JPH01212229A - 超電導材料 - Google Patents
超電導材料Info
- Publication number
- JPH01212229A JPH01212229A JP63036688A JP3668888A JPH01212229A JP H01212229 A JPH01212229 A JP H01212229A JP 63036688 A JP63036688 A JP 63036688A JP 3668888 A JP3668888 A JP 3668888A JP H01212229 A JPH01212229 A JP H01212229A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- current density
- critical current
- superconducting
- superconducting material
- oxygen atmosphere
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- -1 and M is C a Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 8
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- QXYJCZRRLLQGCR-UHFFFAOYSA-N dioxomolybdenum Chemical compound O=[Mo]=O QXYJCZRRLLQGCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- JKQOBWVOAYFWKG-UHFFFAOYSA-N molybdenum trioxide Chemical compound O=[Mo](=O)=O JKQOBWVOAYFWKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 3
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NGDQQLAVJWUYSF-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-2-phenyl-1,3-thiazole-5-sulfonyl chloride Chemical compound S1C(S(Cl)(=O)=O)=C(C)N=C1C1=CC=CC=C1 NGDQQLAVJWUYSF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- ITHZDDVSAWDQPZ-UHFFFAOYSA-L barium acetate Chemical compound [Ba+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O ITHZDDVSAWDQPZ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- OPQARKPSCNTWTJ-UHFFFAOYSA-L copper(ii) acetate Chemical compound [Cu+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O OPQARKPSCNTWTJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- ABGLZESYHATICB-UHFFFAOYSA-N ethanol;molybdenum Chemical compound [Mo].CCO.CCO.CCO.CCO.CCO ABGLZESYHATICB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000011163 secondary particle Substances 0.000 description 1
- 238000010583 slow cooling Methods 0.000 description 1
- 229910002076 stabilized zirconia Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E40/00—Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
- Y02E40/60—Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
Landscapes
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明はジョセフソン素子、超電導モーター、超電導マ
グネット等に用いる超電導材料に関する。
グネット等に用いる超電導材料に関する。
(従来の技術)
超電導材料の応用分野を広げるには高臨界温度であるこ
とは必要不可欠であるが1987年2月にHOuStO
n大学のC−W−Chuらにより臨界温度が90に級の
超電導物質が発見されるにいたり超電導市場は数兆円と
見積られるように巨大なものとなった。この高臨界温度
超電導物質はYIB a2Cu3O?−yよりなるもの
である。詳細はPhysical Review L
etters、vol、58.No9,908−910
に述べられている。
とは必要不可欠であるが1987年2月にHOuStO
n大学のC−W−Chuらにより臨界温度が90に級の
超電導物質が発見されるにいたり超電導市場は数兆円と
見積られるように巨大なものとなった。この高臨界温度
超電導物質はYIB a2Cu3O?−yよりなるもの
である。詳細はPhysical Review L
etters、vol、58.No9,908−910
