JPH01188350A - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドの製造方法Info
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- JPH01188350A JPH01188350A JP1392488A JP1392488A JPH01188350A JP H01188350 A JPH01188350 A JP H01188350A JP 1392488 A JP1392488 A JP 1392488A JP 1392488 A JP1392488 A JP 1392488A JP H01188350 A JPH01188350 A JP H01188350A
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Classifications
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
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- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
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- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14379—Edge shooter
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、圧電効果を利用してインクキャビティ（イ
ンク圧力室）内のインクを加圧し、ノズルから液滴状に
噴射させるマルチノズル式のインクジェット記録ヘッド
に関する。
ンク圧力室）内のインクを加圧し、ノズルから液滴状に
噴射させるマルチノズル式のインクジェット記録ヘッド
に関する。
インクジェット記録ヘッドについては、いくつかの方式
が提案されているが、圧電材料そのものにインクキャビ
ティを形成する方式については、すでに本件出願人によ
り出願されている（特開昭６２−５６１５０号公報参照
）。 この方式は、特にマルチノズル式インクジェット記録ヘ
ッドにおいて、その小型化やインクノズルの高密度化の
面で有効で、その詳細は上記公報に記載されているとこ
ろであるが、第２図〜第５図によって改めてその構成を
説明する。 まず第２図及び第３図のインクジエ’／ト記録ヘッ′）
′１はその一例を示し、第２図は横断面図、また第３図
はその縦断面図である。 第２図において、１０は平板状の圧電材料、例えば厚さ
０．５ｍｍの圧電セラミックスからなる圧電体プレート
で、この圧電体プレート１０には複数列（図では５列）
のインクキャビティ１１が並列に設けられている。この
インクキャビティ１１は、断面Ｕ字状の溝（幅約０．７
圓）の両側面に沿ってさらに幅に狭い溝（幅約５０μｍ
）を掘り込んだ形状、言い換えればＵ字溝の底面中央に
突出部を設けた形状を持っている。 また第３図に示すように、圧電体プレート１０の一端（
第３図の左端）には、インクノズル１２（断面４０μｍ
×４０μｍ）がインクキャビティ１１に通じるように形
成され、他端（第３図の右端）には、同じくインクキャ
ビティ１１に通じるようにインク供給路１３が形成され
ている。そして、これらのインク供給路１３に続けて、
各インクキャビティ１１に共通のインク供給室１４が圧
電体プレート１０を横断するように形成されている。 なお、このインク供給室１４は図示しないインク容器に
接続され、インクキャビティ１１、インクノズル１２、
インク供給路１３及びインク供給室１４はインクで満た
される。 さらに圧電体プレート１０には、インクキャビティ１１
の全内面に一方の電極１６が、またインクキャビティ１
