JPH01156643A - Ｘ線回折装置のゴニオメータの自動光軸調整装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、Ｘ線回折装置のゴニオメータの光軸を自動的
に調整する自動光軸調整装置に関する。

［従来の技術］ Ｘ線回折装置のゴニオメータの光軸調整には次に述べる
幾つかの段階がある。

（ａ）検出器アームの回転角（２θ）をゼロにしたとき
に、発散スリットと、試料台の回転軸線（ＪＸ下、試料
軸という）と、検出器アーム上にある受光スリットとが
一直線上に来るようにする調整。この調整はゴニオメー
タの製造段階で既に調整ずみのものである。

（ｂ）ゴニオメータ光軸上にＸ線焦点が来るように、Ｘ
線焦点とゴニオメータとの相対的位置関係を定める調整
。この調整は、ゴニオメータ基台を微小回転させて、Ｘ
線検出器の出力が最大となるように調整される。

（ｃ）２θ＝ゼロの確認。この確認は次のように実施さ
れる。検出器アームを２０−ゼロの付近で微小回転させ
てピークプロファイルを求め、検出ピークの半価幅の中
点をゼロピークの位置とする。次に、このゼロピークの
位置と、検出器アーム台のゼロマークの位置とのずれが
、所定の角度範囲内に治まっていることを確認する。所
定の角度範囲内に治まっていなければ、上述の（ｂ）の
調整からやり直すことになる。

（ｄ）試料台の回転角（θ）＝ゼロの調整。この調整は
、試料台をθ＝ゼロの付近で微小回転させて、Ｘ線検出
器の出力が最大となるように調整される。その際、光軸
調整治具を試料台に取り付ける。この治具の基準平面は
、試料軸を含む平面内にあり、θ＝ゼロの付近で基準平
面は入射Ｘ線に平行となる。

以上の光軸調整のうち、本考案は、（ｂＨｃ）（ｄ）の
光軸調整を自動化しようとするものでおる。従来は、（
ｂ）の調整では、調整ねじなどを利用してゴニオメータ
基台を手動で微小回転させている。

また、（ｃ）（ｄ）の調整では、２θ回転モータとθ回
転モータとを利用して、Ｘ線検出器アーム台と試料台と
をモータ駆動で回転させているが、これらのモータに対
しては調整作業者がその都度回転指示を与えていた。

［発明が解決しようとする問題点］ 上述した従来の光軸調整では、次のような問題点がある
。

ゴニオメータ基台の微小回転調整は、すべて手作業で行
う必要があり非常に手間が掛かる。２θ＝ゼロの確認と
θ＝ゼロの調整は、回転動作だけはモータ駆動であるが
、Ｘ線強度を確認しなからモータに回転指示を与えるの
はやはり調整作業者の仕事である。したがって、光軸調
整の間はＸ線回折装置に手がかかることに変わりはない
。

そこで、このような光軸調整を自動化する要望が高まっ
てきており、本発明の目的は、このような要望を満たし
得る、Ｘ線回折装置のゴニオメータの自動光軸調整装置
を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ まず、ゴニオメータ基台を自動的に微小回転させる機構
が必要である。ざらに、所定のプログラムに従って、ま
た、検出されたＸ線強度に応じて、３個のモータ（基台
回転モータ、２θ回転モータ、θ回転モータ）を独立に
回転させる必要があり、そのための制御装置も必要であ
る。そこで、本発明による、Ｘ線回折装置のゴニオメー
タの自動光軸調整装置は、 Ｘ線源に対して回転可能なゴニオメータ基台と、前記ゴ
ニオメータ基台に対して回転可能なＸ線検出器アーム台
と、前記ゴニオメータ基台に対して回転可能な試料台と
を有するＸ線回折装置において、 （ａ）基台回転モータと、 （ｂ）２０回転モータと、 （ｃ）θ回転モータと、・ （ｄ）前記基台回転モータの回転を前記ゴニオメータ基
台に伝達する第１伝動機構と、 （ｅ）前記２０回転モータの回転を前記Ｘ線検出器アー
ム台に伝達する第２伝動機構と、（ｆ）前記θ回転モー
タの回転を前記試料台に伝達する第３伝動機構と、 （ｇ）　Ｘ線検出器からの信号を受け取って、所定の判
断基準に基づいて、前記基台回転モータと前記２０回転
モータと前記θ回転モータとを独立に制御する制御装置
と、 を有することを特徴とする。

