JPH01188349A - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドの製造方法Info
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- JPH01188349A JPH01188349A JP1392388A JP1392388A JPH01188349A JP H01188349 A JPH01188349 A JP H01188349A JP 1392388 A JP1392388 A JP 1392388A JP 1392388 A JP1392388 A JP 1392388A JP H01188349 A JPH01188349 A JP H01188349A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、圧電効果を利用してインクキャビティ（イ
ンク圧力室）内のインクを加圧し、ノズルから液滴状に
噴射させるマルチノズル式のインクジェット記録ヘッド
に関する。
ンク圧力室）内のインクを加圧し、ノズルから液滴状に
噴射させるマルチノズル式のインクジェット記録ヘッド
に関する。
インクジェット記録ヘッドについては、いくつかの方式
が提案されているが、圧電材料そのものにインクキャビ
ティを形成する方式については、すでに本件出願人によ
り出願されている（特開昭６２−５６１５０号公報参照
）。 この方式は、特にマルチノズル式インクジェット記録ヘ
ッドにおいて、その小型化やインクノズルの高密度化の
面で有効で、その詳細は上記公報に記載されているとこ
ろであるが、第２図〜第５図によって改めてその構成を
説明する。 まず第２図及び第３図のインクジェット記録ヘッド１は
その一例を示し、第２図は横断面図、また第３図はその
縦断面図である。 第２図において、１０は平板状の圧電材料、例えば厚さ
０．５ｍｎ＋の圧電セラミックスからなる圧電体プレー
トで、この圧電体プレート１０には複数列（図では５列
）のインクキャビティ１１が並列に設けられている。こ
のインクキャビティ１１は、断面Ｕ字状の溝（幅約０．
７ｍｍ）の両側面に沿ってさらに幅に狭い溝（幅約５０
μｍ）を掘り込んだ形状、言い換えればＵ字溝の底面中
央に突出部を設けた形状を持っている。 また第３図に示すように、圧電体プレート１０の一端（
第３図の左端）には、インクノズル１２（断面４０μｍ
×４０μｍ）がインクキャビティ１１に通じるように形
成され、他端（第３図の右端）には、同じくインクキャ
ビティ１１に通じるようにインク供給路１３が形成され
ている。そして、−これらのインク供給路１３に続けて
、各インクキャビティ１１に共通のインク供給室１４が
圧電体プレート１０を横断するように形成されている。 なお、このインク供給室１４は図示しないインク容器と
つながれ、インクキャビティ１１、インクノズル１２、
インク供給路１３及びインク供給室１４はインクで満た
される。 さらに圧電体プレート１０には、インクキャビティ１１
の全内面に一方の電極１６が、またインクキャビティ１
１内の中央突出部に対応する下面に他方の電極１７がそ
れぞれ層状に設けられている。 このような圧電体プレート１０には、その上面に蓋板１
５（厚さ約０．５ｍｍ）が接着又は融着によって接合さ
れている。蓋板１５としては、ガラス、アルミナなどの
セラミック、あるいは金属のいずれでも、良いが、イン
クの流れを目視で観察できるなどの点から、ガラスが最
も適している。 さて、図示構成のインクジェット記録ヘッド１において
、電極１６．１７間に駆動用パルス電圧が印加されると
、第２図で破線ハツチングを施した伸縮部１８（主とし
て中央突出部）が縦方向に圧縮され、またこれに応じて
横方向に伸長される。 なお、伸縮部１８の左右のベース部（第２図において網
目ハツチングを施した部分）１９は伸縮変化しない。伸
縮部１８に伸縮は縦方向の方が変化が大きシまため、イ
ンクキャビティ１１の内容積は全体的には膨張し、イン
ク供給室１４からインク供給路１３を通してインクを吸
い込む。一方、パルス電圧が零になると、インクキャビ
