JPH02226515A - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

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JPH02226515A
JPH02226515A JP1045397A JP4539789A JPH02226515A JP H02226515 A JPH02226515 A JP H02226515A JP 1045397 A JP1045397 A JP 1045397A JP 4539789 A JP4539789 A JP 4539789A JP H02226515 A JPH02226515 A JP H02226515A
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JP
Japan
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magnetic
recording medium
magnetic recording
layer
film thickness
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Pending
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JP1045397A
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Shinya Matsuoka
松岡 伸也
Masaki Oura
大浦 正樹
Takaaki Shirokura
白倉 高明
Yoshihiro Shiroishi
芳博 城石
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/62Record carriers characterised by the selection of the material
    • G11B5/64Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
    • G11B5/66Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
    • G11B5/672Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers having different compositions in a plurality of magnetic layers, e.g. layer compositions having differing elemental components or differing proportions of elements
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    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y10T428/12465All metal or with adjacent metals having magnetic properties, or preformed fiber orientation coordinate with shape
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    • Y10T428/12493Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12771Transition metal-base component
    • Y10T428/12861Group VIII or IB metal-base component
    • Y10T428/12931Co-, Fe-, or Ni-base components, alternative to each other
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/30Self-sustaining carbon mass or layer with impregnant or other layer

Landscapes

  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気記録装置等に用いられる磁気ディスク等
の磁気記録媒体に係り、特に高記録密度に適し、かつ耐
食性に優れた磁気記録媒体に関する。
〔従来の技術〕
従来、高記録密度用の磁気記録媒体として、スパッタリ
ング法、メツキ法、蒸着法等で形成した金属磁性薄膜を
用いた薄膜磁気記録媒体が提案されている。これらの薄
膜磁気記録媒体は、γ−Fe20.とバインダーからな
るいわゆる塗布型磁気記録媒体に比較し、磁性膜の厚さ
を容易に薄くし得ること、磁性膜中の磁性含率を向上し
得ること等から優れた磁気的特性を示す。最近、さらに
高記録密度、高信頼性の要求が高まるにつれ、優れた磁
気特性を維持しつつ、高い耐食性を持つ磁気記録媒体が
提案され、例えば特開昭63−29317には、磁性膜
としてCoとNiの他にZrを、またはさら、にTi、
Cr、Nb等を加えた材料を用いた磁気記録媒体が開示