このように、ゴニオメータ基台とＸ線検出器アーム台と
試料台とを、それぞれ別個にモータ駆動できるようにし
たことにより、光軸調整の自動化が可能になった。

光軸調整のためには、上述の三つの被駆動部分はいずれ
も精度良く微小回転させる必要があり、したがって、そ
のための三つのモータはこのような要求を満たすような
モータとする必要がある。

好ましくは、これらのモータとして、パルスモー夕を利
用できる。

第１伝動機構としては、ウオーム・ウオームホイール伝
動機構など各種の機構を利用できるが、以下の実施例で
説明するように、偏心カム機構を利用するのが最適であ
る。第２伝動機構と第３伝動機構についても各種の伝動
機構を採用できるが、従来のゴニオメータと同様に、ウ
オーム・つｔ−ムホイール伝動機構をそのまま利用する
のが便利である。

上述の三つの七〜りを、所定のプログラムに従って制御
するには、マイクロコンピュータを利用するのが最適で
ある。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を次の順序で説明する。

イ、Ｘ線回折装置の全体構成 口、自動光軸調整装置の制御系 ハ、ゴニオメータ基台の回転駆動機構 二、光軸調整治具 ホ、自動光軸調整装置の動作手順 イ、Ｘ線回折装置の全体構成 第１図は本考案の一実施例を備えたＸ線回折装置の概略
平面図であり、第２図はその一部を断面にした正面図で
ある。フレーム１０には、ターゲット１２を有するＸ線
管１４が固定され、ターゲット１２上のＸ線焦点１６か
らＸ線が発生する。

Ｘ線管１４にはＸ線シャッター１５が取り付けられてい
る。

フレーム１０にはプレート１８が固定され、このプレー
ト１８の上に、回転可能なゴニオベース基台２０が載っ
ている。ゴニオベース基台２０の上には、ざらに、これ
と相対回転可能な試料台２２および検出器アーム台２４
が載っている。検出器アーム台２４には検出器アーム２
６が固定され、検出器アーム２６にはＸ線検出器２８が
固定される。

発散スリット３０はゴニオメータ基台２０に固定され、
散乱防止スリット３２と受光スリット３４は検出器アー
ム２６に固定される。そして、検出器アーム２６の回転
角２θをゼロにしたときには、発散スリット３０、試料
軸３６、散乱防止スリット３２、受光スリット３４が一
直線３８の上に来るように光軸調整がなされている。試
料軸３６は、試料台２２の回転中心であり、検出器アー
ム台２４の回転中心とも一致する。

試料台２２は、パルスモ〜り（θ回転モータ）４０によ
って回転駆動される。すなわち、試料台２２にはウオー
ムホイール４２が固定され、パルスモータ４０の回転軸
には、ウオームホイール４２と噛み合うウオーム４４が
固定される。検出器アーム台２４も、ウオームホイール
４６とウオーム４８とを介してパルスモータ５０によっ
て回転駆動される。試料台２２と検出器アーム台２４は
、１対２の回転比で連動可能でおり、かつ、それぞれの
単独回転も可能である。自動光軸調整には単独回転を利
用する。パルスモータ４０と５０は五相パルスモータで
ある。

ゴニオメータ基台２０を微小回転させる機構については
、以下の「ハ、ゴニオメータ基台の回転駆動機構」の項
で詳しく説明する。

口、自動光軸調整装置の制御系 第３図は自動光軸調整装置の制御系を示す。Ｘ線検出器
２８には高圧電源５２が接続され、Ｘ線検出信号は増幅
器を経て波高分析器５４に入力される。所定の強度範囲
の信号は計数計５６でカウントされ、その方１クント値
は、制御装置５８の入力インターフェース６０に入力さ
れる。キーボード６２からは自動光軸調整の開始指令が
入力される。このキーボード６２は、自動光軸調整以外
にも、試料測定の際の各種データや作業指示を入力する
のにも使用されるものである。

