JPH01156643A - X線回折装置のゴニオメータの自動光軸調整装置 - Google Patents
X線回折装置のゴニオメータの自動光軸調整装置Info
- Publication number
- JPH01156643A JPH01156643A JP62315128A JP31512887A JPH01156643A JP H01156643 A JPH01156643 A JP H01156643A JP 62315128 A JP62315128 A JP 62315128A JP 31512887 A JP31512887 A JP 31512887A JP H01156643 A JPH01156643 A JP H01156643A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- goniometer
- base
- optical axis
- rotation
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 53
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 title description 10
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 23
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 17
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、X線回折装置のゴニオメータの光軸を自動的
に調整する自動光軸調整装置に関する。
に調整する自動光軸調整装置に関する。
[従来の技術]
X線回折装置のゴニオメータの光軸調整には次に述べる
幾つかの段階がある。
幾つかの段階がある。
(a)検出器アームの回転角(2θ)をゼロにしたとき
に、発散スリットと、試料台の回転軸線(JX下、試料
軸という)と、検出器アーム上にある受光スリットとが
一直線上に来るようにする調整。この調整はゴニオメー
タの製造段階で既に調整ずみのものである。
に、発散スリットと、試料台の回転軸線(JX下、試料
軸という)と、検出器アーム上にある受光スリットとが
一直線上に来るようにする調整。この調整はゴニオメー
タの製造段階で既に調整ずみのものである。
(b)ゴニオメータ光軸上にX線焦点が来るように、X
線焦点とゴニオメータとの相対的位置関係を定める調整
。この調整は、ゴニオメータ基台を微小回転させて、X
線検出器の出力が最大となるように調整される。
線焦点とゴニオメータとの相対的位置関係を定める調整
。この調整は、ゴニオメータ基台を微小回転させて、X
線検出器の出力が最大となるように調整される。
(c)2θ=ゼロの確認。この確認は次のように実施さ
れる。検出器アームを20−ゼロの付近で微小回転させ
てピークプロファイルを求め、検出ピークの半価幅の中
点をゼロピークの位置とする。次に、このゼロピークの
位置と、検出器アーム台のゼロマークの位置とのずれが
、所定の角度範囲内に治まっていることを確認する。所
定の角度範囲内に治まっていなければ、上述の(b)の
調整からやり直すことになる。
れる。検出器アームを20−ゼロの付近で微小回転させ
てピークプロファイルを求め、検出ピークの半価幅の中
点をゼロピークの位置とする。次に、このゼロピークの
位置と、検出器アーム台のゼロマークの位置とのずれが
、所定の角度範囲内に治まっていることを確認する。所
定の角度範囲内に治まっていなければ、上述の(b)の
調整からやり直すことになる。
(d)試料台の回転角(θ)=ゼロの調整。この調整は
、試料台をθ=ゼロの付近で微小回転させて、X線検出
器の出力が最大となるように調整される。その際、光軸
調整治具を試料台に取り付ける。この治具の基準平面は
、試料軸を含む平面内にあり、θ=ゼロの付近で基準平
面は入射X線に平行となる。
、試料台をθ=ゼロの付近で微小回転させて、X線検出
器の出力が最大となるように調整される。その際、光軸
調整治具を試料台に取り付ける。この治具の基準平面は
、試料軸を含む平面内にあり、θ=ゼロの付近で基準平
面は入射X線に平行となる。
以上の光軸調整のうち、本考案は、(bHc)(d)の
光軸調整を自動化しようとするものでおる。従来は、(
b)の調整では、調整ねじなどを利用してゴニオメータ
基台を手動で微小回転させている。
光軸調整を自動化しようとするものでおる。従来は、(
b)の調整では、調整ねじなどを利用してゴニオメータ
基台を手動で微小回転させている。
また、(c)(d)の調整では、2θ回転モータとθ回
転モータとを利用して、X線検出器アーム台と試料台と
をモータ駆動で回転させているが、これらのモータに対
しては調整作業者がその都度回転指示を与えていた。
転モータとを利用して、X線検出器アーム台と試料台と
をモータ駆動で回転させているが、これらのモータに対
しては調整作業者がその都度回転指示を与えていた。
[発明が解決しようとする問題点]
上述した従来の光軸調整では、次のような問題点がある
。
。
ゴニオメータ基台の微小回転調整は、すべて手作業で行
う必要があり非常に手間が掛かる。2θ=ゼロの確認と
θ=ゼロの調整は、回転動作だけはモータ駆動であるが
、X線強度を確認しなからモータに回転指示を与えるの
はやはり調整作業者の仕事である。したがって、光軸調
整の間はX線回折装置に手がかかることに変わりはない
。
う必要があり非常に手間が掛かる。2θ=ゼロの確認と
θ=ゼロの調整は、回転動作だけはモータ駆動であるが
、X線強度を確認しなからモータに回転指示を与えるの
はやはり調整作業者の仕事である。したがって、光軸調
整の間はX線回折装置に手がかかることに変わりはない
。
そこで、このような光軸調整を自動化する要望が高まっ
てきており、本発明の目的は、このような要望を満たし
得る、X線回折装置のゴニオメータの自動光軸調整装置
を提供することにある。
てきており、本発明の目的は、このような要望を満たし
得る、X線回折装置のゴニオメータの自動光軸調整装置
を提供することにある。
[問題点を解決するための手段]
まず、ゴニオメータ基台を自動的に微小回転させる機構
が必要である。ざらに、所定のプログラムに従って、ま
た、検出されたX線強度に応じて、3個のモータ(基台
回転モータ、2θ回転モータ、θ回転モータ)を独立に
回転させる必要があり、そのための制御装置も必要であ
る。そこで、本発明による、X線回折装置のゴニオメー
タの自動光軸調整装置は、 X線源に対して回転可能なゴニオメータ基台と、前記ゴ
ニオメータ基台に対して回転可能なX線検出器アーム台
と、前記ゴニオメータ基台に対して回転可能な試料台と
