JPH01166384A - 磁気ディスク - Google Patents
磁気ディスクInfo
- Publication number
- JPH01166384A JPH01166384A JP32392887A JP32392887A JPH01166384A JP H01166384 A JPH01166384 A JP H01166384A JP 32392887 A JP32392887 A JP 32392887A JP 32392887 A JP32392887 A JP 32392887A JP H01166384 A JPH01166384 A JP H01166384A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic
- area
- head
- corrosion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 26
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 25
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 18
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000008094 contradictory effect Effects 0.000 description 1
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、保護膜、耐蝕膜、磁性膜など多層構造をもち
、磁性膜が金属磁性媒体よりなる磁気ディスクに係り、
特に従来の磁気ヘッドとディスク面間の空隙を狭めるこ
となく磁気ディスクの耐蝕性を向上させるに好適な耐蝕
膜の形状に関する。
、磁性膜が金属磁性媒体よりなる磁気ディスクに係り、
特に従来の磁気ヘッドとディスク面間の空隙を狭めるこ
となく磁気ディスクの耐蝕性を向上させるに好適な耐蝕
膜の形状に関する。
従来の金属磁性媒体を用いた磁気ディスクは。
基板上に磁性媒体を形成した上に、＠滑性を有する保護
膜をもうけたのが多かった。しかし、このような磁気デ
ィスクでは、特にヘッドがＣＳＳする領域において保護
膜の摩耗、ヘッドとディスク面間の結露等により著しく
腐蝕が進行する傾向を示し、腐蝕に対する信頼性が低い
欠点を有していた。これに対し特開昭５６−１３６２号
公報に記載のように磁性媒体上に異なる機能を有する複
数の層の保護膜を備えることにより、磁性膜の腐蝕及び
摩耗を防止するディスクが提案されている。
膜をもうけたのが多かった。しかし、このような磁気デ
ィスクでは、特にヘッドがＣＳＳする領域において保護
膜の摩耗、ヘッドとディスク面間の結露等により著しく
腐蝕が進行する傾向を示し、腐蝕に対する信頼性が低い
欠点を有していた。これに対し特開昭５６−１３６２号
公報に記載のように磁性媒体上に異なる機能を有する複
数の層の保護膜を備えることにより、磁性膜の腐蝕及び
摩耗を防止するディスクが提案されている。
すなわち、第２図に示す様に基板１上の磁性層２の上に
耐蝕性を有する保護膜３を形成した後に。
耐蝕性を有する保護膜３を形成した後に。
潤滑性を有する保護膜を形成するというものである。・
・ここで各保護膜は、ディスク全面く形成されており、
各膜とも所定の効果を出すためには、約１００〜ｘｏｏ
、Ａ”程度の膜厚さを必要とする。
・ここで各保護膜は、ディスク全面く形成されており、
各膜とも所定の効果を出すためには、約１００〜ｘｏｏ
、Ａ”程度の膜厚さを必要とする。
しかしながら、この様な耐蝕膜を形成した場合。
形成しない場合と同性能の磁気記録を達成するためには
、耐蝕膜の膜厚の分だけ磁気ヘッドの浮上量を下げる必
要があり、ヘットディスク間の接触による所謂ヘットク
ラッシニの点より問題がある。
、耐蝕膜の膜厚の分だけ磁気ヘッドの浮上量を下げる必
要があり、ヘットディスク間の接触による所謂ヘットク
ラッシニの点より問題がある。
上記従来技術は、磁気ディスクの耐蝕性を高めるため耐
蝕性を有する保護膜をディスク面上に形成することと、
高密度記録を達成するため、磁気ヘッドと、磁性媒体間
の空隙を小さくしなければならないという２つの相反す
る問題を解決していなかった。
蝕性を有する保護膜をディスク面上に形成することと、
高密度記録を達成するため、磁気ヘッドと、磁性媒体間
の空隙を小さくしなければならないという２つの相反す
る問題を解決していなかった。
本発明の目的は、耐蝕性を有する保護膜をディスク全面
に形成した磁気ディスクと同等の耐蝕性を有し、尚かつ
記録再生領域の磁気ヘッドとディスク面との空隙を小さ
くせず、耐蝕膜を有しない磁気ディスクと同性能の磁気
記録を達成するための耐蝕膜を形成することにある。
に形成した磁気ディスクと同等の耐蝕性を有し、尚かつ
記録再生領域の磁気ヘッドとディスク面との空隙を小さ
くせず、耐蝕膜を有しない磁気ディスクと同性能の磁気
記録を達成するための耐蝕膜を形成することにある。
上記目的は、耐蝕性を有する保護膜をヘッドがＣＳＳす
る領域に限り形成し、その上に耐摺動性を有する保護膜
を形成することにより、達成される。
る領域に限り形成し、その上に耐摺動性を有する保護膜
を形成することにより、達成される。
磁気ヘッドがＣＳＳする領域に形成した耐蝕性を有する
保護膜は、その領域での金属磁性媒体の腐蝕を防止し、
その上部の耐摺動性を有する保護膜は、ヘッドの低浮上
化にともなう磁性膜とヘッドの摩耗を防止する。
保護膜は、その領域での金属磁性媒体の腐蝕を防止し、
その上部の耐摺動性を有する保護膜は、ヘッドの低浮上
化にともなう磁性膜とヘッドの摩耗を防止する。
これにより、磁気ディスクの耐蝕性が向上されｔなおか
つ記録再生領域でより高い密度での記鎌再。
つ記録再生領域でより高い密度での記鎌再。
生を可能くする。
以下１本発明の一実施例を第１図により説明する。
第１図に実施例の構成を示す。アルミ基板１の表面にＮ
１−Ｐめりき膜２を形成し、スパッタリングにより中間
膜としてＣｒ膜３．その上にＣｏ −Ｎｉ −ｚｒｍａ
を形成さらに耐蝕膜としてのｚｒ膜５をマスクスパッタ
法によりヘッドのＣＳＳ領域にのみ選。
１−Ｐめりき膜２を形成し、スパッタリングにより中間
膜としてＣｒ膜３．その上にＣｏ −Ｎｉ −ｚｒｍａ
を形成さらに耐蝕膜としてのｚｒ膜５をマスクスパッタ
法によりヘッドのＣＳＳ領域にのみ選。
択的忙形成する。この時ＣＳＳ領域と他の領域との境界
部は滑らかな膜厚変化をもたせる。そして。
部は滑らかな膜厚変化をもたせる。そして。
その上に潤滑保護膜としてのＣ（カーボン）膜６を形成
する。
する。
本実施例によれば、耐蝕膜５金入れない磁気ディスクに
比べＣＳＳ領域の腐蝕進行が著しく小さく、かつディス
ク面全面に耐蝕膜を有するディスクに比べその耐蝕膜の
膜厚分だけヘッドが低浮上化したこととなり、読み出し
出力の増大、。／Ｗの改善等、高密度化が可能であると
いう効果がある。
比べＣＳＳ領域の腐蝕進行が著しく小さく、かつディス
ク面全面に耐蝕膜を有するディスクに比べその耐蝕膜の
膜厚分だけヘッドが低浮上化したこととなり、読み出し
出力の増大、。／Ｗの改善等、高密度化が可能であると
いう効果がある。
本発明によれば、磁気ディスクの耐蝕性を十分保ちなが
ら、磁気ヘッドの低浮上化を計ることができるので、高
記鍮密度の磁気ディスクの信頼性を高めることができる
