JP2626409B2 - ミラ−の冷却装置 - Google Patents
ミラ−の冷却装置Info
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- JP2626409B2 JP2626409B2 JP12978592A JP12978592A JP2626409B2 JP 2626409 B2 JP2626409 B2 JP 2626409B2 JP 12978592 A JP12978592 A JP 12978592A JP 12978592 A JP12978592 A JP 12978592A JP 2626409 B2 JP2626409 B2 JP 2626409B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は放射光ビ−ムラインの
放射光を試料に集光するミラ−の冷却装置に関するもの
である。
放射光を試料に集光するミラ−の冷却装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】シンクロトロン放射による放射光は極端
紫外線からＸ線までの広い範囲にわたって滑らかで強い
連続スペクトルを得られるという優れた特徴を有する。
このため物理，化学，生物学等の多方面の研究に利用さ
れている。この放射光ビ−ムラインにおいては、通常直
入射の光学系は使用できず、金属やＳｉＣ等を用いたミ
ラ−による反射を利用して実験試料に集光する斜入射光
学系が使用されている。この斜入射光学系では放射光を
ミラ−の反射面に対して、例えば0.2〜2.5度程度の小角
度で入射して反射させ、実験試料に集光するようにして
いるため、ミラ−は放射光の光軸方向に対して１ｍ前後
の非常に長い直方体のものが使用されている。そして放
射光を集光するために焦点距離は10〜30m程度で使用す
ることが多く、このためミラ−の反射面を曲率が200〜2
000m程度の曲面にする必要がある。このような大きい曲
率にミラ−の反射面を直接加工することは困難であるた
め、ミラ−に曲げ荷重を与えて放物面や楕円面に湾曲さ
せている。
紫外線からＸ線までの広い範囲にわたって滑らかで強い
連続スペクトルを得られるという優れた特徴を有する。
このため物理，化学，生物学等の多方面の研究に利用さ
れている。この放射光ビ−ムラインにおいては、通常直
入射の光学系は使用できず、金属やＳｉＣ等を用いたミ
ラ−による反射を利用して実験試料に集光する斜入射光
学系が使用されている。この斜入射光学系では放射光を
ミラ−の反射面に対して、例えば0.2〜2.5度程度の小角
度で入射して反射させ、実験試料に集光するようにして
いるため、ミラ−は放射光の光軸方向に対して１ｍ前後
の非常に長い直方体のものが使用されている。そして放
射光を集光するために焦点距離は10〜30m程度で使用す
ることが多く、このためミラ−の反射面を曲率が200〜2
000m程度の曲面にする必要がある。このような大きい曲
率にミラ−の反射面を直接加工することは困難であるた
め、ミラ−に曲げ荷重を与えて放物面や楕円面に湾曲さ
せている。
【０００３】この湾曲させたミラ−に強度が大きい放射
光を入射して反射させるため、放射光のエネルギにより
ミラ−は著しく温度が上昇し損傷してしまう。このミラ
−の温度上昇を防止するため、図７の側面図と図８の断
面図に示すように、水冷パイプ２を挾み込んだ銅板から
なり、ミラ−１の長さとほぼ同じ長さを有する冷却板７
３ａ，７３ｂをステンレス製の下部ホルダ７４と上部ホ
ルダ７５及び複数のボルト６とでミラ−１の反射面の裏
面の長手方向に沿って取付けた冷却装置を使用してい
る。この冷却装置を取り付けたミラ−１を所定の曲率に
湾曲させ、水冷パイプ２に冷却水等を流して冷却板７３
ａ，７３ｂを冷却しながらミラ−１から熱をとり、ミラ
−１が高温になることを防いでいる。
光を入射して反射させるため、放射光のエネルギにより
ミラ−は著しく温度が上昇し損傷してしまう。このミラ
−の温度上昇を防止するため、図７の側面図と図８の断
面図に示すように、水冷パイプ２を挾み込んだ銅板から
なり、ミラ−１の長さとほぼ同じ長さを有する冷却板７
３ａ，７３ｂをステンレス製の下部ホルダ７４と上部ホ
ルダ７５及び複数のボルト６とでミラ−１の反射面の裏
面の長手方向に沿って取付けた冷却装置を使用してい