ティ１１の内容積は復元して縮小し、インクは液滴状と
なってインクノズル１２から噴射される。 次に、第４図及び第５図のインクジェット記録ヘッド２
は別の構成例を示すもので、第４図は横断面図、第５図
は縦断面を表したた斜視図である。 この例では、圧電体プレート２０を切断し、個々にＵ字
溝のインクキャビティ２１を持つ圧電体ブロック２０ａ
を集合させた構成となっている。そして、インクキャビ
ティ２１に通じるようにインクノズル２２、インク供給
路２３、及びインク供給室２４が形成され、圧電体プレ
ート２０の上面に１Ｈｆｆ１２５が接合されている点は
上記従来例と同じである。 第４図に示すように、圧電体ブロック２０ａのＵ字溝両
側の脚部上面及びインクキャビティ２１の全内面に一方
の電極２６が、また下面全面に他方の電極２７がそれぞ
れ設けられている。 このようなインクジェット記録ヘッド２の電極２６．２
７間に駆動用パルス電圧が印加されると、第４図の破線
ハツチングを施した伸縮部２８（Ｕ字溝両側の脚部）が
縦方向に圧縮されると同時に横方向に伸長される。なお
、網目ハツチングを施したベース部（Ｕ字溝の底部）２
９は伸縮変化しない。その結果、インクキャビティ２１
の内容積は縮小し、インクノズル２２からインクが液滴
状に噴射される。そして、電極２６．２７間の印加電圧
が零になると、インクキャビティ２１の内容積は復元し
、インク供給室２４からインク供給路２３を通してイン
クを吸い込む。 この第２の従来例は、上記第１の従来例と比べると、駆
動用パルス電圧の印加によるインクキャピテイの収縮膨
張の関係が逆になること、その収縮膨張率が良いこと、
個々の圧電体ブロックを集合させるため製造面でやや難
点があることなどの点が違っている。
が提案されているが、圧電材料そのものにインクキャビ
ティを形成する方式については、すでに本件出願人によ
り出願されている（特開昭６２−５６１５０号公報参照
）。 この方式は、特にマルチノズル式インクジェット記録ヘ
ッドにおいて、その小型化やインクノズルの高密度化の
面で有効で、その詳細は上記公報に記載されているとこ
ろであるが、第２図〜第５図によって改めてその構成を
説明する。 まず第２図及び第３図のインクジェット記録ヘッド１は
その一例を示し、第２図は横断面図、また第３図はその
縦断面図である。 第２図において、１０は平板状の圧電材料、例えば厚さ
０．５ｍｎ＋の圧電セラミックスからなる圧電体プレー
トで、この圧電体プレート１０には複数列（図では５列
）のインクキャビティ１１が並列に設けられている。こ
のインクキャビティ１１は、断面Ｕ字状の溝（幅約０．
７ｍｍ）の両側面に沿ってさらに幅に狭い溝（幅約５０
μｍ）を掘り込んだ形状、言い換えればＵ字溝の底面中
央に突出部を設けた形状を持っている。 また第３図に示すように、圧電体プレート１０の一端（
第３図の左端）には、インクノズル１２（断面４０μｍ
×４０μｍ）がインクキャビティ１１に通じるように形
成され、他端（第３図の右端）には、同じくインクキャ
ビティ１１に通じるようにインク供給路１３が形成され
ている。そして、−これらのインク供給路１３に続けて
、各インクキャビティ１１に共通のインク供給室１４が
圧電体プレート１０を横断するように形成されている。 なお、このインク供給室１４は図示しないインク容器と
つながれ、インクキャビティ１１、インクノズル１２、
インク供給路１３及びインク供給室１４はインクで満た
される。 さらに圧電体プレート１０には、インクキャビティ１１
の全内面に一方の電極１６が、またインクキャビティ１
１内の中央突出部に対応する下面に他方の電極１７がそ
れぞれ層状に設けられている。 このような圧電体プレート１０には、その上面に蓋板１
５（厚さ約０．５ｍｍ）が接着又は融着によって接合さ
れている。蓋板１５としては、ガラス、アルミナなどの
セラミック、あるいは金属のいずれでも、良いが、イン
クの流れを目視で観察できるなどの点から、ガラスが最
も適している。 さて、図示構成のインクジェット記録ヘッド１において
、電極１６．１７間に駆動用パルス電圧が印加されると
、第２図で破線ハツチングを施した伸縮部１８（主とし
て中央突出部）が縦方向に圧縮され、またこれに応じて