に述べられている。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら前記従来の超電導材料の臨界電流密度は単
結晶ではJapanese Journal of
Applide Physics Vol、26
No、7 1987 pp、L1248−Ll25
0に述べら−れているように1.8 * 10”A/c
m 2 (液体窒素冷却)と高いが多結晶体になると多
数の論文で述べられているように1*10’A/cm2
以下と低く、中でも焼結体は100OA/cm2前後と
たいへん低いものであった。このため応用範囲が限定さ
れたものになっていた。この臨界電流密度低下の原因は
結晶の配向が悪いためと粒界部に電流を阻害する第2相
が析出しているためである。特に第2相析出の影響が大
きい。
結晶ではJapanese Journal of
Applide Physics Vol、26
No、7 1987 pp、L1248−Ll25
0に述べら−れているように1.8 * 10”A/c
m 2 (液体窒素冷却)と高いが多結晶体になると多
数の論文で述べられているように1*10’A/cm2
以下と低く、中でも焼結体は100OA/cm2前後と
たいへん低いものであった。このため応用範囲が限定さ
れたものになっていた。この臨界電流密度低下の原因は
結晶の配向が悪いためと粒界部に電流を阻害する第2相
が析出しているためである。特に第2相析出の影響が大
きい。
尚単結晶は大口径化が困難であるため実用化に向けては
多結晶に於て臨界電流密度を上げる必要がある。
多結晶に於て臨界電流密度を上げる必要がある。
本発明はこの様な問題を解決するものであり、その目的
上するところは臨界電流密度が高く応用範囲の限定の少
ない超電導材料を得んとするものである。
上するところは臨界電流密度が高く応用範囲の限定の少
ない超電導材料を得んとするものである。
(課題を解決するための手段)
上記の問題を解決するため本発明の超電導材料は1 )
L n lM2Cu3O7−y系超電導物質(ここで
LnはS c 、Yを含む希土類元素からなる群より選
ばれる1種もしくは複数種元素の組合せでありMはCa
、Sr、Baまたはそれらの組合せ)にMoをM o
/ Cu比(原子比)が0.0002〜0.04の範囲
内で添加したことを特徴とする。
L n lM2Cu3O7−y系超電導物質(ここで
LnはS c 、Yを含む希土類元素からなる群より選
ばれる1種もしくは複数種元素の組合せでありMはCa
、Sr、Baまたはそれらの組合せ)にMoをM o
/ Cu比(原子比)が0.0002〜0.04の範囲
内で添加したことを特徴とする。
(実施例)
以下実施例に従い本発明の詳細な説明する。
実施例−1
最初にスパッタ法により作成した薄膜により説明する。
第1表に示した組合せにより酸化物微粉末を混合分散し
た後900°C酸素雰囲気中に於て8時間仮焼、次t、
:Mo03(叉はMo02)の微粉末を加え混合分散し
その後3O0kg/ c m ”で加圧成形、最後に9
50°C酸素雰囲気中に於て2時間焼結し直径4インチ
厚さ5mmのターゲットを得る。Moの分散性が悪いと
きは焼結後微粉砕し再度焼結する。微粉末の混合割合は
成膜後ICP分析や蛍光X線分析を行い膜の組成比がL
n (Sc、Yを含む希土類元素)−M(アルカリ土類
):Cu=1:2:3近傍になるように補正する。
た後900°C酸素雰囲気中に於て8時間仮焼、次t、
:Mo03(叉はMo02)の微粉末を加え混合分散し
その後3O0kg/ c m ”で加圧成形、最後に9
50°C酸素雰囲気中に於て2時間焼結し直径4インチ
厚さ5mmのターゲットを得る。Moの分散性が悪いと
きは焼結後微粉砕し再度焼結する。微粉末の混合割合は
成膜後ICP分析や蛍光X線分析を行い膜の組成比がL
n (Sc、Yを含む希土類元素)−M(アルカリ土類
):Cu=1:2:3近傍になるように補正する。
また第1表組合せN096に於てBaとSrの比は1:
1である。尚組成比の補正時にはコーニング#705
9ガラス基板を用いた。
1である。尚組成比の補正時にはコーニング#705
9ガラス基板を用いた。
(後に述べる実際用いる基板にはYが含まれるため)
第1表
次に得られたターゲットを用いRFマグネトロンスパッ
タ法により厚さ900nmの薄膜をYSZ(イツトリウ
ム安定化ジルコニア)の焼結基板上に形成する。ここで
用いる基板は超電導物質とほぼ同じ線膨張係数を持った
ものがよい、スパッタ条件は初期真空度2.8*10−
’Torr、使用ガスAr(70%)02(3O%)の
混合ガス、スパッタ時のガス圧1.5〜2.1)klo
−”Torr、基板温度200℃である。尚この時の成
膜速度は4〜5nm/minであった0次に920℃酸
素雲囲気中に於て3時間アニールして超電導薄膜を得る
。アニール後の冷却は20℃/H程度の除冷である。
タ法により厚さ900nmの薄膜をYSZ(イツトリウ
ム安定化ジルコニア)の焼結基板上に形成する。ここで
用いる基板は超電導物質とほぼ同じ線膨張係数を持った
ものがよい、スパッタ条件は初期真空度2.8*10−
’Torr、使用ガスAr(70%)02(3O%)の
混合ガス、スパッタ時のガス圧1.5〜2.1)klo
−”Torr、基板温度200℃である。尚この時の成
膜速度は4〜5nm/minであった0次に920℃酸
素雲囲気中に於て3時間アニールして超電導薄膜を得る
。アニール後の冷却は20℃/H程度の除冷である。
得られた超電導薄膜の臨界温度と臨界電流密度を測定し
た。臨界温度の測定はインダクタンス法、臨界電流密度
は4端子法(液体窒素冷却)による。
た。臨界温度の測定はインダクタンス法、臨界電流密度
は4端子法(液体窒素冷却)による。
結果を第1図と第2表に示す。
第1図は第1表Nolの組成によるものでMoの添加量
による臨界温度と臨界電流密度の変化を示したものであ
る。この時の添加量はM o / Cu比(原子比)で
示されている0図より判るようにMoを添加することに