る。この冷却装置を取り付けたミラ−１を所定の曲率に
湾曲させ、水冷パイプ２に冷却水等を流して冷却板７３
ａ，７３ｂを冷却しながらミラ−１から熱をとり、ミラ
−１が高温になることを防いでいる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うに水冷パイプ２を挾み込んだ冷却板７３ａ，７３ｂや
下部ホルダ７４，上部ホルダ７５が一体になっているた
め、断面の曲げ剛性が大きくなり、ミラ−１を曲げると
きの曲げ荷重が非常に大きくなってしまい、ミラ−１の
曲率を所定の値に調節することは容易でなかった。
うに水冷パイプ２を挾み込んだ冷却板７３ａ，７３ｂや
下部ホルダ７４，上部ホルダ７５が一体になっているた
め、断面の曲げ剛性が大きくなり、ミラ−１を曲げると
きの曲げ荷重が非常に大きくなってしまい、ミラ−１の
曲率を所定の値に調節することは容易でなかった。
【０００５】また、曲げ中心もミラ−１の中心からずれ
てしまうため、ミラ−１内部の最大歪みが大きくなり、
ミラ−１に割れが生じることもあった。
てしまうため、ミラ−１内部の最大歪みが大きくなり、
ミラ−１に割れが生じることもあった。
【０００６】さらに、ミラ−１を湾曲したときに、ミラ
−１と冷却板７３ａとの密着性も悪くなり、冷却効果が
充分に発揮されずミラ−１に損傷が生じる場合もあると
いう短所もあった。
−１と冷却板７３ａとの密着性も悪くなり、冷却効果が
充分に発揮されずミラ−１に損傷が生じる場合もあると
いう短所もあった。
【０００７】この発明はかかる短所を解決するためにな
されたものであり、簡単に曲げることができるととも
に、冷却効果を高めることができるミラ−の冷却装置を
得ることを目的とするものである。
されたものであり、簡単に曲げることができるととも
に、冷却効果を高めることができるミラ−の冷却装置を
得ることを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明に係るミラ−の
冷却装置は、冷却パイプを挾み込んだ冷却板と、冷却板
をミラ−の裏面に固定するホルダとを有し、長手方向に
曲げモ−メントを与えて反射面に変形を与え、放射光を
反射して実験試料に集光するミラ−を冷却する冷却装置
において、冷却板をミラ−の長手方向に対して複数個に
分割したことを特徴とする。
冷却装置は、冷却パイプを挾み込んだ冷却板と、冷却板
をミラ−の裏面に固定するホルダとを有し、長手方向に
曲げモ−メントを与えて反射面に変形を与え、放射光を
反射して実験試料に集光するミラ−を冷却する冷却装置
において、冷却板をミラ−の長手方向に対して複数個に
分割したことを特徴とする。
【０００９】また、冷却板の大きさに合わせて分割した
ホルダあるいは冷却板の大きさに合わせて切り込みを入
れたホルダで冷却板を固定することが好ましい。
ホルダあるいは冷却板の大きさに合わせて切り込みを入
れたホルダで冷却板を固定することが好ましい。
【００１０】
【作用】この発明においては、ミラ−を冷却する冷却板
を長手方向に対して複数個の短冊状に分割して曲げ剛性
を小さくする。
を長手方向に対して複数個の短冊状に分割して曲げ剛性
を小さくする。
【００１１】また、冷却板をミラ−に固定するホルダを
冷却板の大きさに合わせて分割したり、切り込みを入れ
て、ホルダの曲げ剛性も小さくし、ミラ−を曲げるとき
の曲げ中心をほぼミラ−の中心に位置させるとともに湾
曲させたミラ−と冷却板の密着性を高める。
冷却板の大きさに合わせて分割したり、切り込みを入れ
て、ホルダの曲げ剛性も小さくし、ミラ−を曲げるとき
の曲げ中心をほぼミラ−の中心に位置させるとともに湾
曲させたミラ−と冷却板の密着性を高める。
【００１２】
【実施例】図１，図２、図３はこの発明の一実施例を示
し、図１は断面図、図２は側面図、図３は上面図であ
る。図に示すように、ミラ−１を冷却する冷却装置は、
水冷パイプ２と冷却板３ａ，３ｂと下部ホルダ４及び上
部ホルダ５とを有する。冷却板３ａ，３ｂは熱伝導の良
い例えば銅板からなり、冷却水等の冷却媒体を通す水冷
パイプ２を挾み込んで保持する。下部ホルダ４と上部ホ
ルダ５は例えばステンレスからなり、水冷パイプ２を挾
み込んだ冷却板３ａ，３ｂをミラ−１の裏面に取り付け
る。下部ホルダ４はほぼＵ形状に形成され、側面に水冷