横方向に伸長される。 なお、伸縮部１８の左右のベース部（第２図において網
目ハツチングを施した部分）１９は伸縮変化しない。伸
縮部１８に伸縮は縦方向の方が変化が大きシまため、イ
ンクキャビティ１１の内容積は全体的には膨張し、イン
ク供給室１４からインク供給路１３を通してインクを吸
い込む。一方、パルス電圧が零になると、インクキャビ
ティ１１の内容積は復元して縮小し、インクは液滴状と
なってインクノズル１２から噴射される。 次に、第４図及び第５図のインクジェット記録ヘッド２
は別の構成例を示すもので、第４図は横断面図、第５図
は縦断面を表したた斜視図である。 この例では、圧電体プレート２０を切断し、個々にＵ字
溝のインクキャビティ２１を持つ圧電体ブロック２０ａ
を集合させた構成となっている。そして、インクキャビ
ティ２１に通じるようにインクノズル２２、インク供給
路２３、及びインク供給室２４が形成され、圧電体プレ
ート２０の上面に１Ｈｆｆ１２５が接合されている点は
上記従来例と同じである。 第４図に示すように、圧電体ブロック２０ａのＵ字溝両
側の脚部上面及びインクキャビティ２１の全内面に一方
の電極２６が、また下面全面に他方の電極２７がそれぞ
れ設けられている。 このようなインクジェット記録ヘッド２の電極２６．２
７間に駆動用パルス電圧が印加されると、第４図の破線
ハツチングを施した伸縮部２８（Ｕ字溝両側の脚部）が
縦方向に圧縮されると同時に横方向に伸長される。なお
、網目ハツチングを施したベース部（Ｕ字溝の底部）２
９は伸縮変化しない。その結果、インクキャビティ２１
の内容積は縮小し、インクノズル２２からインクが液滴
状に噴射される。そして、電極２６．２７間の印加電圧
が零になると、インクキャビティ２１の内容積は復元し
、インク供給室２４からインク供給路２３を通してイン
クを吸い込む。 この第２の従来例は、上記第１の従来例と比べると、駆
動用パルス電圧の印加によるインクキャピテイの収縮膨
張の関係が逆になること、その収縮膨張率が良いこと、
個々の圧電体ブロックを集合させるため製造面でやや難
点があることなどの点が違っている。
ところで、上述インクジェット記録ヘッドの製造に当た
っては、インクキャビティ内に電圧印加用の電極を形成
するとともに、圧電体プレートと蓋板とを強固に接合す
ることが必要となる。なお、蓋板の材質は特に限定され
ないが、圧電体プレートとの接合性及びインクの流れを
目視で観察できることなどからガラスが最適である。 従来は、両面にガラスフリットを含む銀電極を形成した
圧電体プレートの一方の面にグイシングツ−によってイ
ンクキャビティ、インクノズル、インク供給路、及びイ
ンク供給室を加工した後、再度、ガラスフリントを含む
銀ペーストをインクキャビティの内面にスクリーン印刷
法などの手段で塗布し、焼き付は処理を行って電極を形
成している。そしてこの圧電体プレートと蓋板とは、熱
融着などの方法で接合している。 この方法は、圧電体プレートとガラスの蓋板とを強固に
接合できるという利点を持つが、インクキャビティの溝
幅が非常に微細であるため、その内面に均一な電極膜を
形成することが困難であること、さらに接合時にインク
ノズル、インク供給路などに銀電極がだれ込んでインク
の供給を狙害するという欠点があった。 そこでこの発明は、インクキャビティの内面に電極膜を
均一に形成できるとともに、圧電体プレートと蓋板の密
着力が極めて強固（剥離強度が大）となり、信頼性と耐
久性に富んだインクジェット記録ヘッドを得ることので
きるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供するこ
とを目的とするものである。
っては、インクキャビティ内に電圧印加用の電極を形成
するとともに、圧電体プレートと蓋板とを強固に接合す
ることが必要となる。なお、蓋板の材質は特に限定され
ないが、圧電体プレートとの接合性及びインクの流れを
目視で観察できることなどからガラスが最適である。 従来は、両面にガラスフリットを含む銀電極を形成した
圧電体プレートの一方の面にグイシングツ−によってイ
ンクキャビティ、インクノズル、インク供給路、及びイ
