメチルシ
ラン、アセトキシトリメチルシラン等のアシロキシシラ
ン化合物、ジフェニルシランジオール、トリメチルシラ
ノール等のシラノール化合物等が挙げられる。
また、他の微粒子原料としては、これらシラン化合物の
誘導体かある19例えば、一部の加水分解性1s(X)
がカルボキシル基、β−ジカルボニル基などのキレート
化合物を形成しうる基で置換された化合物、あるいはこ
れらシラン化合物またはキレート化合物を部分的に加水
分解して得られる低縮合物かある。
上述した微粒子扉f4は一種単独で、又は二種以上を?
昆合して使用することがてぎる。しかし、m=2又は3
で示されるシラン化合物及び/又はその誘導体のみを原
オ・1としても内部に有機基を有する球状シリカ微粒子
が得られない。
−数式(II)に示す化合物の中でもXがアルコキシ基
であるアルコキシシラン化合物及び/又はその誘導体が
好ましい。その中でも特にメトキシシラン化合物及び/
又はその誘導体を用いると、シラノール基とアルコール
(A) との結合量を低くしても、本発明で示す内部に
有機基を有する多孔質球状シリカ微粒子か得られるので
特に好ましい。その場合更に多孔質な5XdXρ〉25
0を満足する微粒子とすることかできる。
上記一般式(II)で示されるシリコン化合物及び/又
はその誘導体(以下原料シラン化合物と称す。)は有機
性溶液と混合して加水分解・縮合される。混合方法は一
括、分割、連続など任意の方法をとることができるか、
その際原料シラン化合物の有機性溶液中の最終濃度は2
モル/リットル以下とした方か生成した粒子の凝集か起
こり難く好ましい。
有機性溶液とは、原料シラン化合物を溶解しうる有機溶
剤に水及び触媒が完全に溶解しているか、又は水及び触
媒かミセルとして有機溶剤中に均一に分散した溶液をい
う。ここで用いる有機溶剤としては、メタノール、エタ
ノール、イソプロパツール、n−ブタノール等のアルコ
ール類か好ましい。また触媒としては、アンモニア、尿
素、エタノールアミン、テトラメチルアンモニウムハイ
ドロオキサイド等が好ましい。
有機性溶液中に存在させる水、触媒量は粒子の形状や粒
子径、分散状態に影響を及ぼすので好ましい量に制御す
る必要があるが、有機性溶液における水及び触媒の濃度
は各々0.1〜50モル/リットル、O1]〜10モル
/リットルの範囲で調製することが好ましい。こ第1ら
:j原料シラン化合物の添加に応じて分割して)、弘加
することもてとる。
加水分解、縮合は、例えは上記しノニ原r↓シラン化合
物、!−/:二はその有を人溶創溶液を」−肥育(テ(
性溶液に添加し、0〜100℃の範囲、好ましくは0〜
70℃の範囲で30分〜100時間攪拌することによっ
て行われる。
このようにして原料シラン化合物を有機性溶液中で適切
な条件の元で加水分脈 縮合すれば球形でしかも粒度分
布の非常にシャープな水和物微粒子として析出し懸濁体
となる。その場合水和物黴゛拉子は、平均粒子径が0.
