JPH01207702A - 反射鏡 - Google Patents
反射鏡Info
- Publication number
- JPH01207702A JPH01207702A JP63031853A JP3185388A JPH01207702A JP H01207702 A JPH01207702 A JP H01207702A JP 63031853 A JP63031853 A JP 63031853A JP 3185388 A JP3185388 A JP 3185388A JP H01207702 A JPH01207702 A JP H01207702A
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- JP
- Japan
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- laser light
- supporting part
- cooling
- cooling water
- supporting
- Prior art date
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- Pending
Links
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、特に炭酸ガスレーザ加工機用の反射鏡に関す
る。
る。
（従来の技術）
近時、レーザ機器が急速に発達し、種々の光学部品が使
用されている。たとえば、炭酸ガスレーザ加工機には、
反射鏡として、平面又は非球面の反射鏡が用いられてい
る。このような反射鏡用の素材としては１通常、無酸素
鋼（ＯＦＣ）が用いられている。その理由は、■反射率
が高く吸収が少ない、■結晶に異方性が少なく、高純度
に製作できる。■熱伝導性が良い、■加工性にすぐれて
いる２等である。
用されている。たとえば、炭酸ガスレーザ加工機には、
反射鏡として、平面又は非球面の反射鏡が用いられてい
る。このような反射鏡用の素材としては１通常、無酸素
鋼（ＯＦＣ）が用いられている。その理由は、■反射率
が高く吸収が少ない、■結晶に異方性が少なく、高純度
に製作できる。■熱伝導性が良い、■加工性にすぐれて
いる２等である。
しかしながら、銅製の反射鏡は、錆がつきやすいととも
に１機械的強度が小さいため傷が入シやすい欠点をもっ
ている。ことに、使用条件の苛酷なレーザ集光部では、
寿命、取扱い等の点で問題があった。
に１機械的強度が小さいため傷が入シやすい欠点をもっ
ている。ことに、使用条件の苛酷なレーザ集光部では、
寿命、取扱い等の点で問題があった。
（発明が解決しようとする課題）
本発明は、上記事情を勘案してな搭れたもので、錆、傷
がつきに＜＜、力おかつ反射性能が曳好な反射鏡を提供
することを目的とする。
がつきに＜＜、力おかつ反射性能が曳好な反射鏡を提供
することを目的とする。
（課題を解決するための手段と作用）
レーザ光を反射する反射面を有する板状の反射部をモリ
ブデン又はタングステンよυ作）、さらにこの反射部を
高熱伝導率部材により支持させることにより、冷却特性
が良く、かつ製作容易表反射鑓を得ることができるよう
にしたものである。
ブデン又はタングステンよυ作）、さらにこの反射部を
高熱伝導率部材により支持させることにより、冷却特性
が良く、かつ製作容易表反射鑓を得ることができるよう
にしたものである。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳述する。
第１図は、との実施例の反射鏡（１）を示している。
この反射鏡（１）は、Ｍｏ （：ｅリプデン）製で例え
ば厚さ１０１０１ｌの薄板状の反射部（２）と、との反
射部（２）を−体的に支持する支持部（３）とからなり
ている。このような反射鏡（１）は、焼結により得られ
た素材を真空アーク溶解法により高密度・高純度化した
もの。
ば厚さ１０１０１ｌの薄板状の反射部（２）と、との反
射部（２）を−体的に支持する支持部（３）とからなり
ている。このような反射鏡（１）は、焼結により得られ
た素材を真空アーク溶解法により高密度・高純度化した
もの。
又は、二次再結晶により単結晶化したものであって、炭
酸ガスレーザ加工機の加工ヘッド（４）に組込まれてい
る。しかして、反射部（２）は、平面もしくは非球面の
反射面（５）を有している。この反射面（５）は、Ｍｏ
に対して親和性の小さい例えばＣＢＮ （ＣｕｂｉｃＢ
ｏｒｏｎ Ｎ１ｔｒｉｄｅ）等の工具により旋削、アル
イは、アルミナ（Ａ−ＺｆｆｉＯａ）などの遊離砥粒を
用いた研磨によ）創生したものである。この反射部（２
）の裏面は。
酸ガスレーザ加工機の加工ヘッド（４）に組込まれてい
る。しかして、反射部（２）は、平面もしくは非球面の
反射面（５）を有している。この反射面（５）は、Ｍｏ
に対して親和性の小さい例えばＣＢＮ （ＣｕｂｉｃＢ
ｏｒｏｎ Ｎ１ｔｒｉｄｅ）等の工具により旋削、アル
イは、アルミナ（Ａ−ＺｆｆｉＯａ）などの遊離砥粒を
用いた研磨によ）創生したものである。この反射部（２
）の裏面は。
例えばＴｉ（チタン）による液相拡散接合法により、支
持部（３）に固着されている。一方、支持部（３）は、
加工ヘッド（４）に連結されるフランジ部（６）と、こ