ンク供給室を加工した後、再度、ガラスフリントを含む
銀ペーストをインクキャビティの内面にスクリーン印刷
法などの手段で塗布し、焼き付は処理を行って電極を形
成している。そしてこの圧電体プレートと蓋板とは、熱
融着などの方法で接合している。 この方法は、圧電体プレートとガラスの蓋板とを強固に
接合できるという利点を持つが、インクキャビティの溝
幅が非常に微細であるため、その内面に均一な電極膜を
形成することが困難であること、さらに接合時にインク
ノズル、インク供給路などに銀電極がだれ込んでインク
の供給を狙害するという欠点があった。 そこでこの発明は、インクキャビティの内面に電極膜を
均一に形成できるとともに、圧電体プレートと蓋板の密
着力が極めて強固（剥離強度が大）となり、信頼性と耐
久性に富んだインクジェット記録ヘッドを得ることので
きるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供するこ
とを目的とするものである。
この発明は、複数列のインクキャビティ、インクノズル
、及びインク供給路とこれらに共通のインク供給室とが
形成された圧電体プレートに蓋板を接合して構成される
インクジェット記録ヘッドにおいて、両面に銀電極を形
成した圧電体プレートの一方の面にインクキャビティ、
インクノズル、インク供給路及びインク供給室を加工し
た後この面に酸に不溶である導電性金属の薄層を形成し
、次いでこの面に付着している銀電極を酸によって溶解
除去してインクキャビティの内面にのみ前記導電性金属
の薄層を残留させ、その後圧電体プレートと蓋板とを接
合するものである。 第１図はこの発明の工程を示すものである。以下、第１
図に基づいてこの発明の詳細な説明する。 第１図（Ａ）において、２０は圧電体プレートで、その
厚さは０．５ｍｍ程度である。この圧電体プレート２０
の両面に、ガラスフリットを含む銀電極３０ａ、３０ｂ
を約１０μ工程度の厚さで形成する。 次に、第１図（Ｂ）に示すように、銀電極３０ａが形成
された面にグイシングツ−でインクキャビティ２１を加
工する。、なお、この工程においてインクノズル、イン
ク供給路、インク供給室も同時に加工するが、図では省
略しである。 その次に、第１図（Ｃ）に示すように、インクキャビテ
ィ２１が加工された圧電体プレート２０の面に、めっき
、蒸着、スパッタなどの手段によって導電性金属の薄層
３１を形成する。この導電性金属は特性的に酸に不溶で
あることが要求されるので、ＰＬ、 Ａｕ、 Ｐｄとそ
の合金が適している。そして、その厚さは０．５〜１０
μｍの範囲が良い。 次いで、第５図（Ｄ）に示すように、銀電極３０ａを酸
によって溶解除去する。酸としては、硝酸系の溶液が適
している。 その後、第５図（Ｅ）に示すように、銀電極３０ａを溶
解除去した際に表面に残留した導電性金属層３１を除去
する。この金属層３１は、サンドペーパなどによる研磨
で簡単に除去することができる。この工程を経ることに
よって、導電性金属の薄層３０は、インクキャビティ２
１の内面にのみ形成されることになる。 第５図（Ｆ）は、以上の工程で得られた圧電体プレート
２０にガラスの蓋板２５を接合した状態を示したもので
ある。両者は種々の方法で接合することが可能であるが
、接合強度、インクノズルへの接着剤のだれ込み防止、
耐インク性などを考慮すると、融着が最も適している。 すなわち、圧電体プレート２０と蓋板２５とを重ね合わ
せ、これをガラスの軟化点近傍まで加熱し、その段階で
荷重を負荷して接合するものである。その後、圧電体プ
レート２０にスリットを入れれば、第３図に示した形態
のインクジェット記録ヘッドが得られることになる。
、及びインク供給路とこれらに共通のインク供給室とが
形成された圧電体プレートに蓋板を接合して構成される
インクジェット記録ヘッドにおいて、両面に銀電極を形
成した圧電体プレートの一方の面にインクキャビティ、
インクノズル、インク供給路及びインク供給室を加工し
た後この面に酸に不溶である導電性金属の薄層を形成し
、次いでこの面に付着している銀電極を酸によって溶解
除去してインクキャビティの内面にのみ前記導電性金属
の薄層を残留させ、その後圧電体プレートと蓋板とを接