より臨界電流密度は大幅に向上している、これはMoの
添加により粒界部の第2相析出を抑制しているためであ
る。この他にも僅かではあるが臨界温度の上昇も見られ
、この点も臨界電流密度の向上に影響を与えているもの
と思われる。尚添加jlO,1の臨界温度(Tc、en
d)は64にで液体窒素温度(77K)以下であるのに
たいして超伝導状態にあるのは60に綴物質が部分的に
できているためである。 また添加量には制限が有り
、少なすぎると臨界電流密度の向上はなく多すぎると臨
界温度、臨界電流密度共に低下するためMoの添加量は
M O/ Cu比(原子比)で0.0002〜0.04
の範囲内であることが望ましい、第2表は第1表に示し
た組成(N。
による臨界温度と臨界電流密度の変化を示したものであ
る。この時の添加量はM o / Cu比(原子比)で
示されている0図より判るようにMoを添加することに
より臨界電流密度は大幅に向上している、これはMoの
添加により粒界部の第2相析出を抑制しているためであ
る。この他にも僅かではあるが臨界温度の上昇も見られ
、この点も臨界電流密度の向上に影響を与えているもの
と思われる。尚添加jlO,1の臨界温度(Tc、en
d)は64にで液体窒素温度(77K)以下であるのに
たいして超伝導状態にあるのは60に綴物質が部分的に
できているためである。 また添加量には制限が有り
、少なすぎると臨界電流密度の向上はなく多すぎると臨
界温度、臨界電流密度共に低下するためMoの添加量は
M O/ Cu比(原子比)で0.0002〜0.04
の範囲内であることが望ましい、第2表は第1表に示し
た組成(N。
1〜No 6 )の超電導物質にMoをM o / C
u比で0.002添加し時の臨界電流密度を添加無しの
比較例と共に示したものである。
u比で0.002添加し時の臨界電流密度を添加無しの
比較例と共に示したものである。
第2表
第2表より判るように超電導物質の組成が異なっても9
0に級セラミック超電導物質にはMoを添加することに
より臨界電流密度の向上がみられる。向上率は組成によ
りことなり希土類元素としてHoを用いたものの向上は
顕著である。
0に級セラミック超電導物質にはMoを添加することに
より臨界電流密度の向上がみられる。向上率は組成によ
りことなり希土類元素としてHoを用いたものの向上は
顕著である。
また得られた膜を電子顕微鏡で観察してみるとMoの添
加により面が僅かではあるが平滑化される傾向にある。
加により面が僅かではあるが平滑化される傾向にある。
この点も臨界電流密度向上に影響を与えている可能性が
ある。
ある。
尚実施例では薄膜成形法にスパッタ法を用いたが蒸着法
、プラズマ溶射法、イオンブレーティング法、クラスタ
ーイオンビーム法等でも効果は同じである。
、プラズマ溶射法、イオンブレーティング法、クラスタ
ーイオンビーム法等でも効果は同じである。
実施例−2
硝酸イツトリウム、酢酸バリウム、酢酸銅鋼を純水に入
れ加熱(90℃)しながら攪拌分散させる。この時のイ
ツトリウム、バリウム、銅の比は1:2:3である1次
にこの液体にペンタエトキシモリブデンを加え同様に攪
拌分散させた後乾燥させ、さらに3O0″Cで加熱し燃
焼させる。(3O0℃で加熱すると初めは粘土状になる
が最後は燃焼して粉末状になる。)得られた粉末を85
0℃酸素雰囲気中で8時間仮焼、40(>kg/cm”
で加圧成形した後950°C酸素雰囲気中に於て3時間
焼成し超電導材料を得る。仮焼、焼成後の冷却は共に2
0℃/H程度の除冷である。また本実施例に用いる原料
は炭素が多いため仮焼温度には注意が必要である。高過
ぎると表面が溶融しガスとして外部にでないため内部に
多くの炭素が取り残されてしまい臨界電流密度の低下を
招く。
れ加熱(90℃)しながら攪拌分散させる。この時のイ
ツトリウム、バリウム、銅の比は1:2:3である1次
にこの液体にペンタエトキシモリブデンを加え同様に攪
拌分散させた後乾燥させ、さらに3O0″Cで加熱し燃
焼させる。(3O0℃で加熱すると初めは粘土状になる
が最後は燃焼して粉末状になる。)得られた粉末を85
0℃酸素雰囲気中で8時間仮焼、40(>kg/cm”
で加圧成形した後950°C酸素雰囲気中に於て3時間
焼成し超電導材料を得る。仮焼、焼成後の冷却は共に2
0℃/H程度の除冷である。また本実施例に用いる原料
は炭素が多いため仮焼温度には注意が必要である。高過
ぎると表面が溶融しガスとして外部にでないため内部に
多くの炭素が取り残されてしまい臨界電流密度の低下を
招く。
得られた超電導材料の臨界電流密度を4端子法により測
定した。結果を第3表に示す。
定した。結果を第3表に示す。
第3表より°判るように粉末焼結超電導材料でもMoを
添加することにより顕著に臨界電流密度が向上している
。
添加することにより顕著に臨界電流密度が向上している
。
ここで焼結法がスパッタ法による薄膜に比べ臨界電流密
度が低いのはち密性が低いためと粒界部に欠陥が出来易
いためであり製造条件を詰めることによりMoの添加効
果をより引き出せるものと思われる。
度が低いのはち密性が低いためと粒界部に欠陥が出来易
いためであり製造条件を詰めることによりMoの添加効
果をより引き出せるものと思われる。
第3表
(発明の効果)
以上述べたように本発明によれば粒界部に析出する第2
相を抑制することが出来るため多結晶体でも高臨界電流
密度の超電導材料を得ることが可能となる。そのため応
用上の制約が少なくなり様々な優れた特性を持つ超伝導
材料を様々な分野に使用出来る。
相を抑制することが出来るため多結晶体でも高臨界電流
密度の超電導材料を得ることが可能となる。そのため応
用上の制約が少なくなり様々な優れた特性を持つ超伝導
材料を様々な分野に使用出来る。
第1図は本発明のMoの添加量による臨界温度と臨界電
流密度の変化を示した図である。 以上
流密度の変化を示した図である。 以上
Claims (1)
- 1)Ln_1M_2Cu_3O_7−y系超電導物質(