パイプ２を通す切欠き部７を有する。上部ホルダ５はア
−チ形に形成され、このア−チ５ａとミラ−１との間を
放射光３が通過する。
し、図１は断面図、図２は側面図、図３は上面図であ
る。図に示すように、ミラ−１を冷却する冷却装置は、
水冷パイプ２と冷却板３ａ，３ｂと下部ホルダ４及び上
部ホルダ５とを有する。冷却板３ａ，３ｂは熱伝導の良
い例えば銅板からなり、冷却水等の冷却媒体を通す水冷
パイプ２を挾み込んで保持する。下部ホルダ４と上部ホ
ルダ５は例えばステンレスからなり、水冷パイプ２を挾
み込んだ冷却板３ａ，３ｂをミラ−１の裏面に取り付け
る。下部ホルダ４はほぼＵ形状に形成され、側面に水冷
パイプ２を通す切欠き部７を有する。上部ホルダ５はア
−チ形に形成され、このア−チ５ａとミラ−１との間を
放射光３が通過する。
【００１３】冷却板３ａ，３ｂと下部ホルダ４及び上部
ホルダ５は長さＬが、例えば10〜100mm程度と短く形成
され、ボルト６によりミラ−１の長手方向の全長にわた
り間隔ΔＬをおいて連続して固定されている。水冷パイ
プ２は複数の冷却板３ａ，３ｂの側面部を通りミラ−１
の幅方向に張り回されている。
ホルダ５は長さＬが、例えば10〜100mm程度と短く形成
され、ボルト６によりミラ−１の長手方向の全長にわた
り間隔ΔＬをおいて連続して固定されている。水冷パイ
プ２は複数の冷却板３ａ，３ｂの側面部を通りミラ−１
の幅方向に張り回されている。
【００１４】この冷却装置を取り付けたミラ−１は放射
光ビ−ムラインに連結された例えば１／109〜１／1010
ト−ルの圧力の真空容器内に収納されている。そして放
射光１０を反射して実験試料に集光するためにミラ−１
を湾曲機構で長手方向に所定の曲率に湾曲させている。
このミラ−１を曲げるときに、冷却板３ａ，３ｂと下部
ホルダ４及び上部ホルダ５を長さが短い短冊状に形成
し、間隔をおいてミラ−１に取り付けているから、冷却
板３ａ，３ｂと下部ホルダ４，上部ホルダ５を取り付け
たことによる曲げ剛性の増大を防ぐことができる。ま
た、水冷パイプ２もミラ−１の幅方向に張り回され、冷
却板３ａ，３ｂから外部に出ている曲げ部の長さが長く
なっているから曲げ剛性に対する影響はほとんどなく、
ミラ−１単体に変形を与える曲げ荷重で湾曲を与えるこ
とができ、ミラ−１を簡単に所定の曲率に曲げることが
できる。
光ビ−ムラインに連結された例えば１／109〜１／1010
ト−ルの圧力の真空容器内に収納されている。そして放
射光１０を反射して実験試料に集光するためにミラ−１
を湾曲機構で長手方向に所定の曲率に湾曲させている。
このミラ−１を曲げるときに、冷却板３ａ，３ｂと下部
ホルダ４及び上部ホルダ５を長さが短い短冊状に形成
し、間隔をおいてミラ−１に取り付けているから、冷却
板３ａ，３ｂと下部ホルダ４，上部ホルダ５を取り付け
たことによる曲げ剛性の増大を防ぐことができる。ま
た、水冷パイプ２もミラ−１の幅方向に張り回され、冷
却板３ａ，３ｂから外部に出ている曲げ部の長さが長く
なっているから曲げ剛性に対する影響はほとんどなく、
ミラ−１単体に変形を与える曲げ荷重で湾曲を与えるこ
とができ、ミラ−１を簡単に所定の曲率に曲げることが
できる。
【００１５】また、下部ホルダ４等が曲げ剛性に影響を
ほとんど与えないから、ミラ−１を曲げるときの曲げ中
心をほぼミラ−１の中心に位置させることができる。し
たがってミラ−１の歪み量を小さくすることができ、曲
げを与えたときにミラ−１が破損することを防止するこ
とができる。
ほとんど与えないから、ミラ−１を曲げるときの曲げ中
心をほぼミラ−１の中心に位置させることができる。し
たがってミラ−１の歪み量を小さくすることができ、曲
げを与えたときにミラ−１が破損することを防止するこ
とができる。
【００１６】このように反射面が湾曲した状態で水冷パ
イプ２に冷却水等を流して冷却板３ａ，３ｂを冷却しミ
ラ−１から熱を奪いながら、放射光ビ−ムラインからの
放射光３をミラ−１に入射し、反射面で反射して実験試
料に集光する。この湾曲したミラ−１で放射光３を反射
して集光しているときに、冷却板３ａ，３ｂは長さが例
えば10〜100mm程度と短く形成されているから、ミラ−
１の裏面に対する密着性が良く、ミラ−１の冷却効率を
高めることができ、ミラ−１の熱負荷をより小さくする
ことができる。
イプ２に冷却水等を流して冷却板３ａ，３ｂを冷却しミ
