JPH01188348A - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドの製造方法Info
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- JPH01188348A JPH01188348A JP1392288A JP1392288A JPH01188348A JP H01188348 A JPH01188348 A JP H01188348A JP 1392288 A JP1392288 A JP 1392288A JP 1392288 A JP1392288 A JP 1392288A JP H01188348 A JPH01188348 A JP H01188348A
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、圧電効果を利用してインクキャビティ（イ
ンク圧力室）内のインクを加圧し、ノズルから液滴状に
噴射させるマルチノズル式のインクジェット記録ヘッド
に関する。
ンク圧力室）内のインクを加圧し、ノズルから液滴状に
噴射させるマルチノズル式のインクジェット記録ヘッド
に関する。
インクジェット記録ヘッドについては、いくつかの方式
が提案されているが、圧電材料そのものにインクキャビ
ティを形成する方式については、すでに本件出願人によ
り出願されている（特開昭６２−５６１５０号公報参照
）。 この方式は、特にマルチノズル式インクジェット記録ヘ
ッドにおいて、その小型化やインクノズルの高密度化の
面で有効で、その詳細は上記公報に記載されているとこ
ろであるが、第２図〜第５図によって改めてその構成を
説明する。 まず第２図及び第３図のインクジェット記録ヘッド１は
その一例を示し、第２図は横断面図、また第３図はその
縦断面図である。 第２図において、１０は平板状の圧電材料、例えば厚さ
０．５ｍｍの圧電セラミックスからなる圧電体プレート
で、この圧電体プレート１０には複数列（図では５列）
のインクキャビティ１１が並列に設けられている。この
インクキャビティエ１は、断面Ｕ字状の溝（幅約０．７
ｍｍ）の両側面に沿ってさらに幅に狭い溝（幅約５０μ
ｍ）を掘り込んだ形状、言い換えればＵ字溝の底面中央
に突出部を設けた形状を持っている。 また第３図に示すように、圧電体プレート１０の一端（
第３図の左端）には、インクノズル１２（断面４０μｍ
×４０μｍ）がインクキャビティ１１に通じるように形
成され、他端（第３図の右端）には、同じくインクキャ
ビティ１１に通じるようにインク供給路１３が形成され
ている。そして、これらのインク供給路１３に続けて、
各インクキャビティ１１に共通のインク供給室１４が圧
電体プレート１０を横断するように形成されている。 なお、このインク供給室１４は図示しないインク容器と
つながれ、インクキャビティ１１、インクノズル１２、
インク供給路１３及びインク供給室１４はインクで満た
される。 さらに圧電体プレートｌＯには、インクキャビティ１１
の全内面に一方の電極１６が、またインクキャビティ１
１内の中央突出部に対応する下面に他方の電極１７がそ
れぞれ層状に設けられている。 このような圧電体プレート１０には、その上面に蓋板１
５（厚さ約０．５ｍｍ）が接着又は融着によって接合さ
れている。蓋板１５としては、ガラス、アルミナなどの
セラミック、あるいは金属のいずれでも良いが、インク
の流れを目視で観察できるなどの点から、ガラスが最も
適している。 さて、図示構成のインクジェット記録ヘッド１において
、電極１６．１７間に駆動用パルス電圧が印加されると
、第２図で破線ハツチングを施した伸縮部１８（主とし
て中央突出部）が縦方向に圧縮され、またこれに応じて
横方向に伸長される。 なお、伸縮部１日の左右のベース部（第２図において網
目ハツチングを施した部分）１９は伸縮変化しない。伸
縮部１８に伸縮は縦方向の方が変化が大きいため、イン
クキャビティ１１の内容積は全体的には膨張し、インク
供給室１４からインク供給路１３を通してインクを吸い
込む。一方、パルス電圧が零になると、インクキャビテ