制御装置５８は、ＣＰｔＪ６４、ＲＯＭ６６、ＲＡＭ６
８、入力インターフェース６０、出力インターフェース
７０を含む。なお、パルスモ〜りのためのモータドライ
バ７２，７４．７６も制御装置５８に含めることにする
。ＲＯＭＧ６には、自動光軸調整のためのプログラムが
格納されている。　　・ＣＰｔＪ６４からの指令は、出
力インターフェース７０を介して、モータドライバ７２
，７４，７６、ＣＲＴデイスプレィ７８、Ｘ線シャッタ
ー電磁ソレノイド８０に送られる。モータドライバ７２
゜７４．７６からの出力パルス信号は、３個のパルスモ
ータ、すなわち基台回転モータ８２．２θ回転モータ５
０．θ回転モータ４０にそれぞれ送られる。

ハ、ゴニオメータ基台の回転駆動機構 第１図において、プレート１８には粗調整ブロック８４
が載っている。この粗調整ブロック８４は、プレート１
８に対して相対移動でき、一対の粗調整ねじ８６．８８
によって第１図の左右方向に移動させることができる。

すなわち、左の粗調整ねじ８６をゆるめて、右の粗調整
ねじ８８を締め付ければ、粗調整ブロック８４は左に移
動し、逆の操作をすれば粗調整ブロック８４は右に移動
する。粗調整ブロック８４にはまた、粗調整ブロック８
４を固定するためのロックねじ９０．９２が取り付けら
れている。

粗調整ブロック８４にはパルスモータ（基台回転モータ
）８２が固定される。このパルスモータ８２は、五相パ
ルスモータであって、１パルス当たり０．７２°だけ回
転でき、５００パルスで一回転する。第４図に拡大して
示すように、パルスモータ８２の出力軸９４には偏心カ
ム９６が固定される。なお、第２図では粗調整ブロック
８４の図示を省略しである。偏心カム９６は円形輪郭９
８を有し、円形輪郭９８の中心と回転中心とは距離εだ
け偏心している。輪郭を円形にしたのは、精度の良い機
械加工が容易だからである。また、出力軸９４を偏心カ
ム９６に固定するための軸穴も、機械加工は容易である
。

ゴニオメータ基台２０にはカム従動子１００が固定され
る。カム従動子１００には溝１０２が形成され、この溝
１０２の対向壁面１０４，１０６は、偏心カム９６の円
形輪郭９８と接触する。このような溝１０２も、精度良
く機械加工できる。

満１０２の幅は、偏心カム９６の円形輪郭９８の直径と
ほとんど同じであるが、厳密には、円形輪郭９８の直径
よりわずかに広くなっている。偏心カム９６の円形輪郭
９８も、カム従動子１００の溝１０２も、精度良く機械
加工できるので、これらの間の隙間はほとんどなくすこ
とができる。

この実施例では、パルスモータ８２の出力軸の中心から
試料軸３６までの距離Ｌ（第１図参照）は２２０ｍｍに
設定されている。また、偏心カム９６の偏心但ε（第４
図参照）は０．８ｍｍｋ：設定されている。

次に、この駆動機構の動作を説明する。第１図において
、まず、予備調整として、粗調整ブロック８４の調整を
しておく。粗調整ねじ８６．８８を手動で操作して、粗
調整ブロック８４を左右にわずかに移動させて、ゴニオ
メータ基台２０の大まかな回転位置を決めておく。粗調
整ブロック８４を移動させれば、パルスモータ８２と偏
心カム９６とカム従動子１００とを介して、ゴニオメー
タ基台２０を回転させることができる。検出器２８のＸ
線強度を参考にしながら、このような大まかな調整は簡
単にできる。大まかな調整が済んだら、ロックねじ９０
．９２を締め付けて粗調整ブロック８４をプレート１８
に固定する。なお、このような大まかな調整は、たびた
び実施する必要はなく、通常の光軸調整では、後述の自
動光軸調整作業だけ実施すれば済む。