を有するX線回折装置において、 (a)基台回転モータと、 (b)20回転モータと、 (c)θ回転モータと、・ (d)前記基台回転モータの回転を前記ゴニオメータ基
台に伝達する第1伝動機構と、 (e)前記20回転モータの回転を前記X線検出器アー
ム台に伝達する第2伝動機構と、(f)前記θ回転モー
タの回転を前記試料台に伝達する第3伝動機構と、 (g) X線検出器からの信号を受け取って、所定の判
断基準に基づいて、前記基台回転モータと前記20回転
モータと前記θ回転モータとを独立に制御する制御装置
と、 を有することを特徴とする。
が必要である。ざらに、所定のプログラムに従って、ま
た、検出されたX線強度に応じて、3個のモータ(基台
回転モータ、2θ回転モータ、θ回転モータ)を独立に
回転させる必要があり、そのための制御装置も必要であ
る。そこで、本発明による、X線回折装置のゴニオメー
タの自動光軸調整装置は、 X線源に対して回転可能なゴニオメータ基台と、前記ゴ
ニオメータ基台に対して回転可能なX線検出器アーム台
と、前記ゴニオメータ基台に対して回転可能な試料台と
を有するX線回折装置において、 (a)基台回転モータと、 (b)20回転モータと、 (c)θ回転モータと、・ (d)前記基台回転モータの回転を前記ゴニオメータ基
台に伝達する第1伝動機構と、 (e)前記20回転モータの回転を前記X線検出器アー
ム台に伝達する第2伝動機構と、(f)前記θ回転モー
タの回転を前記試料台に伝達する第3伝動機構と、 (g) X線検出器からの信号を受け取って、所定の判
断基準に基づいて、前記基台回転モータと前記20回転
モータと前記θ回転モータとを独立に制御する制御装置
と、 を有することを特徴とする。
このように、ゴニオメータ基台とX線検出器アーム台と
試料台とを、それぞれ別個にモータ駆動できるようにし
たことにより、光軸調整の自動化が可能になった。
試料台とを、それぞれ別個にモータ駆動できるようにし
たことにより、光軸調整の自動化が可能になった。
光軸調整のためには、上述の三つの被駆動部分はいずれ
も精度良く微小回転させる必要があり、したがって、そ
のための三つのモータはこのような要求を満たすような
モータとする必要がある。
も精度良く微小回転させる必要があり、したがって、そ
のための三つのモータはこのような要求を満たすような
モータとする必要がある。
好ましくは、これらのモータとして、パルスモー夕を利
用できる。
用できる。
第1伝動機構としては、ウオーム・ウオームホイール伝
動機構など各種の機構を利用できるが、以下の実施例で
説明するように、偏心カム機構を利用するのが最適であ
る。第2伝動機構と第3伝動機構についても各種の伝動
機構を採用できるが、従来のゴニオメータと同様に、ウ
オーム・つt−ムホイール伝動機構をそのまま利用する
のが便利である。
動機構など各種の機構を利用できるが、以下の実施例で
説明するように、偏心カム機構を利用するのが最適であ
る。第2伝動機構と第3伝動機構についても各種の伝動
機構を採用できるが、従来のゴニオメータと同様に、ウ
オーム・つt−ムホイール伝動機構をそのまま利用する
のが便利である。
上述の三つの七〜りを、所定のプログラムに従って制御
するには、マイクロコンピュータを利用するのが最適で
ある。
するには、マイクロコンピュータを利用するのが最適で
ある。
[実施例]
以下、本発明の一実施例を次の順序で説明する。
イ、X線回折装置の全体構成
口、自動光軸調整装置の制御系
ハ、ゴニオメータ基台の回転駆動機構
二、光軸調整治具
ホ、自動光軸調整装置の動作手順
イ、X線回折装置の全体構成
第1図は本考案の一実施例を備えたX線回折装置の概略
平面図であり、第2図はその一部を断面にした正面図で
ある。フレーム10には、ターゲット12を有するX線
管14が固定され、ターゲット12上のX線焦点16か
らX線が発生する。
平面図であり、第2図はその一部を断面にした正面図で
ある。フレーム10には、ターゲット12を有するX線
管14が固定され、ターゲット12上のX線焦点16か
らX線が発生する。
X線管14にはX線シャッター15が取り付けられてい
る。
る。
フレーム10にはプレート18が固定され、このプレー
ト18の上に、回転可能なゴニオベース基台20が載っ
ている。ゴニオベース基台20の上には、ざらに、これ
と相対回転可能な試料台22および検出器アーム台24
が載っている。検出器アーム台24には検出器アーム2
6が固定され、検出器アーム26にはX線検出器28が
固定される。
ト18の上に、回転可能なゴニオベース基台20が載っ
ている。ゴニオベース基台20の上には、ざらに、これ
と相対回転可能な試料台22および検出器アーム台24
が載っている。検出器アーム台24には検出器アーム2
6が固定され、検出器アーム26にはX線検出器28が
固定される。
発散スリット30はゴニオメータ基台20に固定され、
散乱防止スリット32と受光スリット34は検出器アー
ム26に固定される。そして、検出器アーム26の回転
角2θをゼロにしたときには、発散スリット30、試料
軸36、散乱防止スリット32、受光スリット34が一
直線38の上に来るように光軸調整がなされている。試
料軸36は、試料台22の回転中心であり、検出器アー
ム台24の回転中心とも一致する。
散乱防止スリット32と受光スリット34は検出器アー
ム26に固定される。そして、検出器アーム26の回転
角2θをゼロにしたときには、発散スリット30、試料
軸36、散乱防止スリット32、受光スリット34が一
直線38の上に来るように光軸調整がなされている。試
料軸36は、試料台22の回転中心であり、検出器アー
ム台24の回転中心とも一致する。
試料台22は、パルスモ〜り(θ回転モータ)40によ
って回転駆動される。すなわち、試料台22にはウオー
ムホイール42が固定され、パルスモータ40の回転軸
には、ウオームホイール42と噛み合うウオーム44が
固定される。検出器アーム台24も、ウオームホイール
46とウオーム48とを介してパルスモータ50によっ
て回転駆動される。試料台22と検出器アーム台24は
、1対2の回転比で連動可能でおり、かつ、それぞれの
単独回転も可能である。自動光軸調整には単独回転を利
用する。パルスモータ40と50は五相パルスモータで
ある。
って回転駆動される。すなわち、試料台22にはウオー
ムホイール42が固定され、パルスモータ40の回転軸
には、ウオームホイール42と噛み合うウオーム44が
固定される。検出器アーム台24も、ウオームホイール
46とウオーム48とを介してパルスモータ50によっ
て回転駆動される。試料台22と検出器アーム台24は
、1対2の回転比で連動可能でおり、かつ、それぞれの
単独回転も可能である。自動光軸調整には単独回転を利
用する。パルスモータ40と50は五相パルスモータで
ある。