ィ１１の内容積は復元して縮小し、インクは液滴状とな
ってインクノズル１２から噴射される。 次に、第４図及び第５図のインクジェット記録ヘッド２
は別の構成例を示すもので、第４図は横断面図、第５図
は縦断面を示した斜視図である。 この例では、圧電体プレート２０を切断し、個々にＵ字
溝のインクキャビティ２１を持つ圧電体ブロック２０ａ
を集合させた構成となっている。そして、インクキャビ
ティ２１に通じるようにインクノズル２２、インク供給
路２３、及びインク供給室２４が形成され、圧電体プレ
ート２０の上面に蓋板２５が接合されている点は上記従
来例と同じである。 第４図に示すように、圧電体ブロック２０ａのＵ字溝両
側の脚部上面及びインクキャビティ２１の全内面に一方
の電極２６が、また下面全面に他方の電極２７がそれぞ
れ設けられている。 このようなインクジェット記録ヘッド２の電極２６．２
７間に駆動用パルス電圧が印加されると、第４図の破線
ハツチングを施した伸縮部２日（Ｕ字溝両側の脚部）が
縦方向に圧縮されると同時に横方向に伸長される。なお
、網目ハツチングを施したベース部（Ｕ字溝の底部）２
９は伸縮変化しない。その結果、インクキャビティ２１
の内容積”は縮小し、インクノズル２２からインクが液
滴状に噴射される。そして、電極２６．２７間の印加電
圧が零になると、インクキャビティ２１の内容積は復元
し、インク供給室２４からインク供給路２３を通してイ
ンクを吸い込む。 この第２の従来例は、上記第１の従来例と比べると、駆
動用パルス電圧の印加によるインクキャビティの収縮膨
張の関係が逆になること、その収縮膨張率が良いこと、
個々の圧電体ブロックを集合させるため製造面でやや捻
転があることなどの点が違っている。
が提案されているが、圧電材料そのものにインクキャビ
ティを形成する方式については、すでに本件出願人によ
り出願されている（特開昭６２−５６１５０号公報参照
）。 この方式は、特にマルチノズル式インクジェット記録ヘ
ッドにおいて、その小型化やインクノズルの高密度化の
面で有効で、その詳細は上記公報に記載されているとこ
ろであるが、第２図〜第５図によって改めてその構成を
説明する。 まず第２図及び第３図のインクジェット記録ヘッド１は
その一例を示し、第２図は横断面図、また第３図はその
縦断面図である。 第２図において、１０は平板状の圧電材料、例えば厚さ
０．５ｍｍの圧電セラミックスからなる圧電体プレート
で、この圧電体プレート１０には複数列（図では５列）
のインクキャビティ１１が並列に設けられている。この
インクキャビティエ１は、断面Ｕ字状の溝（幅約０．７
ｍｍ）の両側面に沿ってさらに幅に狭い溝（幅約５０μ
ｍ）を掘り込んだ形状、言い換えればＵ字溝の底面中央
に突出部を設けた形状を持っている。 また第３図に示すように、圧電体プレート１０の一端（
第３図の左端）には、インクノズル１２（断面４０μｍ
×４０μｍ）がインクキャビティ１１に通じるように形
成され、他端（第３図の右端）には、同じくインクキャ
ビティ１１に通じるようにインク供給路１３が形成され
ている。そして、これらのインク供給路１３に続けて、
各インクキャビティ１１に共通のインク供給室１４が圧
電体プレート１０を横断するように形成されている。 なお、このインク供給室１４は図示しないインク容器と
つながれ、インクキャビティ１１、インクノズル１２、
インク供給路１３及びインク供給室１４はインクで満た
される。 さらに圧電体プレートｌＯには、インクキャビティ１１
の全内面に一方の電極１６が、またインクキャビティ１
１内の中央突出部に対応する下面に他方の電極１７がそ
れぞれ層状に設けられている。 このような圧電体プレート１０には、その上面に蓋板１
５（厚さ約０．５ｍｍ）が接着又は融着によって接合さ
れている。蓋板１５としては、ガラス、アルミナなどの
セラミック、あるいは金属のいずれでも良いが、インク
の流れを目視で観察できるなどの点から、ガラスが最も
適している。 さて、図示構成のインクジェット記録ヘッド１において
、電極１６．１７間に駆動用パルス電圧が印加されると
、第２図で破線ハツチングを施した伸縮部１８（主とし
て中央突出部）が縦方向に圧縮され、またこれに応じて