のフランジ部（６）に対して同軸に延設された本体部（
７）とから々りでいて、主としてダイヤモンドによる旋
削加工により製作されている。この本体部（７）は、一
端部、が斜めに欠切された円柱体状のものである。
持部（３）に固着されている。一方、支持部（３）は、
加工ヘッド（４）に連結されるフランジ部（６）と、こ
のフランジ部（６）に対して同軸に延設された本体部（
７）とから々りでいて、主としてダイヤモンドによる旋
削加工により製作されている。この本体部（７）は、一
端部、が斜めに欠切された円柱体状のものである。
そして、この欠切部位に反射部（２）が固着されている
。また、本体部（７）には、冷却水が循環する冷却孔（
８）が凹設されている。さらに、フランジ部（６）の先
端面には、０リング（９）が装着され、・図示せぬねじ
によりフランジ部（６）が加工ヘッド（４）に液密に取
付けられるようになっている。なお、このフランジ部（
６）が取付けられた加工ヘッド（４）には、冷却水の流
入口員と流出口αυが穿設されている。
。また、本体部（７）には、冷却水が循環する冷却孔（
８）が凹設されている。さらに、フランジ部（６）の先
端面には、０リング（９）が装着され、・図示せぬねじ
によりフランジ部（６）が加工ヘッド（４）に液密に取
付けられるようになっている。なお、このフランジ部（
６）が取付けられた加工ヘッド（４）には、冷却水の流
入口員と流出口αυが穿設されている。
しかして、上記構成の反射鏡の作動について述べる。
まず、流入口Ｑｌから冷却孔（８）内に冷却水を流入さ
せ、さらに冷却孔（８）内の冷却水を流出口αυから流
出させることにより、冷却水を冷却孔（８）内にて循環
させ、支持部（３）及び反射部（２）を冷却する。つい
で、図示せぬレーザ光源より加エヘッド（４）の円筒状
の案内部α々を介してレーザ光α謙を反射面（５）に入
光させる。すると、レーザ光（１３は、反射面（５）に
て下方に反射される。このとき、Ｍｏ製の支持部（２）
は、反射率が高（（９８，４％ ） 、かつ吸収が少な
いので、レーザ光ａ３の反射効率は大きい。また、レー
ザ光Ｑ３の入光とともに、支持部（２）は加熱されるが
、支持部（３）を介して冷却水により直ちに冷却される
。
せ、さらに冷却孔（８）内の冷却水を流出口αυから流
出させることにより、冷却水を冷却孔（８）内にて循環
させ、支持部（３）及び反射部（２）を冷却する。つい
で、図示せぬレーザ光源より加エヘッド（４）の円筒状
の案内部α々を介してレーザ光α謙を反射面（５）に入
光させる。すると、レーザ光（１３は、反射面（５）に
て下方に反射される。このとき、Ｍｏ製の支持部（２）
は、反射率が高（（９８，４％ ） 、かつ吸収が少な
いので、レーザ光ａ３の反射効率は大きい。また、レー
ザ光Ｑ３の入光とともに、支持部（２）は加熱されるが
、支持部（３）を介して冷却水により直ちに冷却される
。
とくに、Ｍｏ製の支持部（２）の熱伝導率は、銅製の支
持部（３）の約１／３であるが、薄板状に形成され、か
つ、支持部（３）に密着しているので、十分な冷却特性
を得ることができる。さらに、支持部（３）は、機械加
工が容易な銅製であるので、製作に要する時間が短縮す
るとともに１反射部（２）は薄板状であるので、所望の
反射特性を得るのに必要な高純度製造が可゛能と表る。
持部（３）の約１／３であるが、薄板状に形成され、か
つ、支持部（３）に密着しているので、十分な冷却特性
を得ることができる。さらに、支持部（３）は、機械加
工が容易な銅製であるので、製作に要する時間が短縮す
るとともに１反射部（２）は薄板状であるので、所望の
反射特性を得るのに必要な高純度製造が可゛能と表る。
なお、上記実施例において、反射部（２）は、Ｍｏ製で
あるが、タングステン問を用いてもよい。さらに、支持
部（２）の冷却孔（８）は、構造上、外壁部の直接冷却
で十分表場合は省略してよい。さらに、支持部（３）、
の材質は、Ｃｕに限ることなく、高熱伝導率を有するも
のであれば例えば幻（・アルミニウム）まどでもよい。
あるが、タングステン問を用いてもよい。さらに、支持
部（２）の冷却孔（８）は、構造上、外壁部の直接冷却
で十分表場合は省略してよい。さらに、支持部（３）、
の材質は、Ｃｕに限ることなく、高熱伝導率を有するも
のであれば例えば幻（・アルミニウム）まどでもよい。
本発明の反射鏡は、Ｍｏ又はＷ製で板状の反射部を、高
熱伝導率を有する支持部により支持させたので、レーザ
光による昇温冷却特性が向上する。
熱伝導率を有する支持部により支持させたので、レーザ
光による昇温冷却特性が向上する。
さらに、反射性能の良好な反射部の製作が容易となシ、
工数と生産コストの低減が可能となる。
工数と生産コストの低減が可能となる。
図面は本発明の一実施例の反射鏡の構成を示す図であ不
。 （１）：反射鏡、 （２） ：反射部。 （３）：支持部、 （５） ：反射面。 （８）：冷却孔。
。 （１）：反射鏡、 （２） ：反射部。 （３）：支持部、 （５） ：反射面。 （８）：冷却孔。
Claims (3)
- （１）モリブデン又はタングステンからなり一方の主面
が反射面となっている板状の反射部と、この反射部より
熱伝導率が高い材質からなり上記反射部の他方の主面に
密接して支持する支持部とを具備することを特徴とする