１内の中央突出部に対応する下面に他方の電極１７がそ
れぞれ層状に設けられている。 このような圧電体プレート１０には、その上面に蓋板１
５（厚さ約０．５ｍｍ）が接着又は融着によって接合さ
れている。蓋板１５としては、ガラス、アルミナなどの
セラミック、あるいは金属のいずれでも良いが、インク
の流れを目視で観察できるなどの点から、ガラスが最も
適している。 さて、図示構成のインクジェット記録ヘッド１において
、電極１６．１７間に駆動用パルス電圧が印加されると
、第２図で破線ハツチングを施した伸縮部１日（主とし
て中央突出部）が縦方向に圧縮され、またこれに応じて
横方向に伸長される。 なお、伸縮部１８の左右のベース部（第２図において網
目ハツチングを施した部分）１９は伸縮変化しない。伸
縮部１８の伸縮は縦方向の方が変化が大きいため、イン
クキャビティ１１の内容積は全体的には膨張し、インク
供給室１４からインク供給路１３を通してインクを吸い
込む。一方、パルス電圧が零になると、インクキャビテ
ィ１１の内容積は復元して縮小し、インクは液滴状とな
ってインクノズル１２から噴射される。 次に、第４図及び第５図のインクジェット記録ヘッド２
は別の構成例を示すもので、第４図は横断面図、第５図
は縦断面を表した斜視図である。 この例では、圧電体プレート２０を切断し、個々にＵ字
溝のインクキャビティ２１を持つ圧電体ブロック２０ａ
を集合させた構成となっている。そして、インクキャビ
ティ２１に通、しるようにインクノズル２２、インク供
給路２３、及びインク供給室２４が形成され、圧電体プ
レート２０の上面に蓋板２５が接合されている点は上記
従来例と同じである。 第４図に示すように、圧電体ブロック２０ａのＵ字溝両
側の脚部上面及びインクキャビティ２１の全内面に一方
の電極２６が、また下面全面に他方の電極２７がそれぞ
れ設けられている。 このようなインクジエ・ノド記録ヘッド２の電極２６．
２７間に駆動用パルス電圧が印加されると、第４図の破
線ハツチングを施した伸縮部２８（Ｕ字溝両側の脚部）
が縦方向に圧縮され、また同時に横方向に伸長される。 なお、網目ハツチングを施したベース部（Ｕ字溝の底部
）２９は伸縮変化しない。その結果、インクキャビティ
２１の内容積は縮小し、インクノズル２２からインクが
液滴状に噴射される。そして、電極２６．２７間の印加
電圧が零になると、インクキャビティ２１の内容積は復
元し、インク供給室２４からインク供給路２３を通して
インクを吸い込む。 この第２の従来例は、上記第１の従来例と比べると、駆
動用パルス電圧の印加によるインクキャビティの収縮膨
張の関係が逆になること、その収縮膨張率が良いこと、
個々の圧電体ブロックを集合させるため製造面でやや難
点があることなどの点が違っている。
が提案されているが、圧電材料そのものにインクキャビ
ティを形成する方式については、すでに本件出願人によ
り出願されている（特開昭６２−５６１５０号公報参照
）。 この方式は、特にマルチノズル式インクジェット記録ヘ
ッドにおいて、その小型化やインクノズルの高密度化の
面で有効で、その詳細は上記公報に記載されているとこ
ろであるが、第２図〜第５図によって改めてその構成を
説明する。 まず第２図及び第３図のインクジエ’／ト記録ヘッ′）
′１はその一例を示し、第２図は横断面図、また第３図
はその縦断面図である。 第２図において、１０は平板状の圧電材料、例えば厚さ
０．５ｍｍの圧電セラミックスからなる圧電体プレート
で、この圧電体プレート１０には複数列（図では５列）
のインクキャビティ１１が並列に設けられている。この
インクキャビティ１１は、断面Ｕ字状の溝（幅約０．７
圓）の両側面に沿ってさらに幅に狭い溝（幅約５０μｍ
）を掘り込んだ形状、言い換えればＵ字溝の底面中央に
突出部を設けた形状を持っている。 また第３図に示すように、圧電体プレート１０の一端（
第３図の左端）には、インクノズル１２（断面４０μｍ
×４０μｍ）がインクキャビティ１１に通じるように形