。
ら、磁気ヘッドの低浮上化を計ることができるので、高
記鍮密度の磁気ディスクの信頼性を高めることができる
。
第１図は５本発明の一実施例の断面図、第２図は、多層
の保護膜を有する磁気ディスクの断面図である。 １・・・基板。 ２・・・磁性媒体層。 ３・・・保護膜。 ４・・・保護膜。 ５・・・アルミ基板。 ６・・・Ｎ１−Ｐめりき層。 ７・・・Ｃｒ層。 ８ ・−・Ｃｏ −ＮＺ −Ｚｒ層 ９・・・２１層。 １０・・・０層。 ／輪−、
の保護膜を有する磁気ディスクの断面図である。 １・・・基板。 ２・・・磁性媒体層。 ３・・・保護膜。 ４・・・保護膜。 ５・・・アルミ基板。 ６・・・Ｎ１−Ｐめりき層。 ７・・・Ｃｒ層。 ８ ・−・Ｃｏ −ＮＺ −Ｚｒ層 ９・・・２１層。 １０・・・０層。 ／輪−、
Claims (1)
- １、スパッタリング法、蒸着法などで磁性膜、耐蝕膜、
保護膜等が膜付けされた、多層よりなる磁気ディスクで
かつ磁性膜が金属磁性媒体である磁気ディスクに於て、
ヘッドがＣＳＳする領域が、他の領域と異なる多層膜構
成を有することを特徴とする磁気ディスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32392887A JPH01166384A (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 磁気ディスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32392887A JPH01166384A (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 磁気ディスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01166384A true JPH01166384A (ja) | 1989-06-30 |
Family
ID=18160192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32392887A Pending JPH01166384A (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 磁気ディスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01166384A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6403194B1 (en) | 1998-09-03 | 2002-06-11 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium, process for producing same and magnetic disc apparatus |
-
1987
- 1987-12-23 JP JP32392887A patent/JPH01166384A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6403194B1 (en) | 1998-09-03 | 2002-06-11 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium, process for producing same and magnetic disc apparatus |
| US7037607B2 (en) | 1998-09-03 | 2006-05-02 | Hitachi Global Storage Technologies Japan, Ltd. | Magnetic recording medium, process for producing same and magnetic disc apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5858182A (en) | Bilayer carbon overcoating for magnetic data storage disks and magnetic head/slider constructions | |
| US4664976A (en) | Magnetic recording medium comprising a protective carbon nitride layer on the surface thereof | |
| US5447796A (en) | Magnetic recording medium comprising a solid lubrication layer of fullerene carbon having an alkyl or allyl chain | |
| US4680218A (en) | Magnetic recording medium | |
| JPH01166384A (ja) | 磁気ディスク | |
| JPH0320812B2 (ja) | ||
| US6670032B2 (en) | Oriented magnetic medium on a nonmetallic substrate | |
| JPH0715752B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH103630A (ja) | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH0489616A (ja) | 磁気ディスク装置及び磁気ディスク | |
| JPH08329442A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2856258B2 (ja) | 薄膜磁気ディスク | |
| JPH05347023A (ja) | 磁気ディスク | |
| JPS62159331A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPH05128469A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH02226515A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH03288321A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPS62164206A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH09293236A (ja) | 磁気ディスク | |
| JPS6391814A (ja) | 薄膜磁気ヘツドスライダ | |
| JPH0562171A (ja) | 磁気デイスク | |
| JPH065574B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS61110302A (ja) | 磁気記録方式 | |
| JPH0528470A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPS6037968B2 (ja) | 薄膜形磁気ヘツド |