反射鏡。 - （２）支持部は銅製であることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の反射鏡。 - （３）支持部には冷却水が通過する冷却孔が設けられて
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の反射
鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63031853A JPH01207702A (ja) | 1988-02-16 | 1988-02-16 | 反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63031853A JPH01207702A (ja) | 1988-02-16 | 1988-02-16 | 反射鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01207702A true JPH01207702A (ja) | 1989-08-21 |
Family
ID=12342610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63031853A Pending JPH01207702A (ja) | 1988-02-16 | 1988-02-16 | 反射鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01207702A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06242306A (ja) * | 1993-02-18 | 1994-09-02 | Tohoku Electric Power Co Inc | 放物面セグメントミラー |
| WO2007144009A1 (de) * | 2006-06-12 | 2007-12-21 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh & Co. Kg | Bauteil einer laserbearbeitungsmaschine und verfahren zur herstellung einer korrosionsbeständigen beschichtung eines kanals des bauteils der laserbearbeitungsmaschine |
| JP2015208778A (ja) * | 2014-04-30 | 2015-11-24 | 三菱重工業株式会社 | レーザ受光装置及びレーザ加工ユニット |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5652701B2 (ja) * | 1973-11-06 | 1981-12-14 | ||
| JPS62180301A (ja) * | 1986-02-04 | 1987-08-07 | Toshiba Corp | 反射鏡 |
-
1988
- 1988-02-16 JP JP63031853A patent/JPH01207702A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5652701B2 (ja) * | 1973-11-06 | 1981-12-14 | ||
| JPS62180301A (ja) * | 1986-02-04 | 1987-08-07 | Toshiba Corp | 反射鏡 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06242306A (ja) * | 1993-02-18 | 1994-09-02 | Tohoku Electric Power Co Inc | 放物面セグメントミラー |
| WO2007144009A1 (de) * | 2006-06-12 | 2007-12-21 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh & Co. Kg | Bauteil einer laserbearbeitungsmaschine und verfahren zur herstellung einer korrosionsbeständigen beschichtung eines kanals des bauteils der laserbearbeitungsmaschine |
| US8435431B2 (en) | 2006-06-12 | 2013-05-07 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Method for producing a laser processing machine component having a corrosion-resistant internal coating |
| JP2015208778A (ja) * | 2014-04-30 | 2015-11-24 | 三菱重工業株式会社 | レーザ受光装置及びレーザ加工ユニット |
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