成され、他端（第３図の右端）には、同じくインクキャ
ビティ１１に通じるようにインク供給路１３が形成され
ている。そして、これらのインク供給路１３に続けて、
各インクキャビティ１１に共通のインク供給室１４が圧
電体プレート１０を横断するように形成されている。 なお、このインク供給室１４は図示しないインク容器に
接続され、インクキャビティ１１、インクノズル１２、
インク供給路１３及びインク供給室１４はインクで満た
される。 さらに圧電体プレート１０には、インクキャビティ１１
の全内面に一方の電極１６が、またインクキャビティ１
１内の中央突出部に対応する下面に他方の電極１７がそ
れぞれ層状に設けられている。 このような圧電体プレート１０には、その上面に蓋板１
５（厚さ約０．５ｍｍ）が接着又は融着によって接合さ
れている。蓋板１５としては、ガラス、アルミナなどの
セラミック、あるいは金属のいずれでも良いが、インク
の流れを目視で観察できるなどの点から、ガラスが最も
適している。 さて、図示構成のインクジェット記録ヘッド１において
、電極１６．１７間に駆動用パルス電圧が印加されると
、第２図で破線ハツチングを施した伸縮部１日（主とし
て中央突出部）が縦方向に圧縮され、またこれに応じて
横方向に伸長される。 なお、伸縮部１８の左右のベース部（第２図において網
目ハツチングを施した部分）１９は伸縮変化しない。伸
縮部１８の伸縮は縦方向の方が変化が大きいため、イン
クキャビティ１１の内容積は全体的には膨張し、インク
供給室１４からインク供給路１３を通してインクを吸い
込む。一方、パルス電圧が零になると、インクキャビテ
ィ１１の内容積は復元して縮小し、インクは液滴状とな
ってインクノズル１２から噴射される。 次に、第４図及び第５図のインクジェット記録ヘッド２
は別の構成例を示すもので、第４図は横断面図、第５図
は縦断面を表した斜視図である。 この例では、圧電体プレート２０を切断し、個々にＵ字
溝のインクキャビティ２１を持つ圧電体ブロック２０ａ
を集合させた構成となっている。そして、インクキャビ
ティ２１に通、しるようにインクノズル２２、インク供
給路２３、及びインク供給室２４が形成され、圧電体プ
レート２０の上面に蓋板２５が接合されている点は上記
従来例と同じである。 第４図に示すように、圧電体ブロック２０ａのＵ字溝両
側の脚部上面及びインクキャビティ２１の全内面に一方
の電極２６が、また下面全面に他方の電極２７がそれぞ
れ設けられている。 このようなインクジエ・ノド記録ヘッド２の電極２６．
２７間に駆動用パルス電圧が印加されると、第４図の破
線ハツチングを施した伸縮部２８（Ｕ字溝両側の脚部）
が縦方向に圧縮され、また同時に横方向に伸長される。 なお、網目ハツチングを施したベース部（Ｕ字溝の底部
）２９は伸縮変化しない。その結果、インクキャビティ
２１の内容積は縮小し、インクノズル２２からインクが
液滴状に噴射される。そして、電極２６．２７間の印加
電圧が零になると、インクキャビティ２１の内容積は復
元し、インク供給室２４からインク供給路２３を通して
インクを吸い込む。 この第２の従来例は、上記第１の従来例と比べると、駆
動用パルス電圧の印加によるインクキャビティの収縮膨
張の関係が逆になること、その収縮膨張率が良いこと、
個々の圧電体ブロックを集合させるため製造面でやや難
点があることなどの点が違っている。
ところで、上述インクジェット記録ヘッドの製造に当た
っては、インクキャビティ内に電圧印加用の電極を形成
するとともに、圧電体プレートと蓋板とを強固に接合す
ることが必要となる。なお、蓋板の材質は特に限定され
ないが、圧電体プレートとの接合性及びインクの流れを
目視で観察できることなどからガラスが最適である。 圧電体プレートと蓋板とを接合する従来方法の一つとし
ては、電極にペースト状の銀電極を用い、これをスクリ
ーン印刷法で圧電体プレートの表面とインクキャビティ
の内面に塗布して焼き付け、その後蓋板としてガラスを