ラ−１から熱を奪いながら、放射光ビ−ムラインからの
放射光３をミラ−１に入射し、反射面で反射して実験試
料に集光する。この湾曲したミラ−１で放射光３を反射
して集光しているときに、冷却板３ａ，３ｂは長さが例
えば10〜100mm程度と短く形成されているから、ミラ−
１の裏面に対する密着性が良く、ミラ−１の冷却効率を
高めることができ、ミラ−１の熱負荷をより小さくする
ことができる。
【００１７】なお、上記実施例は水冷パイプ２をミラ−
１の幅方向に張り回して冷却板３ａ，３ｂから外部に出
ている曲げ部の長さを長くした場合について説明した
が、水冷パイプ２を図４の側面図に示すように、水冷パ
イプ２をミラ−１の長手方向に沿って配管しても良い。
すなわち水冷パイプ２としては無酸素銅のなまし銅管を
通常使用するから、水冷パイプ２をミラ−１の長手方向
に沿って配管しても、ミラ−１に曲げを与えるときの曲
げ剛性に対する影響を非常に小さくすることができる。
１の幅方向に張り回して冷却板３ａ，３ｂから外部に出
ている曲げ部の長さを長くした場合について説明した
が、水冷パイプ２を図４の側面図に示すように、水冷パ
イプ２をミラ−１の長手方向に沿って配管しても良い。
すなわち水冷パイプ２としては無酸素銅のなまし銅管を
通常使用するから、水冷パイプ２をミラ−１の長手方向
に沿って配管しても、ミラ−１に曲げを与えるときの曲
げ剛性に対する影響を非常に小さくすることができる。
【００１８】また、上記実施例は長さが短い冷却板３
ａ，３ｂと下部ホルダ４及び上部ホルダ５を間隔ΔＬを
おいて連続して固定した場合について説明したが、図５
に示すように、下部ホルダ４ａを連続した一体で形成
し、冷却板３ａ，３ｂや上部ホルダ５の長さＬ毎にミラ
−１の中心に相当する部分８を残して上下に切り込み９
を入れても良い。この場合もミラ−１を曲げたときの曲
げ中心をほぼミラ−１の中心に位置させることができ、
ミラ−１の歪み量を小さくすることができる。また、下
部ホルダ４ａの切り残し部分８の曲げ剛性はミラ−１の
曲げ剛性と比べて非常に小さいから、曲げ荷重をほとん
ど増加しなくてもミラ−１を湾曲させることができる。
さらに、下部ホルダ４ａが一体で形成されているから、
ミラ−１に対する取付けや取外しを容易に行なうことが
でき、保守等を簡単に行なうことができる。
ａ，３ｂと下部ホルダ４及び上部ホルダ５を間隔ΔＬを
おいて連続して固定した場合について説明したが、図５
に示すように、下部ホルダ４ａを連続した一体で形成
し、冷却板３ａ，３ｂや上部ホルダ５の長さＬ毎にミラ
−１の中心に相当する部分８を残して上下に切り込み９
を入れても良い。この場合もミラ−１を曲げたときの曲
げ中心をほぼミラ−１の中心に位置させることができ、
ミラ−１の歪み量を小さくすることができる。また、下
部ホルダ４ａの切り残し部分８の曲げ剛性はミラ−１の
曲げ剛性と比べて非常に小さいから、曲げ荷重をほとん
ど増加しなくてもミラ−１を湾曲させることができる。
さらに、下部ホルダ４ａが一体で形成されているから、
ミラ−１に対する取付けや取外しを容易に行なうことが
でき、保守等を簡単に行なうことができる。
【００１９】また、下部ホルダ４ａの切り残し部分８
を、図６の側面図に示すように下部ホルダ４ａの下部に
設けても良い。この場合は曲げ剛性がやや大きくなり、
曲げ中心もミラ−１の中心からややずれるが、上記と同
様な作用を奏することができる。
を、図６の側面図に示すように下部ホルダ４ａの下部に
設けても良い。この場合は曲げ剛性がやや大きくなり、
曲げ中心もミラ−１の中心からややずれるが、上記と同
様な作用を奏することができる。
【００２０】
【発明の効果】この発明は以上説明したように、ミラ−
を冷却する冷却板を長手方向に対して複数個の短冊状に
分割して曲げ剛性を小さくしたから、比較的小さな曲げ
荷重でミラ−を所定の曲率に簡単に湾曲させることがで
きる。
を冷却する冷却板を長手方向に対して複数個の短冊状に
分割して曲げ剛性を小さくしたから、比較的小さな曲げ
荷重でミラ−を所定の曲率に簡単に湾曲させることがで
きる。
【００２１】また、冷却板をミラ−に固定するホルダを
冷却板の大きさに合わせて分割したり、切り込みを入れ
てホルダの曲げ剛性も小さくすることにより、ミラ−単
体に変形を与える曲げ荷重で湾曲を与えることができ
る。