次に、パルスモータ８２の回転角αと、ゴニオメータ基
台２０の回転角βとの関係を、第５図を参照して説明し
ておく。

今、偏心カム９６が第５図の実線で示す状態にあるとき
を基準位置とし、この状態の回転角をゼロと定めること
にする。パルスモータが時計回りに角度αだけ回転する
と、偏心カム９６も同じ角度だけ回転する。このとき、
カム従動子１００は距離ｄだけ左に移動し、その移動距
離は、ｄ＝ε・ｓｉｎα　　　　　　（１） となる。カム従動子１００はゴニオメータ基台に固定さ
れているので、ゴニオメータ基台２０は角度βだけ回転
し、その回転角は近似的に、・　−１ β＝ｓ＋ｎ　　（ｄ／Ｌ）　　　　（２）となる。

パルスモータは、１パルス当たり０．７２゜（Δα）だ
け回転するので、上述の（１）（２）式から、１パルス
当たりのゴニオメータ基台の回転角（Δβ）が求まる。

ただし、一定のΔαに対しても、距離ｄの変化量Δｄは
、偏心カムの位置に依存して変化することになる。たと
えばα＝Ｏ°の付近ではΔｄは大きく、α＝９０°の付
近ではΔｄは小さい。今、Δｄの平均的な値Δｄａｖを
考えることにする。パルスモータを半回転させるには２
５０パルスを必要とし、このとき、カム従動子は２ε＝
１．６ｍｍだけ移動する。したがって、カム従動子は、
パルスモータに１パルス供給される毎に、 Δｄ、ｖ＝１．６／２５０＝０．００６４ｍｍだけ平均
的に移動することになる。このときのゴニオメータ基台
の回転角は、上述の（２）式において、Ｌ＝２２０ｍｍ
とシテ、 Δβａｖ＝０．００１６７゜ となる。

このようにして求めた、１パルス当たりのゴニオメータ
基台の平均回転角Δβ３．を用いて、ゴニオメータの回
転調整に関連する数値を以下の第１表に示す。

第１表 （”　＞　　　（ｍｍ） 最小動作　　　０．００１６７　０．００６４　　　１
合格角度差　　０．０１　　　０．０３８４　　　　Ｂ
ピーク半価幅　０．１２　　　０．４６０８　　７２こ
の表で、合格角度差とは、この範囲内でおればどの位置
にゴニオメータ基台があっても光軸調整が正しく行われ
たとみなされる角度範囲のことをいう。この駆動機構で
は、パルスモータの最小動作は、合格角度差の６分の１
であり、十分な調整精度を有することがわかる。ピーク
半価幅とは、回転調整を実施するときに現れるゼロピー
クの標準的な半価幅である。

第６図は、この駆動機構の動作を図示したものである。

第６図（ａ）は、カム従動子の移動量ｄをパルスモータ
の回転角α（偏心カムの回転角も同じ）の関数として表
したものであり、上述の（１）式の通り、正弦関数とな
っている。

第６図（ｂ）は、データムスイッチのタイムチャートで
ある。データムスイッチは、パルスモータの回転の基準
位置を定める役割を果たし、パルスモータが１回転する
間に、特定の位置で１回だけＯＮする。このＯＮの位置
を、パルスモータ回転角α＝ゼロと定めている。すなわ
ち、パルスモータが１回転する毎にパルスモータの回転
角はぜ口に戻ることになる。実際は、パルスモータの回
転角は、パルスモータに供給するパルス数を制御装置で
カウントして測定されており、データムスイッチがＯＮ
になると、このカウント数がゼロにリセットされる。