用いてこれを直接融着の手段で圧電体プレートに接合し
ていた。 この方法は、圧電体プレートとガラスの蓋板とを強固に
接合できるという利点を持つが、インクキャビティの溝
幅が非常に微細であるため、その内面に均一な電極膜を
形成することが困難であること、さらに接合時にインク
ノズル、インク供給路などに銀電極がだれ込んでインク
の供給を阻害するという問題点があった。 また別の方法として、圧電体プレートの表面とインクキ
ャビティの内面とに、蒸着あるいはスパッタなどの手段
により導電性金属の薄層を形成し、その後蓋板を接合し
ていた。 この方法によれば、インクキャビティの内面に電極膜を
均一に形成できるが、反面、圧電体プレートと蓋板との
密着力が極めて弱いという問題点があった。 そこでこの発明は、インクキャビティの内面に電極膜を
均一に形成できるとともに、圧電体プレートと蓋板の密
着力が極めて強固（剥離強度が大）となり、信頬性と耐
久性に富んだインクジェット記録ヘッドを得ることので
きるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供するこ
とを目的とするものである。
っては、インクキャビティ内に電圧印加用の電極を形成
するとともに、圧電体プレートと蓋板とを強固に接合す
ることが必要となる。なお、蓋板の材質は特に限定され
ないが、圧電体プレートとの接合性及びインクの流れを
目視で観察できることなどからガラスが最適である。 圧電体プレートと蓋板とを接合する従来方法の一つとし
ては、電極にペースト状の銀電極を用い、これをスクリ
ーン印刷法で圧電体プレートの表面とインクキャビティ
の内面に塗布して焼き付け、その後蓋板としてガラスを
用いてこれを直接融着の手段で圧電体プレートに接合し
ていた。 この方法は、圧電体プレートとガラスの蓋板とを強固に
接合できるという利点を持つが、インクキャビティの溝
幅が非常に微細であるため、その内面に均一な電極膜を
形成することが困難であること、さらに接合時にインク
ノズル、インク供給路などに銀電極がだれ込んでインク
の供給を阻害するという問題点があった。 また別の方法として、圧電体プレートの表面とインクキ
ャビティの内面とに、蒸着あるいはスパッタなどの手段
により導電性金属の薄層を形成し、その後蓋板を接合し
ていた。 この方法によれば、インクキャビティの内面に電極膜を
均一に形成できるが、反面、圧電体プレートと蓋板との
密着力が極めて弱いという問題点があった。 そこでこの発明は、インクキャビティの内面に電極膜を
均一に形成できるとともに、圧電体プレートと蓋板の密
着力が極めて強固（剥離強度が大）となり、信頬性と耐
久性に富んだインクジェット記録ヘッドを得ることので
きるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供するこ
とを目的とするものである。
この発明は、複数列のインクキャビティ、インクノズル
、及びインク供給路とこれらに共通のインク供給室とが
形成された圧電体プレートに蓋板を接合して構成される
インクジェット記録ヘッドにおいて、片方の面に銀電極
を形成した圧電体プレートのもう一方の面に溶剤に可溶
性のレジストあるいは塗料を塗布してからインクキャビ
ティ、インクノズル、インク供給路及びインク供給室を
加工し、次いでこの面に導電性釜属の薄層を形成し、続
いて溶剤によって前記レジストあるいは塗料を除去して
インクキャビティの内面にのみ導電性金属の薄層を残留
させ、その後圧電体プレートと蓋板とを接合するもので
ある。 第１図はこの発明の工程を示すものである。以下、第１
図に基づいてこの発明の詳細な説明する。 第１図（Ａ）において、２０は圧電体プレートで、その
厚さは０．５ｍｍ程度である。この圧電体プレート２０
の片面（図の下面）には、銀電極２７が形成されている
。この圧電体プレートのもう一方の面（図の上面）に、
溶剤に可溶性のレジストあるいは塗料の被膜３０ａをス