ここでLnはSc、Yを含む希土類元素からなる群より
選ばれる1種もしくは複数種元素の組合せでありMはC
a、Sr、Baまたはそれらの組合せ)にMoをMo/
Cu比(原子比)が0.0002〜0.04の範囲内で
添加したことを特徴とする超電導材料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63036688A JPH01212229A (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 | 超電導材料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63036688A JPH01212229A (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 | 超電導材料 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01212229A true JPH01212229A (ja) | 1989-08-25 |
Family
ID=12476765
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63036688A Pending JPH01212229A (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 | 超電導材料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01212229A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5583093A (en) * | 1991-03-22 | 1996-12-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Metal oxide material with Ln, Sr, Cu, O, optionally Ca, and at least one of Fe, Co, Ti, V, Ge, Mo, and W |
-
1988
- 1988-02-19 JP JP63036688A patent/JPH01212229A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5583093A (en) * | 1991-03-22 | 1996-12-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Metal oxide material with Ln, Sr, Cu, O, optionally Ca, and at least one of Fe, Co, Ti, V, Ge, Mo, and W |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Verma et al. | High-resistivity nickel–zinc ferrites by the citrate precursor method | |
JP3089294B2 (ja) | 超電導テープ材の製造方法 | |
DE3851364T2 (de) | Verfahren zur Herstellung von supraleitendem Material. | |
Sastry et al. | Synthesis and processing of (Hg, Pb) 1Ba2Ca2Cu3Oy superconductors | |
JPH01212229A (ja) | 超電導材料 | |
KR20030022336A (ko) | 임계전류밀도가 높은 MgB2계 초전도체 및 그의 제조방법 | |
JPH01212230A (ja) | 超電導材料 | |
Zhang et al. | Tunable Density of FeSe $ _ {1-x} $ Te $ _x $ Targets With High Pressure Sintering | |
JPH02167820A (ja) | T1系複合酸化物超電導体薄膜の成膜方法 | |
JP2003095650A (ja) | 臨界電流密度の高いMgB2系超電導体及びその製造方法 | |
WO1991005087A1 (en) | Single crystal oxide substrate, superconductor device produced therefrom, and producing thereof | |
JPH0345301A (ja) | 酸化物超伝導テープ線材の製造方法 | |
JPS63225599A (ja) | 酸化物超伝導薄膜の作製方法 | |
JP2801806B2 (ja) | 金属酸化物材料 | |
JPH01157009A (ja) | 超電導体薄膜 | |
JPH01234305A (ja) | 超伝導性材料及びその製造法 | |
JPH04202046A (ja) | 超電導セラミックス焼結体の製造方法 | |
JPH02120227A (ja) | Bi系酸化物超電導体の製造方法 | |
JP2525852B2 (ja) | 超電導薄膜の作製方法 | |
JPH0465306A (ja) | 酸化物超電導体薄膜 | |
JP2639510B2 (ja) | 超電導薄膜の作製方法 | |
JP2746759B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体 | |
JPS63274027A (ja) | 超電導材料の製造方法 | |
JPH0312321A (ja) | YーBaーCuーO系酸化物超電導薄膜およびその製造方法 | |
JPH02153822A (ja) | 酸化物超電導体組成物 |