横方向に伸長される。 なお、伸縮部１日の左右のベース部（第２図において網
目ハツチングを施した部分）１９は伸縮変化しない。伸
縮部１８に伸縮は縦方向の方が変化が大きいため、イン
クキャビティ１１の内容積は全体的には膨張し、インク
供給室１４からインク供給路１３を通してインクを吸い
込む。一方、パルス電圧が零になると、インクキャビテ
ィ１１の内容積は復元して縮小し、インクは液滴状とな
ってインクノズル１２から噴射される。 次に、第４図及び第５図のインクジェット記録ヘッド２
は別の構成例を示すもので、第４図は横断面図、第５図
は縦断面を示した斜視図である。 この例では、圧電体プレート２０を切断し、個々にＵ字
溝のインクキャビティ２１を持つ圧電体ブロック２０ａ
を集合させた構成となっている。そして、インクキャビ
ティ２１に通じるようにインクノズル２２、インク供給
路２３、及びインク供給室２４が形成され、圧電体プレ
ート２０の上面に蓋板２５が接合されている点は上記従
来例と同じである。 第４図に示すように、圧電体ブロック２０ａのＵ字溝両
側の脚部上面及びインクキャビティ２１の全内面に一方
の電極２６が、また下面全面に他方の電極２７がそれぞ
れ設けられている。 このようなインクジェット記録ヘッド２の電極２６．２
７間に駆動用パルス電圧が印加されると、第４図の破線
ハツチングを施した伸縮部２日（Ｕ字溝両側の脚部）が
縦方向に圧縮されると同時に横方向に伸長される。なお
、網目ハツチングを施したベース部（Ｕ字溝の底部）２
９は伸縮変化しない。その結果、インクキャビティ２１
の内容積”は縮小し、インクノズル２２からインクが液
滴状に噴射される。そして、電極２６．２７間の印加電
圧が零になると、インクキャビティ２１の内容積は復元
し、インク供給室２４からインク供給路２３を通してイ
ンクを吸い込む。 この第２の従来例は、上記第１の従来例と比べると、駆
動用パルス電圧の印加によるインクキャビティの収縮膨
張の関係が逆になること、その収縮膨張率が良いこと、
個々の圧電体ブロックを集合させるため製造面でやや捻
転があることなどの点が違っている。
ところで、上記２つの従来例で示したインクジェット記
録ヘッドは、製造に当たって圧電体プレートと蓋板とを
重ねて接合する必要がある。このための手段として、従
来は圧電体プレートと蓋板の直接融着、接着材による接
着などの方法が採用されてきた。 しかし、圧電体プレート上に形成されたインクノズルの
幅は１０〜１００μｍ、深さは数十〜数百μｍ１インク
ノズル間のピッチは１００〜５００μｍ程度であり、蓋
板としてガラスを考え、融着によって圧電体プレートに
接合させる場合には、インクノズル、インクキャビティ
、インク供給路などへのガラスの垂れ下がり、だれ込み
などの問題が発生し易い。また、圧電体プレートとガラ
スを融着する際は、両者を密着させてガラスの軟化点近
傍の温度まで上昇させる必要があり、両者の熱膨張特性
が異なっていると、反りとか亀裂などの欠陥が生じてく
る。 これらの点を防止するためには、圧電体プレートとガラ
スの表面をともに平滑とし、さらに両者の熱膨張特性を
全く同じか、ごく近いものにする必要があるが、これを
満足させることには限度がある。これらの理由から、融
着では精度の高いインクジェット記録ヘッドを得ること
は困難である。 一方、接着剤を使用する場合には、インクノズル及びイ
ンク供給路への接着剤のはみ出しによる詰まりや流路抵
抗の増大などが避けられない。さらに接着剤は、長期信
頼性及びインクによる侵食などの点で問題がある。 そこでこの発明は、高精度に形成されたインクノズル、
インク供給路などを害することなく圧電体プレートと蓋
板とを強固に接合でき、信頼性のすぐれたインクジェッ
ト記録ヘッドを得ることのできる製造方法を提供するこ
とを目的とするものである。
録ヘッドは、製造に当たって圧電体プレートと蓋板とを
重ねて接合する必要がある。このための手段として、従
来は圧電体プレートと蓋板の直接融着、接着材による接
着などの方法が採用されてきた。 しかし、圧電体プレート上に形成されたインクノズルの
幅は１０〜１００μｍ、深さは数十〜数百μｍ１インク