クリーン印刷法、スピンクォータ、スプレー、刷毛塗り
、蒸着などの手段によって所要の厚さ（１０μｍ前後）
に塗布する。レジストとしては、フェノール系材料で製
造されたものが最も好ましい。また、塗料とじては、セ
ルロース誘導体塗料、アミノ樹脂塗料、アクリル樹脂塗
料のいずれかが適している。 次に、第１図（Ｂ）に示すように、レジストあるいは塗
料が塗布された面に、ダイシングソーによって、インク
キャビティ２１を加工する。その際、インクノズル、イ
ンク供給路、インク供給室も同時に加工するが、図では
省略しである。 その次に、第１図（Ｃ）に示すように、インクキャビテ
ィ２１が加工された圧電体プレート２０の面に、めっき
、蒸着、スパッタなどの手段によって導電性金属の薄層
３０ｂを形成する。この導電性金属はＡＬ、 Ａｇ、
Ａｕ＋ Ｐ ｔ、 ｐｄ、 Ｃｕ＋ ＮＬ Ｃｒ、 Ｍ
ｏ、Ｗあるいはその合金が適している。そして、その厚
さは０．２〜１０μｍの範囲が良い。 次いで、圧電体プレート２０をアセトン、トリクレン、
四塩化炭素などの溶剤に浸して、上記レジストあるいは
塗料の被膜３０ａを溶解して除去する。その結果、第１
図（Ｄ）に示すように、圧電体プレート２０の表面の導
電性金属の薄Ｊｔｊ３０ｂは除去され、インクキャビテ
ィ２１の内面にのみ残留する。 その後、第５図（Ｅ）に示すように、圧電体プレート２
０にガラスあるいはアルミナの蓋板２５を接合する。最
後に圧電体プレート２０にスリットを入れれば、第４図
に示した形態のインクジェット記録ヘッドが得られる。
、及びインク供給路とこれらに共通のインク供給室とが
形成された圧電体プレートに蓋板を接合して構成される
インクジェット記録ヘッドにおいて、片方の面に銀電極
を形成した圧電体プレートのもう一方の面に溶剤に可溶
性のレジストあるいは塗料を塗布してからインクキャビ
ティ、インクノズル、インク供給路及びインク供給室を
加工し、次いでこの面に導電性釜属の薄層を形成し、続
いて溶剤によって前記レジストあるいは塗料を除去して
インクキャビティの内面にのみ導電性金属の薄層を残留
させ、その後圧電体プレートと蓋板とを接合するもので
ある。 第１図はこの発明の工程を示すものである。以下、第１
図に基づいてこの発明の詳細な説明する。 第１図（Ａ）において、２０は圧電体プレートで、その
厚さは０．５ｍｍ程度である。この圧電体プレート２０
の片面（図の下面）には、銀電極２７が形成されている
。この圧電体プレートのもう一方の面（図の上面）に、
溶剤に可溶性のレジストあるいは塗料の被膜３０ａをス
クリーン印刷法、スピンクォータ、スプレー、刷毛塗り
、蒸着などの手段によって所要の厚さ（１０μｍ前後）
に塗布する。レジストとしては、フェノール系材料で製
造されたものが最も好ましい。また、塗料とじては、セ
ルロース誘導体塗料、アミノ樹脂塗料、アクリル樹脂塗
料のいずれかが適している。 次に、第１図（Ｂ）に示すように、レジストあるいは塗
料が塗布された面に、ダイシングソーによって、インク
キャビティ２１を加工する。その際、インクノズル、イ
ンク供給路、インク供給室も同時に加工するが、図では
省略しである。 その次に、第１図（Ｃ）に示すように、インクキャビテ
ィ２１が加工された圧電体プレート２０の面に、めっき
、蒸着、スパッタなどの手段によって導電性金属の薄層
３０ｂを形成する。この導電性金属はＡＬ、 Ａｇ、
Ａｕ＋ Ｐ ｔ、 ｐｄ、 Ｃｕ＋ ＮＬ Ｃｒ、 Ｍ
ｏ、Ｗあるいはその合金が適している。そして、その厚
さは０．２〜１０μｍの範囲が良い。 次いで、圧電体プレート２０をアセトン、トリクレン、
四塩化炭素などの溶剤に浸して、上記レジストあるいは
塗料の被膜３０ａを溶解して除去する。その結果、第１
図（Ｄ）に示すように、圧電体プレート２０の表面の導
電性金属の薄Ｊｔｊ３０ｂは除去され、インクキャビテ
ィ２１の内面にのみ残留する。 その後、第５図（Ｅ）に示すように、圧電体プレート２
０にガラスあるいはアルミナの蓋板２５を接合する。最