05〜1011mの範囲で任意の粒子径にコントロール
され、かつ粒子径の標準偏差値が1.0〜1.5の範囲
にあるような粒子とすることができる。ざらに原木1シ
ラン化合物の種類、及び濃度、反応温度、水濃度、触媒
の種類及び濃度、有機溶剤の種類、反応方法等を好まし
く選定することにより、凝集かなくかつ粒子径の1昭準
偏差値が1.0〜1.3の範囲にあるような均一な粒子
とすることかできる。
まt:、上記に示した加水分8衣 縮合条件下で粒子を
得た(以下第一の工程と称す0.)後、水、触媒を含む
有(^(性溶液を;水加し、原料シラン化合物と混合し
て加水分角族 縮合し第一の工程で得られた粒子を成長
させる(以下第二の工程と称す。)、いわゆる逐次反応
もとりうる。ざらに第二の工程で得られた粒子を種粒子
として逐次反応を行い、粒子を成長きせることも可能で
、逐次反応は何度でも繰り返すことができる。第一の工
程に使用した原料シラン化合物と第二の工程に使用した
原料シラン化合物の種類は同一であっても異なっても良
い。また、原料シラン化合物の濃度を変化させ粒子内に
有機基の濃度分布を作ることも可能である。特に原料シ
ラン化合物として、一般式(II)においてm=oで示
きれるシラン化合物及びその誘導体の単独使用または一
般式(I)においてn<0.2を満足するように一般式
(II)に示したシラン化合物及びその誘導体を使用し
て第一の工程を行い種粒子を得た後逐次反応を行い、最
終的に得られた粒子の平均組成が一般式(1)を満足す
るような内部に有(幾基を有する球状シリカ水和物微粒
子を製造する方法では、粒子径のコントロールが容易で
しかも得られた粒子は凝集がなく、かつ非常に均一な粒
度分布を有する粒子とすることができ好ま−しい。
次いでこのようにして得られた水和物微粒子表面のシラ
ノール基とアルコール(A)を結合せしめる。アルコー
ル(A)を結合させずに加熱処理を施すと粒子表面のシ
ラノール基の脱水縮合が容易に進行し、比表面積が急激
に低下して多孔質性か消失する。
ここでアルコール(A)とは常圧での沸点が120℃以
上のアルコールで例えば水と任意の割合で溶解する炭素
数が5個以上の一価アルコール、エチレングリコール、
プロピレングリコール、ジエチレングリコールなどの二
価アルコール、グリセリンなどの多価アルコール、ポリ
エチレングリ−14= コールやポリビニルアルコールなどの高分子アルコール
が好ましい。ざらに炭素数が4個以下であってアミノ基
やカルボキシル基などの官能基を有し、常圧での沸点が
120℃以−ヒのアルコールなラバよく、これらに限定
さオ′するものてはない。まノコ、沸点が同し程度でも
一部アルコールより二価アルコール、ざらに二価アルコ
ールより多価アルコールの方が結合景を低くしても本発
明で示す内部に有機基を有する多孔質球状シリカ微粒子
が得られるので好士しい。、常圧での沸点か120℃未
満のアルコールでは多孔質性に対する効果は小ざい。
シリカ水和物微粒子表面にアルコール(A)を結合対し
めるには種々の方法かとりうる。例えば(1)水和物微
粒子の有機性溶液懸濁体より該微粒子を遠心分離、δ6
過等によって分離した後、該微粒子にアルコール(A)
を十分含浸きせ加熱する方法。
(2)有機性溶液懸濁体又はその濃縮液にアルコール(
A)を添加した後該微粒子を分離して加熱する方法。
(3)有機性溶液懸濁体又はその濃縮液中の有機性溶液
の一部又は全部をアルコール(A)に加熱上溶媒置換し
て、溶媒置換と加熱を兼ねる方ン人、 (4)有(浅性(容液懸(筒体又はそのa縮液中の有(
工に性溶液の−・部又は全部をアルコール(A)に溶媒
置換した後加熱する方法1、 等かとりうる。