合するものである。 第１図はこの発明の工程を示すものである。以下、第１
図に基づいてこの発明の詳細な説明する。 第１図（Ａ）において、２０は圧電体プレートで、その
厚さは０．５ｍｍ程度である。この圧電体プレート２０
の両面に、ガラスフリットを含む銀電極３０ａ、３０ｂ
を約１０μ工程度の厚さで形成する。 次に、第１図（Ｂ）に示すように、銀電極３０ａが形成
された面にグイシングツ−でインクキャビティ２１を加
工する。、なお、この工程においてインクノズル、イン
ク供給路、インク供給室も同時に加工するが、図では省
略しである。 その次に、第１図（Ｃ）に示すように、インクキャビテ
ィ２１が加工された圧電体プレート２０の面に、めっき
、蒸着、スパッタなどの手段によって導電性金属の薄層
３１を形成する。この導電性金属は特性的に酸に不溶で
あることが要求されるので、ＰＬ、 Ａｕ、 Ｐｄとそ
の合金が適している。そして、その厚さは０．５〜１０
μｍの範囲が良い。 次いで、第５図（Ｄ）に示すように、銀電極３０ａを酸
によって溶解除去する。酸としては、硝酸系の溶液が適
している。 その後、第５図（Ｅ）に示すように、銀電極３０ａを溶
解除去した際に表面に残留した導電性金属層３１を除去
する。この金属層３１は、サンドペーパなどによる研磨
で簡単に除去することができる。この工程を経ることに
よって、導電性金属の薄層３０は、インクキャビティ２
１の内面にのみ形成されることになる。 第５図（Ｆ）は、以上の工程で得られた圧電体プレート
２０にガラスの蓋板２５を接合した状態を示したもので
ある。両者は種々の方法で接合することが可能であるが
、接合強度、インクノズルへの接着剤のだれ込み防止、
耐インク性などを考慮すると、融着が最も適している。 すなわち、圧電体プレート２０と蓋板２５とを重ね合わ
せ、これをガラスの軟化点近傍まで加熱し、その段階で
荷重を負荷して接合するものである。その後、圧電体プ
レート２０にスリットを入れれば、第３図に示した形態
のインクジェット記録ヘッドが得られることになる。
この発明によれば、電極としてのインクキャビティ内の
導電性金属の１［をめっき、スパッタ、蒸着などの手段
を用いて形成できるので、電極を均一に形成することが
できる。また、蓋板との接合面の銀電極を酸によって溶
解除去した後に蓋板を接合するので、インクノズルやイ
ンク供給路への銀電極のだれ込みがなくなる。
導電性金属の１［をめっき、スパッタ、蒸着などの手段
を用いて形成できるので、電極を均一に形成することが
できる。また、蓋板との接合面の銀電極を酸によって溶
解除去した後に蓋板を接合するので、インクノズルやイ
ンク供給路への銀電極のだれ込みがなくなる。
【実施例］
以下、実験によって性能を確認した実施例の−について
説明する。 導電性金属としてはｐｔを用い、これをスパッタによっ
て２μｍの厚さに成膜した。酸として５０％濃度の硝酸
溶液を用い、圧電体プレートの一方の面のみをこれに１
５分間浸漬して銀電極を溶解除去し、その後、圧電体プ
レート上に残留したｐｔ膜を１２００番のサンドペーパ
で研磨して除去した。ガラスとしては、厚さ０．５ｎｎ
のアルカリ亜鉛硼珪酸を用い、温度７００°Ｃ１温度保
持時間１５分、負荷荷重１０ｇ／ｃＪの条件で接合した
。 この条件で接合したものの接合強さ（剥離強さ）は、２
０〜２５ｋｇ／ｃＪで、破壊は接合面ではなく蓋板ある
いは圧電体プレートで発生する状況を呈し、強固な接合
が得られることが確認された。 また、この方法によれば、インクノズル、インク供給路
などへの接着剤のだれ込みなどがなくなるので、インク
吐出性が安定することも確認された。 なお、上述実施例では蓋板としてガラスを用いた例を説
明したが、アルミナなどのセラミックス板を採用しても
ガラスの場合と同様の結果を得ることができる。 【発明の効果】 この発明によれば、電極としてのインクキャビティ内の
導電性金属の薄Ｎ壱めっき、スパッタ、蒸着などの手段
を用いて形成するので、電極膜を均一に形成することが
でき、また蓋板との接合面の銀電極を酸によって溶解除
去した後に蓋板を接合するので、インクノズルやインク
供給路への銀電極のだれ込みがなくなってインクノズル