冷却板の大きさに合わせて分割したり、切り込みを入れ
てホルダの曲げ剛性も小さくすることにより、ミラ−単
体に変形を与える曲げ荷重で湾曲を与えることができ
る。
【００２２】さらに、冷却板とホルダの曲げ剛性を小さ
くすることにより、ミラ−を曲げたときの曲げ中心をほ
ぼミラ−の中心に位置させてミラ−の歪み量を小さくす
ることだができ、ミラ−が破損することを防止すること
ができる。
くすることにより、ミラ−を曲げたときの曲げ中心をほ
ぼミラ−の中心に位置させてミラ−の歪み量を小さくす
ることだができ、ミラ−が破損することを防止すること
ができる。
【００２３】また、冷却板を短い短冊状に形成すること
により、湾曲するミラ−の裏面に対する密着性を高める
ことができ、ミラ−の冷却効率を高め、熱負荷をより小
さくすることができる。
により、湾曲するミラ−の裏面に対する密着性を高める
ことができ、ミラ−の冷却効率を高め、熱負荷をより小
さくすることができる。
【図１】この発明の実施例を示す断面図である。
【図２】上記実施例の側面図である。
【図３】上記実施例の上面図である。
【図４】第２の実施例を示す側面図である。
【図５】第３の実施例を示す側面図である。
【図６】第４の実施例を示す側面図である。
【図７】従来例を示す側面図である。
【図８】従来例を示す断面図である。
１ ミラ− ２ 水冷パイプ ３ａ，３ｂ 冷却板 ４ 下部ホルダ ５ 上部ホルダ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山崎 啓市 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日本鋼管株式会社内 (56)参考文献 特開 平４−13102（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】 冷却パイプを挾み込んだ冷却板と、冷却
板をミラ−の裏面に固定するホルダとを有し、長手方向
に曲げモ−メントを与えて反射面に変形を与え、放射光
を反射して実験試料に集光するミラ−を冷却する冷却装
置において、冷却板をミラ−の長手方向に対して複数個
に分割したことを特徴とするミラ−の冷却装置。 - 【請求項２】 冷却板の大きさに合わせて分割したホル
ダ又は冷却板の大きさに合わせて切り込みを入れたホル
ダで冷却板を固定した請求項１記載のミラ−の冷却装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12978592A JP2626409B2 (ja) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | ミラ−の冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12978592A JP2626409B2 (ja) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | ミラ−の冷却装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05297198A JPH05297198A (ja) | 1993-11-12 |
| JP2626409B2 true JP2626409B2 (ja) | 1997-07-02 |
Family
ID=15018172
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12978592A Expired - Lifetime JP2626409B2 (ja) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | ミラ−の冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2626409B2 (ja) |
-
1992
- 1992-04-24 JP JP12978592A patent/JP2626409B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05297198A (ja) | 1993-11-12 |
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