このように少なくとも水和物’L:121m子のシラノ
ール基か脱水縮合を起こしうる時点に該粒子表面にアル
コール(A)を存在きせることか重要である。
そうすることによりシラノール基とアルコール(A)と
の結合反応が起こりシラノール基どうしの脱水縮合が抑
えられるものと考えられる。
加熱温度は50℃以上好ましくは100℃以上アルコー
ル(A)の沸点以下の温度で処理することにより達成さ
れる。その時の操作圧力は減圧、常圧、加圧のいずれて
も良い。沸点とはその操作圧力での値をいう。加熱処理
中有機性溶液の蒸発留去を伴っても良い。
次いで得られたアルコール(A)を結合せしめた内部に
有機基を有する球状シリカ微粒子かアルコール(A)を
含む1u濁体の場合には、濾過、遠心分離、減圧濃縮等
行って単離した後又は単離すると同時に、あるいは扮体
の場合は引き続き50℃以上粒子内部に存在する有機基
の炭素原子と粒子内部骨格中のケイ詣原子との結合分解
温度以下で焼成することにより本発明の目的とする内部
に有機基を有する多孔質球状シリカ微粒子を製造するこ
とができる。
なお、以上記述した数値は後記した実施例中に記載の分
析・評価方法に基づいて定義されるものである。
[発明の効果] 本発明によれば、従来の技術で不可能であった新規な平
均粒子径が0.05〜10umの範囲で粒子径の標4偏
差値が1. 0〜1,5の範囲にあって粒度分布はシャ
ープであり、実施的にアルカリ金属及び塩素を含まない
内部に有機基を有するー〕6− 多孔質IEJi状シリカ黴粒子であって、産業工種々の
用途に利用することができ′る。
本発明の内部に有機基を有する多孔質球状シリカ微粒子
は高純度であり、しかも微細孔を多数有する。従って、
実際の使用に当っては、微粒子にアルカリ金属、塩素元
素、その他種々の元素又はその化合物を用いて任意量を
後処理することが可能であり吸着剤等の活性や選択性を
イ」!5−きせることか出来る。更に各種表面処理剤等
に使用きれる場合には細孔内に染料、屈折率調整剤、紫
タト線吸収剤等を有効に吸蔵きせることかできる。
更に有fy、lt基の量及び種類を任意に選択すること
によって粒子の真比重、溶剤、ゴム、及び樹脂等との親
和性を自由に制i卸することができる。
[実施例コ 以下、実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、
実施例によって本発明の範囲が制限されることはない。
なお、内部に有機基を有する多孔質球状シリカ微粒子の
形状、平均粒子径、標準備差値、比表面積、真比重、含
有アルカリ金属及び塩素量、及び結合有(池基景は下記
の方法により分析・評価した。
・粒子形状 5万倍の電子顕微鏡観察により判定した。
・平均粒子径)之び標準偏差値 5万倍の電子顕微鏡撮影像の任意の粒子300個の粒径
を実イnすして下記の式より求めた。
Σ  d 。
j;1 平均粒子径(d)=  − d+σn−1 標準偏差値  = □ ・比表面積(Sの測定) BET法により比表面積を測定した。
・真比重(ρの測定) 島津製オートビクツメーター1320を使用して真比重
を測定しL二。
・含有アルカリ金属及び塩素量 得られt:内部に有機基を有する多孔質球状シリカ?W
1粒子を5%フッ化水米酌水溶液に溶解し、アルカリ金
属は原子吸光分析により、また塩素はイオンクロマトグ
ラフにより定量した。
・結合有桟基旦(nの測定) アルコール めた後の懸濁体または、アルコール(A)性懸濁体の一
部を50℃にて真空乾燥し、溶媒などの揮発成分を完全
に除去して微粒子の粉体試料を得る。得られた粉体試料
約5gを精秤し、0、  05N−NaOH水;容1?