後に圧電体プレート２０にスリットを入れれば、第４図
に示した形態のインクジェット記録ヘッドが得られる。
この発明によれば、電極としてのインクキャビティ内の
導電性金属の薄層をめっき、スパッタ、蒸着などの手段
を用いて形成できるので、電極膜を均一に形成すること
ができる。また、圧電体プレートにおける蓋板との接合
面の金属の薄層を除去したのち蓋板を接合するので、圧
電体プレートと蓋板との密着が強固になる。
導電性金属の薄層をめっき、スパッタ、蒸着などの手段
を用いて形成できるので、電極膜を均一に形成すること
ができる。また、圧電体プレートにおける蓋板との接合
面の金属の薄層を除去したのち蓋板を接合するので、圧
電体プレートと蓋板との密着が強固になる。
以下、この発明の方法と従来方法でそれぞれ製造したイ
ンクジェット記録ヘッドの比較実験例について説明する
。 まず、この発明の方法では、圧電体プレートの表面にフ
ェノール樹脂塗料をスプレーして、厚さが１１０ｌ１前
後の被膜を形成し、この面にグイシングツ−でインクキ
ャビティ、インクノズル、インク供給路及びインク供給
室を加工した。次いで、この圧電体プレートの表面にス
パッタによって厚さ０．５ＩｌｌＩＩＩＯｐｔ層を形成
した後、アセトン中に約１時間浸漬してフェノール樹脂
塗料を溶解させ、インクキャビティ内にのみｐｔ層を残
した。その後、蓋板としてのガラス板と圧電体プレート
とを重ね合わせ、７００°Ｃで１０ｇ／ｃ＋ｆｌの荷重
を負荷して両者を融着させた。この組み合わせでの剥離
強度を測定したところ、２４ｋｇ／ｄであった。 一方、従来方法では、圧電体プレートの一方の面にグイ
シングツ−でインクキャビティ、インクノズル、インク
供給路及びインク供給室を加工後、スパッタによって厚
さ０．５閣のＰｔＮを形成した。 この状態ではガラスとの接合が困難であるので、蒸着に
よって厚さ０．３μｍのＳｉＯをＰｔＮ０上に生成させ
た後、この発明による場合と同様の条件でガラスを融着
した。この組み合わせの剥離強度は、４０ｇ／ｃｄで、
この発明の方法による場合より格段に劣った。
ンクジェット記録ヘッドの比較実験例について説明する
。 まず、この発明の方法では、圧電体プレートの表面にフ
ェノール樹脂塗料をスプレーして、厚さが１１０ｌ１前
後の被膜を形成し、この面にグイシングツ−でインクキ
ャビティ、インクノズル、インク供給路及びインク供給
室を加工した。次いで、この圧電体プレートの表面にス
パッタによって厚さ０．５ＩｌｌＩＩＩＯｐｔ層を形成
した後、アセトン中に約１時間浸漬してフェノール樹脂
塗料を溶解させ、インクキャビティ内にのみｐｔ層を残
した。その後、蓋板としてのガラス板と圧電体プレート
とを重ね合わせ、７００°Ｃで１０ｇ／ｃ＋ｆｌの荷重
を負荷して両者を融着させた。この組み合わせでの剥離
強度を測定したところ、２４ｋｇ／ｄであった。 一方、従来方法では、圧電体プレートの一方の面にグイ
シングツ−でインクキャビティ、インクノズル、インク
供給路及びインク供給室を加工後、スパッタによって厚
さ０．５閣のＰｔＮを形成した。 この状態ではガラスとの接合が困難であるので、蒸着に
よって厚さ０．３μｍのＳｉＯをＰｔＮ０上に生成させ
た後、この発明による場合と同様の条件でガラスを融着
した。この組み合わせの剥離強度は、４０ｇ／ｃｄで、
この発明の方法による場合より格段に劣った。
この発明は、めっき、蒸着、スパッタなどの手段で電極
膜としての導電性金属の薄層を形成するので、インクキ
ャビティ内に電極膜を均一に形成することができる。ま
た上記金属の薄層は、インクキャビティの内面にのみ残
留させ、圧電体プレートの表面はこれを除去して蓋板を
接合するので、圧電体プレートと蓋板とを強固に接合で
きる。すなわち、この発明によれば、信頼性、耐久性に
優れたインクジェット記録ヘッドを得ることができる。
膜としての導電性金属の薄層を形成するので、インクキ
ャビティ内に電極膜を均一に形成することができる。ま