二、光軸調整治具 第７ａ図および第７ｂ図は、自動光軸調整作業に使用さ
れる光軸調整治具の二つの状態を示す。

第７ａ図において、この治具１０８は試料台に取り付け
られるもので、その片面には、幅２ｍｍの細長い二つの
基準平面１１０，１１２が形成され、その間１１４は、
基準平面１１０，１１２よりもＱ、５ｍｍだけ低くなっ
ている。この治具１０８を試料台に取り付けるには、基
準平面１１０゜１１２の下半分を試料台の基準面に当接
させればよく、このとき、二つの基準平面１１０．１１
２は、試料軸を含む平面内に位置決めされるようになっ
ている。

この治具１０８には貫通穴１１６が形成される。

この貫通穴１１６は、基準平面１１０，１１２に対して
垂直な方向に貫通している。貫通穴１１６の、貫通方向
に垂直な断面寸法は、１２ｍｍｘ２０ｍｍである。貫通
穴１１６の断面寸法は、発散スリットからやって来るＸ
線１１８を何の障害もなく通過させ得るだけの大きざと
なっている。

第７ａ図は、ゴニオメータ基台の位置調整と２θ−ゼロ
の調整をする場合の、治具１０８の状態を示す。第７ｂ
図はθ＝ゼロの調整をする場合の治具１０８の状態を示
す。

ホ、自動光軸調整装置の動作手順 以下、第８図から第１２図までのフローチャートを参照
して自動光軸調整装置の動作を説明する。

第８図は自動光軸調整作業の前後の手順を示す。

自動光軸調整作業に入る前には、まず、スリット系およ
び試料台に光軸調整用の部品を取り付ける（ステップ１
２０）。すなわち、発散スリットボックスには、開き幅
０．０５ｍｍの発散スリットを取り付け、散乱防止スリ
ットボックスには、アルミニウム製の吸収板を取り付け
、受光スリットボックスには、開き幅０．１５ｍｍの受
光スリットを取り付ける。試料台には上述の光軸調整治
具１０８を取り付ける。ここまでは、作業者が手動で行
う。次に、キーボードから自動光軸調整の指示を与える
と、所定のプログラムに従って自動光軸調整作業が実施
される（ステップ１２２）。自動光軸調整作業が終了し
たら、作業者は、スリット系および試料台に回折測定用
の部品を取り付ける（ステップ１２４）。すなわち、発
散スリットボックスには、開き角１°の発散スリットを
取り付け、散乱防止スリットボックスには、開き角１°
の散乱防止スリットを取り付け、受光スリットボックス
には、開き幅Ｑ、３ｍｍの受光スリットを取り付ける。

試料台には試料板を取り付ける。

第９図は自動光軸調整手順の概要を示す。まず、θ回転
モータを早送りして試料台をθ−−９０’の位置にする
（ステップ１２６）。こうすると、入射Ｘ線は光軸調整
治具の貫通穴を通過することになる。次に、Ｘ線管を２
０ｋＶ、５ｍＡの条件で作動させる（ステップ１２８）
。そして、Ｘ線シャッターを開く（ステップ１３０）。

それから、ゴニオメータ基台位置の調整（ステップ１３
２）、２θ−ゼロの確認（ステップ１３４）、θ＝ゼロ
の調整（ステップ１３６）を順に実施する。最後に、Ｘ
線シャッターを閉じて（ステップ１３８）、光軸調整が
終了する。