’Z25(1++Hこ添加し、室温で10時間(晃拌を
続ける。これにより微粒子中の加水分解性基は全て加水
分解されて水溶液に抽出される。該懸濁液中の微粒子を
超遠心−19= 分離により分離、水洗をくり返し行つLこ後、200℃
で5時間乾燥した微粒子粉末試料について、元素分析に
より全炭素含量を測定し、原料に用いたR′□SiX4
−□のm個のR′の平均炭素数より一般式(I)中のR
を計算した上でnを求めL:。牛た一方でFT−IRに
より粒子暑 中の一si−Cの結合についても確認した。
実用1汁上 攪拌(憩 滴下口、温度計を備えた21ルントルのガラ
ス製反応器にメタノール933ミリ1月ントル及び28
%アンモニア水溶液100gを添加した後、ざらにアン
モニアガスを吹き込み17gを吸収きせて混合しアンモ
ニア濃度を調整した。該有機性溶液を10−10.5℃
に調整し、攪拌しなからテトラメトキシシラン81g及
びフェニルトリメトキシシラン53gの混合物をメタノ
ール133mlに希釈した溶液を滴下口より1時間かけ
て滴下し、滴下後、内ン晶を50℃まで上げて5時間攪
拌を続は熟成して加水分解を行い、内部に有機基を有す
る球状シリカ水和物微粒子の懸濁体を得た。この時の最
終溶液全量に対する各原料の濃度は、テトラメトキシシ
ラン0.40モル/リットル、フェニルトリメトキシシ
ラン0.20モル/リットル、水3.0モル/リットル
、アンモニフ’2.0モル/す・ントルであ1L二。
一方、夕)部より熱媒加熱しうる[社拌器、滴下口、温
度計、留出ガス出口を備えに1リットルのガラス製蒸発
釜ど留出ガス出口に続き留出ガス凝縮器、減圧吸引口、
凝縮液受は器からなる蒸発装置の蒸発釜にエチレングリ
コール300gを仕込み、攪拌しなから系内を常圧にし
て熱媒温度を120℃に設定した。次いで滴下口より上
に得られた懸濁体を連続的に供給し、メタノール、水、
アンモニア及び蒸気成分のエチレングリコールを含むア
ルコール性溶媒を留去させ、懸濁体の供給終了後熱媒温
度を230℃に設定し、エチレングリコールの沸点下で
5時間加熱を続は溶媒置換を行い、内部に有機基を有す
る球状シリカ微粒子のエチレングリコール懸濁体を得た
。次いでエバポレーターを用いて90℃で減圧濃縮して
エチレングリコールを除去しL二。得られtこ粉体を4
00℃で焼成して、内部に有機基を有する多孔質球状シ
リカ徹粒子を製造した。その結果を表2に示す。
笈庭五2ごj シラン化合物またはその誘導体の種類、組成比、有機溶
剤の種類、最終、′6液金星に夕」する各原料の濃度、
反応温度、アルコール(A)の種類、及び焼成fFa度
等の反応条件を表1に示した通りとする以外は例1と同
様にして内部に有機基を有する多孔質球状シリカ黴粒子
を製造した。その結果を表2に示す。
友見■1 シラン化合物またはその誘導体の種類、組成比、有1人
溶剤の種類、最終溶液全量に対する各原料の濃度、反応
温度等の反応条件を表1に示した通りとする以外は実施
例1と同様にして水和物微粒子の懸濁体を得た。続いて
、i晋拌機、滴下口、温度計を脩えた10リツトルのガ
ラス製反応器に得られた水和物微粒子の懸濁体を移し、
前と同じ条件でテトラブトキシシラン及びジアセトキシ
ジメチルシランの混合物を加水分解し逐次反応を行い、
水和物1斂粒子の懸濁体を得た。この時の最終溶液全量
は6.2リツトルであった。
次にアルコール(A’)の種類、及び焼成温度を表1に
示した通りとする以外は実施例1と同様にして内部に有
(、に基を有する多孔′直球状シリカ微粒子を製造した
。その結果を表2に示す。
実動り隊旦 シラン化合物またはその誘導体の種類、組成比、有機溶
剤の種類、最終溶く仮全量に対する各原料の0に度、反
応温度等の反応条件を表1に示した通りとする以外は例
1と同様にして水和物微粒子の懸濁体を得た。続いて、
攪拌機、滴下口、温度計を備えた10リツトルのガラス
製反応器に得られた水和物微粒子のIV濁体を移し、前
と同じ条件でテトラブトキシシラン及びジェトキシメチ
ルシランの混合物を加水分解し逐次反応を行い、水和物
微粒子の懸濁体を得た。この時の最終溶液全量は8.6
リツトルであった。
ざらに得られた水和物vI粒子の懸濁体を115量に減
らして、再び同じ条件で逐次反応を続行し、水和物微粒
子の懸濁体を得た。この時のR終溶液全量は、8. 0
リツトルてあっt:。
次にアルコール(A)の種類、及び焼成温度を表1に示
しtこ通りとする以外は実施例1と同様にして内部に有
機基を有する多孔質球状シリカ黴粒子を製造した。その