ノズル間のピッチは１００〜５００μｍ程度であり、蓋
板としてガラスを考え、融着によって圧電体プレートに
接合させる場合には、インクノズル、インクキャビティ
、インク供給路などへのガラスの垂れ下がり、だれ込み
などの問題が発生し易い。また、圧電体プレートとガラ
スを融着する際は、両者を密着させてガラスの軟化点近
傍の温度まで上昇させる必要があり、両者の熱膨張特性
が異なっていると、反りとか亀裂などの欠陥が生じてく
る。 これらの点を防止するためには、圧電体プレートとガラ
スの表面をともに平滑とし、さらに両者の熱膨張特性を
全く同じか、ごく近いものにする必要があるが、これを
満足させることには限度がある。これらの理由から、融
着では精度の高いインクジェット記録ヘッドを得ること
は困難である。 一方、接着剤を使用する場合には、インクノズル及びイ
ンク供給路への接着剤のはみ出しによる詰まりや流路抵
抗の増大などが避けられない。さらに接着剤は、長期信
頼性及びインクによる侵食などの点で問題がある。 そこでこの発明は、高精度に形成されたインクノズル、
インク供給路などを害することなく圧電体プレートと蓋
板とを強固に接合でき、信頼性のすぐれたインクジェッ
ト記録ヘッドを得ることのできる製造方法を提供するこ
とを目的とするものである。
この発明は、複数列のインクキャビティ、インクノズル
、及びインク供給路とこれらに共通のインク供給室とが
形成された圧電体プレートに蓋板を接合して構成される
インクジェット記録ヘッドにおいて、圧電体プレートと
蓋板の対向面上にニッケル以上の固有抵抗値を持つ金属
又は合金の薄層をそれぞれ形成した後これら圧電体プレ
ートと蓋板とを重ね合わせ、次いで高周波誘導加熱によ
って前記金属又は合金の薄層を溶融させて圧電体プレー
トと蓋板とを接合するものである。 高周波誘導加熱は一般に良く知られた装置を用いればよ
く、試料を囲むコイルに高周波電流を流して試料中に誘
導電流を生じさせ、そのジュール熱で試料を加熱融解さ
せるのである。 その際、上記誘導電流は表皮効果のために加熱体のごく
表面を流れ、その深さは加熱体の比抵抗値、有効透磁率
及び高周波電流の周波数に依存する。したがって、この
発明で用いる金属あるいは合金は比抵抗値の大きいこと
が望まれる。 一般にＣｕ ＋ Ａ ｇ ＋ Ａ ｕ ＋ Ａ Ｌなど
は比抵抗値が２μΩ印前後以下で、かつ非磁性体のため
高周波誘導加熱で融解させることは困難であり、この発
明の目的には合致し難い。したがってこの発明には、Ｎ
ｉの比抵抗値（６，８μΩｃｍ）以上の値を持つ金属あ
るいは合金が好ましいものである。具体的には、Ｎｉ、
Ｆｅ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｍｏ、Ｗなどの金属とその合金が、
材料の入手性、経済性などの面から適している。 一方、圧電体プレートと蓋板の表面に形成する金属ある
いは合金層の厚さは、数１００人〜数１０μｍの範囲で
あればよく、その形成は蒸着、スパッタなどの公知の手
段が使用可能である。 また、高周波電流の周波数は、材料の種類や性質、その
厚さの違いなどによって変化するが、１ｋＨｚ〜ＩＭＨ
ｚの範囲であれば十分に溶融接合することができる。 なお、金属層形成材料としてＦｅ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗなど
を選択した場合、これらは加熱溶融時に酸化され易いの
で、加熱雰囲気を真空あるいは不活性ガス（Ａ、Ｎ、な
ど）にする必要がある。しかし、Ｎｉ。 ＣｏあるいはＮｉ−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｒ−Ｆｅ、 Ｆｅ−
Ｃｒ−Ａｌ、Ｆｅ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｎ
１−Ｇｏなどの合金は、ある程度の耐酸化性を有するた
め、大気中で加熱しても酸化などによって接合性が低下
する恐れはない。
、及びインク供給路とこれらに共通のインク供給室とが
形成された圧電体プレートに蓋板を接合して構成される
インクジェット記録ヘッドにおいて、圧電体プレートと