ゴニオメータ基台20を微小回転させる機構については
、以下の「ハ、ゴニオメータ基台の回転駆動機構」の項
で詳しく説明する。
、以下の「ハ、ゴニオメータ基台の回転駆動機構」の項
で詳しく説明する。
口、自動光軸調整装置の制御系
第3図は自動光軸調整装置の制御系を示す。X線検出器
28には高圧電源52が接続され、X線検出信号は増幅
器を経て波高分析器54に入力される。所定の強度範囲
の信号は計数計56でカウントされ、その方1クント値
は、制御装置58の入力インターフェース60に入力さ
れる。キーボード62からは自動光軸調整の開始指令が
入力される。このキーボード62は、自動光軸調整以外
にも、試料測定の際の各種データや作業指示を入力する
のにも使用されるものである。
28には高圧電源52が接続され、X線検出信号は増幅
器を経て波高分析器54に入力される。所定の強度範囲
の信号は計数計56でカウントされ、その方1クント値
は、制御装置58の入力インターフェース60に入力さ
れる。キーボード62からは自動光軸調整の開始指令が
入力される。このキーボード62は、自動光軸調整以外
にも、試料測定の際の各種データや作業指示を入力する
のにも使用されるものである。
制御装置58は、CPtJ64、ROM66、RAM6
8、入力インターフェース60、出力インターフェース
70を含む。なお、パルスモ〜りのためのモータドライ
バ72,74.76も制御装置58に含めることにする
。ROMG6には、自動光軸調整のためのプログラムが
格納されている。 ・CPtJ64からの指令は、出
力インターフェース70を介して、モータドライバ72
,74,76、CRTデイスプレィ78、X線シャッタ
ー電磁ソレノイド80に送られる。モータドライバ72
゜74.76からの出力パルス信号は、3個のパルスモ
ータ、すなわち基台回転モータ82.2θ回転モータ5
0.θ回転モータ40にそれぞれ送られる。
8、入力インターフェース60、出力インターフェース
70を含む。なお、パルスモ〜りのためのモータドライ
バ72,74.76も制御装置58に含めることにする
。ROMG6には、自動光軸調整のためのプログラムが
格納されている。 ・CPtJ64からの指令は、出
力インターフェース70を介して、モータドライバ72
,74,76、CRTデイスプレィ78、X線シャッタ
ー電磁ソレノイド80に送られる。モータドライバ72
゜74.76からの出力パルス信号は、3個のパルスモ
ータ、すなわち基台回転モータ82.2θ回転モータ5
0.θ回転モータ40にそれぞれ送られる。
ハ、ゴニオメータ基台の回転駆動機構
第1図において、プレート18には粗調整ブロック84
が載っている。この粗調整ブロック84は、プレート1
8に対して相対移動でき、一対の粗調整ねじ86.88
によって第1図の左右方向に移動させることができる。
が載っている。この粗調整ブロック84は、プレート1
8に対して相対移動でき、一対の粗調整ねじ86.88
によって第1図の左右方向に移動させることができる。
すなわち、左の粗調整ねじ86をゆるめて、右の粗調整
ねじ88を締め付ければ、粗調整ブロック84は左に移
動し、逆の操作をすれば粗調整ブロック84は右に移動
する。粗調整ブロック84にはまた、粗調整ブロック8
4を固定するためのロックねじ90.92が取り付けら
れている。
ねじ88を締め付ければ、粗調整ブロック84は左に移
動し、逆の操作をすれば粗調整ブロック84は右に移動
する。粗調整ブロック84にはまた、粗調整ブロック8
4を固定するためのロックねじ90.92が取り付けら
れている。
粗調整ブロック84にはパルスモータ(基台回転モータ
)82が固定される。このパルスモータ82は、五相パ
ルスモータであって、1パルス当たり0.72°だけ回
転でき、500パルスで一回転する。第4図に拡大して
示すように、パルスモータ82の出力軸94には偏心カ
ム96が固定される。なお、第2図では粗調整ブロック
84の図示を省略しである。偏心カム96は円形輪郭9
8を有し、円形輪郭98の中心と回転中心とは距離εだ
け偏心している。輪郭を円形にしたのは、精度の良い機
械加工が容易だからである。また、出力軸94を偏心カ
ム96に固定するための軸穴も、機械加工は容易である
。
)82が固定される。このパルスモータ82は、五相パ
ルスモータであって、1パルス当たり0.72°だけ回
転でき、500パルスで一回転する。第4図に拡大して
示すように、パルスモータ82の出力軸94には偏心カ
ム96が固定される。なお、第2図では粗調整ブロック
84の図示を省略しである。偏心カム96は円形輪郭9
8を有し、円形輪郭98の中心と回転中心とは距離εだ
け偏心している。輪郭を円形にしたのは、精度の良い機
械加工が容易だからである。また、出力軸94を偏心カ
ム96に固定するための軸穴も、機械加工は容易である
。
ゴニオメータ基台20にはカム従動子100が固定され
る。カム従動子100には溝102が形成され、この溝
102の対向壁面104,106は、偏心カム96の円
形輪郭98と接触する。このような溝102も、精度良
く機械加工できる。
る。カム従動子100には溝102が形成され、この溝
102の対向壁面104,106は、偏心カム96の円
形輪郭98と接触する。このような溝102も、精度良
く機械加工できる。
満102の幅は、偏心カム96の円形輪郭98の直径と
ほとんど同じであるが、厳密には、円形輪郭98の直径
よりわずかに広くなっている。偏心カム96の円形輪郭
98も、カム従動子100の溝102も、精度良く機械
加工できるので、これらの間の隙間はほとんどなくすこ
とができる。
ほとんど同じであるが、厳密には、円形輪郭98の直径
よりわずかに広くなっている。偏心カム96の円形輪郭
98も、カム従動子100の溝102も、精度良く機械
加工できるので、これらの間の隙間はほとんどなくすこ
とができる。
この実施例では、パルスモータ82の出力軸の中心から
試料軸36までの距離L(第1図参照)は220mmに
設定されている。また、偏心カム96の偏心但ε(第4
図参照)は0.8mmk:設定されている。
試料軸36までの距離L(第1図参照)は220mmに
設定されている。また、偏心カム96の偏心但ε(第4
図参照)は0.8mmk:設定されている。
次に、この駆動機構の動作を説明する。第1図において
、まず、予備調整として、粗調整ブロック84の調整を
しておく。粗調整ねじ86.88を手動で操作して、粗
調整ブロック84を左右にわずかに移動させて、ゴニオ
メータ基台20の大まかな回転位置を決めておく。粗調
整ブロック84を移動させれば、パルスモータ82と偏
心カム96とカム従動子100とを介して、ゴニオメー
タ基台20を回転させることができる。検出器28のX
線強度を参考にしながら、このような大まかな調整は簡