第１０ａ図から第１０Ｃ図まではゴニオメータ基台位置
の調整の手順を詳細に示す。まず、２θ＝−３°〜＋３
°の範囲で、Ｘ線強度を測定しながら検出器アーム台を
スキャンする（ステップ１４０）。そのとき、２θの値
とＸ線強度を記憶する（ステップ１４２）。次に、上述
のスキャンの範囲内にピークがあるか判定する（ステッ
プ１４４）。ピークがないときは、ＣＲＴデイスプレィ
にエラーメツセージを表示して（ステップ１４６）、自
動光軸調整を中止する。ピークがあれば、そのピークが
２０＝±０．１８°の範囲内にあるか判定する（ステッ
プ１４８）。この範囲は、上述の第１表に示したように
、ゴニオメータ基台の最大動作範囲内に設定されている
。この範囲内にピークが無ければＣＲＴデイスプレィに
エラーメツセージを表示して（ステップ１５０）、自動
光軸調整を中止する。ピークがこの範囲内にあれば、ピ
ーク１５１の半価幅δの２分の１を計算し記憶する（ス
テップ１５２）。次に、ピークの位置がプラス側かマイ
ナス側かを判定する（ステップ１５４）。マイナス側の
ピーク１５３のと゛　　ぎは、そのまま第１０ｂ図の手
順に進む。プラス側のピーク１５５のときは、α＝２７
０’となるように偏心カムを早送りする（ステップ１５
６）。

なお、偏心カムは最初はα＝Ｏ°の位置に設定されてい
る。α＝２７０’にするには、パルスモータ８２（第４
図）に３７５パルスを供給すれば良い。このようにする
と、第５図において、カム従動子１００は最も右側に来
た状態になり、プラス側のピーク１５５はマイナス側に
移動する。このように、ゴニオベース基台を調整すると
きは、ピークが常にマイナス側からゼロに近付いていく
ようにし、光軸調整の再現性を高めている。

次に、第１０ｂ図で、２θ＝（０＋δ／２）。

となるように、検出器アーム台を早送りする（ステップ
１５８）。そして、偏心カムをゆっくりスキャンする（
ステップ１６０）。すると、マイナス側のピーク１５３
はゆっくりとプラス側へ移動することになり、２θ＝（
０＋δ／２）°の位置で観測していると、Ｘ線強度が徐
々に大きくなってくる。そして、Ｘ線強度が、これまで
観測された最大強度すなわちピーク高ざｈ、の４０％に
達したか判定する（ステップ１６２）。達しない場合は
偏心カムの回転を続ける。４０％に達したら、偏心カム
を停止する（ステップ１６４）。その時点で、検出器ア
ーム台を移動させて、２θ−（Ｏ＋δ／２）°の位置で
のＸ線強度１ｐと、２θ−（Ｏ−δ／２）°の位置での
Ｘ線強度Ｉｍとを観測して記憶する（ステップ１６６）
。次に、Ｉｐと１ｍとの差が十分小さいことを確認する
。すなわち、（ｌ　Ｉｐ−Ｉｍ　ｌ）／　（Ｉｐ＋Ｉｍ
）≦０．０５を判定する（ステップ１６８）。差が十分
小さければ、ゴニオメータ基台の位置調整が完了したこ
とになり、２θ−ゼロの確認（ステップ１３４）に進む
。その際、ゴニオベース基台２０を電磁ロックでプレー
ト１８に固定する。Ｉｐと１ｍとの差が十分小さくなけ
れば、第１０図Ｃに移って、Ｉｍｈ＜Ｉｐより大ぎいか
判定する（ステップ１２８）。ピークはマイナス側から
近付いているので、通常は、ＩｍはＩｐより大きく、そ
のときは、偏心カムを１パルス分だけ微小回転させる（
ステップ１７２）。すると、ピークはわずかにプラス側
に移動し、この状態で、もう−度、第１０図すのステッ
プ１６６に戻る。なお、光軸調整作業中にＸ線源の強度
が変化するようなときは、ステップ１７０の判定は必ず
しもＹＥＳにならない。すなわち、最大強度測定時のＸ
線源の強度と比べて、ステップ１６２の測定の際のＸ線
源の強度の方が小さくなっていると、Ｉｐの方がＩｍよ
り大きくなることがある。このときは、偏心カムを４８
８パルス分だけ回転させてやる（ステップ１７４）。す
なわち、５００−４８８＝１２パルス分だけ、ピークを
マイナス側に戻してやったことになる。そして、再度、
ステップ１６６からやり直す。いずれにしても、最終的
にはステップ１６８の判定がＹＥＳとなって、ゴニオメ
ータ基台の調整が完了する。