結果を表2に示す。
丸見1 1昼拌機、滴下口、(温度計を備えた2リツトルのガラ
ス製反応器にメタノール507.7g、28%アンモニ
ア水242.9gを添加して混合した。
該有機性溶液を15±0.5℃に調整しくW拌しながら
、テトラメトキシシラン91.3gを滴下口より1時間
かけて滴下し、滴下後も1時間攪拌を続は加水分解を行
い、内部に有機基のない球状シリカ水和物微粒子(9−
a)の懸濁体を得た。この時、最終溶液全量は1. 0
リツトルであり、また最終溶液全景に対する各原料の濃
度は、テトラメトキシシラン0.60モル/リットル、
水9.72モル/リットル、アンモニア4.00モル/
リットルであった。
続いて、j髭拌機、滴下口、温度計を備えた5リットル
のガラス製反応器に得られた内部に有機基のない球状シ
リカ水和物微粒子(9−a)の懸濁体を移し、シラン化
合物まtitよその誘導体の種類、組成比、有機溶剤の
種類、最終溶液全量に対する各原料の濃度等の反応条件
を表1に示した通りとする以外(よ同様にして逐次反応
を行い、内部に有機基を有する球状シリカ水和物微粒子
(9−b)の懸濁体を得j二。この時の最終溶液全量は
4. 0リツトルであった。
次にアルコール(A)の種類及び焼成温度を表1に通り
とする以外は実施例1と同様にして内部に有機を有する
多孔質球状シリカ微粒子を製造した。その結果を表2に
示す。
E改五上−迄 シラン化合物またはその誘導体の種類、組成比、有機溶
剤の種類、最終溶液全量に対する各原料の濃度、反応温
度等の反応条件を表1に示した通りとする以外は実施例
1と同様にして水和物微粒子の1【温体を得た。
続いて得られた水和物微粒子の懸濁体をエバポレーター
を用いて、50℃で減圧濃縮して套被溶剤、水及びアン
モニアを留去した。得られた粉体を350℃で焼成して
、内部に有機基を有する球状シリカ微粒子を製造した。
その結果を表2に示手続補正書 (自発) 昭和63年4月19日

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 平均組成が一般式( I )R_nSiO_4_−_
    n(但し、Rは直接ケイ素原子に結合する炭素原子を有
    する有機基の平均組成を示し、nは1までの正の数をそ
    れぞれ表わす。) で示され、下記に示す(A)〜(D)の物性をすべて満
    足することを特徴とする内部に有機基を有する多孔質球
    状シリカ微粒子。 記 (A)S×d×ρ>180 (但し、SはBET法により測定した粒子の比表面積(
    m^2/g)、dは電子顕微鏡観察により測定した数平
    均粒子径(m)、ρは粒子の密度(g/m^3)をそれ
    ぞれ表わす。) (B)平均粒子径が0.05〜10μmの範囲にある。 (C)粒子径の標準偏差値が1.0〜1.5の範囲にあ
    る。 (D)実質的にアルカリ金属及び塩素を含まない。 2 (A)の物性がS×d×ρ>250を満足すること
    を特徴とする請求項1に記載の内部に有機基を有する多
    孔質球状シリカ微粒子。 3 (C)の物性である粒子径の標準偏差値が1.0〜
    1.3の範囲であることを特徴とする請求項1または2
    に記載の内部に有機基を有する多孔質球状シリカ微粒子
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997007056A1 (de) * 1995-08-16 1997-02-27 Merck Patent Gmbh PORÖSE MONODISPERSE SiO2-PARTIKEL
WO2000068300A1 (de) * 1999-05-06 2000-11-16 Merck Patent Gmbh Verfahren zur herstellung von perlpolymerisaten
JP2006352118A (ja) * 2000-04-10 2006-12-28 Jsr Corp 層間絶縁膜形成用組成物、層間絶縁膜の形成方法およびシリカ系層間絶縁膜
JP2014152048A (ja) * 2013-02-05 2014-08-25 Tokuyama Corp 乾式シリカ微粒子
JP2018048042A (ja) * 2016-09-21 2018-03-29 Jsr株式会社 シリカ系粒子の製造方法、シリカ系粒子、および化学機械研磨用組成物

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