た上記金属の薄層は、インクキャビティの内面にのみ残
留させ、圧電体プレートの表面はこれを除去して蓋板を
接合するので、圧電体プレートと蓋板とを強固に接合で
きる。すなわち、この発明によれば、信頼性、耐久性に
優れたインクジェット記録ヘッドを得ることができる。
第１図（Ａ）〜（Ｅ）はこの発明の詳細な説明する工程
図、第２図はインクジェット記録ヘッドの構成例を示す
横断面図、第３図は第２図の縦断面図、第４図はインク
ジェット記録ヘッドの別の構成例を示す横断面図、第５
図は第４図の縦断面を表す斜視図である。 ２０：圧電体プレート、２１：インクキャビティ、２２
：インクノズル、２３：インク供給路、２４：インク供
給室、２５：蓋板、２７：銀電極、３０ａ ニレジスト
あるいは塗料の被膜：３０ｂ＝第１図 第２図 １’１ 第３図
図、第２図はインクジェット記録ヘッドの構成例を示す
横断面図、第３図は第２図の縦断面図、第４図はインク
ジェット記録ヘッドの別の構成例を示す横断面図、第５
図は第４図の縦断面を表す斜視図である。 ２０：圧電体プレート、２１：インクキャビティ、２２
：インクノズル、２３：インク供給路、２４：インク供
給室、２５：蓋板、２７：銀電極、３０ａ ニレジスト
あるいは塗料の被膜：３０ｂ＝第１図 第２図 １’１ 第３図
Claims (1)
- １）複数列のインクキャビティ、インクノズル、及びイ
ンク供給路とこれらに共通のインク供給室とが形成され
た圧電体プレートに蓋板を接合して構成されるインクジ
ェット記録ヘッドにおいて、片方の面に銀電極を形成し
た圧電体プレートのもう一方の面に溶剤に可溶性のレジ
ストあるいは塗料を塗布してからインクキャビティ、イ
ンクノズル、インク供給路及びインク供給室を加工し、
次いでこの面に導電性金属の薄層を形成し、続いて溶剤
によって前記レジストあるいは塗料を除去してインクキ
ャビティの内面にのみ導電性金属の薄層を残留させ、そ
の後圧電体プレートと蓋板とを接合することを特徴とす
るインクジェット記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1392488A JPH01188350A (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1392488A JPH01188350A (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01188350A true JPH01188350A (ja) | 1989-07-27 |
Family
ID=11846731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1392488A Pending JPH01188350A (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01188350A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6584660B1 (en) * | 1993-06-08 | 2003-07-01 | Ngk Indulators, Ltd | Method of manufacturing a piezoelectric device |
-
1988
- 1988-01-25 JP JP1392488A patent/JPH01188350A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6584660B1 (en) * | 1993-06-08 | 2003-07-01 | Ngk Indulators, Ltd | Method of manufacturing a piezoelectric device |
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