蓋板の対向面上にニッケル以上の固有抵抗値を持つ金属
又は合金の薄層をそれぞれ形成した後これら圧電体プレ
ートと蓋板とを重ね合わせ、次いで高周波誘導加熱によ
って前記金属又は合金の薄層を溶融させて圧電体プレー
トと蓋板とを接合するものである。 高周波誘導加熱は一般に良く知られた装置を用いればよ
く、試料を囲むコイルに高周波電流を流して試料中に誘
導電流を生じさせ、そのジュール熱で試料を加熱融解さ
せるのである。 その際、上記誘導電流は表皮効果のために加熱体のごく
表面を流れ、その深さは加熱体の比抵抗値、有効透磁率
及び高周波電流の周波数に依存する。したがって、この
発明で用いる金属あるいは合金は比抵抗値の大きいこと
が望まれる。 一般にＣｕ ＋ Ａ ｇ ＋ Ａ ｕ ＋ Ａ Ｌなど
は比抵抗値が２μΩ印前後以下で、かつ非磁性体のため
高周波誘導加熱で融解させることは困難であり、この発
明の目的には合致し難い。したがってこの発明には、Ｎ
ｉの比抵抗値（６，８μΩｃｍ）以上の値を持つ金属あ
るいは合金が好ましいものである。具体的には、Ｎｉ、
Ｆｅ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｍｏ、Ｗなどの金属とその合金が、
材料の入手性、経済性などの面から適している。 一方、圧電体プレートと蓋板の表面に形成する金属ある
いは合金層の厚さは、数１００人〜数１０μｍの範囲で
あればよく、その形成は蒸着、スパッタなどの公知の手
段が使用可能である。 また、高周波電流の周波数は、材料の種類や性質、その
厚さの違いなどによって変化するが、１ｋＨｚ〜ＩＭＨ
ｚの範囲であれば十分に溶融接合することができる。 なお、金属層形成材料としてＦｅ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗなど
を選択した場合、これらは加熱溶融時に酸化され易いの
で、加熱雰囲気を真空あるいは不活性ガス（Ａ、Ｎ、な
ど）にする必要がある。しかし、Ｎｉ。 ＣｏあるいはＮｉ−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｒ−Ｆｅ、 Ｆｅ−
Ｃｒ−Ａｌ、Ｆｅ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｎ
１−Ｇｏなどの合金は、ある程度の耐酸化性を有するた
め、大気中で加熱しても酸化などによって接合性が低下
する恐れはない。
この発明によれば、圧電体プレートと蓋板とは、表面の
ごく薄い層で溶着するため、蓋板のインクノズルなどへ
のだれ込みがなく、また圧電体ブレ−トと蓋板の熱膨張
特性が異なっていても、加熱される部分が薄い層に限ら
れるため、反りなどが生じない。さらに、表面に形成さ
れる金属層あるいは合金層は蒸着などの手段により均一
な厚みが得られるので、接着剤を用いたときのような接
着剤の量の多少による接着の不均一、あるいは接着剤の
はみ出しなどのような問題も生じない。
ごく薄い層で溶着するため、蓋板のインクノズルなどへ
のだれ込みがなく、また圧電体ブレ−トと蓋板の熱膨張
特性が異なっていても、加熱される部分が薄い層に限ら
れるため、反りなどが生じない。さらに、表面に形成さ
れる金属層あるいは合金層は蒸着などの手段により均一
な厚みが得られるので、接着剤を用いたときのような接
着剤の量の多少による接着の不均一、あるいは接着剤の
はみ出しなどのような問題も生じない。
以下、この発明の実施例を第４図及び第５図で示した従
来例と同一形態を持つインクジェット記録ヘッドについ
て、第１図に基づいて説明する。 なお、第４図及び第５図と同一部分には同一の符号を用
いるものとする。 第１図はインクジェット記録ヘッド３の分解斜視図で、
圧電体プレート２０とガラスの蓋板２５が接合される前
の状態を示す。 第１図において、圧電体プレート２０には、複数列のイ
ンクキャビティ２１、インクノズル２２、及びインク供
給路２３と、これらに共通のインク供給室２４が形成さ
れている。そして、この圧電体プレート２０には、イン
クキャビティ２１の内面に一方の電極２６が、また下面
に他方の電極２７がそれぞれ設けられている。さらに、