次に、第１１図に移って、２θ＝ゼロの確認を行う。ま
ず、２θ＝−０，１２°〜＋０．１２゜の範囲で、Ｘ線
強度を測定しながら検出器アーム台をスキャンする（ス
テップ１７６）。そのとき記憶されたピーク・プロファ
イルから、ピーク位置を決定し、これを記憶する（ステ
ップ１７８）。

このピーク位置のところが２θ＝ゼロの位置である。し
たがって、次に検出器アーム台を回転させて、２θをピ
ーク位置のところにもってくる（ステップ１８０）。こ
れで、検出器アーム台は正確に２θ−ゼロの位置に設定
された。そして、θ＝ゼロの調整（ステップ１３６）に
移る。

第１２図は、θ＝ゼロの調整手順を示す。まず、試料台
を、現在の位置（θ−−９０’　）から＋１０°まで、
早送りで回転させ、ピークの予備測定を行う（ステップ
１８２）。次に、観測されたピーク位置の付近で、すな
わちθ＝（ピーク位置±０．０２°）の範囲で、試料台
をゆっくりスキャンする（ステップ１８４）。そして、
ピーク位置を決定しこれを記憶する（ステップ１８６）
。

このピーク位置がθ−ゼロの位置となる。これで、θ−
ゼロの調整が完了し、第９図のステップ１３８に戻る。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明は、ゴニオメータ基台とＸ線
検出器アーム台と試料台とをそれぞれ、基台回転モータ
と２ａ回転モータとθ回転モータとによって駆動し、こ
れらのモータを制御装置によって独立に制御できるよう
にしたので、ゴニオメータの光軸調整を自動化できる効
果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を備えるＸ線回折装置の概略
平面図、 第２図はその一部を断面にした正面図、第３図は本発明
の一実施例の制御系のブロック図、 第４図はこの実施例で使用するゴニオメータ基台駆動機
構の要部の斜視図、 第５図はこの駆動機構の動作説明図、 第６図はこの駆動機構の動作線図、 第７ａ図と第７ｂ図はこの実施例で使用する光軸調整治
具の二つの使用状態を示す斜視図、第８図は自動光軸調
整作業の前後の手順を示すフローチャート、 第９図は自動光軸調整の概略手順を示すフローチャート
、 第１０ａ図から第１０Ｃ図まではゴニオメータ基台の位
置調整手順を示すフローチャート、第１１図は２θ＝ゼ
ロの確認手順を示すフローチャート、 第１２図はθ＝ゼロの調整手順を示すフローチャートで
ある。 １４・・・Ｘ線管 ２０・・・ゴニオメータ基台 ２２・・・試料台 ２４・・・Ｘ線検出器アーム台 ２８・・・Ｘ線検出器 ４０・・・θ回転モータ ４２．４６・・・ウオームホイール ４４．４８・・・つＡ−ム ５０・・・２θ回転モータ ５８・・・制御ｐ装置 ９６・・・偏心カム １００・・・カム従動子

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ｘ線源に対して回転可能なゴニオメータ基台と、前記ゴ
   ニオメータ基台に対して回転可能なＸ線検出器アーム台
   と、前記ゴニオメータ基台に対して回転可能な試料台と
   を有するＸ線回折装置において、 （ａ）基台回転モータと、 （ｂ）２θ回転モータと、 （ｃ）θ回転モータと、 （ｄ）前記基台回転モータの回転を前記ゴニオメータ基
   台に伝達する第１伝動機構と、 （ｅ）前記２θ回転モータの回転を前記Ｘ線検出器アー
   ム台に伝達する第２伝動機構と、 （ｆ）前記θ回転モータの回転を前記試料台に伝達する
   第３伝動機構と、 （ｇ）Ｘ線検出器からの信号を受け取って、所定の判断
   基準に基づいて、前記基台回転モータと前記２θ回転モ
   ータと前記θ回転モータとを独立に制御する制御装置と
   、 を有することを特徴とする、ゴニオメータの自動光軸調
   整装置。