されている。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記従来技術は、高保磁力化した磁気記録媒体で問題と
なる重ね書き特性(オーバーライド特性)について配慮
されておらず、高い記録密度の要求を満たすには至らな
いという問題があった。
本発明の目的は、高記録密度で良好な重ね書き特性が得
られる磁気記録媒体を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的は、(1)非磁性基板上にCoとNiを主成分
とする磁性層を有する磁気記録媒体において、上記磁性
層の膜厚方向の表面に近い程その組成のNi含有量が高
いことを特徴とする磁気記録媒体、(2)上記磁性層の
表面に近い部分のNi含有量は、20〜50原子%であ
ることを特徴とする上記1記載の磁気記録媒体、(3)
上記磁性層の表面に近い部分は、Co及びNi並びにZ
r、 Ti。
Pt、Ru、Ta、Rh、V、Nb、Cr、Pdからな
る群から選ばれた少なくとも一種の他の元素からなる組
成であることを特徴とする上記1記載の磁気記録媒体に
よって達成される。
本発明において、磁性層の表面層、すなわち磁気ヘッド
との対向面側は、記録密度を高める上で保磁力を高くす
る。それ故、この部分は、Niの含有量が20〜50a
t%であることが好ましい。さらにこの表面層は、耐食
性に優れた組成とすることが好ましい。このような組成
としてGo及びNi並びにZr、Ti、Pt、Ru、T
a、Rh、V、Nb、Cr、Pdからなる群から選ばれ
た少なくとも一種の他の元素からなる組成がある。この
場合、C。
の量は30〜60at%の範囲であることが好ましく、
Niの量は20〜50at%の範囲であることが好まし
く、他の元素の量は0.1〜20at%の範囲であるこ
とが好ましい。さらにNiと他の元素の合計の量は、飽
和磁化の点で40〜70at%の範囲であることが好ま
しい。
この表面層の厚みは5nm以上であることが好ましく、
Ions以上であることがより好ましい。
磁性層の表面層より内側の下層部分は、CoとN1を主
成分とする組成であればよく、CoとNiのみからなる
組成でもよい。CoとNiのみからなる組成であるとき
は、Coの量は30〜80at%の範囲であることが好
ましい。またCoとNiの他に。
前記のZr等の他の元素を含むものであってもよい。こ
の場合、各元素の量は前記の範囲であることが好ましい
下層部分は、一つの均一な組成の層でなくて、二層以上
の複数の層であってもよい。また上記表面層をも含めて
各層の境界が明確に分かれている必要はなく、磁性膜全
体として膜厚方向に組成が変化していてもよい。
磁性膜全体の膜厚は、lO〜1100nの範囲が好まし
い。lOnm未満では磁気記録媒体としての効果が小さ
く、foonmを越えると高密度記録に適さなくなる。
本発明の磁気記録媒体は、非磁性基板と磁性層との間に
Cr、Mo、WやCr−Ti、 Cr−C,i等のCr
合金の中間層を設けることができる。この中間層につい
ては、例えば特開昭63−29317その他に記載され
ており、それらの中間層を本発明に用いることができる
。この中間層は厚さが10〜700n論程度であること
が好ましい。
一般に金属薄膜を磁性層とする磁気記録媒体は。
耐摺動信頼性の向上等の目的で、磁性層の表面にカーボ
ン等からなる非磁性保護膜を設ける。本発明の磁気記録
媒体においても、このような非磁性保護膜を設けること
が好ましい。非磁性保護膜は厚さが10〜1100nで
あることが好ましい。1100nを超えるとスペーシン
グ損失が大きくなり、記録再生特性上好ましくない。
さらにまた一般の磁気記録媒体は、6!i性膜上又は上
記非磁性保護膜上にフッ素化ポリエーテル等の潤滑剤を
塗布して用いることが多い。本発明の磁気記録媒体もこ
のような潤滑剤を塗布して用いることができる。潤滑剤
の厚みは1〜30nmの範囲であることが好ましい。
〔作   用〕
磁気記録媒体において、記録密度を高める一つの方法と
しては磁性膜を高保磁力化することである。しかし、磁
気ヘッドの書込み能力(起磁力)不足から、高保磁力化
を図っても重ね書き特性が劣化する0通常、磁気ヘッド
の起磁力は、ギヤップ近傍で高く、遠ざかるに従い低下
することから。
磁気記録媒体の表面層は記録し易く、下層は記録し難く
なる。これが重ね書き特性劣化の原因であると考えられ
る。そのため、磁気記録媒体の膜厚方向に保磁力を制御
し、表面層は保磁力が高く。
下層は保磁力を低くすることにより、重ね書き特性を良
好ならしめることができる。
〔実施例〕
以下1本発明の一実施例を第1図を用いて説明する。
実施例 1 第1図は、本発明の磁気記録媒体の断面模式図である。
N1−PめっきAQ合金基板11上に非磁性下地[12
,12′ が形成され、さらに下部磁性層13.13′
、中間磁性層14.14′、上部磁性/!15.15′
、非磁性保護層16.16′が形成されている。
以下、この磁気記録媒体の製造方法を示す。中心線平均
面粗さが10重mとなるように円周方向表面に凹凸を設
けた直径130aeφのN1−PめっきAQ合金基板1
1上に、Arガス圧10mTorr、基板温度100℃
、投入電力3 W/adのDCマグネトロン法により、
非磁性下地層12.12′ として膜厚250nmのC
r層を形成し、同じガス圧、同じ基板温度で投入電力0
.5W/a1のDCマグネトロン法により、組成Co□
、Ni22Zr、 (数値は原子%、以下同じ)のター
ゲットを用いて下部磁性層13.13’ を、次にCo
s 7N 12 ? Z raのターゲットを用いて中