圧電体プレート２０の上面には、金属あるいは合金の薄
層３０が形成されている。 一方、圧電体プレート２０の上面と対向する蓋板２５の
下面には、圧電体プレート２０と同様に、金属あるいは
合金の薄層３１が形成されている。 圧電体プレート２０と蓋板２５とは、これらを重ねた状
態で高周波誘導加熱することにより互いに接合される。 それでは、上述したインクシェアド記録ヘッド３の製造
工程について、以下さらに詳細に説明する。 まず−例として、厚さが０．５ｎｕで一方の表面にＡｇ
電極２７が予め形成されている圧電体プレート２０のも
う一方の面に、蒸着によってＦｅ−Ｃｒ−Ａ１合金（カ
ンタル）の薄層（厚さ３０００〜５０００人）３０を形
成する。その次に、この薄層形成面にダイシングソーで
インクキャビティ２１、インクノズル２２、インク供給
路２３、インク供給室２４を加工する。その後、インク
キャビティ２１の内面にのみ蒸着などの方法によってＡ
ｇ電極２６を形成する。 このようにして得られた圧電体プレート２０と、厚さ０
．５鴫でその一方にのみ上述と同様の手段でＦｅ−Ｃｒ
−Ａｔ合金の薄層（厚さ３０００〜５０００人）３１が
形成されたソーダ石灰ガラスの蓋板２５を重ね合わせ、
これにある程度の荷重をかけたのち、図示しない高周波
誘導コイルの中に置く。このコイルに、これも図示しな
い高周波発生装置により２．５ｋＨｚの高周波電流を通
ずれば、薄層３０，３１にのみ誘導電流が流れ、急速に
加熱溶解されて接合が行われる。その後、圧電体プレー
ト２０をグイシングツ−によって切断し、圧電体ブロッ
ク２０ａとすることによって、第４図に示すような形態
のインクジェット記録ヘッドが完成する。 次に別℃例として、上述と同様にＡｇ電極２７を形成し
た圧電体プレート２０の他方の面に、蒸着によってＦｅ
の薄層（厚さ５０００人前後）３０を形成する。その後
、上述と同様の工程で加工と電極形成を行う。ガラスの
蓋板２５の一方の面にもＦｅＯ薄層（厚さ５０００人前
後）３１を蒸着によって形成する。これらを重ね合わせ
、真空室内の高周波コイル中に置き、排気して１０−３
〜１０” ’ ｔｏｒｒの圧力とする。目標とする所要
の真空度に到達したら、１．５ｋＨｚの高周波電流を流
して誘導電流を発生させ、薄層３０，３１にのみを加熱
溶解させて圧電体プレート２０と蓋板２５とを接合する
。
来例と同一形態を持つインクジェット記録ヘッドについ
て、第１図に基づいて説明する。 なお、第４図及び第５図と同一部分には同一の符号を用
いるものとする。 第１図はインクジェット記録ヘッド３の分解斜視図で、
圧電体プレート２０とガラスの蓋板２５が接合される前
の状態を示す。 第１図において、圧電体プレート２０には、複数列のイ
ンクキャビティ２１、インクノズル２２、及びインク供
給路２３と、これらに共通のインク供給室２４が形成さ
れている。そして、この圧電体プレート２０には、イン
クキャビティ２１の内面に一方の電極２６が、また下面
に他方の電極２７がそれぞれ設けられている。さらに、
圧電体プレート２０の上面には、金属あるいは合金の薄
層３０が形成されている。 一方、圧電体プレート２０の上面と対向する蓋板２５の
下面には、圧電体プレート２０と同様に、金属あるいは
合金の薄層３１が形成されている。 圧電体プレート２０と蓋板２５とは、これらを重ねた状
態で高周波誘導加熱することにより互いに接合される。 それでは、上述したインクシェアド記録ヘッド３の製造
工程について、以下さらに詳細に説明する。 まず−例として、厚さが０．５ｎｕで一方の表面にＡｇ
電極２７が予め形成されている圧電体プレート２０のも
う一方の面に、蒸着によってＦｅ−Ｃｒ−Ａ１合金（カ
ンタル）の薄層（厚さ３０００〜５０００人）３０を形
成する。その次に、この薄層形成面にダイシングソーで
インクキャビティ２１、インクノズル２２、インク供給
路２３、インク供給室２４を加工する。その後、インク
キャビティ２１の内面にのみ蒸着などの方法によってＡ
ｇ電極２６を形成する。 このようにして得られた圧電体プレート２０と、厚さ０
．５鴫でその一方にのみ上述と同様の手段でＦｅ−Ｃｒ
−Ａｔ合金の薄層（厚さ３０００〜５０００人）３１が