単にできる。大まかな調整が済んだら、ロックねじ90
.92を締め付けて粗調整ブロック84をプレート18
に固定する。なお、このような大まかな調整は、たびた
び実施する必要はなく、通常の光軸調整では、後述の自
動光軸調整作業だけ実施すれば済む。
、まず、予備調整として、粗調整ブロック84の調整を
しておく。粗調整ねじ86.88を手動で操作して、粗
調整ブロック84を左右にわずかに移動させて、ゴニオ
メータ基台20の大まかな回転位置を決めておく。粗調
整ブロック84を移動させれば、パルスモータ82と偏
心カム96とカム従動子100とを介して、ゴニオメー
タ基台20を回転させることができる。検出器28のX
線強度を参考にしながら、このような大まかな調整は簡
単にできる。大まかな調整が済んだら、ロックねじ90
.92を締め付けて粗調整ブロック84をプレート18
に固定する。なお、このような大まかな調整は、たびた
び実施する必要はなく、通常の光軸調整では、後述の自
動光軸調整作業だけ実施すれば済む。
次に、パルスモータ82の回転角αと、ゴニオメータ基
台20の回転角βとの関係を、第5図を参照して説明し
ておく。
台20の回転角βとの関係を、第5図を参照して説明し
ておく。
今、偏心カム96が第5図の実線で示す状態にあるとき
を基準位置とし、この状態の回転角をゼロと定めること
にする。パルスモータが時計回りに角度αだけ回転する
と、偏心カム96も同じ角度だけ回転する。このとき、
カム従動子100は距離dだけ左に移動し、その移動距
離は、d=ε・sinα (1) となる。カム従動子100はゴニオメータ基台に固定さ
れているので、ゴニオメータ基台20は角度βだけ回転
し、その回転角は近似的に、・ −1 β=s+n (d/L) (2)となる。
を基準位置とし、この状態の回転角をゼロと定めること
にする。パルスモータが時計回りに角度αだけ回転する
と、偏心カム96も同じ角度だけ回転する。このとき、
カム従動子100は距離dだけ左に移動し、その移動距
離は、d=ε・sinα (1) となる。カム従動子100はゴニオメータ基台に固定さ
れているので、ゴニオメータ基台20は角度βだけ回転
し、その回転角は近似的に、・ −1 β=s+n (d/L) (2)となる。
パルスモータは、1パルス当たり0.72゜(Δα)だ
け回転するので、上述の(1)(2)式から、1パルス
当たりのゴニオメータ基台の回転角(Δβ)が求まる。
け回転するので、上述の(1)(2)式から、1パルス
当たりのゴニオメータ基台の回転角(Δβ)が求まる。
ただし、一定のΔαに対しても、距離dの変化量Δdは
、偏心カムの位置に依存して変化することになる。たと
えばα=O°の付近ではΔdは大きく、α=90°の付
近ではΔdは小さい。今、Δdの平均的な値Δdavを
考えることにする。パルスモータを半回転させるには2
50パルスを必要とし、このとき、カム従動子は2ε=
1.6mmだけ移動する。したがって、カム従動子は、
パルスモータに1パルス供給される毎に、 Δd、v=1.6/250=0.0064mmだけ平均
的に移動することになる。このときのゴニオメータ基台
の回転角は、上述の(2)式において、L=220mm
とシテ、 Δβav=0.00167゜ となる。
、偏心カムの位置に依存して変化することになる。たと
えばα=O°の付近ではΔdは大きく、α=90°の付
近ではΔdは小さい。今、Δdの平均的な値Δdavを
考えることにする。パルスモータを半回転させるには2
50パルスを必要とし、このとき、カム従動子は2ε=
1.6mmだけ移動する。したがって、カム従動子は、
パルスモータに1パルス供給される毎に、 Δd、v=1.6/250=0.0064mmだけ平均
的に移動することになる。このときのゴニオメータ基台
の回転角は、上述の(2)式において、L=220mm
とシテ、 Δβav=0.00167゜ となる。
このようにして求めた、1パルス当たりのゴニオメータ
基台の平均回転角Δβ3.を用いて、ゴニオメータの回
転調整に関連する数値を以下の第1表に示す。
基台の平均回転角Δβ3.を用いて、ゴニオメータの回
転調整に関連する数値を以下の第1表に示す。
第1表
(” > (mm)
最小動作 0.00167 0.0064 1
合格角度差 0.01 0.0384 B
ピーク半価幅 0.12 0.4608 72こ
の表で、合格角度差とは、この範囲内でおればどの位置
にゴニオメータ基台があっても光軸調整が正しく行われ
たとみなされる角度範囲のことをいう。この駆動機構で
は、パルスモータの最小動作は、合格角度差の6分の1
であり、十分な調整精度を有することがわかる。ピーク
半価幅とは、回転調整を実施するときに現れるゼロピー
クの標準的な半価幅である。
合格角度差 0.01 0.0384 B
ピーク半価幅 0.12 0.4608 72こ
の表で、合格角度差とは、この範囲内でおればどの位置
にゴニオメータ基台があっても光軸調整が正しく行われ
たとみなされる角度範囲のことをいう。この駆動機構で
は、パルスモータの最小動作は、合格角度差の6分の1
であり、十分な調整精度を有することがわかる。ピーク
半価幅とは、回転調整を実施するときに現れるゼロピー
クの標準的な半価幅である。
第6図は、この駆動機構の動作を図示したものである。
第6図(a)は、カム従動子の移動量dをパルスモータ
の回転角α(偏心カムの回転角も同じ)の関数として表
したものであり、上述の(1)式の通り、正弦関数とな
っている。
の回転角α(偏心カムの回転角も同じ)の関数として表
したものであり、上述の(1)式の通り、正弦関数とな
っている。
第6図(b)は、データムスイッチのタイムチャートで
ある。データムスイッチは、パルスモータの回転の基準
位置を定める役割を果たし、パルスモータが1回転する
間に、特定の位置で1回だけONする。このONの位置
を、パルスモータ回転角α=ゼロと定めている。すなわ
ち、パルスモータが1回転する毎にパルスモータの回転
角はぜ口に戻ることになる。実際は、パルスモータの回
転角は、パルスモータに供給するパルス数を制御装置で
カウントして測定されており、データムスイッチがON
になると、このカウント数がゼロにリセットされる。
ある。データムスイッチは、パルスモータの回転の基準
位置を定める役割を果たし、パルスモータが1回転する
間に、特定の位置で1回だけONする。このONの位置
を、パルスモータ回転角α=ゼロと定めている。すなわ
ち、パルスモータが1回転する毎にパルスモータの回転
角はぜ口に戻ることになる。実際は、パルスモータの回
転角は、パルスモータに供給するパルス数を制御装置で
カウントして測定されており、データムスイッチがON
になると、このカウント数がゼロにリセットされる。
二、光軸調整治具
第7a図および第7b図は、自動光軸調整作業に使用さ
れる光軸調整治具の二つの状態を示す。