間磁性層14.14’ を1次にCo、、 Ni、、 
Zr、のターゲットを用いて上部磁性層15.15′ 
をそれぞれ膜厚20nmで形成した。その後同じ条件の
DCマグネトロン法でCを膜厚30n@で形成し非磁性
保護膜16.16′とし、磁気記録媒体とした。
また、比較のため、同じ条件で、Co7□Ni2□Zr
G、 Co17Nizt Zrs及びC069N i3
5 Z rsのそれぞれのターゲットのみを用いてそれ
ぞれ60重mの単層の磁性層を形成した3種の磁気記録
媒体を製造した。なお、非磁性下地層、非磁性保護膜は
前記と同様に形成した。
これらの磁気特性をメタルインギャップ型磁気ヘッド(
M I Gヘッド)で比較評価した結果を第2図に示す
、比較例の単層の磁性層の場合、磁性膜のNi組成が増
すことにより保磁力が向上し、S/N比も向上するが1
重ね書き特性は劣イビしている。本実施例の場合、S/
N比がNi組成約33at%相当の磁性膜の特性を有し
、かつ重ね書き特性はNi組成約25at%相当の磁性
膜の特性が認められた。
実施例 2〜9 実施例1と同様にして種々の組成の磁性層を有する磁気
記録媒体を製造した。なお、DCマグネトロンの条件は
、Arガス圧15 m Torr、投入電力I W/a
J、基板温度150℃である。また非磁性下地層である
Crの膜厚は300重m、非磁性保護膜であるCの膜厚
は35ns+とした。各磁性層の厚みは実施例1と同じ
< 20重mである。各磁性層の組成を表1に、得られ
た磁気記録媒体の磁気特性を表2に示す。
以下余白 a 上部磁性層 Co6,Ni4.Zr5 Co、、 Ni、、 Ta5 Co、5Ni4゜Ti。
CoおNi4.Hf。
Co、5Ni4゜Nb。
Co、、Ni、、Ru5 Cos、Ni、、)Rh5 Co55 N 13 s P tz 。
歯 He(Os) 表   1 中間磁性層 Co、sNi、、Zr。
Co、、Ni3.Ta。
Co、、 Ni、、 Ti。
Co55Ni、、Hf5 CoG、N’、。Nb5 Co、s Ni3. Rug Co、、N’、。Rh。
Co、sNi3.Pt□。
表   2 8/N(dB) 下部磁性層 Co、。Ni2. Cr、。
Co7o Ni26 Cr、。
Cov。N’2゜Cr1゜ Co、、 N 2. Cr1゜ Co、、Ni2゜CrL。
Co7. N ’2. Cr、、。
Co、oN’、。Cr、。
Co、、 Ni2. Cr、。
0/W(dB) 実施例 lO〜18 種々の組成の2層の磁性層を有する磁気記録媒体を、実
施例1と同様の方法で製造した。なお、DCマグネトロ
ンの条件は、Arガス7mTorr、投入電力2 W/
cut、基板温度200℃である。各磁性層の厚みはそ
れぞれ30nm、非磁性下地層であるCrの膜厚は40
0nm、非磁性保護膜であるCの膜厚は40nmとした
。各磁性層の組成を表3に、得られた磁気記録媒体の磁
気特性を表4に示す。
表   3 Na   上部磁性層     下部磁性層Co4sN
 ’so z r。
Co、5N’、。Cr。
Co、。N ’、。Z r、 Crs Coso N’4. Ti、 Cr5 Co55N’、、 Zr。
Cosa N 14sZ r。
Co51.Nj45ZrS Co、。N ’、。Z r、 P t。
Co、。Ni、、Zr5Cr。
Co、oN  、。Cr1゜ Co’llI N ’ao Cr、。
Co□I、Ni、。Cr、。
Cov。N’、oCr、。
Co7.N’、。
CoいNo、。Pt。
Co7.N’、、Cri。
Co、、N’、flCr2゜ Co7.Ni、、Cr、。
以下余白 I1 表   4 He(Oe) S/N(dB) 0/W(dB) なお、V、Pd等の元素を用いたときも、はぼ同様の効
果が得られた。
〔発明の効果〕
本発明によれば、磁気記録媒体の磁性膜の膜厚方向に保
磁力を制御することにより、表層の保磁力を高くでき、
高S/N比であると共に、良好な重ね書き特性を有する
磁気記録媒体を得ることができた。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の磁気記録媒体の断面模式図、第2図
は、本発明を説明するための磁気記録媒体の磁気特性を
示す図である。 11・・・N1−PめっきAf1合金基板12.12′
・・・非磁性下地層

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、非磁性基板上にCoとNiを主成分とする磁性層を
    有する磁気記録媒体において、上記磁性層の膜厚方向の
    表面に近い程その組成のNi含有量が高いことを特徴と
    する磁気記録媒体。 2、上記磁性層の表面に近い部分のNi含有量は、20
    〜50原子%であることを特徴とする請求項1記載の磁
    気記録媒体。 3、上記磁性層の表面に近い部分は、Co及びNi並び
    にZr、Ti、Pt、Ru、Ta、Rh、V、Nb、C
    r、Pdからなる群から選ばれた少なくとも一種の他の
    元素からなる組成であることを特徴とする請求項1記載
    の磁気記録媒体。
JP1045397A 1989-02-28 1989-02-28 磁気記録媒体 Pending JPH02226515A (ja)

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JP1045397A JPH02226515A (ja) 1989-02-28 1989-02-28 磁気記録媒体
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