形成されたソーダ石灰ガラスの蓋板２５を重ね合わせ、
これにある程度の荷重をかけたのち、図示しない高周波
誘導コイルの中に置く。このコイルに、これも図示しな
い高周波発生装置により２．５ｋＨｚの高周波電流を通
ずれば、薄層３０，３１にのみ誘導電流が流れ、急速に
加熱溶解されて接合が行われる。その後、圧電体プレー
ト２０をグイシングツ−によって切断し、圧電体ブロッ
ク２０ａとすることによって、第４図に示すような形態
のインクジェット記録ヘッドが完成する。 次に別℃例として、上述と同様にＡｇ電極２７を形成し
た圧電体プレート２０の他方の面に、蒸着によってＦｅ
の薄層（厚さ５０００人前後）３０を形成する。その後
、上述と同様の工程で加工と電極形成を行う。ガラスの
蓋板２５の一方の面にもＦｅＯ薄層（厚さ５０００人前
後）３１を蒸着によって形成する。これらを重ね合わせ
、真空室内の高周波コイル中に置き、排気して１０−３
〜１０” ’ ｔｏｒｒの圧力とする。目標とする所要
の真空度に到達したら、１．５ｋＨｚの高周波電流を流
して誘導電流を発生させ、薄層３０，３１にのみを加熱
溶解させて圧電体プレート２０と蓋板２５とを接合する
。
この発明は、圧電体プレートと蓋板の対向面上にニッケ
ル以上の固有抵抗値を持つ金属又は合金の薄層をそれぞ
れ形成した後これら圧電体プレートと蓋板とを重ね合わ
せ、高周波誘導加熱によって前記金属又は合金の薄層を
溶融させて圧電体プレートと蓋板とを接合するものであ
るため、インクノズルなどへの蓋板の垂れ下がりやだれ
込み、あるいは接着剤のはみ出し、さ６らに熱膨張特性
の相違からくる反りなどを防止し、精度と信頼性に優れ
たインクジェット記録ヘッドを得ることができる。
ル以上の固有抵抗値を持つ金属又は合金の薄層をそれぞ
れ形成した後これら圧電体プレートと蓋板とを重ね合わ
せ、高周波誘導加熱によって前記金属又は合金の薄層を
溶融させて圧電体プレートと蓋板とを接合するものであ
るため、インクノズルなどへの蓋板の垂れ下がりやだれ
込み、あるいは接着剤のはみ出し、さ６らに熱膨張特性
の相違からくる反りなどを防止し、精度と信頼性に優れ
たインクジェット記録ヘッドを得ることができる。
第１図はこの発明の詳細な説明するためのインクジェッ
ト記録ヘッドの分解斜視図、第２図は従来のインクジェ
ット記録ヘッドの構成を説明する横断面図、第３図は第
２図の縦断面図、第４図は別の従来例の構成を説明する
横断面図、第５図は樅断面を表した第４図の斜視図であ
る。 ３：インクジェット記録ヘッド、２０：圧電体プレート
、２１：インクキャビティ、２２：インクノズル、２３
：インク供給路、２４：インク供給室、２５：Ｍ板、２
６，２１：電極、３０．３１：金属あるいは合金の薄層
。 第１図 第２図 ＼ 第３図 第４図 第５図
ト記録ヘッドの分解斜視図、第２図は従来のインクジェ
ット記録ヘッドの構成を説明する横断面図、第３図は第
２図の縦断面図、第４図は別の従来例の構成を説明する
横断面図、第５図は樅断面を表した第４図の斜視図であ
る。 ３：インクジェット記録ヘッド、２０：圧電体プレート
、２１：インクキャビティ、２２：インクノズル、２３
：インク供給路、２４：インク供給室、２５：Ｍ板、２
６，２１：電極、３０．３１：金属あるいは合金の薄層
。 第１図 第２図 ＼ 第３図 第４図 第５図
Claims (1)
- １）複数列のインクキャビティ、インクノズル、及びイ
ンク供給路とこれらに共通のインク供給室とが形成され
た圧電体プレートに蓋板を接合して構成されるインクジ
ェット記録ヘッドにおいて、圧電体プレートと蓋板の対
向面上にニッケル以上の固有抵抗値を持つ金属又は合金
の薄層をそれぞれ形成した後これら圧電体プレートと蓋
板とを重ね合わせ、次いで高周波誘導加熱によって前記
金属又は合金の薄層を溶融させて圧電体プレートと蓋板
とを接合することを特徴とするインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1392288A JPH01188348A (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1392288A JPH01188348A (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01188348A true JPH01188348A (ja) | 1989-07-27 |