れる光軸調整治具の二つの状態を示す。
第7a図において、この治具108は試料台に取り付け
られるもので、その片面には、幅2mmの細長い二つの
基準平面110,112が形成され、その間114は、
基準平面110,112よりもQ、5mmだけ低くなっ
ている。この治具108を試料台に取り付けるには、基
準平面110゜112の下半分を試料台の基準面に当接
させればよく、このとき、二つの基準平面110.11
2は、試料軸を含む平面内に位置決めされるようになっ
ている。
られるもので、その片面には、幅2mmの細長い二つの
基準平面110,112が形成され、その間114は、
基準平面110,112よりもQ、5mmだけ低くなっ
ている。この治具108を試料台に取り付けるには、基
準平面110゜112の下半分を試料台の基準面に当接
させればよく、このとき、二つの基準平面110.11
2は、試料軸を含む平面内に位置決めされるようになっ
ている。
この治具108には貫通穴116が形成される。
この貫通穴116は、基準平面110,112に対して
垂直な方向に貫通している。貫通穴116の、貫通方向
に垂直な断面寸法は、12mmx20mmである。貫通
穴116の断面寸法は、発散スリットからやって来るX
線118を何の障害もなく通過させ得るだけの大きざと
なっている。
垂直な方向に貫通している。貫通穴116の、貫通方向
に垂直な断面寸法は、12mmx20mmである。貫通
穴116の断面寸法は、発散スリットからやって来るX
線118を何の障害もなく通過させ得るだけの大きざと
なっている。
第7a図は、ゴニオメータ基台の位置調整と2θ−ゼロ
の調整をする場合の、治具108の状態を示す。第7b
図はθ=ゼロの調整をする場合の治具108の状態を示
す。
の調整をする場合の、治具108の状態を示す。第7b
図はθ=ゼロの調整をする場合の治具108の状態を示
す。
ホ、自動光軸調整装置の動作手順
以下、第8図から第12図までのフローチャートを参照
して自動光軸調整装置の動作を説明する。
して自動光軸調整装置の動作を説明する。
第8図は自動光軸調整作業の前後の手順を示す。
自動光軸調整作業に入る前には、まず、スリット系およ
び試料台に光軸調整用の部品を取り付ける(ステップ1
20)。すなわち、発散スリットボックスには、開き幅
0.05mmの発散スリットを取り付け、散乱防止スリ
ットボックスには、アルミニウム製の吸収板を取り付け
、受光スリットボックスには、開き幅0.15mmの受
光スリットを取り付ける。試料台には上述の光軸調整治
具108を取り付ける。ここまでは、作業者が手動で行
う。次に、キーボードから自動光軸調整の指示を与える
と、所定のプログラムに従って自動光軸調整作業が実施
される(ステップ122)。自動光軸調整作業が終了し
たら、作業者は、スリット系および試料台に回折測定用
の部品を取り付ける(ステップ124)。すなわち、発
散スリットボックスには、開き角1°の発散スリットを
取り付け、散乱防止スリットボックスには、開き角1°
の散乱防止スリットを取り付け、受光スリットボックス
には、開き幅Q、3mmの受光スリットを取り付ける。
び試料台に光軸調整用の部品を取り付ける(ステップ1
20)。すなわち、発散スリットボックスには、開き幅
0.05mmの発散スリットを取り付け、散乱防止スリ
ットボックスには、アルミニウム製の吸収板を取り付け
、受光スリットボックスには、開き幅0.15mmの受
光スリットを取り付ける。試料台には上述の光軸調整治
具108を取り付ける。ここまでは、作業者が手動で行
う。次に、キーボードから自動光軸調整の指示を与える
と、所定のプログラムに従って自動光軸調整作業が実施
される(ステップ122)。自動光軸調整作業が終了し
たら、作業者は、スリット系および試料台に回折測定用
の部品を取り付ける(ステップ124)。すなわち、発
散スリットボックスには、開き角1°の発散スリットを
取り付け、散乱防止スリットボックスには、開き角1°
の散乱防止スリットを取り付け、受光スリットボックス
には、開き幅Q、3mmの受光スリットを取り付ける。
試料台には試料板を取り付ける。
第9図は自動光軸調整手順の概要を示す。まず、θ回転
モータを早送りして試料台をθ−−90’の位置にする
(ステップ126)。こうすると、入射X線は光軸調整
治具の貫通穴を通過することになる。次に、X線管を2
0kV、5mAの条件で作動させる(ステップ128)
。そして、X線シャッターを開く(ステップ130)。
モータを早送りして試料台をθ−−90’の位置にする
(ステップ126)。こうすると、入射X線は光軸調整
治具の貫通穴を通過することになる。次に、X線管を2
0kV、5mAの条件で作動させる(ステップ128)
。そして、X線シャッターを開く(ステップ130)。
それから、ゴニオメータ基台位置の調整(ステップ13
2)、2θ−ゼロの確認(ステップ134)、θ=ゼロ
の調整(ステップ136)を順に実施する。最後に、X
線シャッターを閉じて(ステップ138)、光軸調整が
終了する。
2)、2θ−ゼロの確認(ステップ134)、θ=ゼロ
の調整(ステップ136)を順に実施する。最後に、X
線シャッターを閉じて(ステップ138)、光軸調整が
終了する。
第10a図から第10C図まではゴニオメータ基台位置
の調整の手順を詳細に示す。まず、2θ=−3°〜+3
°の範囲で、X線強度を測定しながら検出器アーム台を
スキャンする(ステップ140)。そのとき、2θの値
とX線強度を記憶する(ステップ142)。次に、上述
のスキャンの範囲内にピークがあるか判定する(ステッ
プ144)。ピークがないときは、CRTデイスプレィ
にエラーメツセージを表示して(ステップ146)、自
動光軸調整を中止する。ピークがあれば、そのピークが
20=±0.18°の範囲内にあるか判定する(ステッ
プ148)。この範囲は、上述の第1表に示したように
、ゴニオメータ基台の最大動作範囲内に設定されている
。この範囲内にピークが無ければCRTデイスプレィに
エラーメツセージを表示して(ステップ150)、自動
光軸調整を中止する。ピークがこの範囲内にあれば、ピ
ーク151の半価幅δの2分の1を計算し記憶する(ス
テップ152)。次に、ピークの位置がプラス側かマイ
ナス側かを判定する(ステップ154)。マイナス側の
ピーク153のと゛ ぎは、そのまま第10b図の手
順に進む。プラス側のピーク155のときは、α=27
0’となるように偏心カムを早送りする(ステップ15
6)。
の調整の手順を詳細に示す。まず、2θ=−3°〜+3
°の範囲で、X線強度を測定しながら検出器アーム台を
スキャンする(ステップ140)。そのとき、2θの値
とX線強度を記憶する(ステップ142)。次に、上述
のスキャンの範囲内にピークがあるか判定する(ステッ
プ144)。ピークがないときは、CRTデイスプレィ