などの詰まりを防止でき、さらに圧電体プレートと蓋板
とを強固に接合することができる。したがって、インク
吐出の安定性、信転性、さらに耐久性に優れたインクジ
ェット記録ヘッドを得ることができる。
説明する。 導電性金属としてはｐｔを用い、これをスパッタによっ
て２μｍの厚さに成膜した。酸として５０％濃度の硝酸
溶液を用い、圧電体プレートの一方の面のみをこれに１
５分間浸漬して銀電極を溶解除去し、その後、圧電体プ
レート上に残留したｐｔ膜を１２００番のサンドペーパ
で研磨して除去した。ガラスとしては、厚さ０．５ｎｎ
のアルカリ亜鉛硼珪酸を用い、温度７００°Ｃ１温度保
持時間１５分、負荷荷重１０ｇ／ｃＪの条件で接合した
。 この条件で接合したものの接合強さ（剥離強さ）は、２
０〜２５ｋｇ／ｃＪで、破壊は接合面ではなく蓋板ある
いは圧電体プレートで発生する状況を呈し、強固な接合
が得られることが確認された。 また、この方法によれば、インクノズル、インク供給路
などへの接着剤のだれ込みなどがなくなるので、インク
吐出性が安定することも確認された。 なお、上述実施例では蓋板としてガラスを用いた例を説
明したが、アルミナなどのセラミックス板を採用しても
ガラスの場合と同様の結果を得ることができる。 【発明の効果】 この発明によれば、電極としてのインクキャビティ内の
導電性金属の薄Ｎ壱めっき、スパッタ、蒸着などの手段
を用いて形成するので、電極膜を均一に形成することが
でき、また蓋板との接合面の銀電極を酸によって溶解除
去した後に蓋板を接合するので、インクノズルやインク
供給路への銀電極のだれ込みがなくなってインクノズル
などの詰まりを防止でき、さらに圧電体プレートと蓋板
とを強固に接合することができる。したがって、インク
吐出の安定性、信転性、さらに耐久性に優れたインクジ
ェット記録ヘッドを得ることができる。
第１図はこの発明の詳細な説明する工程図、第２図はイ
ンクジェット記録ヘッドの構成例を示す横断面図、第３
図は第２図の縦断面図、第４図はインクジェット記録ヘ
ッドの別の構成例を示す横断面図、第５図は第４図の縦
断面を表す斜視図である。 ２０：圧電体プレート、２１：インクキャビティ、２２
：インクノズル、２３：インク供給路、２４：インク供
給室、２５：Ｍ板、３０ａ、３０ｂ：銀電極、３１：導
電性金属の薄層。 謂 Ｉｔ（ 沙 第１図 第２図 第４図
ンクジェット記録ヘッドの構成例を示す横断面図、第３
図は第２図の縦断面図、第４図はインクジェット記録ヘ
ッドの別の構成例を示す横断面図、第５図は第４図の縦
断面を表す斜視図である。 ２０：圧電体プレート、２１：インクキャビティ、２２
：インクノズル、２３：インク供給路、２４：インク供
給室、２５：Ｍ板、３０ａ、３０ｂ：銀電極、３１：導
電性金属の薄層。 謂 Ｉｔ（ 沙 第１図 第２図 第４図
Claims (1)
- １）複数列のインクキャビティ、インクノズル、及びイ
ンク供給路とこれらに共通のインク供給室とが形成され
た圧電体プレートに蓋板を接合して構成されるインクジ
ェット記録ヘッドにおいて、両面に銀電極を形成した圧
電体プレートの一方の面にインクキャビティ、インクノ
ズル、インク供給路及びインク供給室を加工した後この
面に酸に不溶である導電性金属の薄層を形成し、次いで
この面に付着している銀電極を酸によって溶解除去して
インクキャビティの内面にのみ前記導電性金属の薄層を
残留させ、その後圧電体プレートと蓋板とを接合するこ
とを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1392388A JPH01188349A (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1392388A JPH01188349A (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01188349A true JPH01188349A (ja) | 1989-07-27 |
Family