Family
ID=11846674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1392288A Pending JPH01188348A (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01188348A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5590451A (en) * | 1995-01-31 | 1997-01-07 | Kabushiki Kaisha Tec | Manufacturing method for ink jet printer head |
| US5649346A (en) * | 1995-01-31 | 1997-07-22 | Kabushiki Kaisha Tec | Manufacturing method for ink jet printer head |
| EP1468829A2 (en) * | 2003-04-10 | 2004-10-20 | Sharp Kabushiki Kaisha | Pattern formation apparatus and manufacturing method thereof |
| WO2015065812A1 (en) * | 2013-10-28 | 2015-05-07 | Illinois Tool Works Inc. | Printing plate assembly and method for an ink jet print head assembly |
-
1988
- 1988-01-25 JP JP1392288A patent/JPH01188348A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5590451A (en) * | 1995-01-31 | 1997-01-07 | Kabushiki Kaisha Tec | Manufacturing method for ink jet printer head |
| US5649346A (en) * | 1995-01-31 | 1997-07-22 | Kabushiki Kaisha Tec | Manufacturing method for ink jet printer head |
| EP1468829A2 (en) * | 2003-04-10 | 2004-10-20 | Sharp Kabushiki Kaisha | Pattern formation apparatus and manufacturing method thereof |
| EP1468829A3 (en) * | 2003-04-10 | 2005-04-06 | Sharp Kabushiki Kaisha | Pattern formation apparatus and manufacturing method thereof |
| WO2015065812A1 (en) * | 2013-10-28 | 2015-05-07 | Illinois Tool Works Inc. | Printing plate assembly and method for an ink jet print head assembly |
| US10022968B2 (en) | 2013-10-28 | 2018-07-17 | Illinois Tool Works Inc. | Printing plate assembly and method for an ink jet print head assembly |
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