にエラーメツセージを表示して(ステップ146)、自
動光軸調整を中止する。ピークがあれば、そのピークが
20=±0.18°の範囲内にあるか判定する(ステッ
プ148)。この範囲は、上述の第1表に示したように
、ゴニオメータ基台の最大動作範囲内に設定されている
。この範囲内にピークが無ければCRTデイスプレィに
エラーメツセージを表示して(ステップ150)、自動
光軸調整を中止する。ピークがこの範囲内にあれば、ピ
ーク151の半価幅δの2分の1を計算し記憶する(ス
テップ152)。次に、ピークの位置がプラス側かマイ
ナス側かを判定する(ステップ154)。マイナス側の
ピーク153のと゛ ぎは、そのまま第10b図の手
順に進む。プラス側のピーク155のときは、α=27
0’となるように偏心カムを早送りする(ステップ15
6)。
なお、偏心カムは最初はα=O°の位置に設定されてい
る。α=270’にするには、パルスモータ82(第4
図)に375パルスを供給すれば良い。このようにする
と、第5図において、カム従動子100は最も右側に来
た状態になり、プラス側のピーク155はマイナス側に
移動する。このように、ゴニオベース基台を調整すると
きは、ピークが常にマイナス側からゼロに近付いていく
ようにし、光軸調整の再現性を高めている。
る。α=270’にするには、パルスモータ82(第4
図)に375パルスを供給すれば良い。このようにする
と、第5図において、カム従動子100は最も右側に来
た状態になり、プラス側のピーク155はマイナス側に
移動する。このように、ゴニオベース基台を調整すると
きは、ピークが常にマイナス側からゼロに近付いていく
ようにし、光軸調整の再現性を高めている。
次に、第10b図で、2θ=(0+δ/2)。
となるように、検出器アーム台を早送りする(ステップ
158)。そして、偏心カムをゆっくりスキャンする(
ステップ160)。すると、マイナス側のピーク153
はゆっくりとプラス側へ移動することになり、2θ=(
0+δ/2)°の位置で観測していると、X線強度が徐
々に大きくなってくる。そして、X線強度が、これまで
観測された最大強度すなわちピーク高ざh、の40%に
達したか判定する(ステップ162)。達しない場合は
偏心カムの回転を続ける。40%に達したら、偏心カム
を停止する(ステップ164)。その時点で、検出器ア
ーム台を移動させて、2θ−(O+δ/2)°の位置で
のX線強度1pと、2θ−(O−δ/2)°の位置での
X線強度Imとを観測して記憶する(ステップ166)
。次に、Ipと1mとの差が十分小さいことを確認する
。すなわち、(l Ip−Im l)/ (Ip+Im
)≦0.05を判定する(ステップ168)。差が十分
小さければ、ゴニオメータ基台の位置調整が完了したこ
とになり、2θ−ゼロの確認(ステップ134)に進む
。その際、ゴニオベース基台20を電磁ロックでプレー
ト18に固定する。Ipと1mとの差が十分小さくなけ
れば、第10図Cに移って、Imh<Ipより大ぎいか
判定する(ステップ128)。ピークはマイナス側から
近付いているので、通常は、ImはIpより大きく、そ
のときは、偏心カムを1パルス分だけ微小回転させる(
ステップ172)。すると、ピークはわずかにプラス側
に移動し、この状態で、もう−度、第10図すのステッ
プ166に戻る。なお、光軸調整作業中にX線源の強度
が変化するようなときは、ステップ170の判定は必ず
しもYESにならない。すなわち、最大強度測定時のX
線源の強度と比べて、ステップ162の測定の際のX線
源の強度の方が小さくなっていると、Ipの方がImよ
り大きくなることがある。このときは、偏心カムを48
8パルス分だけ回転させてやる(ステップ174)。す
なわち、500−488=12パルス分だけ、ピークを
マイナス側に戻してやったことになる。そして、再度、
ステップ166からやり直す。いずれにしても、最終的
にはステップ168の判定がYESとなって、ゴニオメ
ータ基台の調整が完了する。
158)。そして、偏心カムをゆっくりスキャンする(
ステップ160)。すると、マイナス側のピーク153
はゆっくりとプラス側へ移動することになり、2θ=(
0+δ/2)°の位置で観測していると、X線強度が徐
々に大きくなってくる。そして、X線強度が、これまで
観測された最大強度すなわちピーク高ざh、の40%に
達したか判定する(ステップ162)。達しない場合は
偏心カムの回転を続ける。40%に達したら、偏心カム
を停止する(ステップ164)。その時点で、検出器ア
ーム台を移動させて、2θ−(O+δ/2)°の位置で
のX線強度1pと、2θ−(O−δ/2)°の位置での
X線強度Imとを観測して記憶する(ステップ166)
。次に、Ipと1mとの差が十分小さいことを確認する
。すなわち、(l Ip−Im l)/ (Ip+Im
)≦0.05を判定する(ステップ168)。差が十分
小さければ、ゴニオメータ基台の位置調整が完了したこ
とになり、2θ−ゼロの確認(ステップ134)に進む
。その際、ゴニオベース基台20を電磁ロックでプレー
ト18に固定する。Ipと1mとの差が十分小さくなけ
れば、第10図Cに移って、Imh<Ipより大ぎいか
判定する(ステップ128)。ピークはマイナス側から
近付いているので、通常は、ImはIpより大きく、そ
のときは、偏心カムを1パルス分だけ微小回転させる(
ステップ172)。すると、ピークはわずかにプラス側
に移動し、この状態で、もう−度、第10図すのステッ
プ166に戻る。なお、光軸調整作業中にX線源の強度
が変化するようなときは、ステップ170の判定は必ず
しもYESにならない。すなわち、最大強度測定時のX
線源の強度と比べて、ステップ162の測定の際のX線
源の強度の方が小さくなっていると、Ipの方がImよ
り大きくなることがある。このときは、偏心カムを48
8パルス分だけ回転させてやる(ステップ174)。す
なわち、500−488=12パルス分だけ、ピークを
マイナス側に戻してやったことになる。そして、再度、
ステップ166からやり直す。いずれにしても、最終的
にはステップ168の判定がYESとなって、ゴニオメ
ータ基台の調整が完了する。
次に、第11図に移って、2θ=ゼロの確認を行う。ま
ず、2θ=−0,12°〜+0.12゜の範囲で、X線
強度を測定しながら検出器アーム台をスキャンする(ス
テップ176)。そのとき記憶されたピーク・プロファ
イルから、ピーク位置を決定し、これを記憶する(ステ
ップ178)。
ず、2θ=−0,12°〜+0.12゜の範囲で、X線
強度を測定しながら検出器アーム台をスキャンする(ス
テップ176)。そのとき記憶されたピーク・プロファ
イルから、ピーク位置を決定し、これを記憶する(ステ
ップ178)。
このピーク位置のところが2θ=ゼロの位置である。し