ID=11846702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1392388A Pending JPH01188349A (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01188349A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0511376A1 (en) * | 1990-11-20 | 1992-11-04 | Spectra Inc | INK BEAM HEAD WITH THIN-LAYER CONVERTER. |
| US5590451A (en) * | 1995-01-31 | 1997-01-07 | Kabushiki Kaisha Tec | Manufacturing method for ink jet printer head |
| US5649346A (en) * | 1995-01-31 | 1997-07-22 | Kabushiki Kaisha Tec | Manufacturing method for ink jet printer head |
| US6070310A (en) * | 1997-04-09 | 2000-06-06 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for producing an ink jet head |
| US6928718B2 (en) * | 2000-06-06 | 2005-08-16 | Sawtekk, Inc. | Method for array processing of surface acoustic wave devices |
| US7861388B2 (en) * | 2003-05-30 | 2011-01-04 | Ngk Insulators, Ltd. | Method of manufacturing a cell driving type piezoelectric/electrostrictive actuator |
-
1988
- 1988-01-25 JP JP1392388A patent/JPH01188349A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0511376A1 (en) * | 1990-11-20 | 1992-11-04 | Spectra Inc | INK BEAM HEAD WITH THIN-LAYER CONVERTER. |
| US5590451A (en) * | 1995-01-31 | 1997-01-07 | Kabushiki Kaisha Tec | Manufacturing method for ink jet printer head |
| US5649346A (en) * | 1995-01-31 | 1997-07-22 | Kabushiki Kaisha Tec | Manufacturing method for ink jet printer head |
| US6070310A (en) * | 1997-04-09 | 2000-06-06 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for producing an ink jet head |
| US6928718B2 (en) * | 2000-06-06 | 2005-08-16 | Sawtekk, Inc. | Method for array processing of surface acoustic wave devices |
| US7861388B2 (en) * | 2003-05-30 | 2011-01-04 | Ngk Insulators, Ltd. | Method of manufacturing a cell driving type piezoelectric/electrostrictive actuator |
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