たがって、次に検出器アーム台を回転させて、2θをピ
ーク位置のところにもってくる(ステップ180)。こ
れで、検出器アーム台は正確に2θ−ゼロの位置に設定
された。そして、θ=ゼロの調整(ステップ136)に
移る。
たがって、次に検出器アーム台を回転させて、2θをピ
ーク位置のところにもってくる(ステップ180)。こ
れで、検出器アーム台は正確に2θ−ゼロの位置に設定
された。そして、θ=ゼロの調整(ステップ136)に
移る。
第12図は、θ=ゼロの調整手順を示す。まず、試料台
を、現在の位置(θ−−90’ )から+10°まで、
早送りで回転させ、ピークの予備測定を行う(ステップ
182)。次に、観測されたピーク位置の付近で、すな
わちθ=(ピーク位置±0.02°)の範囲で、試料台
をゆっくりスキャンする(ステップ184)。そして、
ピーク位置を決定しこれを記憶する(ステップ186)
。
を、現在の位置(θ−−90’ )から+10°まで、
早送りで回転させ、ピークの予備測定を行う(ステップ
182)。次に、観測されたピーク位置の付近で、すな
わちθ=(ピーク位置±0.02°)の範囲で、試料台
をゆっくりスキャンする(ステップ184)。そして、
ピーク位置を決定しこれを記憶する(ステップ186)
。
このピーク位置がθ−ゼロの位置となる。これで、θ−
ゼロの調整が完了し、第9図のステップ138に戻る。
ゼロの調整が完了し、第9図のステップ138に戻る。
[発明の効果]
以上説明したように本発明は、ゴニオメータ基台とX線
検出器アーム台と試料台とをそれぞれ、基台回転モータ
と2a回転モータとθ回転モータとによって駆動し、こ
れらのモータを制御装置によって独立に制御できるよう
にしたので、ゴニオメータの光軸調整を自動化できる効
果がある。
検出器アーム台と試料台とをそれぞれ、基台回転モータ
と2a回転モータとθ回転モータとによって駆動し、こ
れらのモータを制御装置によって独立に制御できるよう
にしたので、ゴニオメータの光軸調整を自動化できる効
果がある。
第1図は本発明の一実施例を備えるX線回折装置の概略
平面図、 第2図はその一部を断面にした正面図、第3図は本発明
の一実施例の制御系のブロック図、 第4図はこの実施例で使用するゴニオメータ基台駆動機
構の要部の斜視図、 第5図はこの駆動機構の動作説明図、 第6図はこの駆動機構の動作線図、 第7a図と第7b図はこの実施例で使用する光軸調整治
具の二つの使用状態を示す斜視図、第8図は自動光軸調
整作業の前後の手順を示すフローチャート、 第9図は自動光軸調整の概略手順を示すフローチャート
、 第10a図から第10C図まではゴニオメータ基台の位
置調整手順を示すフローチャート、第11図は2θ=ゼ
ロの確認手順を示すフローチャート、 第12図はθ=ゼロの調整手順を示すフローチャートで
ある。 14・・・X線管 20・・・ゴニオメータ基台 22・・・試料台 24・・・X線検出器アーム台 28・・・X線検出器 40・・・θ回転モータ 42.46・・・ウオームホイール 44.48・・・つA−ム 50・・・2θ回転モータ 58・・・制御p装置 96・・・偏心カム 100・・・カム従動子
平面図、 第2図はその一部を断面にした正面図、第3図は本発明
の一実施例の制御系のブロック図、 第4図はこの実施例で使用するゴニオメータ基台駆動機
構の要部の斜視図、 第5図はこの駆動機構の動作説明図、 第6図はこの駆動機構の動作線図、 第7a図と第7b図はこの実施例で使用する光軸調整治
具の二つの使用状態を示す斜視図、第8図は自動光軸調
整作業の前後の手順を示すフローチャート、 第9図は自動光軸調整の概略手順を示すフローチャート
、 第10a図から第10C図まではゴニオメータ基台の位
置調整手順を示すフローチャート、第11図は2θ=ゼ
ロの確認手順を示すフローチャート、 第12図はθ=ゼロの調整手順を示すフローチャートで
ある。 14・・・X線管 20・・・ゴニオメータ基台 22・・・試料台 24・・・X線検出器アーム台 28・・・X線検出器 40・・・θ回転モータ 42.46・・・ウオームホイール 44.48・・・つA−ム 50・・・2θ回転モータ 58・・・制御p装置 96・・・偏心カム 100・・・カム従動子
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 X線源に対して回転可能なゴニオメータ基台と、前記ゴ
ニオメータ基台に対して回転可能なX線検出器アーム台
と、前記ゴニオメータ基台に対して回転可能な試料台と
を有するX線回折装置において、 (a)基台回転モータと、 (b)2θ回転モータと、 (c)θ回転モータと、 (d)前記基台回転モータの回転を前記ゴニオメータ基
台に伝達する第1伝動機構と、 (e)前記2θ回転モータの回転を前記X線検出器アー
ム台に伝達する第2伝動機構と、 (f)前記θ回転モータの回転を前記試料台に伝達する
第3伝動機構と、 (g)X線検出器からの信号を受け取って、所定の判断
基準に基づいて、前記基台回転モータと前記2θ回転モ
ータと前記θ回転モータとを独立に制御する制御装置と
、 を有することを特徴とする、ゴニオメータの自動光軸調
整装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62315128A JPH0643973B2 (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | X線回折装置のゴニオメ−タの自動光軸調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62315128A JPH0643973B2 (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | X線回折装置のゴニオメ−タの自動光軸調整装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01156643A true JPH01156643A (ja) | 1989-06-20 |
JPH0643973B2 JPH0643973B2 (ja) | 1994-06-08 |
Family
ID=18061743
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62315128A Expired - Lifetime JPH0643973B2 (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | X線回折装置のゴニオメ−タの自動光軸調整装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0643973B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0469558A (ja) * | 1990-07-10 | 1992-03-04 | Jeol Ltd | X線分析装置におけるゴニオメータ |
DE102014116670A1 (de) | 2013-11-25 | 2015-05-28 | Rigaku Corporation | Verfahren zum Justieren einer optischen Achse für einen Röntgenstrahlanalysator und Röntgenstrahlanalysator |
DE102014116663A1 (de) | 2013-11-25 | 2015-05-28 | Rigaku Corporation | Vorrichtung zum Justieren einer optischen Achse für einen Röntgenstrahlenanalysator |
US9490038B2 (en) | 2013-04-17 | 2016-11-08 | Rigaku Corporation | X-ray optical component device and X-ray analyzer |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8903044B2 (en) * | 2011-01-31 | 2014-12-02 | Rigaku Corporation | X-ray diffraction apparatus |
-
1987
- 1987-12-15 JP JP62315128A patent/JPH0643973B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0469558A (ja) * | 1990-07-10 | 1992-03-04 | Jeol Ltd | X線分析装置におけるゴニオメータ |
US9490038B2 (en) | 2013-04-17 | 2016-11-08 | Rigaku Corporation | X-ray optical component device and X-ray analyzer |
DE102014116670A1 (de) | 2013-11-25 | 2015-05-28 | Rigaku Corporation | Verfahren zum Justieren einer optischen Achse für einen Röntgenstrahlanalysator und Röntgenstrahlanalysator |
DE102014116663A1 (de) | 2013-11-25 | 2015-05-28 | Rigaku Corporation | Vorrichtung zum Justieren einer optischen Achse für einen Röntgenstrahlenanalysator |
US9442084B2 (en) | 2013-11-25 | 2016-09-13 | Rigaku Corporation | Optical axis adjustment method for X-ray analyzer and X-ray analyzer |
US9562867B2 (en) | 2013-11-25 | 2017-02-07 | Rigaku Corporation | Optical axis adjustment device for X-ray analyzer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0643973B2 (ja) | 1994-06-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5459384A (en) | Method and apparatus for controlling coordinate displacements of a platform | |
US8000444B2 (en) | Vertical/horizontal small angle X-ray scattering apparatus and method for measuring small angle X-ray scattering | |
US4364122A (en) | X-Ray diffraction method and apparatus | |
JPH01156643A (ja) | X線回折装置のゴニオメータの自動光軸調整装置 | |
US4199678A (en) | Asymmetric texture sensitive X-ray powder diffractometer | |
JPH01156644A (ja) | X線回折装置のゴニオメータの自動光軸調整装置 | |
US6061120A (en) | Infrared microscope | |
JP3221619B2 (ja) | X線回折装置 | |
JPH05215898A (ja) | X線コリメータ | |
JP2003254918A (ja) | 単結晶体の方位測定装置、この装置におけるガイド部材の角度誤差の検出方法及び単結晶体の方位測定方法 | |
JP2899057B2 (ja) | 試料固定型x線回折装置の自動光軸調整装置 | |
JPH0666741A (ja) | X線回折装置 | |
JPH08124510A (ja) | 分析装置の試料ステージ駆動装置 | |
JPH08166361A (ja) | θ−θスキャン型X線装置及びそのX線装置のためのゴニオ初期位置設定方法 | |
JP2899056B2 (ja) | 試料固定型x線回折装置の光軸調整方法および装置 | |
US4288710A (en) | Drive mechanism | |
JP2001311705A (ja) | X線回折装置 | |
JPS5957145A (ja) | X線分析装置 | |
JP2002148220A (ja) | X線回折装置及びx線調整方法 | |
JP2002350370A (ja) | X線測定装置、薄膜測定・形成システム、および薄膜測定・形成方法 | |
JPH0710283Y2 (ja) | X線回折装置のゴニオメータ光軸調整用駆動機構 | |
JP3443047B2 (ja) | X線分析装置 | |
JPS6064238A (ja) | 電子線を用いたx線分析装置 | |
JPH0132940B2 (ja) | ||
SU1144040A1 (ru) | Способ юстировки дифрактометра |